Разработка и исследование элементной базы интегрированных вакуумных систем и создание на их основе оборудования высоких технологий производства изделий электронной техники
Диссертация
В первой главе рассмотрено состояние и тенденции развития оборудования высоких вакуумных технологий, сформулированы требования к вакуумным системам оборудования, в том числе использующих в технологических целях пучки заряженных частиц, а также анализируются возможность и перспективы использования в оборудовании современных средств откачки. Завершается глава изложением концепции трехэтапной… Читать ещё >
Список литературы
- Национальная программа развития электроники России на период 1991 -2000 гг. (Проект).
- Каталог фирмы Balzers. 1999.
- Каталог фирмы Alcatel. 1998.
- Каталог фирмы Varian. 1997.
- Каталог фирмы Leybold-Systems. 1999.
- Технология СБИС. Кн. 1. Пер. с англ. / Под ред. С. Зп.-м Мир, 1986. 404 с.
- Вендик О.Г., Горин Ю. Н., Попов В. Ф. Корпускулярно-фотонная технологиям. 175 с.
- Попов В.Ф., Горин Ю. Н. Процессы и установки электронно-ионной технологии. М.: Высшая школа, 1998. 255 с.
- Попов В.К., Ячменов С. И. Электронная литография / Обзоры по электронной технике. Сер. 7. Технология, организация производства, оборудование ЦНИИ электроника. М., 1985. Вып. 9. 42 с.
- Райзер Ю.П., Кузнецов В. И., Кустов В. Л. Распределение свободных атомов и радикалов в потоке низкотемпературной плазмы / Журн. физ. Химии. 1983. Т. 7. № 6. С. 1494 1499.
- Захаров И.С., Барбин С. И. и др. Применение магнетронного ионного реактивного распыления твердотельных модуляторов света на основе кристаллов типа силленита. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1995. 21 с.
- Камардин А.И., Радгиабов Т. Д. Ионно-плазменные технологии и устройства нанесения покрытий. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1999. С. 41 44.
- Ивановский Г. Ф., Петров В. И. Ионно-плазменная обработка материалов. М.: Радио и связь, 1986. 232 с.
- Будилов В.В. Обеспечение эксплуатационных свойств поверхности конструкционных материалов ионно-плазменной обработкой на основе технологической наследственности. Тезисы доклада НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1995. 7 с.
- Мальгин С.Н. Тенденции развития электронного машиностроения. Электронная промышленность. 1992. Вып. 5. С. 14 15.
- Ковалев Л.К. Расчет конструкций камер напылительных установок методом математического моделирования. Электронная техника. Сер. 10. Квантовая электроника М.: ЦНИИ Электроника. 1975. Вып. 1.С. 42−53.
- Sugiura H., Yamaguchi M. Crown of Dislocation- Free Silicon Films by Molecular Beam Epitawxy Sistems, Pergamon. London. 1981. C. 123 -126.
- Ota Y., N-tipe Doping Techniques in Silicon Molecular Beam Epitaxy by Simultanius Arsenic Yon Implantation and by Antimony Evaporatich, Y Electrochem Soc., 126. 1979.
- Быковский Ю.Ф., Дудолалов А. Г., Козленков В. П., Леонтьев П. А. Получение эиитаксиальных пленок полупроводниковых соединений с помощью импульсного твердотельного ОКГ. Термоэлектрические материалы и пленки. Л., ЛФТИ, 1976. 49 с.
- Денисов А.Г., Кузнецов H.A., Макаренко Оборудование для молекулярно-лучевой эпитаксии. Электронная техника. Сер. 7. № 17. 1981. С. 28−36.
- Александрова А.Т. Новые способы передачи и формирования движения в вакууме. -М: Высшая школа, 1978. 72 с.
- Александрова А.Т., Горюнов A.A., Ермаков Е. С. и др. Вакуумные манипуляторы. Электронная промышленность. 1981. С. 32−37.
- Мальгин С.Н. Элементная база электронного машиностроения. СПб.: Изд-во РНИИ «Электронстандарт», 1993. 44 с.
- Александрова А.Т. Функциональные устройства вакуумной механики на основе приводов управляемой упругой деформации. НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1998. С. 150 155.
- Воссен О' Нейл. Обратное распыление материала эмитируемого с мишени при ВЧ распылении. Электроника. 1971. № 12.
- Vossen I.L., Davidson E.B. The Intraction of photoresists with metals and oxides during RF sputter etching. I Electrochem Soc. 1972. Vol 119. № 12. C. 16−21.
- Оборудование ионной имплантации / B.B. Симонов, Л. А. Корнилов, A.B. Шашелев, Е. В. Шокин. М: Радио и связь, 1988. 184 с.
- Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. М: Радио и связь, 1987. 375 с.
- Сверхвысокий вакуум в радиационно-физическом аппарато-строении / Под ред. Саксаганского Г. Л. М: Атомиздат, 1976. 288 с.
- Домахин И.Г., Логинова Г. С. Газовыделение анодных материалов под действием электронной бомбардировки. -Электронная техника. Сер. 5. 1971. Вып. 1(18). 113 с.
- Петерман JI. Десорбция газа при электронной бомбардировке. Остаточные газы в электронных лампах. М.: Энергия, 1967. 192 с.
- Данилин Б.С. Получение тонкопленочных слоев с помощью магнетронной системы ионного распыления. Зарубежная радиоэлектроника. 1978. № 4. С. 87- 105.
- Коллеров Э.П. и др. Компактный накопитель СКН-600 -источник синхротронного излучения для литографии. ГДР, Лейпциг, 1988. Материалы научно-технической конференции. 23 с.
- Данилин Б.С., Киреев В. Ю. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов. М.: Энергоатомиздат, 1987. 263 с.
- Duval P. Pumping clorinated gases in plasme deposition and etching systems Solid State Techn. 1981. V. 24. № 10. P. 86 — 89.
- Duval P. High Vacuum production in the microelectronics Industry1988. P. 272.
- Кондратов A.B., Потапенко A.A. Термическое испарение в вакууме при производстве изделий радиоэлектроники. М.: Радио и связь. 1986. 80 с.
- Садыков К.С. Разработка методов расчета и оптимизация вакуумных диффузионных насосов / Дисс. на соиск. уч. ст. д.т.н. Казань, 1997. 320 с.
- Киреев В.Ю., Данилин Б. С., Кузнецов В. И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и связь. 1983. 126 с.
- К. Stroup Guest for Comproving LPCVD Vacuum Pump Operating Si. 1993. № 9. C. 11 12.
- Рекламные материалы AO «Вакууммаш».
- Semiconductor International. 1993. № 7.
- Turbomolecular pump Si. 1993. № 8, 93.
- Pumping Vacuum and geses Semicond Intern. 1992. № 12.
- Артемьева И.В. Средства получения вакуума. Аналитический обзор. Cep.HI. № 11 НИИВТ. 1992. 37 с.
- В.Н. Кеменов Новые разработки в области элементной базы вакуумной техники. Тезисы доклада XI Всесоюзной конференции «Диффузионное соединение металлических и неметаллических материалов». Москва, 1984. 35 с.
- Борисов В.П., Кеменов В. Н., Маклаков A.A. Вакуумная техника в электронной промышленности. «Электронная промышленность». Вып. 7. 1984. С. 2−6.
- Вакуумная техника. Справочник /Е.С. Фролов, В. Е. Минайчев, А. Т. Александрова и др. М.: Машиностроение, 1992. 471 с.
- Дюваль П. Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности. М: Мир, 1992. 277 с.
- Каталог фирмы Seiko Seiki Magnetically levitation turbomolecular pumps. Ultra high vacuum series. 1991.
- Горбачев С.П. и др. Расчет температурных полей в теплопоглощающих криогенных экранах. Труды НПО «Криогенмаш». Вып. 15. 1973. С. 73 -85.
- Беляев В.П. Криогенная техника и технология. М.: Энергоиздат, 1982. 272 с.
- Кеменов В.Н., Зыков В. М., Иванов И. А., Динов Ю. С. Крионасос с автономным криогенератором для откачки газов в переходном режиме течения. Материалы НТК «Физика и техника высокого и сверхвысокого вакуума». Луринград, 1985.С. 195 196.
- Каталог фирмы Leybold-Vakuum. 1997.57. Edwards. 1997.
- Проспект НПО «Сибкриотехника». 1997.
- Вакуумная техника. Справочник / Под общ. ред. Е. С. Фролова,
- B.Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1992. С. 363 376.
- А.С. СССР № 387 465. Комбинированный магниторазрядный геттерно-ионный насос / Желтов М. П. и др., 1967.
- Курбатов O.K. и др. Новые магниторазрядные насосы с улучшенными вакуумными и эксплуатационными характеристиками. Материалы НТК «Физика и техника высокого вакуума». Ленинград, 1974. С. 28.
- Топчева Т.Н. Диффузионные насосы АО НТИ 1984 г.
- АС СССР № 1 777 422. Диффузионный вакуумный насос / Грошков А. Н., Голоскоков, 1992.
