Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Определение электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей основе методом электростатической индукции

Диссертация: Определение электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей основе методом электростатической индукции
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Показана принципиальная возможность осуществления с помощью емкостных систем различных интегральных преобразований. Предложены и обоснованы простые модели с поперечным, продольным по отношению к слою полем и модели, реализующие их совместное использование при решении основной задачи, связанной с определением электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей подложке в локальной… Читать ещё >

Определение электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей основе методом электростатической индукции (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • ГЛАВА 1. ОСНОВНЫЕ ПАРАМЕТРЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ
    • 1. 1. Поляризация диэлектриков
    • 1. 2. Влияние внешних факторов на диэлектрические характеристики
    • 1. 3. Математическое описание процессов поляризации
    • 1. 4. Диэлектрические характеристики материалов со структурными неоднородностями
    • 1. 5. Методы определения электрофизических параметров материала
    • 1. 6. Выводы
  • ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ПРЕДСТАВЛЕНИЯ О ЭЛЕКТРОЕМКОСТНЫХ СИСТЕМАХ
    • 2. 1. Классические определения и теория емкостных систем на основе полевых представлений
    • 2. 2. Модели емкостных систем с поперечным и продольным полем
    • 2. 3. Емкостные системы со скрещенными полями
    • 2. 4. Выводы
  • ГЛАВА 3. ОСНОВНЫЕ ПРАКТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЕМКОСТНЫХ СИСТЕМ. ПРЕОБРАЗОВАНИЕ ИНДУЦИРОВАННОГО ЗАРЯДА В ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ТОК И
  • ОПРЕДЕЛЕНИЕ УДЕЛЬНОЙ ПРОВОДИМОСТИ СЛОЕВ
    • 3. 1. Аппроксимация коэффициента передачи емкостных систем и способы формирования электрического поля
    • 3. 2. Преобразование индуцированного заряда в электрический ток
    • 3. 3. Общий случай преобразования индуцированного заряд в электрический ток
    • 3. 4. Особенности определения удельной проводимости слоев
    • 3. 5. Выводы
  • ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И
  • ОСОБЕННОСТИ КОНСТРУКЦИИ ЕЕ ЭЛЕМЕНТОВ
    • 4. 1. Структурная схема
    • 4. 2. Зонды
    • 4. 3. Сканирующее устройство с датчиками синхронизации
    • 4. 4. Элементы коронатора
    • 4. 5. Входная цепь и усилительные тракты
    • 4. 6. Тестовые структуры
    • 4. 7. Общие методические вопросы
    • 4. 8. Выводы
  • ГЛАВА 5. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ
  • ИНТЕРПРЕТАЦИЯ
    • 5. 1. Методические вопросы определения плотности поверхностного заряда при электризации слоя в поле «короны»
    • 5. 2. Электризация однородного слоя в поле коронного разряда
    • 5. 3. Электризация неоднородных слоев
    • 5. 4. Особенности электризации рельефных поверхностей
    • 5. 5. Определение диэлектрической проницаемости, плотности поверхностного заряда, удельной проводимости и толщины в локальной области
    • 5. 6. Выводы

Создание новых диэлектрических, полупроводниковых и композиционных материалов с заданными электрофизическими свойствами с применением различных технологий, особенно электротехнологийплазменного напыления, электрохимического роста пленок, кристаллов и др., дальнейшее исследование изменения их свойств — диэлектрической проницаемости, проводимости и других, опосредованно связанных с ними, в зависимости от различных внешних воздействий — температуры, давления, влажности, широкого спектра электромагнитных излучений требует разработки оперативных бесконтактных неразрушающих методов определения указанных характеристик материала с усреднением информации по относительно малому объему — порядка сотых долей мм. Очень важно, практически на любой стадии электротехнологического процесса, иметь возможность контроля выходных параметров материала, к которым относится также и однородность их распределения по поверхности и в объеме.

