Разработка твердых износостойких наноструктурных покрытий в системах Ti-Si-N, Ti-B-N, Cr-B-N, Ti-Cr-B-N
Диссертация
Выполнен сравнительный анализ структуры и свойств покрытий «П-ЗьИ, полученных магнетронным распылением композиционных мишеней «П^з+ТО^ и «П581з+'П в среде V Аг и газовой смеси Аг+Ыг. Показано, что структура и свойства покрытий принципиально не зависят от метода введения азота в состав покрытий. Установлены оптимальные режимы нанесения покрытий для каждой мишени. Максимальные значения твердости… Читать ещё >
Список литературы
- Podgornik В., Vizintin J., Wanstrand О. e. a. Tribological properties of plasma nitrided and hard coated AISI4140 steel // Wear. 2001. — V. 249. — P. 254−259
- Волосова M.A. Повышение стойкости быстрорежущего инструмента за счёт вакуумно-плазменной поверхностной обработки. Автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук. — М.: Изд. центр МГТУ «Станкин», 2003.
- Bergmann Е., Kaufmann Н., Schmid R. е. a. Ion-plated titanium carbonitride films // Surf. Coat. Technol. 1990. — V. 42. -№ 3. — P. 237−251.
- Кипарисов C.C., Левинский Ю. В., Петров А. П. Карбид титана: получение свойства, применение. — М.: Металлургия, 1987.
- Царьков С.М. Износостойкие покрытия на твёрдых сплавах // Материаловедение. -1997.-№ 8−9.-С. 53−54.
- Chen Y.-H., Lee K.W., Chiou W.-A. e. a. Synthesis and structure of smooth, superhard TiN/SiNx multilayer coatings with an equiaxed microstructure // Surf. Coat. Techn. 2001. -V. 146−147.-P. 209−214.
- Chen Y.-H., Polonsky I. A., Chung Y.-W. e. a. Tribological properties and rolling-contact-fatigue lives of TiN/SiNx multilayer coatings // Surf. Coat. Techn. 2002. — V. 154. — P. 152−161.
- Chen Y.-H., Guruz M., Chung Y.-W. e. a. Thermal stability of hard TiN/SiNx multilayer coatings with an equiaxed microstructure // Surf. Coat. Techn. 2002. — V. 154. — P. 162 166.
- Junhua X., Geyang L., Mingyuan G. The microstructure and mechanical properties of TaN/TiN and TaWNЯiN superlattice films // Thin Solid Films. 2000. — V. 370. — P. 4549.
- Thomas G.J., Siegel R.W., Eastman J. A. Grain boundaries in nanophase palladium: High resolution electron microscopy and image simulation // Scripta met. mater. 1990. -V. 24.-P. 201−206.
- Shtansky D.V., Tsuda O., Ikuhara Y. e. a. Crystallography and Structural Evolution of Cubic Boron Nitride Films During Bias Sputter Deposition // Acta mater. 2000. — V. 48. -P. 3745−3759.
- Штанский Д.В., Левашов E.A., Шевейко A.H. и др. Состав, структура и свойства Ti-Al-B-N-покрытий, полученных вакуумным реактивным распылением СВС-мишеней //Цветные Металлы. 2000. — Т.4. — С. 116−120.
- Морохов И.Д., Трусов Л. Д., Лаповок В. И. Физические явления в ультрадисперсных ')" средах. М.: Наука, 1984.
- Gleiter Н. Materials with ultrafine microstructures: Retrospectives and perspectives H Nanostruct Mater. 1992. — V. 1. — № 1. — P. 1−19.
- Siegel R.W. What do we really know about the atomic-scale structures of nanophase materials? // Journal of Physics and Chemistry of Solids. 1994. — V. 55. — № 10. — P. 1097.
- Валиев P.3., Александров И. В. Наноструктурные материалы, полученные интенсивной пластической деформацией. — М.: Логос, 2000.
- Lijima S. Helical Microtubules of Graphitic Carbon // Nature. 1991. — V. 354.
- Андриевский Р. А. Наноматериалы: концепция и современные проблемы // Рос. Хим. Ж. 2002. — Т. XLVI. — № 5. — С. 50−56.
- Veprec S.J. The search for novel, superhard materials // Vac. Sci. Technol. 1999. -V. 5.-P. 2401−2418.
- Veprek S., Argon A.S. Towards the understanding of the mechanical properties of super-and ultrahard nanocomposites // J. Vac. Sci. Technol. B. 2002. — V. 20. — № 2. — P. 650 664.
- Veprek S., Nesladek P., Niederhofer A. e. a. Recent progress in the superhard nanocrystalline composites: towards their industrialization and understanding of the origin of the superhardness // Surf. Coat. Techn. 1998. — V. 108−109. — P. 138−143.