- АС СССР. № 595 542. Выходной патрубок диффузионного насоса / Кеменов В. Н., Леонов Л. Б., Антюхов В. Н. БИ № 8. 1978.
- Патент США, кл. 417/54 (F04F9/00). № 4 242 052.
- Патент Англия, кл. FIE (F04F9/06). № 2 074 245.
- Авторское свид. ЧССР, кл. F04 U-9/08. № 186 817.
- Патент США кл. 202/158. (B01D3/14, F94 F9/00). № 4 201 629.
- АС СССР № 591 622. Диффузионный насос / Кеменов В. Н., Антюхов В. Н. БИ № 5, 1978.
- Кеменов В.Н., Грошков А. Н., Соболева Л. Н. Разработка диффузионного вакуумного насоса с воздушным охлаждением со стабильной откачкой гелия. Научно-технический отчет НИИВТ. № 3511, № ГР 38 925. 1988. 26 с.
- М. Мельник. Основы прикладной статистики. М.: «Энергоатомиздат», 1983. 413 с.
- Benard A., and van Eltern Rh. A generalization of the method of in rankings. Kon. Ned. Ak. Wet., A. 56. № 4 and jndag. Math., 15 № 4, 1953.1. C. 42−48.
- Pitman E.J.G. (1937, 1938). Significance tests which may by applied to samples from any population. Supp. J.R. Stat. Soc., 4.119- The carrelation coefficient test. Supp. J.R. Stat. Soc. 4, 225: The analysis of vacance test. Biometrics, 29, 332.
- Кендалл М., Стьюарт А. Теория распределений М.: Наука, 1966. 296 с.
- Кендалл М., Стьюарт А. Статистические выводы и связи. М.: Статистика, 1975. 276 с.
- Friedman М. (1940). A comparison of alternative tests significance for the problem of in rankings. Ann. Math. Statist, 1940. C. 9 21.
- Кеменов B.H. Реализация системного подхода при проектировании вакуумных систем оборудования высоких технологий. «Вакуумная техника и технология». Т. 9. № 4. 1999.С. 13 17.
- Кеменов В.Н. Двухуровневая система выбора оптимальных средств откачки для оборудования высоких технологий. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф 1999. С. 186 187.
- Кеменов В.Н. Модель оптимального выбора агрегатно-модульной компоновки. Тезисы доклада НТК «Состояние и перспективы развития вакуумной техники». Казань, 1991. С. 82 83.
- Г. Корн, Т. Корн Справочник по математике для научных работников и инженеров М: Наука, 1968. 720 с.
- В.М. Самойлов, В. В. Сысоев, В. Н. Кеменов, J1.H. Макаров. Модель оптимального проектирования компоновки вакуумных агрегатов (М-В сборник научных трудов. Автоматизация проектирования и управления в технологических системах). Воронеж ВТИ. 1990. С. 75−78.
- Кеменов В.Н. Вакуумные откачные системы оборудования производства ИЭТ. Депонир. ЦНИИ «Электроника». Реферат «Электронная промышленность». Вып. 11. 1989. 9 с.
- Кеменов В.Н. Состояние и перспективы развития систем откачки. Материалы НТК «Достижения и перспективы развития диффузионной сварки». М., 1987. С. 56 58.
- Кеменов В.Н., Бегун O.A., Горюнов А. Н. и др. Исследование и разработка макета диффузионного насоса с повышенной стабильностью откачки гелия. Научно-технический отчет НИИВТ. № ГРУ 15 414. 1985. 23 с.
- АС СССР № 989 167. Способ запуска пароструйного вакуумного насоса / Кеменов В. Н., Чухлов В. Д., Гумеров Н. М., 1983.
- АС СССР. № 556 245. Способ защиты охлаждаемого корпуса многоступенчатого пароструйного вакуумного насоса от перегрева / O.JI. Гладков, В. Н. Кеменов и др. БИ № 16, 1977.
- Кеменов В.Н., Капустин Н. Ф., Садыков К. С. Серия диффузионных насосов с воздушным охлаждением. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996. 85 с.
- Кеменов В.Н., Грошков А. Н., Лавыгин В. А., Уксусов A.C. и др. Новое поколение диффузионных вакуумных насосов. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1994. С. 94 95 с.
- Кеменов В.Н., Калинкин Д. Ф., Капустин Н. Ф., Садыков К. С. Повышение безопасности работы диффузионного вакуумного насоса при работе в различных газовых средах. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996 г. С. 7 8.
- Кеменов В.Н. Сравнительная оценка современных физических моделей работы диффузионных вакуумных насосов. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1999. С. 184 186.