Особый интерес для различных областей физики и техники, в том числе и электротехнологии, составляет именно возможность исследования панорамы диэлектрической проницаемости, проводимости, толщины различных диэлектрических пленок и покрытий на проводящей подложке, а также возможность исследования процессов накопления и релаксации заряда в них под действием различных внешний факторов в пределах всего объекта, или на определенной траектории.

Однако, существующие подходы к математическому * описанию процессов измерения параметров емкости системы электродов с распределенными диэлектрической проницаемостью и известными геометрическими характеристиками позволяют определить диэлектрическую проницаемость всего объекта только в целом (интегрально). Как правило пользуются представлением плоскопараллельного поля.

Остается в стороне также вопрос о измерении проводимости материала при статическом (квазистатическом) электрическом поле, а также определении электростатических (поверхностных и объемных) зарядов в некоторых слоях (пиро-, пъезо-, электро-, опто и др.), влияние которых на электрофизические параметры значительно, но мало изучено.

В электроемкостной системе квазистатическое электрическое поле возникает в результате действия напряжений между электродами (классическое представление). Однако оно (электрическое поле) возникает и под действием точечных, линейных, поверхностных и объемных зарядов, находящихся в ней. Таким образом, имеет место явление электростатической индукции, на основе которого можно построить единую теорию электроемкостных методов измерения параметров материалов.

Существует круг задач электрофизики, электротехнологии, физики диэлектриков и полупроводников, других направлений физики и техники, решение которых без применения электроемкостных систем проблематично.

Вышеизложенное определяет актуальность данной работы.

Диапазон применения емкостных систем достаточно широкопределение диэлектрической проницаемости, толщины слоев, рельефа поверхности и его изменения, амплитуд и частот вибрации, исследования пространственного распределения этих параметров в материале. Очень важно также, что эти системы позволяют измерять неразрушающе электрический заряд, возникающий в материалах за счет внешнего влияния, что недоступно другим существующим средствам на современном этапе их развития.

Цель данной работы заключается в дальнейшем развитии теоретических представлений о электроемкостных системах и их практического применения. Для определения диэлектрической проницаемости, проводимости и толщины диэлектрических слоев, расположенных на проводящей подложке, а также электрических зарядов разработке экспериментальной установки для панорамного преобразования обозначенных параметров в электрический сигнал, применении соответствующих алгоритмов и документировании информации. Особенностью является пространственная разрешающая способность (10″ 10.

3 8 3 м) и чувствительность по заряду (10″ Кл/м), которая связана с точностью определения искомых параметров слоя.

В соответствии с этим, основными задачами диссертационной работы являются:

— развитие теоретических представлений о электроемкостных системах;

— практическое воплощение теоретической концепции в экспериментальной установке, реализующей некоторые возможности электроемкостных систем;

— экспериментальное подтверждение возможности определения диэлектрической проницаемости, толщины и проводимости диэлектрического слоя на проводящей подложке, а также распределений электрического заряда.

Практическая значимость работы заключается в том, что, наряду с уточнением теоретических представлений о электроемкостных системах, предложен, обоснован и экспериментально реализован новый способ определения диэлектрической проницаемости, толщины и проводимости диэлектрических слоев на проводящей подложке, заключающийся в том, что в локальной области слоя формируется поверхностный электростатический заряд (например, в поле коронного разряда) и в дальнейшем фиксируется его релаксация, а также предложен оригинальный зонд для определения анизотропных параметров материала.

Методы исследования.

В диссертации использован теоретический аппарат процессов возникновения индуцированных зарядов и токов в многоэлектродной системе при анизотропном состоянии диэлектрической среды и эксклюзивная экспериментальная установка, основные элементы которой реализованы на основе этих теоретических представлений, позволяющая наблюдать панораму распределения поверхностного электростатического заряда на слое, распложенном на проводящей подложке.

Научная новизна работы состоит в том, что впервые (по нашим данным) в отечественной и зарубежной практике обоснована теория электроемкостных систем с возбуждением электрического поля посредством внешних источников напряжения, а также распределенных точечных, линейных, поверхностных и объемных зарядов. Это значительно расширяет возможности их применения не только для измерения локальных значений диэлектрической проницаемости, толщины и проводимости, но и распределений электрического заряда.

