Исследование селективной откачки газовых смесей в низкотемпературных высоковакуумных ловушках
Диссертация
Обеспечение технологических процессов в таких областях науки и техники, как микрои наноэлектроника, нанотехнология, получение чистых материалов, химические технологии, как правило сопряжено с созданием высокого безмас-лянного вакуума. При осуществлении таких технологических процессов внутри вакуумной камеры происходят сложные химические реакции, продукты которых должны откачиваться вакуумной… Читать ещё >
Список литературы
- Вакуумная техника. Справочник под ред. Е. С. Фролова и В. Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1990, 320 с.
- N. Metropolis, S. Ulam, The Monte-Carlo method. -J. Avtr. Statist. Assoc., 1949, v. 44, № 247, pp. 335−341.
- Г. Л. Саксаганский. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М.: Атомиздат, 1980, 215 с.
- B.D. Power, D.J. Crowley, Vacuum, 1954, 4, 415.
- M. Auwarter, Ergebnisse der Hochvakuumtechnik und der Physik dtinner Schichten. Wiss. Verl. Ges. Stuttgart, 1957,207.
- H.M. Барышова, ПТЭ, 1965, № 6, 139.
- D.W. Jones, C.A. Tsonis. J. Vac. Sci. Technol. I, 17−32, 1964.
- W.D. Bascom, R.L. Cottingtorm, C.R. Singleterry. Advances in Chemistry series № 43, 1964, 355.
- Каталог ОАО «Вакууммаш». Вакуумное оборудование, 2001, 115 с.
- Каталог фирмы Varian, Vacuum products, 2000, 624 с.
- Каталог фирмы Leybold Vacuum GmbH, 2000.
- Каталог фирмы Pfeiffer Vacuum, 2000.
- С. Дэшман. Научные основы вакуумной техники, М.: Мир, 1965.
- Е.А. Коленко. Термоохлаждающие приборы. АН СССР, 1963.
- D.J. Crowley. Le Vide, 19, № 109, 641, 1964.
- Каталог фирмы Edwards, Vacuum products, 2000.
- Патенты Франции №№ 1.329.649,1.294.916
- A. Khatri, М. Boiarski, S. В. Nesterov. A Throttle cycle cryocooler with mixed gas refrigerant for a water trap. Abstracts of 44th National Symposium. October 20−24. 1997. San Jose. USA, p. 113.
- A. Khatri, М. Boiarski, S. Nesterov. Water trap refrigerated by a throttle-cycle cooler using mixed gas refrigerant. Advances in Cryogenic Engineering. Edited by P. Kittel, Plenum Press, New York, 1998, vol. 43B, p. 1693.
- APD Crygenics Products. 1998.
- CTI Crygenics Products. 1997.
- Основы вакуумной техники. А. И. Пипко, В .Я. Плисковский, Б. И. Королев, В. И. Кузнецов.-2-е изд. перераб. и доп.-М.: Энергоиздат, 1981.-432 с.
- Kurt J. Lesker Company. Vacuum Products, 1993, 530 c.
- Каталог фирмы Leybold Vacuum GmbH, 1964, HV110 6.
- D.H. Davis. J. Appl. Phys. 31, 1169,1960.
- J.D. Pinson, A.W. Peck. IX Nat. Symp. On Vac. Sci Technol. Trans. Pergamon Press, 1962, p. 406.
- М.Н. Hablanian. First Intern. Congr. On Vacuum Technique in Space Research. Paris, 1963
- J.A. Trueman. First Intern. Congr. On Vacuum Technique in Space Research. Paris, 1963.
- G. Zinsmeister. Proc. of the First Intern. Congress on Vacuum Technique and Technology, Pergamon Press, vol.1, 1960. p. 335
- А.И. Пипко, В. Я. Плисковский, E. A Пенчко. Оборудование для откачки вакуумных приборов, М.-Л.: Энергия, 1965
- М.П. Ларин, В. В. Быстрое, В. М. Папко, М. С. Назарматов. Охлаждаемая жидким азотом ловушка паров масла с собственным охранным вакуумом. Вакуумная техника и технология. Том 11, № 4, 2001, с. 189−194.
- Л.Н. Розанов. Вакуумная техника. М.: Высшая школа.
- L.N. Rozanov. Vacuum Technique. Edited by М.Н. Hablanian.
- Z. Kerris. f. techn. Physik, 16, 120,1935.
- D. Alpert. Rev. Sci. Instr. 24, 1004, 1953.
- E. Blauth. Z. angew. Phys. 14, 668, 1962, № 11.
- А.И. Пипко, В. Я. Плисковский, Е. А Пенчко. Конструирование и расчет вакуумных систем, М.: Энергия, 1970, 504 стр.
- W. Bachler. Патент ФРГ № 1.153.855.