- Andrievski R.A., Kalinnikov G.V. Physical-mechanical and physical-chemical properties of thin nanostructured boride/nitride films // Surf. Coat. Techn. 2001. — V. 142−144. — P. 573−578.
- Musil J., Kunc F., Zeman H. e. a. Relationships between hardness, Young’s modulus and elastic recovery in hard nanocomposite coatings// Surf Coat. Technol. 2002. — V. 154. -P. 304−313.
- Третьяков В.И. Основы металловедения и технологии производства спечённых твёрдых сплавов. — М.: «Металлургия», 1976.
- Karlsson L., Hultman L., Johansson M.P. e. a. Growth, microstructure, and mechanical properties of arc evaporated TiCxNi-x (0
- Vancoille E., Celis J.P., Roos J.R. Tribological and structural characterization of a physical vapour deposited TiC/Ti (C, N)/TiN multilayer // Tribology Int. 1993. — V. 26. — № 2.
- Mitterer C., Holler F., Reitberger D. e. a. Industrial applications of PACVD hard coatings // Surf. Coat. Techn. 2003. — V. 163−164. — P. 716−722.
- Shew B.-Y., Huang J.-L., Lii D.-F. Effects of r.f. bias and nitrogen flow rates on the reactive sputtering of TiAIN films // Thin Solid Films. 1997. — V. 293. — P. 212−219.
- Musil J., Hruby H. Superhard nanocomposite Tii-XA1XN films prepared by magnetron sputtering // Thin Solid Films. 2000. — V. 365. — P. 104−109.
- Jallad K.N., Ben-Amotz D. Raman chemical imaging of tribological nitride coated (TiN, TiAIN) surfaces // Wear. 2002. -V. 252. — P. 956−969.
- Kim C.W., Kim H.K. Anti-oxidation properties of TiAIN film prepared by plasma-assisted chemical vapor deposition and roles of A1 // Thin Solid Films. 1997. — V. 307. — P. 113 119.
- Souto R.M., Alanyali H. Electrochemical characteristics of steel coated with TiN and TiAIN coatings // Corrosion Science. 2000. — V. 42. — P. 2201−2211.
- Polonsky I.A., Chang T.P., Keer L.M. e. a. An analysis of the effect of hard coatings on near-surface rolling contact fatigue initiation induced by surface roughness // Wear.1997.-V. 208.-P. 204−219.
- Diserens M., Patscheider J., Levy F. Improving the properties of titanium nitride by incorporation of silicon // Surf. Coat. Technol. 1998. — V. 108−109. — P. 241−246.
- Hu X., Han Z., Li G. e. a. Microstructure and properties of Ti-Si-N nanocomposite films // J. Vac. Sci. Technol. A. 2002. — V. 20. — № 6. — P. 1921−1926.
- Watanable H., Sato Y., Nie C. e. a. The mechanical properties and microstructure of Ti-Si-N nanocomposite films by ion plating // Surf. Coat. Technol. 2003. — V. 169−170. — P. 452−455.
- Veprek S., Haussmann M., Reiprich S. e. a. Novel thermodynamically stable and oxidation resistant superhard coating materials// Surf. Coat. Techn. 1996. — V. 86−87. — P. 394 401.
- Blank V., Popov M., Lvova N. e. a. Nano-sclerometry measurements of superhard materials and diamond hardness using scanning force microscope with the ultrahard fullerite C60 tip // J. Mater. Res. 1997. — V. 12. — № 11. — P. 3109−3114.
- Vaz F., Rebouta L., Ramos S. e. a. Physical, structural and mechanical characterization of Tii-xSixNy films // Surf. Coat. Techn. 1998. — V. 108−109. — P. 236−240.
- Martin P.J., Bendavid A. Properties of Tii-xSixNy films deposited by concurrent cathodic arc evaporation and magnetron sputtering // Surf. Coat. Techn. 2003. — V. 163−164. — P. 245−250.
- Kuo D.H., Liao W.C. Ti-N, Ti-C-N, Ti-Si-N coatings obtained by APCVD at 650−800 °C // Applied Surface Science. 2002. — V. 199. — P. 278−286.
- Veprek S., Reiprich S., Shizhi L. Superhard Nanocrystalline Composit Materials: The c-TiN/a-Si3N4 System // Appl. Phys. Lett. 1995. — V. 66. — № 20.
- Sun X., Reid J.S., Kolawa E. e. a. Reactively sputtered Ti-Si-N films I. Physical properties //J. Appl. Phys. 1997,-V. 81,-№ 2. — P. 656−663.