- Кеменов В.Н., Сапежинский М. Г., Балюк В. Г. и др. Исследование возможности улучшения откачных характеристик диффузионных вакуумных насосов. Тезисы доклада НТК «Вакуумная техника». Гурзуф, 1995. 131 с.
- Кеменов В.Н., Савинский К. А. Ряд укороченных высоковакуумных паромасляных насосов. Тезисы доклада V Всесоюзной конференции «Новые разработки и исследования струйных и других типов насосов». Казань, 1972. С. 6 58.
- A.C. СССР № 308 231. Пароструйный вакуумный насос / Кеменов В. Н., Мусатов В. Н., Муралов С. Ю. Опубл. БИ № 21. 1971.
- A.C. СССР № 393 479. Пароструйный вакуумный насос. Кеменов В. Н., Денмухамедов В. Н., Леонов Л. Б., Савинский К. А., Постников1. A.A. БИ № 33, 1973.
- A.C. СССР № 573 614. Диффузионный насос / Кеменов В. Н., Опубл. БИ № 35, 1977.
- A.C. СССР № 584 101. Диффузионный насос / Кеменов В. Н. БИ № 46, 1977.
- Патент РФ № 584 102. Диффузионный насос / Кеменов В. Н. БИ № 46, 1977.
- A.C. СССР № 590 494. Способ защиты охлаждаемого корпуса многоступенчатого пароструйного вакуумного насоса / Кеменов В. Н., Костиков Ф. М., Савинский К. А. БИ № 4, 1978.
- Патент РФ № 1 742 526. Пароструйный вакуумный насос. Кеменов
- B.Н., Грошков А. Н., Уксусов A.C.
- A.C. СССР № 595 543. Диффузионный насос / Кеменов В. Н., Назаров Л. Н., Симонов В. В. БИ № 8, 1978.
- A.C. СССР № 1 354 872. Диффузионный вакуумный насос 26.05.86, 1987.
- Скобелкин В.И., Ющенкова Н. И. Теория пароструйного вакуумного насоса. ЖТФ. Т. XXIV. Вып. 10. 1954. С. 1879 1821.
- Ребров А.К. Состояние теории и возможные пути развития струйной вакуумной техники. В сб. научных трудов «Газодинамика процессов струйной вакуумной откачки» под ред. Кутателадзе С. С., Новосибирск. 1985. С. 7 18.
- Г. Берд. Молекулярная газовая динамика. М.: Мир, 1987. 319 с.
- Кеменов В.Н. Сравнительная оценка современных физических моделей работы диффузионных вакуумных насосов. Материалыконференции «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1999. С. 184 — 186.
- Кеменов В.Н., Сапежинский М. Г. Математическое моделирование процессов откачки во входной полости диффузионного насоса. «Вакуумная техника и технология». Т. 9. № 1. 1999. С. 21−30.
- Кеменов В.Н. Анализ методов математического моделирования диффузионных вакуумных насосов. «Вакуумная техника и технология. Т. 9. № 2. 1999. С. 23 -85.
- Лифшиц И.М., Питаевский Л. Л. Физическая кинетика. Сер. «Теоретическая физика». Т. X. М.: Наука. 1979. 528 с.
- Ющенкова H.H. Исследование структуры несимметричной сверхзвуковой струи в вакууме. М.: Из-во АН СССР, 1964. С. 343 -354.
- Булгаков A.B., Николаев Г. Ф., Приходько Г. В., Садыков Г. С. Структура струи паров вакуумного насоса, истекающей из звукового сопла. В сб. «Газодинамика процессов струйной вакуумной откачки». Новосибирск. 1985. С. 127- 136.
- Белоцерковский О.М., Яницкий В. Е. Проблемы численного моделирования течений разреженного газа. «Успехи механики». Т. 1. Вып. 12. С. 69−112.
- Соболь И.М. Численные методы Монте-Карло. М.: Наука, 1973. 311 с.
- Коган М.Н. Динамика разреженного газа. М.: Наука, 1967. 440 с.
- Чимпен С., Каулинг Т. Математическая теория неоднородных газов. М.: ИЛ, 1960. 510 с.
- Becker W. Eine neue Molekularpumpe Vacuum — Technic. № 7. 1998. S. 149- 152.
- Becker W. Zur Theorie Turbomolekular pump — Vacuum — Technic. № 10. 1961. S. 132- 135.
- Becker W. Uber eine neue Molekularpumpe. Advances in Vacuum Seirce and Technologi. Vol. 1. Pergamon Press. 1960. P. 173 176.
- Kruger С., Shapiro A Vacuum Pumping with a blated Axial Flow Pergamon Press. 1960. P. 117 — 140.
