Исследование оптических свойств зонных пластинок Френеля из кремния для осевой геометрии
Диссертация
В заключении автор считает своим долгом выразить признательность и благодарность всем тем, кто оказывал ему помощь при выполнении данной работы. Прежде всего, автор глубоко благодарен своим научным руководителям: член-корреспонденту РАН, профессору Виталию Васильевичу Аристову и кандидату физико-математических наук Армену Владимировичу Куюмчяну, за предложенную тему, постоянную поддержку, ценные… Читать ещё >
Список литературы
- Е. Spiller, Soft X-ray optics and microscopy, in: Handbook on Synchrotron Radiation, North-Hollad, Amsterdam, 1983, vol. 1, p. 10 921 129.
- B. L. Henke, Low-Energy X-Ray Diagonstics, AIP Proc., 1981, p. 146 155.
- P. Джеймс, Оптические принципы дифракции рентгеновских лучей, М.- ИЛ, 1950,572 с.
- А. Мишетт, Оптика мягкого рентгеновского излучения: Пер. с англ. М.: Мир, 1989, 352 с.
- Е. Spiller, Soft X-ray Optics, SPIE Optical Engineering Press, Bellingham, Washington, USA, 1994, p. 101.
- B.B. Аристов, А. И. Ерко, Рентгеновская оптика, М.:Наука, 1 991 150 с.
- В. X. Yang, Fresnel and refractive lenses for X-rays, Nucl. Instrum. Methods A, 1993, vol. 328, p.578−587.
- J. H. Underwood and D. T. Attwood, The renaissance of X-ray Optics, Phys. Today, 1984, vol. 37, iss.4, p.44−52.
- Snigirev A.A., Kohn V., Snigireva I., Lengeler В., A compound refractive lens for focusing high energy X-rays, Nature, 1996, vol. 384, p. 49−51.
- J.L. Soret, Concerning diffraction by circular gratings, Arm. Phys. Chem., 1875, vol. 156, p. 99−106.
- M. Sussman, Elementary diraction theory of zone plates, Amer. J. Phys, 1960, vol. 28, p. 394−398.
- M. Born, E. Wolf, Principles of Optics, 5th ed, Pergamon press, Elmsford, N.Y., 1975, p. 378−386.
- О. E. Myers, Studies of Transmission Zone Plates, Amer. J. Phys., 1951, vol.19, p. 339−365.
- G.S. Waldman, Variation on the Fresnel zone plate, J. Opt. Soc. Am., 1966, vol. 56, p. 215−218.
- M. J. Simpson, Design considerations of zone plate optics for a scanning transmission x-ray microscope, Ph.D. thesis, London University, 1974.
- M. J. Simpson, A.G. Michette, Imaging properties of modified Fresnel zone plates, Opt. Acta, 1984, vol. 31, p. 403−413.
- H. Rarback, J. Kirz, Optical performance of apodized zone plates, High resolution Soft X-ray Optics, Proc. of SPIE, 1981, vol. 316, p. 120−125.
- Рентгеновская оптика и микроскопия, под ред. Г. Шмаля и Д. Рудольфа, Москва: Мир, 1987, 354 с.
- A. Ozawa, Т. Tamamura, Т. Ishii, Н. Yoshihara and Т. Kagoshima, Application of x-ray mask fabrication technologies to high resolution, large diameter Та Fresnel zone plates, Microelectronic Engineering, 1997, vol. 35, p. 525−529.
- C. David, V. Schlott, A. Jafggi, A zone plate based beam monitor for the swiss light source, DIPAC 2001 Proceedings -ESRF, Grenoble, p. 35−37.
- Lord ReRayleigh, Wave theory, in Encyclopaedia Brittanica, 9th ed., 1888, vol. 24, p. 429−451.
- R.W. Wood, Phase-reversed zone plates and diffraction telescopes, Philos. Mag. Ser. 5, 1898, vol. 45, p. 511−522.
- C. David, E. Ziegler, B. Nohammer, Wet-etched diffractive lenses for hard X-rays, J. Synchrotron Rad., 2001, vol. 8, p. 1054−1055.
