Пути улучшения кристаллического совершенства оксидных пленок и гетероструктур, получаемых из газовой фазы
Диссертация
В нашей работе развит новый метод, позволяющий значительно повысить кристаллическое совершенство оксидных пленок, получаемых МОСУЕ). Сущность метода сводится к осаждению пленок в присутствии ненасыщенных паров летучих легкоплавких оксидов (флюсов), в качестве которых нами были опробованы оксиды свинца и висмута. Идея применения летучего флюса не имеет аналогов в литературе, она возникла в нашей… Читать ещё >
Список литературы
- Klejn С., — Transport phenomena in chemical vapour deposition reactors, TU Delft, 1991
- Pierson H.O., Handbook of Chemical Vapor Deposition. Principles, Technology and Applications, New Jersey: Noyes Publications, 1992
- Кауль A.P., Химические методы получения пленок и покрытий ВТСП, ЖВХО, 1989, N 4, с. 492 — 504
- Горбенко О.Ю., Фуфлыгин В. Н., Кауль А. Р., Получение тонких пленок ВТСП методом MOCVD, Свехпроводимость: исследования и разработки, 1995, N 5, с. 38 — 81
- Горбенко О.Ю., Физико-химические основы синтеза сверхпроводящих пленок УВагСизСЬ-у методом химического осаждения из паров р-дикетонатов, дисс. канд. хим. наук, М.: МГУ, 1994
- Фуфлыгин В.Н., Химическое осаждение из паровой фазы и свойства пленок висмутсодержащих высокотемпературных сверхпроводников, дисс. канд. хим. наук, М.: МГУ, 1995
- Chuprakov I.S., Kaul A.R., Preparation of SnCh thin films by flash-evaporation MOCVD technique, J Chem. Vap. Deposition, 1993, v. 2, p. 123 — 134
- Gorbenko O.Yu., Fuflyigin V.N., Erokhin Yu.Yu., Graboy I.E., Kaul A.R., Tretyakov Yu.D., Wahl G., Klippe L., YBCO and BSCCO films prepared by wet MOCVD, J. Mater. Chem., 1994, v. 4, p. 1585- 1589
- Kaul A.R., Seleznev B.V., New principle of feeding for flash evaporation MOCVD devices, J Phisique IV Colloque C3, 1993, v. 3, p. 375 — 378
- Felten F., Senateur J.P., Weiss F., Madar R., Abrutis A., Deposition of oxide layers by computer controlled «Injection-LPCVD», J Phisique IV Colloque C5, 1995, v. 3, p. C5−1079 — C5−1086
- Современная кристаллография, под ред. Ванштейна Б. К., Чернова А. А., Шувалова Л. А., М.: Наука, 1980
- Bai С., Scanning tunneling microscopy and its application, Shanghai scientific & technical publishers, Springer, 1993
- Ehrlich G., Hudda F.G., Atomic view of surface self-diffusion: tungsten on tuncsten, J. Chem. Phys., 1966, v. 44, p. 1039 — 1049
- Schwoebel R.L., Shipsey E.J. Step motion on crystal surfaces, J. Appl. Phys., 1966, v. 37, p. 3682−3686
- Johnson M.D., Orme С., Hunt A.W., GraffD., Sudijono J., Sander L.M., Orr B.G., Stable and unstable growth in molecular beam epitaxy, Phys. Rev. Lett., 1994, v. 72, p. 116−119
- Zhang Z., Lagally M., Atomistic processes in the early stages of thin film growth, Science, 1997, v. 276, p. 377−383
- Venables J.A., Rate equation approach to thin film nucleation kinetics, Philos. Mag., 1973, v. 27, p. 697 — 743
- Mo Y.-W., Kleiner J., Webb M.B., Lagally M.G., Suface self-diffusion of Si on Si (OOl), Surf. Sci., 1992, v. 268, p. 275−295
- Zhang Z., Lu Y., Metiu H., Adsorption and diffusion sites of a Si adatom on a reconstructed Si (100) (2×1) surface, Surf. Sci. Lett., 1991, v. 248, p. L250 -L254