Достоверность и обоснованность полученных результатов.

Теоретические результаты в диссертации достоверны, так как получены с применением методов математической физики и подтверждены экспериментальными данными при исследовании различных слоев на проводящей подложке с помощью разработанной и созданной нами установки и физической интерпретацией результатов.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту.

1. Предложенные представления об электроемкостных системах позволяют наиболее полно реализовать их при определении параметров новых материалов, создаваемых с помощью электротехнологий и других способов.

2. Совокупность и анализ методов возбуждения электрического поля в системе электродов посредством формирования продольного и поперечного по отношению к слою полей расширяют область применения емкостных систем за счет возможности одновременного определения нескольких параметров.

3. Метод определения поперечной составляющей проводимости слоя на проводящей подложке с использованием релаксации поверхностного электростатического заряда позволяет определять диэлектрическую проницаемость, толщину, проводимость и плотность заряда с погрешностями не превышающими 5%.

4. Предложенный способ панорамного определения электрических свойств слоев обладает линейной разрешающей способностью до 0,1 мм.

5. Автоматизированный — экспериментальный аналого-цифровой комплекс на основе электроемкостных систем с применением АЦП, ПЭВМ и устройств отображения и регистрации информации позволяет определить основные электрофизические и геометрические параметры слоев на проводящей подложке, полученных с помощью электротехнологий.

Апробация работы.

Основные положения и результаты диссертационной работы < докладывались и обсуждались на:

— VI международной конференции «Кристаллы.» г. Александров, Владимирской обл. сентябрь 2003 г.

— X Международной конференции «Физика диэлектриков» (Диэлектрики-2004) в 2004 г. г. С.-Петербург, 23−24.05.2004г.

— V Всероссийской конференции «электромагнитная совместимость» сентябрь 2004 г. г. С.-Петербург.

— Международной юбилейной конференции, посвященной 50-ти летию ВНИИСИМС г. Александров, Владимирской обл. июнь 2004 г.

— Расширенном научном семинаре кафедры физики Московского университета математики и электроники.

— Научно-техническом совете Всесоюзного научно-исследовательского института синтеза минерального сырья (ВННИСИМС), г. Александров, Владимирской обл.

— Расширенном семинаре кафедры «Электроника твердого тела» Самарского государственного университета.

— На конференциях профессорско-преподавательского состава СГАУ с приглашением ведущих специалистов Саратовского государственного университета.

Публикации.

Материалы диссертации изложены в 1 монографии (соавтор В.П. Пронин), 14 статьях, трудах и материалах международных конференций, авторский приоритет защищен свидетельством на полезную модель и патентом РФ на способ измерения параметров диэлектрических слоев на проводящей основе (всего 17 научных работ).

Личный вклад автора заключается в участии построения общих теоретических представлений о электроемкостных системах, в разработке и реализации отдельных элементов экспериментальной установки, теоретическом обосновании возможности и экспериментальной проверке определения относительной диэлектрической проницаемости, проводимости слоев на проводящей подложке, их толщины в локальной области и плотности поверхностного заряда, а также в постановке задач и участии в обсуждении результатов их решения.

Структура и объем диссертационного материала.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, содержащих выводы, заключения и списка литературы. Общее количество страниц — 177, в том числе 57 рисунков.

Основные результаты исследований следующие:

1. Обоснован общий подход к описанию электроемкостных систем, в которых электрическое поле возникает как за счет электродов и внешних источников напряжения, так и вследствие наличия в межэлектродном пространстве внутренних источниковповерхностных и объемных зарядов.

2. На основании теоремы Остроградского — Гаусса с применением теоремы Грина установлена простая связь между индуцированном на одном (нескольких) электроде емкостной системы зарядом, обусловленным действием всех источников поля и некоторой функцией, определяемой в результате решения уравнения Лапласа с известными граничными условиями в рассматриваемой емкостной системе.

