Неравновесные фазовые переходы, индуцированные ионной бомбардировкой, на примерер силикатных систем
Диссертация
Современная микроэлектроника предъявляет высокие требования к характеристикам элементов интегральных схем, и повышенное внимание уделяется методам их улучшения. Особую важность имеют технологии, позволяющие повысить надежность работы микросхем и улучшить их частотные характеристики. Одним из вариантов технологии, направленным на решение этой задачи, является технология «кремний на изоляторе… Читать ещё >
Список литературы
- Вяткин А.Ф., Старков В. В. Разработка физических основ элементов технологии КНИ-структур, формируемых ионной имплантацией кислорода в кремний // Проблемы микроэлектроники. Труды ФТИАН. 1994. № 7. С.3−23.
- Kwang S. S., Futami Т., Ohki У. Concentration of neutral oxygen vacancies in buried oxide formed by implantation of oxygen // J. Appl. Phys. 1998. V.83. № 4. P.2357−2361.
- Mrstik B.J., McMarr P.J., Hughes H.L., Anc M.J., Krull W.A. Improvement in electrical properties of buried SiCb layers by high-temperature oxidation // J.Appl.Phys.Lett. 1995. V.67. № 22. P.3283−3288.
- Jastrzebski L., Ipri A.C. The effect of 1300−1380°C anneal temperatures and material contamination on the characteristics of CMOS/SIMOX devices//IEE Electron Device Letter. 1988. V.9, № 3. P. 151−153.
- Кривелевич С.А., Маковийчук М. И., Паршин E.O. Ионный синтез структур кремний-на-изоляторе. Современное состояние, новые подходы и перспективы // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. № 5. С. 363−369.
- Lizong Z., Diantong L., Zhonglie W., Bei Z., Hemment P.L.F. SOI structures prodused by oxygen ion implantation and their annealing behavior // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1991. № 55. P. 754−757.
- Kajiyama K. Buried-oxide layer formation by high-dose oxygen-ion implantation into Si wafers: SIMOX (separation by implanted oxygen) // Applied Surface Science. 1995. № 85. P. 259−264.
- Данилин А.Б., Мордкович B.H. Физические проблемы создания КНИ-структур методом реактивной ионной имплантации: Препринт. Черноголовка. 1989. 35 с.
- Nesbit L., Stiffler S., Slisser G., Vinton H. Formation of silicon-on-insulator structures by implanted nitrogen // J. Electrochem. Soc., Solid State Science and Technology. 1985. V. 132. № 11. P.2713−2721.
- П.Маркевич В. П., Мурин Л. И., Lindstrem J.L., Suezawa М. Начальные стадии преципитации кислорода в кремнии: влияние водорода // ФТП. 2000. Т.34. № 9. С.1039−1045.
- Yupu Li, Marsh C.D., Nejim A., Chater R.J., Kilner J.A., Hemment P.L.F. SIMOX: processing, layer parameters design, and defects control // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1995. № 99. P. 479−483.
- Scanlon P. S., Hemment P.L.F., Reeson K.J. Oxygen rich SIMOX // Semicond. Sci. Technol. 1991. V.6. № 8. P. 730−735.
- M.Danilin A.B. The part player by the radiation defects and surface in ion beam synthesis of new phase buried layers with substoichiometric doses in silicon // J. Moscow Phys. Soc. 1993. № 3. P. 221−225.
- Stoemenos J. Structural defects in SIMOX // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1996. № 112. P. 206−213.
- Namavar F., Cortesi E., Kalkhoran N.M., Manke J.M., Bushman B. // Proc.1990 IEEE SOS/SOI Tech. Conf. Key West. FL. 1990. P.49.
- Allen L.P., Smick Т.Н., Ryding G. SIMOX Research, Development and Manufacturing // Electronic Materials. 1996. V.25. № 1. P.93−97.
- Hatzopoulos N., Siapkas D. I, Hemment P.L.F. Oxide growth, refractive index, and composition depth profiles of structures formed by 2 MeV oxygen implantation into silicon // J. Appl. Phys. 1995. № 77. P. 577−586.
