Разработка и исследование источника ускоренных ионов и плазмы на основе непрерывного вакуумно-дугового разряда и систем очистки плазмы от микрокапельной фракции
Диссертация
Соотношение доли плазменных и ускоренных ионов на поверхности обрабатываемого изделия при использовании источника с непрерывной генерацией плазмы и импульсно-периодическим формированием пучков ускоренных ионов может варьироваться за счет выбора частоты следования импульсов ускоряющего напряжения и изменения расстояния от источника до обрабатываемой поверхности. С помощью источника «Радуга 5… Читать ещё >
Список литературы
- Диденко А.Н., Лигачев А. Е., Куракин И. Б. Воздействие пучков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1987,-187с
- Гусева М.И. Ионная имплантация в металлах // Поверхность. Физика, химия, механика. 1982.-№ 4, с. 27−50.
- Хирвонен Дж. Ионная имплантация. М.: Металлургия, 1985. — 392 с.
- Комаров Ф.Ф. Ионная имплантация в металлы, — М. .Металлургия, 1990, — 216с.
- Быстрицкий В.М., Диденко А. Н. Мощные ионные пучки. М.: Энергоатомиздат, 1984.-152 с.
- Пранявичюс Л., Дудонис Ю. Модификация свойств твердых тел ионными пучками. Вильнюс: Мокслас, 1980. — 342 с.
- Аброян И.А., Андронов А. Н., Титов А. И. Физические основы электронной и ионной технологии. -М.: Высшая школа, 1984.-214 с.
- Риссел X., Руге И. Ионная имплантация./ Пер. с нем.- Под ред. М. И. Гусевой. -М.: Наука, 1983. 326 с.
- Польский В.И., Калин Б. А., Карцев П. И. и др. Повреждение поверхности конструкционных материалов при воздействии плазменных сгустков. // Атомная энергия. 1984. — Т. 56, В. 2, — с. 83−88.
- Барвинок В.А. Управление напряженным состоянием и свойства плазменных покрытий. М.: Машиностроение, 1990, — 384 с.
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М.: Энергоатомиздат, 1989, — 328 с.
- Модифицирование и легирование поверхности лазерными, ионными иэлектронными пучками. / Под ред. Поута Дж. М. и др. М.: Машиностроение, 1987. — 424 с.
- Лафферти Д. Вакуумные дуги./ Пер. с англ.- Под ред. В. И. Раховского. М.: Мир, 1982. — 432 с.
- Месяц Г. А., Проскуровский Д. И. Импульсный электрический разряд в вакууме.-Новосибирск: Наука, 1984. 256 с.
- Davis W.D., Miller Н.С. Analysis of the electrode products emitted by dc arcs in a vacuum ambient // J. Appl. Phys., 1969. V. 40, No 5. — P. 2212−2217.
- Любимов Г. А., Раховский В. И. Катодное пятно вакуумной дуги.// УФН. -1978.- т. 125, В. 4, — с. 665−706.
- Дороднов A.M., Петросов В. А. О физических принципах и типах вакуумных технологических плазменных устройств. // ЖТФ.- 1987.- т. 51. с. 504−524.
- Лунев В.М., Падалко В. Г., Хороших В. М. Исследование некоторых характеристик плазмы вакуумной металлической дуги // ЖТФ.- 1977, — т. 7. -с. 1486−1495.
- Kimblin C.W. Erosion and ionization in the cathode spot regions of vacuum arcs.// J. Appl. Phys. 1973. — V 44., No 7.- P. 3074−3081.
- Daalder J.F. Components of cathode erosion in vacuum arcs //J.Phys. D.: Appl. Phys.- 1976. V, — P. 2379−2395.
- Плютто А.А. Ускорение положительных ионов в расширяющейся плазме вакуумных искр. // ЖЭТФ. 1960. — Т.39. — В 6. — с. 1589−1592.
- Вакуумные сильноточные плазменные устройства и их применение в технологическом оборудовании микроэлектроники / И. Г. Блинов, A.M. Дороднов, В. Е. Минайцев. Обзор по электронной технике. Сер. Микроэлектроника. М.: ЦНИИ Электроника. — 1974. — В. 7,8.