Показана принципиальная возможность осуществления с помощью емкостных систем различных интегральных преобразований. Предложены и обоснованы простые модели с поперечным, продольным по отношению к слою полем и модели, реализующие их совместное использование при решении основной задачи, связанной с определением электрофизических параметров диэлектрических слоев на проводящей подложке в локальной области. Обоснована возможность аппроксимации сложного аналитического выражения аппаратной функции простыми, а также целесообразность применения в некоторых случаях приближения плоскопараллельного поля.

Предложен и обоснован: способ определения диэлектрической проницаемости, удельной проводимости и плотности поверхностного заряда в локальной области, а также толщины слоя. Для этих параметров j получены простые соотношения через индуцированный в цепи. зонда ток и характеристики самой емкостной системы. (Патент на изобретение РФ). Разработан и создан экспериментальный комплекс, состоящий из устройств формирования электрического поля, систем селекции и преобразования информации, устройств синхронизации, АЦП и ПЭВМ с устройствами отображения информации. Предложена оригинальная конструкция емкостного зонда для исследования анизотропии материалов по диэлектрической проницаемости, плотности заряда и толщине (Патент РФ на полезную модель). и Г.

9. С помощью созданного комплекса выполнены эксперименты, подтверждающие правильность сделанных теоретических выводов и оценены погрешности определения диэлектрической проницаемости, удельной проводимости (сопротивления), плотности поверхностного заряда и толщины слоя, которые не превышают 5%.

Исследования выполнены • на кафедре физики Саратовского государственного аграрного университета имени Н. И. Вавилова.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Результаты теоретических и экспериментальных исследований свидетельствуют, что основная цель работы, заключающаяся в дальнейшем развитии теоретических представлений о электроемкостных системах и их практического применения для определения диэлектрической проницаемости, проводимости, толщины диэлектрических, полупроводниковых и композиционных слоев на проводящей основе, а также поверхностных и объемных зарядов, разработке и создании приборных средств для преобразования обозначенных характеристик в электрический сигнал и алгоритмов его обработки достигнута.