- Aristov V.V., Basov Yu.A., Goureev Т.Е., Snigerev A.A., Ishikawa Т., Izumi K., Kikuta S., Focusing properties of a linear Bragg-Fresnel lens, Jnp.J. Appl. Phys, 1992, vol. 31, p. 2616−2620.
- Miyamato К., The phase Fresnel lens, J. Opt. Soc. Am., 1961, vol.51, N 1, p. 17−21.
- E.V.Shulakov, V.V.Aristov, Compound Bragg-Fresnel Zone Plates with variable Slitness, Surface Investigation, 1997, vol. 12, p. 311−316.
- M. Baciocchi, R. Maggiora, M. Gentili, High resolution Fresnel zone plates for soft X-rays, Microelectronic engineering, 1994, vol. 23, p. 101−104.
- S. Rehbein, R.B. Doak, R.E. Crisenti, G. Schmahl, J.P. Toennies, Ch. Woll, Nanostructuring of Free-Standing Zone Plates, X-ray-Microscopy: Proceedings of the Sixth International Conference, 2000, p. 688−693.
- Y. Suzuki, A. Takeuchi, H. Takano, T. Ohigashi, H. Takenaka, Diffraction-limited microbeam with Fresnel zone plate optics in hard X-ray regions, Jpn. J. Appl. Phys., 2001, vol. 40, part 1, № ЗА, p. 15 081 510.
- C. David, B. Nohammer, B. Haas, J. Veen, J. Hoszowska, E. Ziegler, M. Drakopoulos, F. Zontone, J. Bongaerts, M. Zwanenburg, Tunable wet etched diffractive optics for hard X-rays, PSI annual report 2000.
- Y. Kagoshima, T. Ibuki, Y. Yokoyama, Y. Tsusaka, J. Matsui, K. Takai, M. Aino, lOkeV X-ray phase-contrast Microscopy for observing transparent specimens, Jpn. J. Appl. Phys., 2001, vol. 40, p. 1190−1192.
- W. Chao, E. H. Anderson, G. Denbeaux, B. Harteneck, M. Le Gros, A. Lucero, D. Olynick, D. Attwood, High resolution soft X-ray microscopy, Proceedings of SPIE, 2000, vol. 4146, p. 171−175.
- С. Jacobsen, S. Williams, E. Anderson, M.T. Browne, C.J. Buckley, D. Kern, J. Kirz, M. Rivers, X. Zhang, Diffraction limited imaging in a scanning transmission X-ray microscope, Optics communications, 1991, vol. 86, p. 351−364.
- P. Тетчин, Теория оптимизации зонной пластинки. В книге: Рентгеновская оптика и микроскопия, Под ред. Г. Шмаля, Д. Рудольфа -М.: Мир, 1987, с. 56−70.
- E.Di Fabrizio, F. Romanato, M. Gentili, S. Cabrini, B. Kaulich, J. Susini, R. Barett, High-efficiency multilevel zone plates for keV X-rays, Nature, 1999, vol. 401, p. 895−898.
- C. David, P. Haberling, B. Ketterer, F. Glaus, B. Haas, A. Souvorov, B. Kaulich, J. Susini, P. Elleeaume, Fabrication of custom X-ray optical components, PSI annual report, 1999, p.35.
- В.В. Аристов, B.A. Юнкин, Л. Г. Шабельников, C.M. Кузнецов, М. В. Григорьев, Рентгеновская оптика преломления. Планарные киноформные профили, Поверхность, 2000, № 1, с.77−81.
- I.A. Schelokov, D.V. Roshchupkin, R. Tucoulou, D.V. Irzhak, M. Brunei, A.S. Kondakov, Second generation of grazing-incidence-phase Fresnel zone plates, Optics Communications, 1999, vol. 159, p. 278−284.
- J. Kirz, Phase zone plates for X-rays and extreme UV, J. Opt. Soc. Am., 1974, vol. 64, p.301−309.