- А.С. Назаров, Г. Ф. Ивановский, Г. Н. Плисковская, отчет 915 предприятия п/я 2168.
- О.В. Крылов, М. Д. Шибанов. Глубокое каталитическое окисление углеводородов. Проблемы кинетики и катализа, 1982. т. 18, № 1, стр. 18−23.
- Л .Я. Марголис. Окисление углеводородов на гетерогенных катализаторах. М.: Химия, 1977, 321 стр.
- Г. И. Голодец. Гетерогенно-каталитические реакции с участием молекулярного кислорода. Киев: Наукова думка, 1977. 203 стр.
- В.А. Дубинский, В. Н. Кеменов. Особенности конструкций и основные параметры форвакуумных ловушек. Вакуумная техника и технология. Том 11, № 3, 1992, с.189−194.
- Каталог фирмы Cit-Alcatel, Франция «Vacuum Technology» Rotary Vane pump accessories, 1991, p. 30−31.
- В.А. Дубинский, В. Н. Кеменов. Научно-технические достижения № 4, М.: ВИМИ, 1992, стр. 17.
- И.В. Золотухин. Фракталы в физике твердого тела. Соросовский образовательный журнал, № 7, 1998, стр. 108−113.
- Ю.Д. Третьяков. Дендриты, фракталы и материалы. Соросовский образовательный журнал, № 11, 1998, стр. 96−102.
- Леонард М. Сандер. Фрактальный рост. В мире науки, № 3, 1987, стр. 62−70.
- А.И. Олемской, А .Я. Флат. Использование концепции фрактала в физике конденсированной среды Успехи физ. Наук. Т. 163, № 12,1993, стр. 1−50.
- Смирнов Б.М. Физика фрактальных кластеров. М.: Наука. Гл. ред. Физ.-мат. Лит., 1991.
- Е. Федер. Фракталы-М.: Мир, 1991.
- В.В. Mandelbrot. The Fractal Geometry of Nature. N.Y.: Freeman, 1982.
- С. Ф. Финько. Моделирование теплофизических процессов инееобразования на низкотемпературных поверхностях энергетических установок. Автореферат дисс. на соискание уч. ст. к. т. н. Воронеж, ВГТУ, 2002, 16 с.
- М. Boiarski, A. Khatri, S.B. Nesterov, A. Androsov. Compact Trapping Device Integrated with a Throttle Cycle Cooler Operating with Mixed Refrigerant. AVS 48th International symposium. San Francisco. 2001.
- С.Б. Нестеров, A.B. Андросов, М. Ю. Боярский. Низкотемпературная ловушка, работающая на дроссельном цикле. Материалы V международного симпозиума «Вакуумные технологии и оборудование» (ICVTE-5), Харьков, 2002, стр. 279−285.
- S.B. Nesterov, Yu.K. Vassiliev, G.L. Saksaganski, В.A. Loginov, V.V. Protasenko. «How the sorbent microgeometry effects the sorptional characteristics of cryopumps» -Vacuum, 199, vol. 53, p. 145−149.
- С.Б. Нестеров, Ю. К. Васильев. Влияние углового распределения частиц на проводимость. Материалы VI научно-технической конференции «Вакуумная наука и техника», Гурзуф, 1999, стр. 101−109.
- Ю.К. Васильев, С. Б. Нестеров. Исследование влияния микроструктуры на характеристики нераспыляемых геттеров. Вакуумная техника и технология, 2000, № 1, с. 9−14.
- Е.В. Прусаков. Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники. Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Москва, МГИЭМ, 2001, 145 с.
- С. Б. Нестеров, Ю. К. Васильев, А. В. Андросов. Расчет сложных вакуумных систем. М.: Издательство МЭИ, 2001. — 180 с.
- Л.И. Калашник, A.M. Кислов, Э. М. Лившиц. Расчет параметров криогенных вакуумных камер методом Монте-Карло. ИЖФ, 1967, т. 13, № 6.
- Р. Зигель, Дж. Хауэл. Теплообмен излучением. М.: Энергия, 1971.
- Теплопередача: Учебник для вузов / В. П. Исаченко, В. А. Осипова, А.С. Суко-мел. 4-е изд., перераб. и доп. — М.: Энергоиздат, 1981. — 416 стр.
- С. Б. Нестеров, Е. И. Миронова. Расчет профилей криослоев. Тезисы докладов четвертой научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника». Гурзуф. 1997. стр. 50−52.
- С.Б. Нестеров, А. В. Андросов. Расчет профилей криослоев, Вакуумная техника и технология, Санкт-Петербург, 2000, том 10, № 4, стр. 137−143.
- С.Б. Нестеров. Криосорбция изотопов гелия. Физические особенности и практические приложения. Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктор наук. Москва, МЭИ, 2000, 420 с.