Процессы возникновения в цепи зонда индуцированных зарядов и токов описываются на основании полученных с применением формулы Грина соотношений, связывающих два состояния одной и той же системы — электродов. В отличие от ранее" применяемых моделей и математических описаний, используемый подход позволяет наиболее полно рассматривать спектр возможных применений электрических индукционных систем и определить наиболее целесообразные модификации в каждом конкретном случае [37,98 — 106]. ^.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Г. И. Физика диэлектриков. Область слабых полей. M-JL, 1949.-500с.
  2. Дж. Диэлектрики, полупроводники, металлы.-М. Мир.-1969.450с.
  3. Физика диэлектриков// Материалы 9-й международной конференции «Диэлектрики 2000″ под редакцией Гороховатского Ю.А./ С.-Петербург, РГПУ имени А.И. Герцена
  4. Леб Л. Статическая электризация. М.Л., Госэнергоиздат.-1963.-281с.
  5. .М., Детлаф А. А. Справочник по физике М.-Наука.-1974.-942с. Г
  6. Frohlich Н Thery of dielectrics dielectrics constant and dielectrics loss. Oxford, Clarendon Press.-1949.-180p.
  7. И.Г. Электроемкостные преобразователи для неразрушающего контроля. Рига.-. „Зинатне“. -1982.-302с.
  8. A.M., Эдельнант М. П. Электрические свойства полимеров. М., Химия.-1970.-376с., ' • •
  9. Ш. Т., Петросян В. П. Изучение стеклования полимеров под действием внешнего давления методом диэлектрических потерь.Изв.вузов. АН Армянск. ССР.-Физика.-1978.-Т13.-№ 1.- с.65−71
  10. Ю.Игонин П. А., Овчинников Ю. В. Влияние высоких давлений на диэлектрические потери полимеров. ДАН.-1959.-Т.128.-№ 1.-С. 127−128
  11. П.Соломенко И. И., Шовкопляс В. В. Изменения диэлектрических потерь в кристаллах при пластической деформации.- в кн. Физика твердого тела.-Л.-1972.-С. 70−73
  12. Мае Sh., Higashi A. Effects of plastic deformation of the dielectric properties office.- Crystal Lattice Deffects.-1973.-V, 4.-№ 4.-P.295−308 169
  13. Williams G. Complex dielectric constant of dipolar compounds as a function of temperature, pressure and frequency.-Trau. Faradey Soc.-1964.-V.60.-№ 501.-Pt.9.-P. 1556−1573
  14. M.B., Ильюшин H.C. Неразрушающие методы контроля судостроительных стеклопластиков.- JI. Судостроение.-197.-189с.
  15. Heydemanu P. Dielectric relaxation of РММА as function of pressure, temperature and frequency.-Kolloid-Ztschr., Ztschr. Polymere.-1964.-Bd.z.-H.2.-S.122−128.
  16. Sayre I.A., Swanson S.R. The effect of pressure on the volume and the dielectric relaxation of linear polyethylene.-J.Polymer Sci. Polymer Phys.-1978.-V.16.-№ 10.-P. 1739−1759/
  17. В. Диэлектрики.М.-ИЛ.-1961.-326c.
  18. Schweidler E. Studien iber die Anomalien in Verhalten der Dielectric.-Ann. Phys.-1907.-Bd.24.-S711−770,-v
  19. Jager W. The distribution of relaxation tims in typical dielectricab.-Physics.-1936.-V.7.-№ 12. P.434−450
  20. Fuoss R.M., Krikwood J.G. Electrical properties of solids.- J. Amer. Chem. Soc., 1941.-V.63.-P.385−394. ,
  21. Cole K.S. Cole G.H. vDispersion and absorption in dielectrics. I. Alternating currents characteristics.-J. Chem. Phys.-1941.-V.9.-№ 4.-P.341−351.
  22. A.B., Жуховицкий Б. Я. Высокочастотный нагрев диэлектриков и полупроводников, М., ГЭИ.-1959.-479с.
  23. Lichtenecker К. Der electrische Leitungswiderst and Rinstlicher und naturlicher Aggregate.- Phys. Zischr.-1929.-Bd.30.-S.805.
  24. С., Негами С. Переходы и релаксационные явления в полимерах. М., Мир.-1968.-118с.
  25. Г. А., Фокин А. Г. О вариационном методе вычисления диэлектрической проницаемостйГнеоднородных диэлектриков./ ЖТФ-1974.-Т.44.-№ 2.-С.249−256. //