- Абрамов И.С., Быстров Ю. А., Вильдгрубе В. Г. Плазменные ускорители и их применение в технологии // Обзоры по электронной технике. Сер. Электровакуумные и газоразрядные приборы. М.: ЦНИИ Электроника.1986. В. 3.
- Удрис Я.Я. Разбрызгивание капель катодным пятном ртутной дуги. В кн.: Исследование в области электрического разряда в газах. M.-JL: ГЭИ. — 1958, с. 107−128.
- Удрис Я.Я. О разрушении материалов катодным пятном дуги.// Радиотехника и электроника. 1963. — т. 8. — № 6. — с. 1057−1065.
- Раховский В.И., Ягудаев A.M. К вопросу о механизме разрушения электродов в импульсном разряде в вакууме. // ЖТФ.- 1969.- т. 39. с. 317−320.
- Клярфелд Б.Н., Неретина H.A., Дружинина H.H. Разрушение металлов катодным пятном дуги в вакууме. // ЖТФ.- 1969, — т. 39. с. 1061−1065.
- Баженов Г. П., Бугаев С. П., Ерохин Г. П., Киселев В. Н., Лигачев Н. Е., Чесноков С. М., Янчук A.B. Источник ионов металлов на основе дугового разряда с холодным катодом// Тез. докл. V Всес. Симп. по сильноточной электронике, Томск. 1984. — т.2. — с. 93−95.
- Борисов Д.П., Коваль H.H., Щанин П. М. Генерация объемной плазмы дуговым разрядом с накаленным катодом// Изв. вузов. Физика. 1994. — № 3.с. 115−120.
- Диденко А.Н., Волков С. Н., Красик Я. Е., Рябчиков А. И. Исследование режимов генерации МИП с использованием предимпульса ускорителя//ЖТФ. -1984. т.54. — В. 4. С. 816−819.
- Арзубов Н.М., Ваулин В. А., Рябчиков А.И. A.C. 1 395 024 СССР. Опубл. в Б.И. 1990, № 36.
- Волосов В.И., Стешов А. Г., Чуркин И. Н. Источник атомарных потоков// Препринт ИЯФ 96−66, 1996.
- A.I. Ryabchikov, S.V. Dektjarev, I.B. Stepanov. The metal vapor vacuum arc ion sources Raduga// Rev. Sci.Instrum. 1994. — v.65. — No 10, — p. 3126.
- Рябчиков А.И., Дектярев С. В., Степанов И. Б. Источники «Радуга» и методы импульсно-периодической ионно-лучевой и ионно-плазменной обработки материалов.// Известия ВУЗов. Физика. 1998 — № 4. — с. 193−207.
- Brown I.G. In: The Physics and Technology of Ion Sources, edited by I.G.Brown Wiley, New York, 1989. P. 331.
- Brown I.G. Applications of the MEWA high current metal ion source // Nucl. Instrum. andMeth. inPhys. Res.- 1987. v. B24/25. — p. 841−844.
- Brown I.G., Galvin J.E., MacGill R.A.et. al. Multiply charged metal ion beams.// Nucl. Instrum. And Meth. In Phys Res. 1989. — v. B43. — p.455−458.
- Brown I.G., Spadtke P. S., Emig H. et. al. Beam intensity fluctuation characteristics of the metal vapor vacuum arc ion source // Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res.-1990.-v. А295, — p. 12−20.
- Оке E.M., Щанин П. М., Юшков Г. Ю. Источник ионов металлов на основе вакуумной дуги с контрагированным разрядом /VIII Всесоюз. симп. по сильноточной электронике. Свердловск. 1990. -Ч. 1. — с.49−51.
- Bugaev S.P., Nikolaev A.G., Oks Е.М. et. al. The 100 kV gas and metal ion source for high current ion implantation //Rev. Sci. Instrum. 1992. — v. 63, No 4. — p. 2422−2424.