- Kajiyama K., Yoneda Т., Fujiokf Y., Kido Y. Si-0 bond formation by oxygen implantation into silicon // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1993. № 121. P. 197−202.
- Gupta G.K., Yadav A.D., Gundu Rao Т.К., Dubey S.K. Structural studies of 20keV oxygen-implanted silicon // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1997. № 168. P. 315−318.
- Nakashima S., Izumi K. SIMOX wafers with low dislocation density produced by a 100 mA-class high-current oxygen implanter // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1991. № 55. P. 847−851.
- Margail J., Lamure J.M., Papon A.M. Defects in SIMOX structures: some process dependence // Mater.Sci.Eng. B.1992. № 12. P. 27−36.
- Рудаков В.И., Денисенко Ю. И., Мочалов Б. В. Низкотемпературный отжиг SIMOX-структур в неоднородном температурном поле // Микроэлектроника. 2000. Т.29. № 5. С. 367−373.
- Браун М., Долмер Д., Талвей А. Реакции твёрдых тел. М.: Мир, 1984. 359 с.
- Reiss S., Heinig К.Н. Ostwald ripening during ion beam synthesis a computer simulation for ingomogeneous systems // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B.1994. № 84. P. 229−233.
- Reiss S., Heinig K.H. Computer simulation of mechanisms of the SIMOX process //Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1995. № 102. P. 256−260.
- Stoemeons J., Reeson K.J., Robinson A.K., Hemment P.L.F. Dislocation formation related with high oxygen dose implantation in silicon // J. Appl. Phis. 1991. № 69. P. 793−802.
- Nakashima S., Izumi K. Analysis of buried oxide layer formation and mechanism of threading dislocation generation in the substoichiometric oxygen dose region//J. Mater. Res. 1996. V.8. № 3. P. 523−528.
- Кривелевич C.A., Маковийчук М. И., Рекшинский В. А., Рудаков В. И., Симакин С. Г. Формирование 8Ю2-слоя в кремнии, имплантированном кислородом // Высокочистые вещества. 1993. № 6. С. 133−138.
- Margail J., Stoemenos J., Jaussaud С., Bruel M. Study of silicon-on-insulator structures formed by low dose oxygen and nitrogen implantation //Mat. Sci. Eng. B. 1992. № 12. P. 67−71.
- Grean G.M., Lynch S., Greef R., Stoemenos J., Rossow U., Richter W. Study of buried oxide layer formation in the substoichiometric oxygen SIMOX processes // Mater. Res. Soc. 1992. № 235. P. 139−144.
- Aspar В., Guilhalmanc C., Pudda C., Garcia A., Papon A.M., Auberton-Herve A.J., Lamure J.M. Buried oxide layers formed by low dose SIMOX processes // Microelectronic Engineering. 1995. № 28. P. 411−414.
- Сугано Т., Икома Т., Такэиси Ё. Введение в микроэлектронику. М.: Мир, 1988. 320 с.
- Li Y., Kilner J.A., Robinson А.К., Hemment P.L.F., Marsh C.D. Analysis of thin-film silicon-on-insulator structures formed by low-energy oxygen ion implantation//J. Appl. Phis. 1991. № 70. P. 3605−3612.
- Вяткин А.Ф. Твердофазный эпитаксиальный рост кремния // Поверхность. 1991. № 4. С. 5−26.
- Hatzopoulos N., Chater R.J., Bussmann U., Hemment P.L.F., Kilner A. The effect of dose and temperature on the as-implanted microstructure of oxygen implanted silicon//Mat. Sci. Engi.1992. В12. P. 37−40.
- Van Ommen A.H. New trends in SIMOX // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1989. № 39. P. 194−202.
- Романюк Б.Н., Попов В. Г., Прокофьев А. Ю., Лисовский И. П., Мельник В. И., Богданов Е. И. Процессы формирования скрытых диэлектрических слоев в Si при имплантации ионов N+ и 0+ // УФЖ. 1992. Т.37. № 3. С. 78−84.