- Tsuji Y., Gasser S.M., Kolawa E. e. a. Texture of copper films on Ta35SiigN47 and Ti33Si23N44 underlayers // Thin Solid Films. 1999. — V. 350. — P. 1−4.
- Patscheider J., Zehnder T., Diserens M. Structure-performance relations in nanocomposite coatings // Surf. Coat. Techn. 2001. — V. 146−147. — P. 201−208.
- Niederhofer A., Bolom T., Nesladek P. e. a. The role of percolation threshold for the control of the hardness and thermal stability of super- and ultrahard nanocomposites // Surf. Coat. Techn. -2001. V. 146−147.-P. 183−188.
- Brizoual L.L., Guilet S., Lemperiere G. e. a. Analysis of Ti-Si-N diffusion barrier films obtained by r.f. magnetron sputtering // Microelectronic Engineering. 2000. — V. 50. — P. 509−513.
- Blanquet E., Dutron A.M., Ghetta V. e. a. Evaluation of LPCVD Me-Si-N (Me=Ta, Ti, W, Re) diffusion barriers for Cu metallizations// Microelectronic Engineering. 1997. — V. 37/38.-P. 189−195.
- Shimada S., Tsukurimichi K. Preparation of SiNx and composite SiNx-TiN films from alkoxide solutions by liquid injection plasma CVD // Thin solid films. 2002. — V. 419. -P. 54−59.
- Kurooka S., Ikeda T., Kohama K. e. a. Formation and characterization of BN films with Ti added // Surf. Coat. Techn. 2003. — V. 166. — P. 111−116.
- Stoiber M., Mitterer C., Schoeberi T. e. a. Nanocomposite coatings within the system Ti-B-N deposited by plasma assisted chemical vapor deposition // J. Vac. Sci. Technol. B. -2003.-V. 21.-№ 3,-P. 1084−1091.
- Losbichler P., Mitterer C., Gibson P. e. a. Co-sputtered films within the quasi-binary system TiN-TiB2 // Surf. Coat. Techn. 1997. — V. 94−95. — P. 297−302.
- Karvankova P., Veprek-Heijman M.G.J., Zindulka O. e. a. Superhard nc-TiN/a-BN and nc-TiN/a-TiBx/a-BN coatings prepared by plasma CVD and PVD: a comparative study of their properties // Surf. Coat. Techn. 2003. — V. 163−164. — P. 149−156.
- Штанский Д.В., Левашов E.A., Хавский H.H., Мур Дж.Дж. Перспективы создания композитных износостойких плёнок, получаемых с использованием СВС-катодов. // Изв. вузов. Цветная металлургия. 1996. — № 1. — с. 59−68.
- Andrievski R.A. Review. Films of interstitial phases: synthesis and properties // Journal of materials science. 1997. — V. 32 — P. 4463−4484.
- Heau C., Terrat J.P. Ultrahard Ti-B-N coatings obtained by reactive magnetron sputtering ofaTi-B target//Surf. Coat. Techn. 1998. -V. 108−109. — P. 332−339.
- Андриевский P.А., Калинников Г. В., Облезов E.A. и др. Эволюция наноструктурных ансамблей в боридонитридных пленках // Докл. АН. 2002. — Т. 384. — № 1. — С. 3638
- Rebholz С., Ziegele Н., Leyland А. е. a. Structure, mechanical and tribological properties of Ti-B-N and Ti-Al-B-N multiphase thin films produced by electron-beam evaporation // J. Vac. Sci. Technol. A. 1998. — V. 16. — № 5. p. 2851−2857.
- Tamura M., Kubo H. Ti-B-N coatings deposited by magnetron arc evaporation // Surf, Coat. Techn. 1992. -V. 54−55. — P. 255−260,
- Pierson J.F., Chapusot V., Billard A. e. a. Characterisation of reactively sputtered Ti-B-N and Ti-B-0 coatings // Surf. Coat. Techn. 2002. — V. 151−152. — P. 526−530.
- Pierson J. F7, Tomasella E., Bauer P. Reactively sputtered Ti-B-N nanocomposite films: correlation between structure and optical properties // Thin Solid Films. 2002. — V. 408. -P. 26−32.
- Shtansky D.V., Levashov E.A., Sheveiko A.N. e. a. Comparative Investigation of Different Multicomponent Films Deposited Using SHS-Composite Targets // International Journal of SHS. 1998. — V. 7. — № 2. — P. 249−262.
- Новые материалы / B.H. Анциферов, Ф. Ф. Бездудный, JI.H. Белянчиков и др. М: «МИСИС», 2002.
- Hsieh J.H., Zhang W.H., Li С. е. a. Characterization of (Tix Cr0.6-x)No.4 coatings and their tribological behaviors against an epoxy molding compound // Surf. Coat. Techn. 2001. -V. 146−147.-P. 331−337.