  26. Davies W.A. The dielectric constant of fibre composites./ J. Phys. Ser.D.-1974.-V.7.-№ 1.-P.120−130.
  27. В.Г., Сухорукое B.B. Электромагнитный контроль М. Высшая школа.-1990.-317с.
  28. Г. А. Избранные вопросы математической теории электрических и магнитных явлений. M.JI.-1948.-728c.
  29. Н.Е. Основы теории электричества. М.-Наука.-1966.-500с.
  30. Н.Н., Тиходоев Н. Н. Методы расчета электростатических полей. М.-Высшая школа.-1963.-500с.
  31. Ю.Я. Расчет электрической емкости. М.-Энергия.-1969.240с.
  32. К.А. Расчет электростатических полей. М.Энергия.-1967.-120с.
  33. В.П. Одновременное определение потенциала и компонент напряженности трехмерного поля./ ЖТФ.-1971.-Т.41.-№ 2.-С.285−291.
  34. В.П. Одновременное определение электростатического заряда и параметров диэлектрических слоев./ ЖТФ.-1984.-Т.54.-№ 8.-С.1479−1487.
  35. Т.В. Электростатика и электродинамика. М.-Ил.-1954.-604с.
  36. Pronin V.P. Electric capacitance method of multiparametric panoramic Examination of Dielectric and semiconductor Lagers// J. of Advanced Materials.-1995. 2 (2).-P. 162−170.
  37. В.П., Михайлов Б. А. Основы теории и применение электроемкостных систем. Саратов.-СГАУ.-2003.-200с.
  38. Ф.М., Фешбах Г. Методы теоретической физики. М.-И.Л. 1958.-T.1.-930C. tf
  39. В. Электрические индукционные микросистемы для научных исследований и контроля Дисс. д-ра техн.наук. МЭИ.М.-1987г.
  40. А.Н., Арсенин .Я. Методы решения некорректных задач. М.-Наука.-1979.-285с.
  41. В.П. Электростатические индукционные системы преобразования информации. М.-Электроника.-1975.-Сер.10.1 (50).-С.93−99.
  42. И.А. Метрологические свойства зондовых систем для измерения поверхностных зарядов//Радиотехника и электроника.-1982.-№ 4.-С.804−812. ^
  43. В.П., Шевченко В. И. Многопараметровый электроемкостный контроль диэлектрических слоев // Дефектоскопия.-1988.-№ 7.-С. 19−26.
  44. Г., Корн Т. Справочник по математике. М.-Наука.-1974.-831с.
  45. .А., Пронин В. П. Копланарные электроды в емкостных системах для исследования однородности электрофизических свойств диэлектрических слоев // Материалы VI Международной конференции „Кристаллы.“ г. Александров-ВНИИСИМС.-2003г. с.257−262
  46. Д.В. Емкостный метод определения однородности физических свойств электротехнологических материалов Дисс. Канд.техн. Наук/СГТУ, Саратов, 2002.
  47. А. Структурная теория распределенных систем. М.-аука, 1977.-280с. .
  48. М., Вошни Э. Измерительные информационные системы / Пер. под ред. Я. В. Малкова. М., 1975−270с.
  49. Connolle Р and Fafrish О. Surface charge measurement // Pros. IEE.-1984.-V. 117.-№ 1 .-P.405−413. 4. ТЦ
  50. В.А., Яровой Г. П. Измерение распределения заряда по поверхности электретов // Метрология. Ежемесячное приложение к журналу „Измерительная техника“. -1974.-№ 12.-с.26−30.
  51. А.С. 574 684 СССР, МКИ3 GR 29/12. Способ измерения локальной плотности поверхностного заряда// Арсентьев Ю. Д., Пронин В. П. 1977 Бюл. Изобр.№ 36.
  52. .И. Измерения электрических потенциалов селеновых электрофотографических слоев/ Электрография и магнитография. Вильнюс.-1959.-С.161−165.
  53. А.Г., Мотеюнас К. С., Сакалаускас С. Ю. емкостные преобразователи для исследования и контроля качества поверхности материалов электронной промышленности // Научные труды вузов Литвы.-Сер. Радиоэлектроника.-1985.-Т.2 (2).-С.25−32.
  54. Марцинкявичус В.А.^- Мотеюнас К. С., Сакалаускас С. Ю. Особенности измерителя поверхностного потенциала с датчиком на основе МДМ структуры // Вопросы радиоэлектроники. — Вильнюс.-1985.-Вып.9.-С.63−67.
  55. А.Н., Митронина B.C. Методы измерения заряда электретов // ПТЭ.-1959.-№ 4.-С. 113−118. Ч^ Л