- Bachurin V.I., Churilov А.В., Potapov E.V., Smirnov V.K., Makarov V.V., Danilin A.B. Formation of thin silicon nitride layers on Si by low energy N+ ion bombardment // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1999. № 147. P. 316−319.
- Грибковский P.B., Комаров Ф. Ф., Котов E.B., Новиков А. В., Самойлюк Т. Т. Кинетика накопления азота в кремнии при создании скрытых изолирующих слоев высокоинтенсивным ионным облучением // Микроэлектроника. 1989. Т. 18. № 3. С. 247−251.
- Комаров Ф.Ф., Комаров А. Ф., Петров С. А. Формирование скрытых изолирующих слоев нитрида кремния в кремнии при высокоэнергетической интенсивной имплантации азота // Микроэлектроника. 2002. Т.31. № 5. С.361−366.
- Грибковский В.В., Грибковский Р. В., Комаров Ф. Ф., Литвинович Г.В, Новиков А. П. Получение скрытых слоев Si3N4 при высокоинтенсивной ионной имплантации и быстром термическом отжиге // ЖПС. 1990. Т.53. № 4. С.628−632.
- Комаров Ф.Ф., Новиков А. П., Петров С. А. Структура слоев Si3N4 синтезированных в кремнии имплантацией ионов азота в самоотжиговом режиме // Поверхность. Физ. Хим. Мех. 1990. № 2. С.110−112.
- Reiss S., Weber R. Experimental study and modeling of structure formation in buried layers at ion beam synthesis // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1994. № 89. P. 337−341.
- Качурин Г. А., Тысченко И. Е., Тийс С. А., Плотников А. Е. Влияние конкурирующих центров преципитации на распределениеимплантируемого азота в Si при формировании захороненных слоёв // ФТП. 1995. Т.29. № 3. С. 495−499.
- Danilin А.В., Drakin К.А., Malinin А.А., Mordkovich V.N., Petrov A.F., Vyletalina O.I. Behavior of implanted nitrogen in Si with the buried layer of Si02 precipitates // Solid State Phenomena. 1991. V.19. № 20. P. 405 410.
- Демидов E.C., Марков K.A., Карзанов В. В. Различие в сопротивлении обогащённых азотом кремниевых слоёв как результат эффекта дальнодействия ионной имплантации // ФТП. 2000. № 34, С. 170−174.
- Демидов Е.С., Карзанов В. В., Лобанов Д. А., Марков К.А., Сдобняков
- B.В. Дальнодействующее влияние облучения ионами аргона на синтез стехиометрической фазы нитрида кремния в слоях SixNy сформированных ионной имплантацией // ФТП. 2001. Т. 35. № 1.1. C.21−24.
- Li Y., Kilner J.A. A semi-empirical model to predict the layer parameters of (SIMOX) structures // Materials Science and Engineering. 1992. В12. P. 77−81.
- Бенсон С. Основы химической кинетики. М.: Мир, 1964. 603 с.
- Буренков А. Ф, Комаров Ф. Ф, Федотов С. А. Отжиг скрытых нитридных слоёв в кремнии с применением фрактальной модели // Поверхность Физ. Хим. Мех. 1990. № 8. С. 5−7.
- Комаров А. Ф, Комаров Ф. Ф, Федотов С. А. Моделирование одновременного процесса формирования силицидов и скрытых изолирующих слоёв в режиме высокоинтенсивной ионной имплантации //ЖТФ. 1994. Т.64. № 9. С. 136−143.
- Barabanenkov M. Yu, Borun A. F, Danilin А. В, Mordkovich V.N. A model of ion synthesis of buried dielectric layers in silicon // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1991. № 58. P. 179−186.
- Barabanenkov M. Yu, Borun A. F, Danilin A.B. Heterogeneous processes of new phase growth in the system of various sinks: ion-beam synthesis of silicon oxynitride // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 1992. № 66. P. 352−356.