- Sawada Т., Suzuki M., Taniguchi O. The axial molecular pump. Part 1. Sehent Papers Inst Phys. An ehem. Ree. 1968. № 2. P. 49 61.
- Sawada Т., Suzuki M., Taniguchi O. The axial flow molecular pump. Part 2. Bull of the ISME. Vol. 14. 1971. № 67. P. 48 57.
- Sawada Т., Suzuki M., Taniguchi O. The axial flow molecular pump. Part 3. Bull of the ISME. Vol. 16. 1973. № 94. P. 312−318.
- Беляев Л.А. О расчете параметров молекулярных турбонасосов / В кн: Вакуумная техника. Вып. 1. Казань. Татарское кн. изд-во, 1968. С. 58−64.
- Беляев Л.А. Метод расчета турбомолекулярных вакуум -насосов. Химическое и нефтяное машиностроение. 1970. № 6. 18 с.
- Фролов Е.С. Турбомолекулярные вакуумные насосы. М.: Машиностроение. 1980. 119 с.
- Кондрашев B.C. Вопросы расчета и теории молекулярных турбонасосов. Межвузовский сб. Московского института радиотехники, электроники и автоматики. 1978. № 2. 226 с.
- Кондрашев B.C. Новый молекулярный насос с цилиндрической системой взаимодействующих рабочих органов. Труды МИЭМ. Вып. 9. 1970. С. 131−155.
- Кондрашев B.C., Волчкевич Л. И., Демешкевич Т. Б. Турбомолекулярные насосы современные сверхвысоковакуумные средства безмасляной откачки. Электронная техника. Сер. 1. Электроника СВЧ. № 12. 1969. С. 112 — 117.
- Демихов К.Е. Исследование и расчет ступени турбомолекулярного вакуум-насоса. Автореферат диссертации на соискание уч. степ, к.т.н. (МВТУ им. Н.Э. Баумана). 14 с.
- Демихов К.Е., Пыжов И. Н. Модель процесса переноса молекул газа межлопаточными каналами рабочего колеса турбомолекулярного вакуум-насоса. Химическое и нефтяное машиностроение. № 1. 1977. С. 26−27.
- Фролов Е.С., Демихов К. Е., Никулин Н. К. Расчет откачной характеристики турбомолекулярного вакуум-насоса. Изв. Вузов. Машиностроение. 1973. № 2. С. 79 82.
- Черепнин Н.В. Эволюция турбомолекулярных насосов за рубежом. Обзоры по электронной технике. Сер. «Технология, организация производства и оборудования». Вып.6 (646). М.: ЦНИИ Электроника. 1976. 36 с.
- Бычкова А.Д., Саксаганский Г. Л. и др. Результаты испытаний турбомолекулярного насоса при откачке тяжелых изотопов водорода. Труды Всесоюзной конференции по инженерным проблемам термоядерных реакторов. Л. НИИЭФА, 1977. Сер. II. 255 с.
- Леонов Л.Б. Пути развития турбомолекулярных насосов. Электронная техника. Сер. 7. Вып. 3 (112). 1982. С. 55 58.
- Цейтлин А.Б. Состояние, тенденции и перспективы развития турбомолекулярных насосов. Аналитический обзор. Сер. II. Вакуумная техника. Вып.2 (215). 1986. 55 с.
- Balzers Vacuumtechnik, 1985 г.
- Henning H.H., Knorr G. Heue luftgekuhlte lagunabhangige Turbomolekularpumpen fur Industrie and Forschung Vacuum — Technik. 1981. № 4, 34.41 c.
- Harald Betsch Geeignete Fetschmiersystem halten die Temperatur an Spindellagerungen niedrig, Maschinenmarkt. 1980. № 36, 47. 50 c.
- Alcatel. Вакуумная техника каталог компонентов. 1985 — 1986. 149. Vacuum — Technik. Bd. 34. № 6. 1985. С. 13 — 17.
- Henning H.H., Caspar H.P. Walzlagerungen in Turbomolecularpumpen Vacuum — Technik. 1982. Bd. 31. № 4. C. 21 -24.
- Balzers Turbomolecularpumpen. TPH 050, TPU050, 1983.
- Composite Type Molecular pump Technocrat. V. 17. № 1. 1984. C. 57−61.
- Pumps turbomolecular Laboratory Equipment. V. 22. № 2. 1985. C. 91 -98.
- Edwards. Edwards wide Range of Turbo Pumps -1. Vac Sci Technol.
- A. V. 3.№ 2. 1985. C. 78−80.
- Technocrat. V. 18. № 6. 1985. C. Ill 113.