- Jentzsch F., Optishe Yersuche mit Rontgenstrahlen, Phys. Zeitschr. Bd, 1929, vol. 30, p. 268−273.
- W. Yun, В. Lai, A. Krasnoperova, E. Di Fabrizio, Z. Cai, F. Cerrina, Z. Chen, M. Gentili, E. Gluskin, Development of zone plates with a blazed profile for hard x-ray applications, Review of Scientific Instuments, 1999, vol. 70, N9, p. 3537−3541.
- Shulakov E.V., Aristov V.Y., The kinematical theory of X-ray spherical wave diffraction, Acta Cryst., 1982, vol. A38, p. 454−463.
- Шулаков E.B., Аристов B.B., Теория дифракционной рентгеновской топографии совершенных и дефектных кристаллов, препринт ИФТТ, 1987, с. 32.
- Аристов В.В., Шехтман В. Ш., Свойства трехмерных голограмм, УФН, 1971, т.4, № 1, с. 51−57.
- Aristov V.V., Snigirev А.А., Basov Yu.A., Nikulin A. Yu., X-ray Bragg optics, AIP Conf. Proc., 1986, № 147, p. 253−259.
- Aristov V.V., Basov Yu.A., Goureev Т.Е., Snigerev A.A., Ishikawa Т., Izumi K., Kikuta S., Focusing properties of a linear Bragg-Fresnel lens, Jnp.J. Appl. Phys., 1992, vol. 31, p. 2616−2620.
- Kuznetsov S.M., Snigireva I.I., Snigirev A.A., Engstrom P., Riekel C., Submicrometer fluorescence microprobe based on Bragg-Fresnel optics, Appl. Phys. Lett., 1994, vol. 65, iss. 7, p. 827−829.
- Tarazanova E., Elleaume P., Chavanne J., Hartman Ya.M., Snigirev A.A., Snigireva I.I., 2D imaging of an undulator source by phase circular Bragg-Fresnel lens, Rew. Of Sci. Instr., 1994, vol. 65, iss.6, p.1959−1963.
- Hartman Ya, Kohn V., Kuznetsov S, Snigirev A. A, Snigireva I. I, Phase-contrast hard X-ray microtomography by Bragg-Fresnel optics, Nuovo Cimento D, 1997, vol. 19D, iss.2−4, p.571−576.
- Aristov V. V, Basov Yu. A, Redkin S. V, Snigirv A. A, Yunkin V. A, Bragg zone plate for X-ray focusing, Nucl. Instr.&Meth, 1987, A261, p. 72−74.
- Aristova E. V, David C, Freund A, Hartman Ya, Kaulich B, Snigirev A, Yunkin V, Phase circular Bragg-Fresnel lens based on germanium single crystal, Proceedings of 4-th Int. Conf. On X-ray Microscopy, Chernogolovka, 1993, p.617−620.
- Виноградов A. B, Зельдович Б. Я, Многослойные зеркала для рентгеновского и дальнего ультрафиолетового излучения, Оптика и спектроскопия, 1977, т.42,№ 4, с. 709−714.
- Spiller Е, Evaporated multiplayer dispersion elements for soft X-rays, AIP Conf. Proc, «Low energy X-ray diagnostics», 1981, № 75, p. 124−130.
- Barbee T. W, Sputtered layered synthetic microstructure (LSM) dispersion elements, AIP Conf. Proc, «Low energy X-ray diagnostics», 1981, № 75, p. 131−145.
- Gapanov S. V, Genkin V. M, Salashchenko N. M, Fraerman A. A, Scattering of neutrons and X radiation in the range 10−300 A by periodic structures with rough boundaries, Pis’ma Zh. Eksp. Fiz, 1985, № 2, p. 5355.
- DuMond J, Yowtz J. P, An X-ray method of determination rates of diffusion in the solid state, J. Appl. Phys, 1940, vol. 11, № 4, p.357−365.