- Kellog G.L., Feibelman P.J., Surface self-diffusion on Pt (001) by an atomic exchange mechanism, Phys. Rev. Lett., 1990, v. 64, p. 3143 — 3146
- Feibelman P. J., Diffusion path for an A1 adatom on Al (001), Phys. Rev. Lett., 1990, v. 65, p. 729 — 732
- Chen C., Tsong T.T., Displacement distribution and atomic jump direction in diffusion of Ir atoms on the Ir (001) surface, Phys. Rev. Lett., 1990, v. 64, p. 3147 — 3150
- Tersoff J., Denier van der Gon A.W., Tromp R.M., Crytical island size for layer-by-layer growth, Phys. Rev. Lett., 1994, v. 72, p. 266 — 269
- Kunkel R., Poelsema В., Verheij L.K., Comsa G., Reentrant layer-by-layer growth during molecular beam epitaxy of metal-on-metal substrates, Phys. Rev. Lett., 1990, v. 65, p. 733 -736
- Kotze I.A., Lombaard J.C., Henning C.A.O., The accomodation of epitaxial metal embryos on virgin alkali halide surfaces, Thin Solid Films, 1974, v. 23, p. 221 — 232
- Cullity B.D., Elements of X-ray diffraction, Addison-Wesley publishing company, 1989
- Горелик C.C., Скаков Ю. А., Расторгуев JI.H., Рентгенографический и электронно-оптический анализ, М.: МИСИС, 1994
- Ковба Л.М., Рентгенография в неорганической химии, М.: МГУ, 1991
- Heidenreich R.D., Fundamentals of Transmission Electron Microscopy, Interscience Publishers, 1964
- Hall C.E., Introduction to electron microscopy, McGraw-Hill book Company, 1966
- Reimer L., Transmission Electron Microscopy, Physics of Image Formation and Microanalysis, Springer Series in Optical Sciences, 1997
- Chu W.K., Langouche G., Qantitative Rutherford backscattering from thin films, MRS Bui., January, 1993, p. 32 — 40
- Williams D.B., Carter C.B., Transmission electron microscopy a text book for materials science, Plenum Press, New York and London, 1996
- Newbury D.E., Joy D.C., Echlin P., Fiori C.E., Goldstein J.I., Advanced scanning electrom microscopy and X-ray microanalysis, Plenum Press, New York and London, 1996
- Wu X.D., Foltyn S R., Muenchausen R.E., Cooke D.W., Pique A., Kalokitis D., Pendrick V., Belohoubek E., Buffer layers for high-Tc films on sapphire, J. Supercond., 1992, v. 5, p. 353 — 359
- Gorbenko O.Yu., Kaul A.R., Wahl G., Epitaxial BaTi03 films grown by aerosol MOCVD, Chem. Vap. Deposition, 1997, v. 3 p. 193 -196
- Lee L.P., Char K., Colclough M.S., Zaharchuk G., Monolitic 77 К de SQUID magnetometer, Appl. Phys. Lett., 1991, v. 59, p. 3051 — 3053
- Molodyk A.A., Novozhilov M.A., Graboy I.E., Gorbenko O.Yu., Korsakov I.E., Kaul A.R., — In situ growth of oxide thin film heterostructures by band flash evaporation MOCVD, Electrochem. Soc. Proc., 1997, v. 97 25, p. 1152 — 1159
- Samoylenkov S.V., Gorbenko O.Yu., Graboy I.E., Kaul A.R., Tretyakov Yu.D., -LuBa2Cu307-x thin films prepared using MOCVD, J. Mater. Chem., 1996, v. 6, p. 623 627
- Haakenaasen R., Fork D.K., Golovchenko J.A., High quality crystalline YBa2Cu307-s films on thin silicon substrates, Appl. Phys. Lett., 1994, v. 64, p. 1573 — 1575
- Schieber M., Schwartz M., Koren G., Aharoni E., Organometallic chemical vapor deposited layers of stabilized zirconia on sapphire as a substrate for laser ablated YBa2Cu307-x thin films, Appl. Phys. Lett., 1991, v. 58, p. 301 — 303