- Lee K.H., Park C.H., Yoon Y.S. e. a. Structure and properties of (Tii.xCrx)N coatings produced by the ion-plating method // Thin Solid Films. 2001. — V. 385. — P. 167−173.
- Nainaparampil J.J., Zabinski J.S., Korenyi-Both A. Formation and characterization of multiphase film properties of (Ti-Cr)N formed by cathodic arc deposition // Thin Solid Films. 1998. — V. 333. — P. 88−94.
- Su Y.L., Yao S.H., Wu C.T. e. a. Comparison of tribological behavior of three films—TiN, TiCN and CrN—grown by physical vapor deposition // Wear. 1997. — V. 213. — P. 165 174.
- Zeng X.T., Zhang S., Sun C.Q. e. a. Nanometric-layered CrN/TiN thin films: mechanical strength and thermal stability // Thin Solid Films. 2003. — V. 424. -P. 99−102.
- Tii.xCrx)N // J. Mater. Sci. Lett. 2002. — V. 21. — P. 423−425.
- Ibrahim M.A.M., Korablov S.F., Yoshimura M. Corrosion of stainless steel coated with TiN, (TiAl)N and CrN in aqueous environments // Corrosion Science. 2002. — V. 44. — P. 815−828.
- Wang H.W., Stack M.M. The slurry erosive wear of physically vapour deposited TiN and CrN coatings under controlled corrosion // Tribology Letters. 1999. -V. 6. — № 1. — P. 23−36
- Dahm K.L., Jordan L.R., Haasee J. e. a. Magnetron sputter deposition of chromium diboride coatings// Surf. Coat. Techn. 1998. — V. 108−109. -P. 413−418.
- Zhou M., Makino Y., Nogi K. e. a. New Cr-B hard coatings by r.f.-plasma assistedmagnetron sputtering method // Thin Solid Films. 1999. — V. 343−344. — P. 234−237.
- Штанский Д.В., Левашов Е. А., Шевейко А. Н. и др. Состав, структура и свойства Ti-Si-C-N-покрытий, осаждённых при распылении СВС-мишеней // Изв. Вузов. Цветная металлургия. 1999. — № 3. — С. 49−57.
- Shtansky D.V., Levashov Е.А., Sheveiko A.N. e, a. Synthesis and Characterization of Ti4*
- Si-C-N Films // Metallurgical and materials transactions A. 1999. — V. 30A. — № 9. — P. 2439−2447
- Штанский Д.В., Левашов E.A., Шевейко A.H. и др. Оптимизация параметров вакуумного реакционного осаждения сверхтвёрдых Ti-Si-B-N-покрытий // Изв. Вузов. Цветная металлургия. 1999. -№ 1 — С. 67−72.
- Zhong D., Sutter Е., Moore J.J. e. a. Mechanical properties of Ti-B-C-N coatings deposited by magnetron sputtering // Thin Solid Films. 2001. — V. 398−399. — P. 320−325.
- Zhong D., Moore J.J., Mishra B.M. e. a. Composition and oxidation resistance of Ti-B-C and Ti-B-C-N coatings deposited by magnetron sputtering // Surf. Coat. Techn. 2003. -V. 163−164. -P. 50−56.
- Lahres M., Doerfel O.Z. Applicability of different hard coatings in dry machining metallic alloys//Z. Metallkd. 1999. -V. 90. — P. 814−819.
- Головин Ю.И., Иволгин В. И., Коренков B.B. и др. Определение комплекса механических свойств материалов в нанообъёмах методами наноиндентирования // Конденсированные среды и межфазные границы. 2001. — Т. 3. — № 2. — С.122−135.
- Blank V., Popov M., Pivovarov G. e. a. Mechanical properties of different types ofdiamond // Diamond and Related Materials. 1999. — V. 8. — P. 1531−1535.
- Крагельский И.В. Фрикционное взаимодействие твёрдых тел // Трение и износ. -1980.-Т. 1. -№ 1. С. 7−29.
- Tonn W. Beitrag zur Kenntis des Verschleibvorganges beim Kurzversuch // Ztsch. F. Metellkunde. 1937. — Bd. 29. — № 6. — S.196−198.
- Holm R. Electrical Contacts. Stockholm. H. Gerbers, 1946.
- Крагельский И.В., Добычин M.H., Комбалов B.C. Основы расчёта на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977.
- Leyland A., Matthews A. On the significance of the H/E ratio in wear control: a nanocomposite coating approach to optimised tribological behaviour // Wear. 2000. — V. 246,-P. 1−11.