- Barabanenkov M.Yu. The spatial location of the intermediate new phase precipitate layer during SOI structure fabrication // Modeling Simul. Mater. Sci. Eng. 1993. № 1. P. 613−618.
- Barabanenkov M. Yu, Agafonov Yu. A, Mordkovich V. N, Pustovit A. N, Vyatkin A. F, Zinenko V.I. Polienergy ion beam synthesis of buried oxynitride layer in silicon // Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B. 2000. № 171. P. 301−308.
- Лифшиц E. M, Питаевский Л. П. Теоретическая физика. Физическая кинетика. М.: Наука, 1979. Т. X. 527 с.
- Ландау Л. Д, Лифшиц Е. М. Теоретическая физика. Статистическая физика. М.: Наука, 1976. Т. V. 4.1. 584 с.
- Лифшиц Е. М, Питаевский Л. П. Теоретическая физика. Теория конденсированного состояния. М.: Наука, 1978. Т. IX. 448 с.
- Кривелевич С. А, Денисенко Ю. И, Маковийчук М. И, Паршин Е. О, Цырулев А. А. Ионно синтезированные слои — новое направление КНИ — технологии // Труды XII Международного совещания
- Радиационная физика твёрдого тела" Севастополь. 1 — 6 июля. 2002. С.315- 319.
- Krivelevich S.A., Denisenko Yu.I., Tsyrulev A.A. Ionic synthesis of silica based glasses: prospect, simulation and applied aspects // Proceedings of SPIE. 2004. V.5401.P.119−128.
- Кривелевич С.А. О выборе параметров порядка при описании дальнодействующего влияния ионной имплантации // Вестник ННГУ. Физика твёрдого тела. 2003. вып. 1(6). С. 144−151
- Гилмор Р. Прикладная теория катастроф. М.: Мир, 1984. Кн.2. 285 с.
- Суворов С.А., Сёмин Е. Г., Гусаров В. В. Фазовые диаграммы и термодинамика оксидных твёрдых растворов. Л.: ЛГУ, 1986. 140 с.
- Урусов B.C. Теория изоморфной смесимости. М.: Наука, 1977. 252 с.
- Урусов B.C. Расчёты термодинамических свойств существенно ионных растворов замещения (изоморфных смесей) // Проблема изоморфных замещений атомов в кристаллах. М.: Металлургия, 1971.С. 62−164
- Саксена С. Термодинамика твёрдых растворов породообразующих минералов. М.: Металлургия, 1975. 208 с.
- Аллахвердов Г. Р. Расчёт термодинамических функций образования твёрдых растворов//Ж.Физ.Хим. 1980. Т.54. № 3. С. 617−621.
- Воронин Г. Ф. Расчёты термодинамических свойств сплавов с использованием диаграмм фазовых состояний. // Математические проблемы фазовых равновесий. Новосибирск.: НГУ, 1983. С. 5−40
- Бард И. Нелинейное оценивание параметров. М.: Наука, 1979. 350 с.
- Эйкхофф П. Основы идентификации систем управления. М.: Наука, 1975. 685 с.
- Воронин Г. Ф., Дегтярёв С. А. Расчёт термодинамических свойств сплавов по калориметрическим данным и диаграммам состояний // Ж.Физ.Хим. 1981. Т.55. № 3. С. 607−611
- Гейдерих В.А., Куценок Б. А. К аппроксимации зависимости химических потенциалов от состава твёрдого раствора // Математические вопросы химической термодитнамики. Новосибирск.: НГУ, 1984. С. 87−92
- Глазов М.В. О концентрационной зависимости химических потенциалов в двухкомпонентных системах // Ж.Физ.Хим. 1983. Т.57. № 2. С. 489−491
- Предводителев А.А., Тяпунина Н. А., Зиненкова Г. М., Бушуева Г. В. Физика кристаллов с дефектами. М.: Мир, 1986. 240 с.
- Воронин Г. Ф. Основы термодинамики. М.: Мир, 1987. 192 с.