- Wu X.D., Muenchausen RE., Nogar N.S., Pique A., Edwards R, Wilkens В., Ravi T.S., Hwang D.M., Chen C.Y., Epitaxial yttria-stabilized zirconia on (1102)sapphire for YBa2Cu307.5 thin films, Appl. Phys. Lett., 1991, v. 58, p. 304 — 306
- Tian Y.J., Xu S.F., Lu H.B., Chen Z.H., Cui D.F., Zhou Y.L., Zhang Y.Z., Li L., Yang G.Z., — Preparation and properties of YBa2Cu30? thin films on sapphire with yttria-stabilized zirconia buffer layer, J. Supercond., 1994, v. 7, p. 693 696
- Jang S.H., Jung D., Roh Y., Properties of СеОг thin films deposited on Si (100) and Si (l 11) substrates by radio frequency magnetron sputtering, J. Vac. Sci. Technol. B, 1998, v. 16, p. 1098- 1101
- Morshed A.H., Moussa M.E., Bedair S.M., Leonard R, Liu S.X., El-Masry N., -Violet/blue emission from epitaxial cerium oxide films on silicon substrates, Appl. Phys. Lett., 1997, v. 70, p. 1647 1649
- Michikami O., Yokosawa A., Wakana H., Kashiwaba Y., ЕиВагСизСЬ-б thin films grown on sapphire with epitaxial СеОг buffer layer, Jpn. J. Apll. Phys., 1997, v. 36, p. 2646 — 2651
- Zaitsev A.G., Ockenfuss G., Guggi D., Wordenweber R, Kruger U., Structural perfection of (001)Ce02 thin films on (1102) sapphire, J. Appl. Phys., 1997, v. 81, p. 3069 — 3072
- Boikov Yu.A., Claeson Т., Erts D., Bridges F., Kvitky Z., СеОг compatibility with УВа2Сиз07−8 in superconducting-film multilayers, Phys. Rev. B, 1997, v. 56, p. 11 312 -11 319
- Aguiar R., Sanchez F., Ferrater C., Varela M., Protective oxide coatings for superconducting УВа2Сиз07-х thin films, Thin Solid Films, 1997, v. 306, p. 74 — 77
- Denhoff M.W., McCaffrey J.P., Epitaxial YBa2Cu307 thin films on СеОг buffer layers on sapphire substrates, J. Appl. Phys., 1991, v. 70, p. 3986 — 3988
- Wang F., Wordenweber R., Large-area epitaxial Ce02 buffer layers on sapphire substrates for the growth of high quality YBa2Cu307 films, Thin Solid Films, 1993, v. 227, p. 200 — 204
- Wu X.D., Dye R.C., Muenchausen R.E., Foltyn S.R., Maley M., Rollet A.D.,. Garsia A. R, Nogar N.S., Epitaxial Ce02 films as buffer layers for high-temperature superconducting thin films, Appl. Phys. Lett., 1991, v. 58, p. 2165 — 2167
- Skofronick G.L., Carim A.H., Foltyn S. R, Muenchausen R.E., Orientation of УВа2Сиз07-x films on unbuffered and СеОг-buffered yttria-stabilized zirconia substrates, J. Appl. Phys., 1994, v. 76, p. 4753−4760
- Zhang J., Stauf G.T., Gardiner R., Van Buskirk P., Steinbeck J., Single molecular precursor metal-organic chemical vapor deposition of MgAl204 thin films, J. Mater. Res., 1994, v. 9, p. 1333 — 1336
- Matsubara S., Miura S., Miyasaka Y., Shohata N., Preparation of epitaxial АВОз perovskite-type oxide thin films on a (100)MgAl204/Si substrate, J. Appl. Phys., 1989, v. 66, p. 5826 — 5832
- Moon B.K., Ishiwara H., Growth of crystalline SrTiC>3 films on Si substrates using thin fluoride buffer layers and their electrical properties, Jpn. J. Appl. Phys., 1994, v. 33, p. 5911 -5916
- Wu X.D., Foltyn S R., Arendt P., Townsend J., Adams C., Camobell I.H., Tiwari P., Coulter Y., Peterson D.E., High current YBa2Cu307-x thick films on flexible nickel substrates with textured buffer layers, Appl. Phys. Lett., 1994, v. 65, p. 1961 — 1963