- Chauvineau J. P, Corno Y, Naccache P, Nevot L, Pardo B, Valiergue L, Fabrication controlee de nulticouches pour monochromateurs-reflecteurs en X-UV, J. Optics (Paris), 1984, vol.15, № 4 bis, p. 265−269.
- Гапонов С. В, Гусев С. А., Платонов Ю. Я, Салащенко Н. Н, Искуственные многослойные отражающие элементы для мягкого рентгеновского излучения. I. Выбор пар материалов и расчет многослойных зеркал, ЖТФ, 1984, т. 2, с. 4−8.
- Dhez Р, Metallic multilayers: New possibilities in X-UV optics, Adv. Space Res, 1983, vol. 2, № 4, p. 16−19.
- Аристов B. B, Гапонов C. B, Генкин B. M, Ерко А. И, Салащенко Н. Н, Фокусирующие свойства профилированных многослойных зеркал, Письма в ЖЭТФ, 1986, т.44, с. 207−209.
- Erko A, Khzmalian Е, Panchenko L, Redkin S, Zinenko V, Chevalier P, Dhez P, Khan-Malek C, Freund A, Vidal B, First test of Bragg-Fresnel multilayer X-ray fluorescence microscope at LURE, Preprint, Chernogolovka, 1992, p.1−6.
- Dhez P, Erko A, Khzmalian E, Vidal B, Zinenko N, Kirkpatrik-Baez microscope based on Bragg-Fresnel multilayer lenses, preprint, Chernogolovka, 1992, p. 1−14.
- Erko A, Agafanov Yu, Panchenko L, Yakshin A, Chevalier P, Dhez P, Legrand F, Elliptical multilayer Bragg-Fresnel lenses with submicron spatial resolution for X-arys, Opt. Comm., 1994, vol. 106, p. 146−150.
- Chevallier P, Dhez P, Erko A, Firsov A, Legrand F, Populus P, X-ray microprobes, NIM B, 1995, vol. 113, p. 122−127.
- Firsov A, Svintsov A, Firsova A, Chevallier P, Populus P, Application of Bragg-Fresnel lenses for microfluorescent analysis and microdiffraction, NIM A, 1997, vol. 399, p. 152−159.
- Yunkin V. A, Fischer D, Voges E, Reactive ion etching of silicon submicron-sized trenches in SF6C2C13F3 plasma, Microelectronic Engineering, 1995, vol. 27, iss. 1−4, p. 463−466.
- Yu.A. Basov., D.V. Roshchupkin, A.E. Yakshin, Grazing incidence phase Fresnel zone plate for X-ray focusing, Opt. Commun., 1994, vol. 109, p. 324−327.
- Yu.A. Basov, D.V. Roshchupkin, I.A. Schelokov, A.E. Yakshin, Two-dimensional X-ray focusing by phase Fresnel zone plate at grazing incidence, Opt. Commun., 1995, vol. 114, p. 9−12.
- I.A. Schelokov, D.V. Roshchupkin, A.S. Kondakov, A.E. Yakshin, R. Tucoulou, M. Brunei, Two-dimensional X-ray focusing by grazing incidence phase Fresnel zone plates in Kirkpatrick-Baez scheme, Opt. Commun., 1998, vol. 155, p. 115−124.
- Kirkpatrick P., Baez A.V., Formation of optical images by X-rays, J. Opt. Soc. Amer., 1948, Vol. 38, p. 766−774.
- Ehrenberg W., X-ray optics, Nature, 1947, vol.160, p. 330−331.
- Michette A.G., No X-ray lens, Nature, 1991, vol. 353, p. 510.
- Suehiro S., Miyaji H., Hayashi H., Refractive lens for X-ray focus, Nature, 1991, vol. 352, p. 385−386.
- Snigirev A., Kohn V., Snigireva I., Souvorov A., Lengeler В., Focusing high energy X-rays by compound refractive lenses, Applied Optics, 1998, vol. 37, p. 653−662.
- Lengeler В., M. Richwin, C. Schroer, J. Tummler, M. Drakopoulos, Snigireva I., Snigirev A., A microscope for hard X-rays based on parabolic compound refractive lenses, Appl. Phys. Lett., 1999, vol.74, p. 3924−3926.