- Горячева И.Г., Солдатенков И. А. Теоретическое исследование приработки и установившегося режима изнашивания твёрдых смазочных покрытий // Трение и износ. 1983. — Т. 4. — № 3. — С. 420−431.
- Johnson K.L. Contact Mechanics. Cambridge: Cambridge University Press, 1985.
- Musil J., Zeman H., Kunk F. e. a. Measurement of hardness of superhard films by microindentation // Materials Science and Engineering A. 2003. — V. 340. — P. 281−285.
- Masil J. Hard and superhard nanocomposite coatings // Surf. Coat. Techn. 2000. — V. 125. — P.322−330,
- Андриевский P. А., Калинников Г. В., Штанский Д. В. Высокоразрешающая просвечивающая и сканирующая электронная микроскопия наноструктурных боридонитридных пленок// Физика твёрдого тела. 2000. — т. 42. — С. 741−746.
- Veprec S., Reiprich S. A concept for the design of novel superhard coatings // Thin Solid Films. 1995. -V. 268. — P. 64−71.
- Andrievski R. A The state-of-the-art of nanostructured high melting point compound-based materials // Nanostructured Materials: Science&Technology. Kluwer Academic Publishers, Dordrecht, 1998. — P. 263−282
- Andrievski R.A., Kalinnikov G.V., Jauberteau J. e. a. Some peculiarities of fracture of nanocrystalline nitride and boride films // Journal of Materials Science. 2000. — V. 35. -P. 2799−2806.
- Мовчан В.А., Демчишин A.B. Исследование структуры и свойств толстых вакуумных конденсатов никеля, титана, вольфрама, окиси алюминия и двуокиси циркония // Физика металлов и металловедение. 1969. — Т. 28. — № 4. — С. 653−660.
- Thornton J. A. Influence of apparatus geometry and deposition conditions on the structure and topography of thick sputtered coatings // J. Vac. Sci. Technol. 1974. — V. 11. — № 4 -P. 666−670.
- Gilmer G.H., Huang H., Roland C. Thin film deposition: fundamentals and modeling // Computational Materials Science. 1998. — № 12. — P. 354−380.
- Mayrhofer P.H., Kunc F., Musil J. e. a. A comparative study on reactive and non-reactive unbalanced magnetron sputter deposition of TiN coatings // Thin Solid Films. 2002. — V. 415.-P. 151−159.
- Vaz F., Machado P., Rebouta L. e. a. Physical and morphological characterization of reactively magnetron sputtered TiN films // Thin Solid Films. 2002. — V. 420−421. — P. 421−428.
- Андриевский P.А. Синтез и свойства плёнок фаз внедрения // Успехи химии. -1997, — Т. 66. -№ 1.-С. 57−77.
- Manaila R., Biro D., Barna P.B. e. a. Ti nitride phases in thin films deposited by DC magnetron sputtering // Applied Surface Science. 1995. — V. 91. — P. 295−302.
- Choy K.L. Chemical vapour deposition of coatings // Progress in Materials Science. -2003.-V. 48.-P. 57−170.
- Schintlmeister W., Packer O., Raine T. Wear characteristics of hard material coatings produced by chemical vapour deposition with particular reference to machining // Wear. -1978.-V. 48.-P. 251−266.
- Schintlmeister W., Wallgram W., Kanz J. e. a. Cutting tool materials coated by chemical vapour deposition // Wear. 1984. — V. 100. — P. 153−169.
- Csorbai H., Kovats A., Katai S. e. a. In situ diagnosis of chemical species for the growth of carbon nanotubes in microwave plasma-enhanced chemical vapor deposition // Diamond and Related Materials. 2002. — V. 11. — P. 519−522.
- Wang W.L., Liao K.J., Wang S.X. e. a. Microstructure and semiconducting properties of cBN films using r.f. plasma CVD thermally assisted by a tungsten filament // Thin Solid Films. 2000. — V. 368. — P. 283−286.
- Kuhr M., Reinke SKulisch W. Nucleation of cubic boron nitride (c-BN) with ion-induced plasma-enhanced CVD //Diamond and Related Materials. 1995. — V. 4. — P. 375−380.
- Lee E.-A., Kim K.H. Deposition and mechanical properties of Ti-Si-N coated layer on WC-Co by RF inductively coupled plasma-enhanced chemical vapor deposition// Thin solid films. 2002. — V. 420. — P. 371−376.
- Veprek S., Jilek M. Super- and ultrahard nanacomposite coatings: generic concept for their preparation, properties and industrial applications // Vacuum. 2002. — V. 67. — P. 443 449.
- Rebholz C., Leyland A., Matthews A. Deposition and characterisation of TiAlBN coatings produced by direct electron-beam evaporation of Ti and Ti-Al-B-N material from a twin crucible source // Thin Solid Films. 1999. — V. 343−344. — P. 242−245.