- Knierim A., Auer R., Geerk J., Linker G., Meyer O., Reiner H., Schneider R., High critical current densities of УВа2Сиз07-х thin films on buffered technical substrates, Appl. Phys. Lett., 1997, v. 70, p. 661 -663
- Warren W.L., Tuttle B.A., Dimos D., Ferroelectric fatigue in perovskite oxides, Appl. Phys. Lett., 1995, v. 67, p. 1426 — 1428
- Ramesh R., Chan W.K., Wilkens В., Gilchrist H., Sands Т., Tarascon J.M., Keramidas V.G. Fatigue and retention in ferroelectric Y-Ba-Cu-O/Pb-Zr-Ti-O/Y-Ba-Cu heterostructures, Appl. Phys. Lett., 1992, v. 61, p. 1537−1539
- Новожилов M.A., Тонкопленочные конденсаторы на основе РЬТЮз. получение и исследование, дипломная работа, М.: МГУ, 1999
- Kuramata A., Horino К., Domen К., Shinohara К., Tanahashi Т., High-quality GaN epitaxial layer grown by metalorganic vapor phase epitaxy on (lll)MgAl204 substrate, Appl. Phys. Lett., 1995, v. 67, p. 2521 — 2523
- Wang C.C., Growth and characterization of spinel single crystals for substrate use in integrated electronics, J. Appl. Phys., 1969, v. 40, p. 3433 — 3444
- Lee A.E., Piatt C.E., Burch J.F., Simon R.W., Goral J.P., Al-Jassim M.M., Epitaxially grown sputtered LaA103 films, Appl. Phys. Lett., 1990, v. 57, p. 2019 — 2021
- Malandrino G., Fragala I.L., «Second-generation» metal precursors: new volatile, thermally stable metal p-diketonate glyme adducts and some challenging MOCVD applications, Electrochem. Soc. Proc., 1997, v. 97−25, p. 844 — 851
- Koh W., Kim Y., Single-source CVD of MgAl204, Chem. Vap. Deposition, 1998, v. 4, p. 192−195
- Константинов С.Г., Дудчик Г. П., Поляченок О. Г., Изменение летучести Р-дикетонатов в ряду редкоземельных элементов, в сб. «Теоретическая и прикладная химия бэта-дикетонатов металлов», М.: Наука, 1985, с. 148
- Mattongo G., Righini G., Montesperelli G., Traversa E., X-ray photoelectron spectroscopy ofMgAl204 thin films for humidity sensors, J. Mater. Res., 1994, v. 9, p. 1426 — 1433
- Graboy I.E., Kaul A.R., Markov N.V., Maleev V.V., Korsakov I.E., Gorbenko O.Yu., Molodyk A.A., Surface diffusion enhancement by heterovalent doping in MOCVD of oxide films, Electrochem. Soc. Proc., 1997, v. 97−25, p. 925 — 932
- Марков H.B., Исследование структуры и морфологии тонких пленок диоксида церия и твердых растворов на его основе, полученных методом MOCVD, дипломная работа, М.: МГУ, 1997
- Научный отчет по проекту РФФИ № 96−03−33 027, Промотирование диффузионных процессов при эпитаксиальном росте оксидов из газовой фазы, рук. Кауль А. Р., 1997
- Научный отчет по проекту РФФИ № 96−03−33 027, Промотирование диффузионных процессов при эпитаксиальном росте оксидов из газовой фазы, рук. Кауль А. Р., 1998
- Cheung J., Horwitz J., Pulsed laser deposition history and laser-target interactions, MRS Bull., February, 1992, p. 30 — 36
- Suhr H., Applications and trends in plasma-enhanced ogranometallic chemical vapour deposition, Surface and Coatings Technology, 1991, v. 49, p. 233 — 238
- Ohnishi H., Hanaoka K., Goto Y., Harima H., Tachibana K., Preparing YBCO superconducting films by MOCVD with UV-light irradiation, Physica C, 1991, v. 190, p. 134−136
- Chou P.C., Zhong Q., Li Q.L., Abazajian K, Ignatiev A., Wang C.Y., Deal E.E., Chen J.G., — Optimization of Jc of YBCO thin films prepared by photo-assisted MOCVD through statistical robust design, Physica C, 1995, v. 254, p. 93−112