- Плютто A.A., Рыжков B.H., Капин A.T. Высокоскоростные потоки плазмы вакуумных дуг.// ЖЭТФ. 1964. — т. 47. — № 2. — с. 494−507.
- Лунев В.М., Падалка В. Г., Хороших В. М. Применение однопольного масс-спектрометра для исследования ионного компонента плазменного потока, генерируемого вакуумной дугой.// ПТЭ. 1976. — № 5. — с. 189−190.
- Brown I.G. Charge state distribution studies of the metal vapor vacuum arc ion source// Rev. Sci. Instrum. 1990. — v. 61. — № 1. -P. II. — p. 583 — 585.
- Лунев B.M., Овчаренко В. Д., Хороших В. М. Исследование некоторых характеристик плазмы вакуумной электрической дуги. // Мат. IV Всес. Конф. по физике низкотемпературной плазмы, Киев. 1975. — ч. II. — 65.
- Smeets R.P.P. Stabelyty of low-current vacuum arc // J.Phys. D.: Appl Phys. -1986. v. 19. — p.575−587.
- Любимов Г. А., Раховский В. И. Катодное пятно вакуумной дуги.// УФН, 1978. т. 125, В.4. — с.665−706.
- Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука., 1987, — 529 с.
- J.F.Daalder. Erosion and the origin of charged and neutral species in vacuum arcs// J.Phys. D.: Appl.Phys. 1975. — v. 8 — p. 1647 — 1659.
- Zalycki L., Kutzner J. Ion currents in the vacuum arc.// Proc. Vllth Intern. Symp. On Dis charges and Electrical Insulation in Vacuum, Novosibirsk, USSR.- 1976, p. 297 302.
- Бугаев С.П., БакштР.Б., Литвинов E.A., Стасьев В. П. Исследование формирования сильноточных искр методом скоростной интерферометрии// ТВТ. 1976. — т. 14, — № 6. — с. 1145 — 1150.
- Аксенов И.И., Брень В. Г., Осипов В. А. и др., Исследование плазмы стационарного вакуумного дугового разряда. I. Формирование потоков плазмы// ТВТ. 1983. — т. 21. — № 2. — с. 219−223.
- Рябчиков А.И., Насыров Р. А. Получение высоких концентраций примеси при импульсно-периодической имплантации// Поверхность. Физика, химия, механика. 1992. т.З. — с.98−105.
- Аксенов И.И., Падалка Г. П., Хороших В. М. Формирование потоков металлической плазмы. Обзор. -М.: ЦНИИ «Атоминформ». 1984. — 83 с.
- Дороднов A.M.// ЖТФ. -1978. т. 48. — № 9. — с. 1858 — 1870.
- Саблев Л. П. Долотов Ю.И., СтупакР.И., Осипов В. А. Электродуговой испаритель металлов с магнитным удержанием катодного пятна.// ПТЭ. 1976. № 4. — с. 247 — 249.
- Аксенов И.И., Хороших В. М. Потоки частиц и массоперенос в вакуумной дуге. Обзор. М.: ЦНИИ «Атоминформ». — 1984. -51 с.
- Раховский В.И. Физические основы коммутации электрического тока в вакууме. М.: Наука, 1970. 536 с.
- Utsumi Т., English J.H. Study of electrode products emitted by vacuum arcs in form of molten metal particles.// J. Appl. Phys.- 1975, — v.46. № 1.- p. 126−131.
- Карпенко Г. Д., Лойко В. А. Исследование структуры покрытий на основенитрида титана.// ВесцГ АН БССР. Сер.физ.- техн. Наук. 1986, — № 1, — с.31−34.
- Turna D.T., Chen C.I., Davies D.K. Erosion products from the cathode spot region of a copper vacuum arc.// J. Phys. D: Appl. Phys 1977/- v. 10.- № 3, — p. 3821−3831.
- Kourtev J., Pascova R. and Wei? mantel E., A modified method for arc deposition of Ti-N thin films// Vacuum 1997. — v. 48. — Nol. — p. 7−12.