- Bunshah R.F., Nimmagadda R, Dunford W. e. a. Structure and properties of refractory compounds deposited by electron beam evaporation // Thin Solid Films. 1978. — V. 54. -P. 85−106.
- Suda Y., Nakazono T., Ebihara K. e. a. Effects of r.f. bias on cubic BN film synthesis by pulsed Nd: YAG laser deposition // Thin Solid Films. 1996. -V. 281−282. — P. 324−326.
- Riviere J.R. Formation of hard coatings for tribological and corrosion protection by dynamic ion mixing // Surf. Coat. Techn. 1998. — V. 108−109. — P. 276−283.
- Matsumuro A., Muramatsu M., Takahashi Y. e. a. Synthesis of Ti-N thin films prepared by dynamic ion mixing technique and their mechanical properties // Thin Solid Films. 1999. — V. 349.-P. 199−204.
- Liu C., Bi Q., Ziegele H. e. a. Structure and corrosion properties of PVD Cr-N coatings // J. Vac. Sci. Technol. A. 2002. — V. 20. — № 3. — P. 772−780.
- Wang D.-Y., Chiu М.-С. Characterization of TiN coatings post-treated by metal-plasma ion implantation process // Surf. Coat. Techn. 2002. — V. 156. — P. 201−207.
- Кудинов B.B., Бобров Г. В. Нанесение покрытий напылением. Теория технология и оборудование. М.- Металлургия, 1987.
- Sikola Т., Spousta J., Ceska R. e. a. Deposition of metal nitrides by IB AD // Surf. Coat. Techn. 1998.-V. 108−109.-P. 284−291.
- Aouadi S.M., Chladek J.A., Namavar F. e. a. Characterization of Ti-based nanocrystalline ternary nitride films // J. Vac. Sci. Technol. В. V. 20. — № 5. — P. 1967−1973.
- Richthofen A.V., Cremer R., Domnick R. e. a. Preparation of polycrystalline Ti-Al-0 films by magnetron sputtering ion plating: constitution, structure and morphology // Journal of Analytical Chemistry. 1997. — V. 358. — P. 308−311.
- Kadlec S., Musil J., Munz W.-D. e. a. Reactive deposition of TiN films using an unbalanced magnetron // Surf. Coat. Techn. 1989. — V. 39−40. — P. 487−497.
- Данилин Б.С., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1992.
- Jiang N., Shen Y. G., Mai Y.-W. e. a. Nanocomposite Ti-Si-N films deposited by reactive unbalanced magnetron sputtering at room temperature // Materials Science and Engineering B. -2004. -V. 106. P. 163−171.
- Kim K.H., Choi S., Yoon S. Superhard Ti-Si-N coatings by hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques // Surf. Coat. Techn. 2002. — V. 298. — P. 243−248.
- Martin P.J., Bendavid A. Properties of Tii-xSixNy films deposited by concurrent cathodic arc evaporation and magnetron sputtering // Surf. Coat. Techn. 2003. — V. 163−164. — P. 245−250.
- Hovsepian P.Eh., Munz W.-D. Recent progress in large-scale production of nanoscale multilayer/superlattice hard coatings // Vacuum. 2003. — V. 69. — P. 27−36.
- Matossian J., Wei R., Vajo J. e. a. Plasma-enhanced, magnetron-sputtered deposition (PMD) of materials // Surf. Coat. Techn. 1998. — V. 108−109. — P. 496−504.
- Vaz F., Carvalho S., Rebouta L. e. a. Young’s modulus of (Ti, Si) N films by surface acoustic waves and indentation techniques // Thin Solid Films. 2002. — V. 408. — P. 160 168.
- Nose M., Deguchi Y., Mae T. Influence of sputtering conditions on the structure and properties of Ti-Si-N thin films prepared by r.f.-reactive sputtering // Surf. Coat. Techn. -2003.-V. 174−175.-P. 261−265.
- Mollart T.P., Haupt J., Gilmore R. e. a. Tribological behaviour of homogeneous Ti-B-N, Ti-B-N-C and TiN/h-BN/TiB2 multilayer coatings // Surf. Coat. Techn. 1996. -V. SOST.-P. 231−236.
- Sun X., Kolawa E., Im S. e. a. Effect of Si in reactively sputtered Ti-Si-N films on structure and diffusion barrier performance // Appl. Phys. A. 1997. — № 65. — P. 43−45.
- Luo Q., Rainforth W.M. and Munz W.-D. ТЕМ studies of the wear of TiAlN/CrN superlattice coatings // Scripta Materialia. 2001. — V. 45. — P. 399−404.