- A.C. СССР № 992 837. Турбомолекулярный вакуумный насос / Кеменов В. Н., Леонов Л. Б. БИ № 4, 1983.
- А.С. СССР № 688 708. Способ регулирования производительности турбомолекулярного насоса / Кеменов В. Н., Леонов Л. Б. БИ № 36. 1979.
- А.С. СССР № 29, 567 848. Двухпоточный вакуумный турбомолекулярный насос / Кеменов В. Н., Алексашин В. А., Кузнецов
- B.Н., Леонов Л. Б. БИ № 29. 1977.
- А.С. СССР № 909 324 Турбомолекулярный вакуумный агрегат / Кеменов В. Н., Леонов Л. Б. БИ№ 8. 1982.
- Цейтлин А.В. Современное состояние и перспективы развития вакуумной техники. ЦНИТИХИМНЕФТЕМАШ. 1986. С. 35 52.
- Каталог фирмы Leybold-Heraues. 1993.
- Каталог фирмы Ulvac. 1998.
- A new Refrigerator IE Spectrum. 1982. V. 19. № 8. С. 186 — 190.
- Физико-технические основы криогеники. Справочник / Под ред. М. П. Малюкова. М.: Энергия, 1973. 392 с.
- Микулин Е.И. Криогенная техника. М.: Машиностроение, 1978. 248 с.
- Беляков В.П. и др. Высокоэффективный криосорбционный насос новой конструкции. В кн. «Вопросы современной криогеники». М.: Внешторгиздат, 1975. С. 341 359.
- Беляков В.П. Особенности начальной стадии переходного процесса в криогенной системе. Изд. Вузов. Машиностроение, 1977. № 9. С. 60 64.
- Беляков В.П. Криогенная техника и технология. М.: Энергоиздат, 1982. 272 с.
- Хефер Р. Криовакуумная техника. М.: Энергоатомиздат, 1983 г.
- Юферов В.В., Сороковой Л. Г. К вопросу о криозахвате. «Вопросы атомной науки и техники». Сер. «Низкотемпературная адсорбция и криогенный вакуум». Вып. 1. Харьков. ФТИ АН УССР. 1971. С. 158−161.
- Moore R.V. Criopumping in the free-molecular, flow regime Trans of the Nat Vac. Simp. 1962. P. 426 438.
- Боровик Е.С., Гришин С. Ф., Гришина Е. Я. Абсолютный конденсационный насос ЖТФ. 1970. № 3. С. 581 — 586.
- Боровик Е.С., Гришин С. Ф., Лазарев Б. Г. О предельном вакууме криоконденсационных насосов. ПТЭ. 1960. № 1. С. 116−118.
- Суслов А.Д., Гороховский Г. А. и др. Криогенные газовые машины. М.: Машиностроение, 1982. 315 с.
- Минайчев В.Е. Вакуумные крионасосы. Энергия., 1976. 152 с.
- Быков Д.В. Точные решения уравнения баланса для структуры с сорбирующимися стенками. Межвузовский сб. МИЭМ. 1988. С. 112 114.
- Боярина М.Ф. Взаимодействие нераспыляемых газопоглотителей с водородом и окисью углерода. Электронная техника. Сер. Генераторные, модуляторные и рентгеновские приборы. Вып. 1. 1970. С. 68−74.
- Быков Д.В., Вислоух В. Е., Кондрашева О. И. Нераспыляемые газопоглотители на основе порошковых материалов. Материалы НТК «Технология формирования материалов из порошков». 49 с.
- Быков Д.В., Вислоух В. Е., Глебов Г. Д., Шугалей О. И. Низкотемпературный геттер. Материалы НТК «Криогенные средства получения вакуума». Харьков. 1977. 36 с.
- Минайчев В.Е., Зыков В. М. Крионасосы. М.: ЦНИИ «Электроника». 1972. 73 с.
- Кеменов В.Н., Богачева Е. А., Зыков В. М. и др. Вакуумно-криогенная установка на базе низкофонового гелиевого криостата. Научно-технический отчет НИИВТ № 3529. 1988, № ГР У 46 780, 25 с.
- Кеменов В.Н., Зыков В. М., Иванов И. А. Крионасос для работы в области давлений 1−100 Па. «Электронная промышленность». Вып. 6. 1988.16 с.
- Назаров A.C. и др. Исследование защитных свойств сорбционной и комбинированной ионной ловушек для механических вакуумных насосов, ВН и ДВН Научно-технический отчет НИИВТ. № 1246. 1967.
- Розанов Л.Н. Вакуумная техника. М.: Высшая школа, 1979.
- A.C. СССР № 706 574. Вакуумная система / Щавелев БИ. № 48. 1979.