- R. Longsworth. 1994, Cryogenic Refrigerator with Single Stage Compressor, USA Patent 5, 337, 572.
- Г. В. Качалин, А. П. Крюков, С. Б. Нестеров. Расчет и сопоставление характеристик холодных ловушек. Тезисы докладов 3-й научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, сентябрь, 1996 г., с. 55.
- G. V. Kachalin, А. P. Kryukov, S. В. Nesterov, М. Е. Vorsobin. Calculation of Rarefied Gas Flows in Vacuum Systems at Transition and Free Molecular Flows. Proceedings of Rarefied Gas Dynamics Conference. China, Beijin 1997. p. 875.
- С.Б. Нестеров, А. В. Андросов Исследование профиля конденсата, формирующегося на охлаждаемых пластинах ловушки. Тезисы докладов 6-й международной студенческой школы семинара «Новые информационные технологии», Судак, 1998 г., с. 68.
- С.Б. Нестеров, А. В. Андросов. Расчет проводимости ловушки с учетом намороженного слоя. 5-я научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника», Гурзуф, 1998 г., с.89−94.
- А.В. Андросов, С. Б. Нестеров. Определение характеристик криовакуумной ловушки. Материалы XXVII международной научно-технической конференции «Га-гаринские чтения», Москва, 2001 г., с.98−101
- С.Б. Нестеров, А. В. Андросов, М. Ю. Боярский. Экспериментальное и расчетное исследование структуры криослоя. 9-я научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника» Судак, 2002 г., с.54−58.
- С.Б. Нестеров, О. С. Зилова. Определение фрактальной размерности поверхностей сорбентов. Материалы 8-й научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника». Судак, 2001.
- О.С. Зилова, С. Б. Нестеров Определение фрактальной размерности различных поверхностей. Материалы 7-й международной научно-технической конференции студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика». Москва, 2001.
- P. Meakin // Phys. Rev. -1983, -Ser. A. -vol.27, p.604.
- P. Meakin, Z.P. Wasserman //Phys. Lett. -1984, Ser. A. vol.103, p.337.
- А.В. Андросов, В. Н. Кеменов, С. Б. Нестеров. Пути совершенствования высоковакуумных ловушек для диффузионных насосов типа DFR. 8-я научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника» Судак, 2001 г., с. 124−129.
- H. Kumano, Z. Matsumara and Y. Takahashi. Backstreaming of the oil from a diffusion pump. Bulletin Chemical Research Inst, of Non-Aqueous Solutions. Tohoku Univ., vol. 31, July, 1981, p. 5−7
- M.A. Backer A cooled quarts microbalance method for measuring diffusion pump backstreaming. J. of Sci. Instr., 1698, vol. 1,7, p. 774−776
- С.Б. Нестеров, T.C. Строгова. Расчет характеристик охлаждаемых ловушек. Материалы VIII Международной научно-технической конференции студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика». Москва. 2002.
- ОСТ 26−19−002−88 «Насосы и агрегаты вакуумные пароструйные и бустерные. Методы испытаний».
- DIN 28 427. Германские промышленные нормы DIN 28 427. Правила приемки диффузионных насосов и пароструйных вакуумных насосов для давления рабочего пара меньше 1 миллибара.
- S.B. Nesterov, Yu.K. Vassiliev, R.C. Longsworth. Affect on Pumping-Speed Measurements Due to Variations of Test Dome Design Based on Monte-Carlo Analysis. Book of abstracts of AVS 46th International Symposium, 1999.
- С.Б. Нестеров, Ю.К. Васильев- Влияние испытательной камеры на измерения быстроты действия. Вопросы атомной науки и техники, сер. «Вакуум, чистые материалы, сверхпроводники». Харьков, 1999, вып. 1(9), стр. 33−37.
- С.Б. Нестеров, Т. С. Строгова. Расчет проводимости сложного трубопровода при молекулярном режиме течения. Материалы 7-й международной научно-технической конференции студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика». Москва. 2001.
- С.Б.Нестеров, Т. С. Строгова. Подходы к расчету проводимости сложного трубопровода при молекулярном режиме течения. Материалы XXVII международной молодежной научной конференции «Гагаринские чтения». Москва, 2001.
- D. Н. Davis, L. L. Levenson, N. Milleron. Effect of «Rougher-than-Rough» Surfaces on molecular flow through short ducts. Journal of Applied Physics, 1964, v. 35, № 3, parti, pp. 529−532.
- А.В. Андросов, Ю. К. Васильев, О. С. Зилова, С. Б. Нестеров. Разработка и внедрение методов анализа сложных вакуумных систем. Тезисы докладов 7-й международной конференции «Инженерные проблемы термоядерных реакторов», Санкт-Петербург, 2002, стр. 205−206.