- Третьяков Ю.Д., Твердофазные реакции, M.: Химия, 1978
- Самойленков С.В., Тонкие пленки LuBa2Cu307s, дипломная работа, М.: МГУ, 1996
- Yamane Н., Hasei М., Kurosava Н., Low temperature formation of Y-Ba-Cu-0 superconducting thin films by thermal CVD and their jc in high magnetic field, Physica C, 1991, v. 190 p. 79−80
- Gorbenko O.Yu., Kaul A.R., Tretyakov Yu.D., Scritnii V.I., Pozigun S.A., Alekseev V.A., -Composition, texture and magnetic properties of YbaCuO thin films obtained by MOCVD, Physica C, 1991, v. 190, p. 180 182
- Ohnishi H., Kusakabe Y., Kobayashi M., Preparation and characterization of superconducting Y-Ba-Cu-0 films by the MOCVD technique, Jpn. J. Appl. Phys., 1990, v. 29, p. 1070- 1075
- Li Y.Q., Zhao J., Chern C.S., Effects of composition on microstructure and superconducting properties of УВа2СизОх thin films prepared by plasma enhanced metalorganic chemical vapor deposition, Physica C, 1992, v. 195, p. 161 -170
- Космынин С.А., Штер Г. Е., Гаркушин И. К., Объемная диаграмма подсистемы У20з- BaCu02 СиОх, Сверхпроводимость: физика, химия, техника, 1990, т. 3, ч. 2, с. 1865 -1871
- Lay K.W., Renlund G.M., Oxygen pressure effect on the У20з — BaO — CuO liquidus, J. Amer. Ceram. Soc., 1990, v. 73, p. 1208 — 1213
- Majewski P., Hettich В., Jaeger H., Schulze K, The phase equilibrium diagram of В120з — SrO — CaO — CuO — a tool of processing the high-Tc superconducting bismuth-compounds, Adv. Mat., 1991, v. 1, p. 67 — 69
- Wagner R.S., Ellis W.C., Vapor — liquid — solid mechanism of single crystal growth, Appl. Phys. Lett., 1964, v. 4, p. 89 — 90
- Wagner R.S., Ellis W.C., The vapor — liquid — solid mechanism of crystal growth and its application to silicon, Trans. Metallurg. Soc. AIME, 1965, v. 233, p. 1053 — 1064
- Гиваргизов Е.И., Ориентированный рост нитевидных кристаллов соединений АШВУ по механизму пар — жидкость — кристалл, Кристаллография, 1975, т. 20, с. 812 — 822
- Козлова О.Г., Рост и морфология кристаллов, М.: МГУ, 1980
- Витинг Л.М., Высокотемпературные растворы-расплавы, М.: МГУ, 1991
- Тимофеева В. А., Рост кристаллов из растворов-расплавов, М.: 1974
- Hirabayashi I., Yoshiba У., Yamada Y., Koike Y., Matsumoto K., High growth rate deposition techniques for coated conductor: liquid phase epitaxy and vapor-liquid-solid growth, to be publihed in Proc. of Appl. Supercond. Conf. 98 IE3 Superconductivity
- Кравченко B.C., Буджан Я. М., Косяков В. И., Баковец B.B., Грайфер М. З., Кочешкова А. А., Кузнецов Ф. А., Процессы роста кристаллов и пленок методом комбинированной газожидкостной эпитаксии, Известия СО АН СССР, сер. хим. наук, 1975, т. 2, с. 78 — 95
- Copel М., Reuter М.С., Kaxiras Е., Tromp R.M., Surfactants in epitaxial growth, Phys. Rev. Lett., 1989, v. 63, p. 632 — 635
- Tolkes C., Struk R., David R, Zeppenfeld P., Comsa G., Surfactant-induced layer-by-layer growth on a highly anisotropic substrate: Co/Cu (110), Phys. Rev. Lett., 1998, v. 80, p. 2877 — 2880
- Hwang I.S., Chang T.C., Tsong T.T., Exchange-barrier effects on nucleation and growth of surfactant-mediated epitaxy, Phys. Rev. Lett., 1998, v. 80, p. 4229 — 4232