- Baker M.A., Steiner A., Haupt J. e. a. Auger electron spectroscopy/X-ray photoelectron spectroscopy study of Ti-B-N thin films // J. Vac. Sei. Technol. A. 1995. — V. 13. -№ 3.-P. 1633−1638.
- PalDey S., Deevi S.C. Single layer and multilayer wear resistant coatings of (Ti, Al) N: a review // Materials Science and Engineering A. 2003. — V. 342. — P. 58−79.
- Ширяев С. А. Атаманов M.B., Гусева М. И. и др. Получение и свойства композиционных покрытий на основе металл-углерод с нанокристаллической структурой // Журнал технической физики. 2002. — Т. 72. — № 2. — С. 99−104.
- Левашов Е.А., Ларихин Д. В., Штанский Д. В. и др. Влияние технологических параметров СВС-компактирования на состав, структуру и свойства функционально-градиентных мишеней на основе TiB2 и TiN // Цветные металлы. — 2002. № 5. — С. 49−55
- Левашов Е.А., Курбаткина В. В., Колесниченко К. В. Закономерности влияния предварительного механического активирования на реакционную способность СВС-смесей на основе титана // Изв. вузов. Цветная Металлургия. 2000. — № 6. — С. 6167.
- Moore J.J., Torres R., Reimanis I. a. e. Self-Propagting High-Temperature Synthesis of Dense Ceramic Composites // Int. Journal of SHS. 1997. — V.6. — № 3. — P. 277−294.
- Физико-химические и технологические основы самораспространяющегося высокотемпературного синтеза / Е. А. Левашов, А. С. Рогачёв, И. П. Юхвид и др. М.: Изд-во «БИНОМ», 1999.
- Андриевский Р.А., Калинников Г. В., Кобеле в Н.П. и др. Структура и физико-механические свойства наноструктурных боридонитридных пленок // ФТТ. Т. 39. -№ 10.-С. 1859−1864.
- Химия синтеза сжиганием / Под ред. М. Коидзуми. Пер. с япон. М., 1998. — 247 с.
- Левашов Е.А. Разработка технологических процессов получения новых керамических и керамико-металлических материалов методом СВС: Диссертация на соискание учёной степени доктора технических наук. М.: МИСиС, 1995.
- Nanostructured Thin Films and Nanodispersion Strengthened Coatings / A.A. Voevodin, D. V. Shtansky, E. A. Levashov e. a. Kluwer Acad. Publ., 2004.
- Егорычев K.H., Курбаткина B.B., Нестерова Е. Ю. и др. Исследование взаимодействия в системе титан-кремний при использовании механоактивации исходных компонентов // Изв. вузов. Цветная металлургия. — 1996. № 2. — С. 49−52.
- Anselmi-Tamburini U., Maglia F., Spinolo G. e. a. Self-Propagating Reactions in the Ti-Si System: A SHS-MASHS Comparative Study // Journal of Materials Synthesis and Processing. 2000. — V. 8. — № 5−6. — P. 377−383.
- Григорович B.K. Твёрдость и микротвёрдость металлов. М.: Наука, 1976.
- Pharr G.M. Measurement of mechanical properties by ultra-low load indentation // Mater. Science and Engineering A. 1998. -V. 253. — P. 151−159.
- Pharr G.M., Oliver W.C., Brotzen F.R. On the generality of the relationship among contact stiffness, contact area, and elastic modulus during indentation // J. Mater. Res. 1992. — V. 3.-P. 613−616.
- Li X., Bhushan B. A review of nanoindentation continuous stiffness measurement technique and its applications // Materials Characterization. 2002. — V. 48. — P. 11−36.
- Ahn J.-H., Kwon D. Micromechanical estimation of composite hardness using nanoindentation technique for thin-film coated system // Materials Science and Engineering A. 2000. — V. 285. — P. 172−179.
- Kim S.H., Kim J.K., Kim K.H. Influence of deposition conditions on the microstructure and mechanical properties of Ti-Si-N films by DC reactive magnetron sputtering // Thin solid films. 2002. — V. 420−421. — P. 360−365.
- Нефедов В.И. Рентгено-электронная спектроскопия химических соединений: Справочник. -М.: Химия, 1984.
- Meng W.J., Zhang X.D., Shi В. e. a. Structure and mechanical properties of Ti-Si-N ceramic nanocomposite coatings // Surf. Coat. Techn. 2003. — V. 163−164. — P. 251−259.
- Osterle W., Griepentrog M., Klaffke D. Microstructural characterization of wear particles formed during tribological stressing of TiC and Ti (C, N) coatings // Tribology Letters. -2002. V. 12. — № 4. — P. 229−234.