  56. А.Н. Электреты М.-Наука.-1978.-192с.
  57. Cornelis W., Rocdyk P. The measurement of surface charge // J. Electrochem. Soc.-1968.-V.115-№l.rp.318−321.
  58. Mitchinson J.C., Pringle*. R.D., Faveis W.E. Surface potential measurement using a rotation dynamic capaciton // J. Phys. E. Sci. Jnstrum.-1971.-V.4.-№ 7.-P.525−529.
  59. Scrutton В., Blott В. Ahigh resolution probe for scabbing electrostatic protiles across surface // J. Phys. E.Sci. Instrum.-1973.-V.6.-№ 5.-P.472−474.
  60. A.C. 1 100 583 СССР, МКИ3 601 R 18/10 Устройство для измерения потенциала заряженных слоев // Фулга В. И., Панасюк Л. М. (СССР).-1984.-Бюл.№ 2.
  61. Н.Г. Измеритель поверхностного потенциала // ПТЭ.-1981.-№ 1.-С.250−253.
  62. В.З., Гоц С.С., Сушко Б. К. Измеритель величины поверхностной плотности заряда диэлектриков // ПТЭ.-1983.-№ 1.-С.230−233.
  63. Г. Е., Гроссе Л. Т., Кравцов Л. И. Измеритель электростатических зарядов// Измерительная техника.-1978.-№ 5.-С.70−71.
  64. А.С. 418 815 (СССР), МКИ3 601 R 18/10. Устройство для измерения поверхностной плотности заряда // Куликовский К. Л., Курочкин Е. П., Петрова Т.А.-1974.-Бюл.23. V:
  65. Juvec A., Ronald. Hay R. Robert. Electrostatic voltmeter (Hewlt Packard) // Пат. 4 197 493 (США).-Бюл.23
  66. В.Л., Матвеева И. А. Применение электростатической индукции для определения потенциала и плотности заряда диэлектрических и полупроводниковых структур.*Саратов, СГУ.-1990.-134с.
  67. И.А., Пронин В., Шехтман Л. А. К теории измерения поверхностных зарядов методом электростатической индукции // ЖТФ.-1977.-Т47.-№ 7.-С. 1389−1295.
  68. В.П. Электроемкостные системы в электрофизике. Саратов.-СГАУ.-1997.-3 Юс., ч
  69. В.Н., Попов С. Ф. Приборы для измерения величин зарядов статического электричества//Нефтяное хозяйство.-1963.-№ 12.С. 49−54.
  70. О.М., Зыев В. И., Курочкин Е. П. Измерение потенциала на поверхности диэлектрйКОй* динамическим конденсатором // Измерительная техника.-1974.-№ 6.и С. 59−61.
  71. А.К., Корюшкин Н. А. Квазистатический метод определения поверхностного потенциала полупроводника // Микроэлектроника.-1978.-Т.7.-№ 2.-С. 174−177. ' .
  72. А.С. 57 684 СССР МКИ3 GIIR 29/12. Способ измерения локальной плотности поверхностного заряда // Арсентьев Ю. Д., Пронин В. П. (СССР).-1977.- Бюл. № 36.
  73. С.Ю., Добровольские А. Г. Измеритель распределения поверхностного электрического потенциала III ПТЭ.-1978.-№ 6.- С. 165−168.
  74. Г. М. Моделирование полей методом электростатической индукции. М.-Наука.-1970.-316с.
  75. А.С. 921 322 СССР, МКИ3 GnR 29/24 Устройство для измерения заряда электретов / Пронин В. П. (СССР).-1981. Бюл. изобр. № 36.
  76. Ю.Н., Пронин В. П. Прибор для экспресс исследований микрораспределений электрических свойств пленочных материалов // Методы и средства контроля полупроводниковых и диэлектрических структур. ССР.8.-М. ЦНИИ Электроник.-1986. Вып. 2(232).-С.46−48.
  77. В.П. Прибор для панорамного исследования процессов накопления и релаксации электрических зарядов//ПТЭ.-1987.-№ 5.- С.184−186.
  78. Патент на п.м. № 36 144 Емкостный зонд // Пронин В. П., Михайлов Б. А. бюл.№ 6 от 27.02.2004 г.
  79. В.П., Шехтман Л. А. Наведение токов движущимся зарядом в системе проводников с комплексными нагрузками // ЖТФ.-1967.-Т37.-№ 8. С.1387−1392.
  80. И.М., Герштейн Г. М., Пронин В. П. Автоматическое моделирующее устройство для, вычисления и построения траекторий заряженных частиц // Радиотехника и электроника.-1973.-№ 12.-С. 2036−2046.
  81. Г. Е., Армонавичус В. П. Малошумящий предусилитель // ПТЭ.-1984.-№ 1.-С. 126−127. i