- Пригожин И., Кондепуди Д. Современная термодинамика. От тепловых двигателей до диссипативных структур. М.: Мир, 2002. 461с.
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. СПб.: Лань, 2003. 832 с.
- Канторович Л.В., Крылов В. И. Приближённые методы высшего анализа. М.-Л. Физматгиз, 1962. 708 с.
- Вержбицкий В.М. Основы численных методов. М.: Высшая школа, 2002. 840 с.
- Крылов В.И., Бобков В. В., Монастырный П. И. Вычислительные методы. М.: Высшая школа, 1977. Т.2. 722 с.
- Березин И.С., Жидков Н. П. Методы вычислений. М.:Физматгиз, 1962. Т. 1.483 с.
- Стромберг А.Г., Семченко Д. П. Физическая химия. М.: Высшая школа, 1988. 141 с.
- Герасимов Я.И., Гейдерих В. А. Термодинамика растворов. М.: Изд-во МГУ, 1980. 184 с.
- Кривелевич С.А., Цырулев А. А. Моделирование ионного синтеза слоёв диоксида кремния в рамках теории Гинзбурга Ландау //
- Труды XIII международного совещания «Радиационная физика твёрдого тела» Севастополь. 30 июня — 5 июля. 2003. С. 393 — 397
- Шоу Д., Сволин Р., Брайс Дж. и др. Атомная диффузия в полупроводниках. М.: Мир, 1975. 684 с.
- Равдель А.А., Пономаревская A.M. Краткий справочник физико-химических величин. Л.: Химия, 1983. 232 с.
- Химическая энциклопедия. М.: Советская энциклопедия, 1990. Т.2. 671 с.
- Takakuwa Y., Ishida F., Kawawa Т. Time evolution of interface roughness during thermal oxidation on Si (001) // Applied Surface Science. 190. 2002. P. 20−25
- Ю2.Кривелевич С. А., Бачурин В. И., Цырулев А. А. Моделирование ионного синтеза скрытых диэлектрических слоёв // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2004. № 5. С. 40−45
- Бор. Получение, структура и свойства. (Материалы IV международного симпозиума по бору.). М.: Наука, 1974. 266 с.
- Baret G., Madar R., Bernard С. Silica-based Oxide Systems. Experimental and Calculated Phase Equilibria in Silicon, Boron, Phosphorus, Germanium, and Arsenic Oxide Mixtures // J. Electrochem. Soc. 1991. V.138. № 9. P. 2830−2835.
- Химическая энциклопедия. M.: Советская энциклопедия, 1988. Т.1. 623 с.
- Александров О.В. Моделирование концентрационной зависимости диффузии бора в кремнии // ФТП. 2004. Т. 38. Вып. 3. С. 270 -273.
- Федотов Я.Э. Кремниевые планарные транзисторы. М.: Советское радио, 1973. 336 с.
- Александров О.В., Афонин Н. Н. Влияние окислительных сред на диффузионно сегрегационное перераспределение бора в системетермический диоксид кремния кремний // ЖТФ. 2003. Т. 73. Вып.5. С.57−63.
- Krivelevich S., Buchin Е., Denisenko Yu., Selikov R. Diffusion and phase formation in ternary silicate systems framed by an ion bombardment // Abs. ICMNE, 2005, October 3 th 7 th, Moscow, Zvenigorod, P.03−12.
- Химическая энциклопедия. M.: Большая российская энциклопедия. 1998. Т.5. 783 с.
- Александров О. В. Модель высоко- и низко температурной диффузии фосфора в кремнии по дуальному парному механизму // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 11. С. 1289−1298.
- Александров О. В., Афонин Н. Н. Неравновесная сегрегация фосфора в системе диоксид кремния кремний // ФТП. 1998. Т. 32. № 1. С. 19 — 22.
- Павлушин Н.М. Химическая технология стекла и ситаллов. Учебник для ВТУзов. М.: Высшая школа, 1983. 421 с.