- Camarero J., Ferron J., Cros V., Gomez L., Vazques de Parga A.L., Gallego J.M., Prieto J.E., de Miguel J.J., Miranda R., Atomistic mechanism of surfactant-assisted epitaxial growth, Phys. Rev. Lett., 1998, v. 81, p. 850 — 853
- Esch S., Hohage M., Michely Т., Comsa G., Origin of oxygen induced layer-by-layer growth in homoepitaxy on Pt (l 11), Phys. Rev. Lett., 1994, v. 72, p. 518 — 521
- Oppo S., Fiorentini V., Scheffler M., Theory of adsorption and surfactant effect of Sb on Ag (lll), Phys. Rev. Lett., 1993, v. 71, p. 2437 — 2440
- Vrijmoeth J., van der Vegt H.A., Meyer J.A., Vlieg E., Behm R.J., Surfactant-induced layer-by-layer growth of Ag on Ag (lll): origins and side effects, Phys. Rev. Lett., 1994, v. 72, p. 3843−3846
- Vasek J.E., Zhang Z., Sailing C.T., Lagally M.G., Effects of hydrogen impurities on the diffusion, nucleation, and growth of Si on Si (001), Phys. Rev. B, 1995, v. 51, p. 17 207 -17 209
- Markov I., Kinetics of surfactant-mediated epitaxial growth, Phys. Rev. B, 1994, v. 50, p. 11 271 — 11 274
- Zhang Z., Lagally M.G., Atomic-scale mechanisms for surfactant-mediated layer-by-layer growth in homoepitaxy, Phys. Rev. Lett., 1994, v. 72, p. 693 — 696
- Migita S., Kasai Y., Ota H, Sakai S., Self-limiting process for the bismuth content in molecular beam epitaxial growth of Bi2Sr2CuOy thin films, Appl. Phys. Lett., 1997, v. 71, p. 3712−3714
- Arthur J.R., Jr, Interaction of Ga and As2 molecular beams with GaAs surfaces, J. Appl. Phys., 1968, v. 39, p. 4032 — 4034
- Theis C.D., Yeh J., Schlom D.G., Hawley M.E., Brown G.B., Adsorption-controlled growth of РЬТЮз by reactive molecular beam epitaxy, Thin Solid Films, 1998, v. 325, p. 107−114
- Yun S.H., Wu J.Z., Tidrow S.C., Eckart D.W., Growth of HgBa2Ca2Cu308+8 thin films on ЬаАЮз substrates using fast temperature ramping Hg-vapor annealing, Appl. Phys. Lett., 1996, v. 68, p. 2565 — 2567
- Yamashita A., Tatsumi Т., Growth model for РЬТЮз thin films grown by surface-reaction enhanced chemical vapor deposition, Appl. Phys. Lett., 1995, v. 67, p. 1208 1210
- De Keijser M., Dormans G.J.M., Chemical vapor deposition of electroceramic thin films, MRS Bui., June, 1996, p. 37 — 43
- Kim T.S., Kim D.J., Lee J.K., Jung H.J., Fabrication of excess PbO-doped Pb (Zro.52Tio.48)03 thin films using radio frequency magnetron spattering method, J. Vac. Sci. Technol. A, 1997, v. 15, p. 2831 — 2835
- Iijima K., Ueda I., Kugimiya K., Preparation and properties of lead zirconate-titanate thin films, Jpn. J. Appl. Phys., 1991, v. 30, N 9B, p. 2149 — 2151
- Iijima K., Takayama R., Tomita Y., Ueda I., Epitaxial growth and the crystallographic, dielectric and pyroelectric properties of lanthanum-modified lead titanate thin films, J. Appl. Phys., 1986, v. 60, p. 2914−2918
- Theis C.D., Spear K.E., Schlom D.G., A thermochemical analysis of the MBE growth of lead and bismuth titanate thin films, to be published in J. Electrochem. Soc., 1999
- Seifert A., Longe F.F., Speck J.S., Epitaxial growth of PbTi03 thin films on (001)SrTi03 from solution precursors, J. Mater. Res., 1995, v. 10, p. 680 — 691