  82. В.П. Потенциальные тесты для бесконтактных емкостных методов дефектоскопии // Дефектоскопия.-1985.-№ 8.- С. 88−93.
  83. В.А., Леонов А. С., Ягола А. Г. Численные методы решения обратных задач астрофизики. М.-Наука.-1978.-300с.
  84. Патент РФ на изобретение № 2 249 224// Б. А. Михайлов, В. П. Пронин. Электроемкостный~зондовый способ/ Опубл. Бюл. № 9 от 27.03.2005 г./ МНК G01R 29/24., V
  85. P.M. Электрофотография. М.-Атомиздат.-1974.-621с.
  86. Г. Электреты. М. Мир.-1983.-488с.
  87. Ю.П. Фазовая рельефография. М., Энергия.-1974.-137с.
  88. В.К. О расчете некоторых нестационарных распределений электрических зарядов по движущимся технологическим лентам// Изв. вузов Сер. Электромеханика. 1982.-№ 2.-с.164−169.
  89. П.Э. Избранные задачи расчета электрических и магнитных полей. М. Сов.Радио. 1977.-319с.
  90. А.А. Спектры и анализ. М.: Физматиз. 1962.-236с.
  91. Е.Н., », Кошкин Н.И. Элементарная физика (справочник) М. «Столетие». 1996^-ЗООс.
  92. Б.А. Михайлов, В. П. Пронин. Определение локальных электрофизических свойств материалов методом электростатической индукции// Труды X международной конференции «Диэлектрики-2004» /С.Петербург, РГПУ, 2004 Г.-С.365−368/
  93. Б.А. Михайлов, В. П. Пронин. Емкостный метод определения проводимости слоев// Труды X международной конференции «Диэлектрики-2004» /С.-Петербург, РГПУ, 2004г--с.363−365.
  94. Б.А. Михайлов. Определение локальной проводимости диэлектрических слоев на проводящей подложке// Труды 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.662−666.
  95. Б.А. Михайлов, В. П. Пронин. Измерение параметров диэлектрических и полупроводниковых слоев на проводящей основе емкостным методом// Труды 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.674−679.
  96. И.С. Луцева, Б. А. Михайлов, В. П. Пронин. Измерение локальной проводимости диэлектрических и композиционных слоев емкостным методом// Сб. докладов 9-й Российской НТК «ЭМС-2004» С.-Петербург, 2004 г.-с.437−441. i-i
  97. B.A.Michaylov, V.P. Pronin. Electrocapacitive defectoscopy of dielectric// Materials international jubilee conference singlecrystals and their application in the XXI centuey-2004 VNIISIMC /Alexandrov, Russia, June 8−11.-2004.-p.273−274.
  98. Б.А. Михайлов Определение локальных параметров диэлектриков в ЭМС емкостным методом// Б. А. Михайлов, В. П. Пронин, Т. Ю. Суринская, М.В. Шаталина/ Труды 7-й Всероссийской конф. «ЭМС-2002» С.-Петербург 18 сентября.-с. 113−124.
  99. Б.А. Михайлов, В. П. Пронин. Определение проводимости диэлектрических слоев методом электростатической индукции// Материалы 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.253−257. •'
  100. Б.А. Михайлов, В. П. Пронин. Измерение электрофизических параметров слоев на проводящей подложке в локальной области// Труды 6-й международной конференции. «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСИМС.-2003г.-с. 187−201. у
  101. И.С. Луцева, Б.A.-vМихайлов, В. П. Пронин. Накопление и релаксация заряда в кристалле ниобата лития при импульсном тепловом воздействии// Труды X международной конференции «Диэлектрики-2004» /С.-Петербург, РГПУ, 2004 г.-с.358−361.
  102. Б.А. Михайлов, В. П. Пронин. Особенности изменения электростатического заряда в ниЬбате лития// Материалы 6-й международной конференции «Кристаллы.» /г. Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.246−259.
  103. Б.А. Михайлов, В. П. Пронин. Накопление и релаксация термостимулированного заряда в LiNbO-}// Труды 6-й международной конференции «Кристаллы."/г.-Александров, ВНИИСМС.-2003г.-с.667−673.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!