- Balzers Catalyser trap URB040 BP 800 006 RE (8108, Лихтенштейн, 1983 г.). 8 с.
- Патент 102 239 (ФРГ) Verhaften und vorriditung zum Abpumpen von arganischen Dampfen / th Kraus.
- Крылов О.В., Шибанова М. Д., Глубокое каталитическое окисление углеводородов. Проблемы кинетики и катализа, 1982. Т. 18. № 1. 18−23 с.
- Марголис Л.Я. Окисление углеводородов на гетерогенных катализаторах. M.: Химия, 1977. 321 с.
- Голодец Г. И. Гетерогенно-каталитические реакции с участием молекулярного кислорода. Киев: Наукова думка, 1977. 203 с.
- Loy В. Delmon Preparation of catalyses 3 rd/Ed Elsevier Sei. Publ. Co. Amsterdam. 1979. C. 271 -285.
- Промышленные катализаторы газоочистки. Каталог / Мин-химпром. Новосибирск: Изд. ИК СО АН СССР, 1984.
- Каталиаторы и процессы, разработанные Институтом катализа СО АН СССР и СКТБ катализаторов МХП: Каталог / Минхимпром. Новосибирск: Изд. ИК СО АН СССР, 1984.
- Кеменов В.Н., Дубинский В. А. форвакуумные каталитические ловушки типа ЛК. Тезисы доклада НТК. Состояние и перспективы развития вакуумной техники. Казань, 1991. С. 160−161.
- Кеменов В.Н., Дубинский В. А. Особенности эксплуатации каталитических ловушек типа ЛК. Тезисы доклада НТК «Состояние и перспективы развития вакуумной техники». Казань, 1991. 157 с.
- Кеменов В.Н., Минайчев Х. М., Усачев Н. Я. и др. Экспресс-тестирование катализаторов для форвакуумных ловушек. Электронная техника. Сер. 4. Вып. 1. 1989. С. 33 37.
- Кеменов В.Н., Дубинский В. А., Дмитриев Р. В. Форвакуумная каталитическая ловушка ЛС4ТК. Электронная промышленность. Вып. 6. 1998. 18 с.
- A.C. СССР Вакуумная каталитическая ловушка. Кеменов В. Н., Дубинский В. А. № 1 670 174 БИ № 30. 1991.
- Кеменов В.Н., Дмитриев Р. В., Лавыгин В. А., Дубинский В. А. и др. Исследование и разработка макета каталитичексой ловушки для защиты вакуумных камер отпаров масла из механических насосов. Научно-технический отчет НИИВТ № 3427. 1987. № ГР У 31 456.
- Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. М.: ИЛ, 1950. 695 с.
- Кеменов В.Н., Сапежинский М. Г. Расчет параметров системы «высоковакуумная защитная ловушка диффузионный вакуумный насос». Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1999. 100 с.
- D.W. Jones, С.А. Tsonis J. Vac. Sei. Technol. № 1. 1964. С. 17 32.
- Каталог ОАО «Вакууммаш» г. Казань. 1999.
- Каталог фирмы Leybold Vakuum GmbH, 1999, В10.09.
- Кеменов В.Н., Назаров Исследование влияния средств откачки на процессы науглероживания чистых поверхностей индия. Материалы НТК «Состояние и перспективы развития вакуумной техники». Казань, 1991. 86 с.
- Кеменов В.Н., Зыков В. М., Суворов A.C. Высоковакуумная откачная система. Научно-технический отчет НИИВТ № 3537, 1988. № ГРУ 38 933. 18 с.
- Кеменов В.Н., Саксаганский Г. Л., Егоров С. А. и др. Высоковакуумный комплекс для термоядерной обработки сверхпроводящей модельной катушки термоядерного реактора и ТЭР. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1998. С. 134 — 135.
- Кеменов В.Н., Грошков А. Н., Токарева В. К. Разработка специального диффузионного вакуумного насоса дли линии вакуумной обработки ЦЭЛТ. Научно-технический отчет НИИВТ. № 3324. 1985. № ГР У 11 227. 21 с.
- A.C. СССР № 1 777 422. Диффузионный вакуумный насос / Кеменов В. Н., Грошков А. Н., Голоскоков В. В., 1992.
- Кеменов В.Н. К оптимизации количества рабочей жидкости в диффузионном вакуумном насосе типа DFR. «Вакуумная техника и технология». Т. 9. № 1. 1999. С. 17−20.
- Кеменов В.Н., Капустин Н. Ф., Садыков К. С. Новое поколение диффузионных вакуумных насосов типа DFR. «Вакуумная техника и технология». Т. 6. № 2. 1996. С. 38 39.