- Волин Э.М. Ионно-плазменные методы получения износостойких покрытий.// Технолог, легк. сплавов. 1984.- № 10. — с. 55−74.
- Исследование структуры и фазового состава поверхностных слоев с целью разработки комбинированного процесса упрочняющих покрытий./Отчет о научно-исследовательской работе, БГУ, Минск. 1986.- с. 61.
- Storer J., Galvin J.E., Brown I.G., Transport of vacuum arc plasma through straight and curved magnetic ducts// J. Appl. Phys. 1989. — v. 66. — No 11. — p. 5245−5250.
- Косогор С.П. Порошковые катоды, тонкие пленки и покрытия// Тез. докл. Научно-технической конференции по программе «Технология, машины и производства будущего».- Пермь. 1993. — ч. II. — с. 15−18.
- Абрамов И.С., Андреев В. А., Барченко В. Т., Лисенков A.A. Исследование возможности применения дуоплазмотрона с вакуумно-дуговым разрядом для создания пленок из порошковых материалов с низкой проводимостью// Изв. вузов. Физика.- 1994. № 3. — с.121−131.
- Karpov D.A. Cathodic arc sources and macroparticle filtering.// Surf. Coat. Technol. 1997. — No 96. — p. 23−33.
- Морозов А.И. фокусировка холодных квазинейтральных пучков в электромагнитных полях.// ДАН СССР. 1965. — т. 163. — вып. 6.с. 1363 -1367.
- Морозов А.И., Лебедев С. В. Плазмооптика/ В кн.: Вопросы теории плазмы, М.: Атомиздат. 1974, — вып. 8.- с. 247.
- Жуков В.В., Морозов А. И., Щепкин Г. А. Экспериментальное исследование плазменной фокусировки ионных пучков/ В кн.: Физика и применение плазменных ускорителей, Мн.: Наука и техника. 1974.- с. 366 — 388.
- Есипчук Ю.В. Исследование плазменных систем с замкнутым дрейфом электронов и распределенным электрическим полем./ В. кн.: Плазменные ускорители, М.: Машиностроение. 1973, — с. 75 — 84.
- Аксенов И.И., Белоус В. А., Падалка В. Г., Хороших В. М. Транспортировка плазменных потоков в криволинейной плазмооптической системе// Физика плазмы. 1978.- т.4, — вып. 4.- с. 758 — 763.
- Войценя B.C. Горбанюк А. Г., Оншценко И. Н., Сафронов Б. Г. Движение плотных плазменных сгустков в магнитном поле тороидального соленоида.// ЖТФ. 1964. — т. 34. — вып. 2. — с. 260−284.
- Хижняк Н.С. Движение плазменного сгустка в магнитном поле тороидального соленоида.// ЖТФ. 1965. — т. 35. — вып.5. — с. 847 — 855.
- Keidar М, Beilis I.I., Boxman R.L. and Goldsmith S. Transport of Macroparticles in Magnetized Plasma Ducts./ЛЕЕЕ Trans. Plasma Sci. 1996. — v.24. -Nol. -p.226−234.
- Keidar M., Beilis I.I., Aharonov R., Arbilly D, Boxman R.L. and Goldsmith S. Macroparticle distribution in a quarter-torus plasma duct of a filtered vacuum arc deposition system.// J.Phys. D: Appl. Phys. 1997. — No 30. — p. 2972−2978.
- Осипов В. А. Падалка В.Г., Саблев Л. П., Ступак Р. И. Установка для нанесения покрытий осаждением ионов, извлекаемых из плазмы вакуумной дуги// ПТЭ.- 1978. -№ 6. с. 173−175.
- Аксенов И. И. Белоус В.А., Падалка В. Г., Хороших В. М., Патент Швеции № 8 201 888−8, М.кл. HOSH 1/50, 24.03.82.
- Абрамов И.С., Быстров Ю. А., Верещагин Д. А., Лисенков А. А., Шаронов В. Н. Вакуумно-дуговое устройство./ Патент России № 20 398 496.- 1995.