- Sato E., Huang Y., Kosec M., Bell A., Setter N, Lead loss, preferred orientation and the dielectric properties of sol-gel prepared lead titanate thin films, Appl. Phys. Lett., 1994, v. 65, p. 2678 — 2680
- Theis C.D., Yeh J., Schlom D.G., Hawley M.E., Brown G.B., Jiang J.C., Pan X.Q., -Adsorption-controlled growth of Bi4Ti30i2 by reactive MBE, Appl. Phys. Lett., 1998, v. 72, p. 2817−2819
- Казенас E.K.,. Цветков Ю. В, -Испарение оксидов M.: Наука, 1997
- Торопов Н.А., Барзаковский В. П., Лапин В. В., Курцева Н. Н., Диаграммы состояния силикатных систем. Справочник, М.: Наука, 1965
- Blavette D., Menand А., New developements in atom probe techniques and potential applications to materials science, MRS Bull., July, 1994, p. 21 — 25
- Hammond G.S., Nonhebel DC., Wu C-H.S., Chelates of p-diketones. V. Properties of chelates containing sterically hindered ligands, Inorg. Chem., 1963, v. 2, p. 73−76
- Eisentraut K.J., Sievers R.E., Volatile rare earth chelates, J. Amer. Chem. Soc., 1965, v. 87, p. 5254−5256
- Крисюк B.B., Дурасов В. Б., Игуменов И. К., Р-дикетонаты свинца, Сибирский химический журнал, 1991, Вып. 4, с. 82 — 86
- Накамото К., ИК- спектры неорганических и координационных соединений, М.: Мир, 1966
- Химическая гомогенизация компонентов при получении перспективных керамических материалов, Методическое пособие для спецпрактикума по неорганической химии, М.: МГУ, 1997
- Bradley D.C., Metal alkoxides as precursors for electronic and ceramic materials, Chem.Rev., 1989, v. 89, p. 1317−1322
- Краденов K.B., ИК и KP — спектры Р-дикетонатных и тиоционатных комплексов некоторых d-переходных элементов, дисс. канд. физ.-мат. наук, Новосибирск, 1990
- Корсаков И.Е., частное сообщение
- Aguiar R., Sanchez F., Ferrater С., Aguilo M., Varela M., Simulation of epitaxial growth of Ce02 on YSZ (IOO) and SrTi03 on MgO (lOO) for УВа2Сиз07-у deposition, Thin Solid Films, 1998, v. 317, p. 81−84
- Соединения редкоземельных элементов, системы с оксидами элементов I III групп, под ред. И. В. Тананаева, М.: Наука, 1983
- Босак А.А., Синтез и исследование фаз с колоссальным мгнетосопротивлением в системе R2C>3 — Мп20з — Мп02 в виде объемных и тонкопленочных образцов, дипломная работа, М.: МГУ, 1999
- Samoylenkov S., Gorbenko О., Graboy I., Kaul A., Zandbergen H., Secondary phases in (001) УВа2СизС>7−8 epitaxial thin films, to be published in Chemistry of Materials, 1999
- Молодык A.A., Горбенко О. Ю., Кауль А. Р., Исследование кинетки осаждения оксидов из паров дипивалоилметанатов редкоземельных элементов, ЖНХ, 1996, т. 41, с. 966 — 969
- Корсаков И.Е., Перовскитоподобные твердые растворы BaRi.xYx03-y (R = Zr, Hf, Ce, Th) как материалы с пониженной реакционной способностью по отношению к ВТСП УВа2Сиз07-х, Дисс. канд. хим. наук, Москва, МГУ, 1993
- Gorbenko O.Yu., Kaul A.R., Fuflyigin V.N., Molodyk A.A., Novozhilov M.A., Bosak A.A., Amelichev V.A., Wahl G., Krause U., MOCVD of Perovskites With Metallic Conductivity, J. Alloys & Сотр., 1997, v. 251, p. 337 — 341
- Molodyk A.A., Gorbenko O.Yu., Amelichev V.A., Novojilov M.A., Kaul A.R., Thin film heterostructures with ferroelectrics and other perovskite materials, MSU HTSC V, 1998, Book of abstracts, F-48
- Betz V., Holzapfel В., Raouser D., Schultz L., In-plane aligned РгбОц buffer layers by ion-beam assisted pulsed laser deposition on metal substrates, Appl. Phys. Lett., 1997, v. 71, p. 2952 -2955