- Кеменов В.Н., Капустин Н. Ф., Садыков К. С. Модернизация диффузионных насосов типа DFR. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1997. С. 61 62.
- Кеменов В.Н., Калинкин Д. А., Капустин Н. Ф., Садыков К. С. Оценка эффективности работы диффузионного вакуумного насоса серии DFR при переходе на жидкость DC-704. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996. 85 с.
- Кеменов В.Н., Капустин Н. Ф., Садыков К. С. Промышленная серия диффузионных вакуумных насосов типа DFR. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1996. 7 с.
- Кеменов В.Н., Калмыков С. А., Кузнецов А. И. Безмасляные турбомолекулярные вакуумные насосы с магнитной подвеской ротора. Электронная промышленность. Вып. 7. 1988. 51 с.
- Кеменов В.Н., Шишловский С. С. Контор Е.И. Разработка конструкции геттерного магниторазрядного насоса типа «НВГМ-5». Научно-технический отчет. № 3399. 1985. № ГР У 27 287. 22 с.
- Кеменов В.Н., Шишловский С. С., Буренко Б. П. и др. Исследование по созданию базового комбинированного геттерного магниторазрядного вакуумного насоса типа «НВГМ-5». Научно-технический отчет. № 3336. 1985. № ГР У 11 229. 51 с.
- Кеменов В.Н., Буренко Б. П. Шишловский С.С. Контор Е.И Комбинированные сверхвысоковакуумные геттерные магнито-разрядные насосы. Электронная промышленность. № 7. 1988. 34 с.
- Кеменов В.Н., Симонов B.B. Вакуумные системы для установок ионной имплантации. Материалы НТК «Физика и техника высокого вакуума и сверхвысокого вакуума». Ленинград. 1985. С. 195 196.
- Кеменов В.Н., Зыков В. М., Бочагова Е. А. Высоковакуумная откачная система для установок ионной имплантации. Материалы1. отраслевой конференции «Промышленная технология и оборудование ионной имплантации». Нальчик. 1988. 17 с.
- Кеменов В.Н., Бочагова Е. А., Грибанов A.M., Зыков В. М. система криогенной откачки. «Электронная промышленность». № 7. 1988. 59 с.
- Кеменов В.Н., Лавыгин В. А., Мусатов В. Н., Назаров Л. Н. Сверхвысоковакуумный откачной агрегат «Электронная промышленность». № 7. 1988. 43 с.
- Кеменов В.Н., Лавыгин В. А., Зыков В. М. и др. Исследование и разработка модуля форвакуумной откачки линии ГАП ЦМД СБИС. Научно-технический отчет НИИВТ № 3406, 1986, № ГР У 24 176, 35 с.
- Кеменов В.Н., Лавыгин В. А., Комков В. А. и др. Исследование и разработка сверхвысоковакуумных откачных систем для вакуумно-технологических модулей установки финишной сборки ФЭП. Научно-технический отчет НИИВТ № 3395. 1986. № ГР У 15 094. 28с.
- Кеменов В.Н., Лавыгин В. А., Назаров Л. Н. и др. Исследование и разработка модуля активации катодных узлов для высокопроизводительной установки финишной сборки ФЭП III поколения. Научно-технический отчет НИИВТ № 3491. 1987. № ГР У 38 920.
- A.C. СССР № 1 509 879. Устройство для изготовления фотоэлектронных приборов с микроканальной пластиной и анодным узлом. Кеменов В. Н., Назаров Л. Н., Куклев и др., 1987.
- A.C. СССР № 1 478 888. Приспособление спутник для линии сборки фотоэлектронных приборов в вакууме. Кеменов В. Н., Деулин Е. А., Сапеко H.H. и др., 1989.
- Кеменов В.Н., Назаров Л. Н., Мусатов В. Н. и др. Исследование и разработка модульной установки непрерывного действия для нанесения покрытий при изготовлении ИС. Научно-технический отчет М.: НИИВТ № 3171. 1984. № ГР У 85 061. 39 с.374
- Кеменов В.Н., Зыков В. М., Львов М. П. и др. Специализированный комплекс термостатирующих установок на криогенные температуры для обеспечения технологического контроля гибридных схем. Научно-технический отчет НИИВТ № 3546, 1988. № ГР У 46 779. 27 с.
- Кеменов В.Н. ЬеуЬоЫ вакуумный мир. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1997. С. 4 — 11.
- Кеменов В.Н., Динамика развития вакуумно-технологического оборудования в России в контексте мирового научно-технического прогресса. Материалы НТК «Вакуумная наука и техника». Гурзуф, 1998. С. 9−25.