- Плютто А.А. Исследование сильноточных импульсных пучков заряженных частиц и процессы ускорения ионов в электронном пучке: Дис. доктора физ,-мат. наук. Сухуми, 1969.- 330 с.
- А.с. 1 412 517 СССР. Способ ионной имплантации. Н. А. Арзубов, В. А. Ваулин, А. И. Рябчиков и др. Принято 23.06.86. БИ 1990, № 33.
- Pogrebnjak A.D., Tolopa A.M. A Review of high-dose implantation and production of ion-mixed structures //Nucl. Instrum. and Meth. 1990. — v. B52. -p.25−43.
- Бугаев С.П., Толопа A.M. Работы по получению широкоапертурных потоков ионов и плазмы металлов // Тез. докл. VIII Всесоюз. симп. по сильноточной электронике. Томск. — 1988. — т.1. — с. 84−88.
- Brown I.G. Metal vapor vacuum arc ion sources// Rev. Sci. Instrum. 1992. -v. 63.-№ 4-p. 2351 -2356.
- Brown I.G., Dickinson M.R., Galvin J.E. et. al. Versatile high current metal ion implantation facility.// Surface and Coatings Technology.-1992.-v.52.-p.529- 533.
- Brown I.G., Feinberg W., Galvin J.E. Multiply stripped ion generation in the metal vapor vacuum arc // J. Appl. Phys. 1988. — v. 63. — No 10. — p. 4889−4899.
- Аксенов И.И., Баранов Н. Г., Белоус B.A., Вишневский А. И. и др. Вакуумные разрядники для коммутации больших импульсных токов./ В кн.: Электрофизическая аппаратура и электрическая изоляция. М.: Энергия, 1970.-с. 150- 160.
- Рябчиков А.И. Импульсно-периодические многофункциональные источники ионов на основе вакуумной дуги и нетрадиционные методы ионно-лучевой, ионно-плазменной обработки материалов.: Дисс. док. физ.-мат. Наук. -Томск, 1994. 257 с.
- Бугаев С.П., Оке Е.М., Щанин П. М. и др. Источник ионов металлов наоснове вакуумной дуги с контрагированным разрядом. // ПТЭ. 1990. — т. 6. -с. 125−127.
- Габович М.А. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: атомиздат, 1972. 304 с.
- Brown I.G., Godechot X. Vacuum arc ion charge-state distribution // IEEE Trans. Plasma Sei. 1991. — v. 19. — № 5. — p. 713−717.
- Anders A., Anders S., Juttner В., Brown I.G. Time dependence of vacuum arc pa rameters //IEEE Trans. Plasma Sei. 1993. — v. 21. — № 3. — p. 305−311.
- Габович М.Д., Плешивцев H.B., Семашко H.H. Пучки ионов и атомов для управляемого термоядерного синтеза и технологических целей. М.: Энерго атомиздат, 1986. 248 с.
- Давыденко В.И., Морозов И. И. Стабилизация тепловой неустойчивости электродов многощелевой ионно-оптической системы продольным натяжением. Препринт 91−76, ИЯФ СО АН СССР, Новосибирск, 1991. с. 10.
- Yutaka Inouchi, Takatoshi Yamashita and al. Extraction characteristics of a high current metal ion source.// Rev. Sei. Instrum. 1992. — v. 63 (4). — p. 2478−2480.
- Арифов В.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела. М.: Наука, 1968. 370 с.
- Николаев А.Г. Источники широкоапертурных ионных пучков на основе вакуумного дугового разряда в сильном магнитном поле: Дисс. канд. тех. наук, Томск, ИСЭ СО РАН, 1998. 124 с.
- Brown I.G., Dickinson M.R., Galvin J.E.et. al. Development of a dc, broad beam, MEVVA ion sources.// Rev. Sei. Instrum. 1992. — v. 63. — No 4. — p. 2417−2419.
- Аксенов А.И., Бугаев С. П., Толопа A.M. и др. Широкоапертурный источник ионов установки имплантации металлов // ПТЭ. 1988. — № 4. — с. 133−135.