- B.B. Аристов, Л. Г. Шабелъников, E.B. Шулаков, C.M. Кузнецов, В. А. Юнкин, М. В. Григорьев, С. И. Зайцев, Рентгеновская оптика преломления, Поверхность, 1999, № 1, с.7−13.
- В.В. Аристов, М. В. Григорьев, С. М. Кузнецов, А. Снигирев, И. Снигирева, К. Рау, Л. Г. Шабельников, М. Хофманн, Э. Фогес, В.А.
- Юнкин, Фокусировка синхротронного излучения на планарных параболических линзах из кремния. Материалы рабочего совещания, Рентгеновская оптика-2000, 2000, с.11−14.
- V. Aristov, Y. Yunkin, М. Grigoriev, S. Kuznetsov, L. Shabelnikov, M. Hoffman, E. Voges, Silicon Planar Parabolic lenses, Рентгеновская оптика-2001, Материалы рабочего совещания, 2001, с. 153−159.
- М. Grigoriev, L. Shabelnikov, Y. Yunkin, A. Snigirev, I. Snigireva, M. Di. Michiel, S. Kuznetsov, M. Hoffmann, E. Voges, Planar parabolic lenses for focusing high energy X-rays, Proceedings of SPIE, 2001, vol. 4501, p. 185−192.
- V. Aristov, M. Grigorev, S. Kuznetsov, L. Shabelnikov, V. Yunkin, T. Weitkamp, C. Rau, I. Snigireva, A. Snigirev, M. Hoffman, E. Voges, X-ray refractive planar lens with minimized absorption, Appl. Phys. Let., 2000, vol. 77, N 24, p. 4058−4060.
- I. Snigireva, A. Snigirev, S. Kuznetsov, C. Rau, T. Weitkamp, L. Shabelnikov, M. Grigoriev, V. Yunkin, M. Hoffmann, E. Voges, Refractive and diffractive X-ray optical elements, Proceeding of the SPIE, 2001, vol. 4499, p.64−73.
- Simionovici, M. Chukalina, F, Gunzler, Ch. Schroer, A. Snigirev, I. Snigireva, J. Tummler, T. Weitkamp, X-ray microtome by fluorescence tomography. Nucl. Instr&Meth., 2001, A 467−468, p. 889−892.
- B. Menez, A. Simionovici, P. Philippot, S. Bohic, F. Gigert, M. Chukalina, X-ray fluorescence micro-tomography an individual fluid inclusion using a third generation synchrotron light source, Nucl. Instr&Meth., 2001, В 181, p. 749−754.
- A. Simionovoci, M. Chukalina, M. Drakopoulos, I. Snigireva, A, Snigirev, Ch. Schroer, B. Lengeler, F. Adams, X-ray fluorescence microtomgraphy: experiment and reconstruction SPIE, 1999, vol. 3772, p. 304−310.
- E.V. Shulakov, V.V. Aristov, Calculation and Optimization of linear Bragg-Fresnel zone plates, Surface Investigation, 1997, vol. 12, p. 303 309.
- Z.Chen, Y. Vladimirsky, M. Brown, Q, Leonard, O. Vladimirsky, F. Moore, F. Cerrina, B. Lai, W. Yun, an E. Gluskin, Design and fabrication of Fresnel zone plates with large numbers of zones, J. Vac. Sci. Technol., 1997, В 15(6), p. 2522−2527.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой/ под ред. Р. Бериша: перевод с англ., М.: Мир, 1984, 335 с.
- Киреев В.Ю., Данилин Б. С., Кузнецов В. И., Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и Связь, 1983, 126 с.
- Т. Ishikawa, К. Tamasaku, М. Yabashi, S Goto, Y. Tanaka, H. Yamazaki, К. Takeshita, H. Kimura, H. Ohashi, Т. Matsushita, Т. Ohata, One kilometer beamline at Spring-8, Proceedings of SPIE, 2001, vol. 4145, p. 1−10.