- Kim H.B., Cho M.H., Whangbo S.W., Whang C.N., Choi S.C., Choi W.K., Song J.H., Kim S.O., RBS / channeling studies on the heteroepitaxially grown Y2O3 film on Si (100), Thin Solid Films, 1998, v. 320, p. 169 — 172
- Bjormander C., Grishin A.M., Moon B.M., Lee J., Ravo K.V., -Ferroelectric/superconductor PbZro.52Tio.48O3/YBa2Cu3O7-x/LaAlO3 heterostructure prepared by Nd: YAG pulsed laser deposition, Appl. Phys. Lett. 1994, v. 64, p. 3646 3648
- Williams S.M., Wang X.K., Maglic S., Toellner T.S., Lin C.T., Cavanagh M.D., Duray S.J., Lundquist P.M., Chang R.P.H., Ketterson J.B., In situ x-ray diffraction studies of YBa2Cu3Ox/LaA103 interfaces, J. Appl. Phys., 1994, v. 75, p. 5372 — 5374
- Didier N., Chenevier В., Thomas O., Senateur J.P., Weiss F., Gaskov A., Growth of (YBaCuO)m/(PrBaCuO)n superlattices by MOCVD, J. Physique IV Colloque C5, 199, v. 55, p. C5−423 — C5430
- Eckstein J.N., Bozovic I., Virshup G.F., Atomic layer-by-layer engineering of high Tc materials and heterostructure devices, MRS Bull., September, 1994, p. 44 — 50
- Лазарев В.Б., Шаплыгин И. С., Электрические свойства смешанных окислов, содержащих платиновый и неблагородный металл, ЖНХ, 1978, т. 23, с. 291 — 303
- Takemura К., Sakuma Т., Miyasaka Y., High dielectric constant (Ba, Sr) Ti03 thin films prepared on Ru02/sapphire, Appl. Phys. Lett., 1994, v. 64, p. 2967 — 2969
- Lee S-G., Park K., Park Y.K., Park J-C., High Tc superconductor-normal-superconductor step-edge junction dc SQUIDS with CaRu03 as the normal metal, Appl. Phys. Lett., 1994, v. 64, p. 2028 — 2030
- Satyalakshmi K.M., MallyaR.M., Ramanathan K.V., Wu X.D., Brainard В., Gautier D.C., VasanthacharyaN.Y., Hegde M.S., Epitaxial metallic LaNi03 thin films grown by pulsed laser deposition, Appl .Phys .Lett., 1993, v. 62, p. 1233 — 1235
- Speck J.S., Pompe W., Domain configurations due to multiple misfit relaxation mechanism in epitaxial ferroelectric thin films. I. Theory, J. Appl. Phys., 1994, v. 76, p. 466 — 476
- Gorbenko O.Yu., Amelichev V.A., Rebane J. A., Kaul A.R., Lai. xSrxCo03 thin films and PbTi03/Lai.xSrxCo03 heterostructures prepared by single source MOCVD, Electrochem. Soc. Proc., 1997, v. 97 — 25, p. 1093−1100
- Holman R.L., Fulrath R.M., Intrinsic nonstoichiometry in the lead titanate — lead zirconate system determined by Knudsen effusion, J. Appl. Phys., 1973, v. 44, p. 5227 -5236
- Курс физической химии, под. ред. Герасимова Я. И., т. 1, М.: Химия, 1969
- Nabarro F.RN., Deformation of crystals by the motions of single ions, Phys. Soc. London, 1948
- Мододык A.A., Влияние редкоземельного замещения на свойства пленок УВагСи307-у, полученных методом MOCVD, дипломная работа, М.: МГУ, 1995
- Рид Р., Праусниц Дж., Шервуд Т., Свойства газов и жидкостей, Л.: Химия, 1982
- Gorbenko O.Yu., Decker W., Wahl G., Investigation of the kinetics of MOCVD with a stagnation cell, J.Phys.IV, Colloque C3, 1993, v. 3, p.25 — 33
- Frolich K., Souc J., Machajdik D., Jergel M., Snauwaert J., Hellemans L., Surface quality of epitaxial Ce02 thin films grown on sapphire by aerosol MOCVD, Chem. Vap. Deposition, 1998, v. 4, p. 216 — 220