- Musil J., Vlcek J. Magnetron sputtering of hard nanocomposite coatings and their properties // Surf. Coat. Techn. 2001. — V, 142−144. — P. 557−566.
- Park O.-N, Park J.H., Yoon S.-Y. e. a. Tribological behavior of Ti-Si-N coating layers prepared by hybrid system of arc ion plating and sputtering techniques // Surf. Coat. Techn. 2004. — V. 179. — P. 83−88.
- Houmid-Bennani H., Mairey D., Takadoum J. The wear characteristics of silicon nitride // Journal of the European Ceramic Society. 1998. — № 18. — P. 553−556.
- Wilson S., Alpas A.T. Tribo-layer formation during sliding wear of TiN coatings // Wear. -2000. V. 245. — P. 223−229.
- Wiedemann R-, Weihnacht V., Oettel H. Structure and mechanical properties of amorphous Ti-B-N coatings // Surf. Coat. Technol. 1999. — V. 116−119. — P. 302−309.
- Gupper A., Fernandez A., Fernandez-Ramos C. e. a. Characterization of Nanocomposite Coatings in the System Ti-B-N by Analytical Electron Microscopy and X-Ray Photoelectron Spectroscopy // Monatshefte fur Chemie. 2002. — V. 133. — P. 837−848.
- Aouadi S.M., Namavar F., Gorishnyy T.Z. e. a. Characterization of TiBN films grown by ion beam assisted deposition // Surf. Coat. Techn. 2002. -V. 160. — P. 145−151.
- Гусев А.И. Фазовые равновесия в тройных системах М-Х-Х1 и М-А1-Х (М-переходный металл, X, X1 В, С, N, Si) и кристаллохимия тройных соединений // Успехи химии. — 1996. — Т. 65. — № 5. — С. 407−451
- Sakamaoto Y., Nose M., Mae T. e. a. Structure and properties of Cr-B, Cr-B-N and multilayer Cr-B/Cr-B-N thin films prepared by r.f.-sputtering // Surf. Coat. Techn. -2003.-V. 174.-P. 444−449.
- Aouadi S.M., Namavar F., Tobin E. e. a. Characterization of CrBN films deposited by ion beam assisted deposition // J. Appl. Phys. 2002. — V. 91. -№ 3. — P. 1040−1045.
- Cunha L., Andritschky M., Pischow K. e. a. Microstructure of CrN coatings produced by PVD techniques // Thin Solid Films. 1999. — V. 355−356. — P. 465−471.
- Андриевский P.A., Калинников Г. В., Hellgren N. и др. Наноиндентирование и деформационные характеристики наноструктурных боридонитридных пленок // Физика твёрдого тела. 2000. — Т. 42 — № 9. — С. 1624−1627.
- Schneider D., Schwarz Th., Buchkremer H.-P. e. a. Non-destructive characterization of plasma-sprayed Zr02 coatings by ultrasonic surface waves// Thin Solid Films. 1993. -V. 224.-P. 177−183.
- Saha R., Nix W.D. Effects of the substrate on the determination of thin film mechanical properties by nanoindentation // Acta Mater. 2002. — V. 50. -P. 23−38.
- Veprek S., Mukherjee S., Karvankova P. e. a. Possible Artefacts in Measurement of Hardness and Elastic Modulus on Superhard Coatings and the Verification of the Correctness of the Data // MRS Symp. Proc. 2002. — V. 750. — Y1.3.
- Shtansky D.V., Levashov E.A., Glushankova N.A. e. a. Structure and properties of CaO-and Zr02-doped TiCxNy coatings for biomedical applications // Surf. Coat. Techn. -2004.-V. 182.-P. 101−111.
- Андриевский P.А., Спивак И. И. Прочность тугоплавких соединений и материалов на их основе, Справочник. Челябинск.: Металлургия, 1989.
- Gissler W. Structure and properties of Ti-B-N coatings // Surf. Coat. Tech. 1994. — V. 68−69.-P. 556−563.
- Holleck H., Schier V. Multilayer PVD coatings for wear protection // Surf. Coat. Techn. -1995. V. 76−77. — P. 328−336.
- Kullmer R., Lugmair C., Figueras A. e. a. Microstructure, mechanical and tribological properties of PACVD Ti (B, N) and TiB2 coatings // Surf. Coat. Techn. 2003. -V. 174−175.-P. 1229−1233.
- He J.L., Miyake S., Setsuhara Y. e. a. Improved anti-wear performance of nanostructured titanium boron nitride coatings // Wear. 2001. — V. 249. — P. 498−502.
- Tsui T.Y., Pharr G.M., Oliver W.C. e. a. Nanoindentation and nanoscratching of hard carbon coatings for magnetic disks // Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 1995. — V. 383. — P.