- Аксенов Б.В., Котельников В. А. Зондовый метод диагностики плазмы. М.: Энергоатомиздат, 1988. 240 с.
- Диагностика плазмы. / Под ред. Р. Хадцлстона и Е. Леонарда. М.: Мир, 1967. -250 с.
- Пистунович В.И. Физика плазмы и проблема управляемых термоядерныхреакций, т. IV. Изд. АН СССР, 1958. с. 134.
- Козлов О.В. Электрический зонд в плазме. М.: Атомиздат, 1969. 291 с.
- Девятов A.M., Мальков М. А. Диагностика плазмы в магнитном поле. Плоский зонд// Изв. вузов. Сер. физ. 1984. — № 3. — с. 29 — 39.
- Кузнецов В.И., Эндер А. Я. Численно-аналитический метод решения нестационарных задач в бесстолкновительной плазме // ЖТФ. 1979. — т.4,-№ Ю. — с. 2176−2179.
- Зайдель А.Н. погрешности измерений физических величин. Л. «Наука», 1985, — 112 с.
- Садовская Г. А. Обработка результатов измерений. Изд -во Рязанского радиотехнического института, 1986. 36 с.
- Рабинович С.Г. Погрешности измерений. Л.: Энергия. 1978. — 262 с.
- Эффективное использование дуги низкого давления в сетчатом плазменном эмиттере электронов. Н. Н. Коваль, Ю. Е. Крейндель, Г. А. Месяц и др. // Письма в ЖТФ. 1983. — т. 9, в. 9. — с. 568−572.
- Плазменные процессы в технологических электронных пушках /М.А.Завьялов, Ю. Е. Крейндель, А. А. Новиков и др.- М.: Энергоатомиздат, 1989. 256 с.
- Ryabchikov A.I., Dektjarev S.V., SteranovI.B. Specific of emission properties of broad beam MEWA ion sources // Proceedings of the Beijing workshop on MEWA ion source and applications, Beijing China. 1993. — p. 59−71.
- Ryabchikov A.I., Dektjarev S.V., StepanovI.B. Features of emission properties of broad beam MEWA ion sources // International conference on ion sources. Abstracts. Beijing, China, 1993. p. 44.
- Рябчиков А.И., Дектярев С. В., Степанов И. Б. Особенности эмиссионныхсвойств импульсных широкопучковых источников ионов и плазмы на основе испарения металла вакуумной дугой.// Известия ВУЗов. Физика. -1994-№ 2. -с. 82−92.
- Ryabchikov A.I., ArzubovN.M., VasilyevN.A., Dektyarev S.V.//Nucl. Instrum. Methods. 1991. — № 59/60. — p. 124.
- Оке E.M. Плазменные источники интенсивных электронных и ионных пучков на основе разрядов низкого давления с ненакаливаемым катодом в магнитном поле.: Дисс. док. технических наук, Томск, СО РАН ИСЭ, 1994.272 с.
- Морозов А.И., Соловьев Л. С. Стационарные течения плазмы в магнитном поле./ В кн. Вопросы теории плазмы, вып. 8. М.: Атомиздат, 1974. с. 384.
- Рябчиков А.И. Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц./ Патент России RU 2 108 636 С1.- 1998.
- Степанов И.Б. Устройство для очистки плазменного потока вакуумно-дугового испарителя от микрочастиц.// Труды научно- практической конференции молодежи и студентов «Современные техника и технологии», Томск. 1996.- с.52−53.
- Shi X., Tay В.К., Flynn D.I., Sun Q. Ye. Characterization of filtered cathodic vacuum arc system.// Surf. And Technology.- 1997. № 94−95. — p. 195−200.
- Ryabchikov A.I., StepanovI.B. Investigations of forming metal-plasma flows filtered from micropaticle fraction in vacuum-arc evaporators// Rev. Sei. Instrum.-1998.-v. 69.-p. 893.
- Рябчиков А.И., Степанов И. Б. Устройство для очистки плазмы дугового испарителя от микрочастиц (его варианты)./ Патент России RU 2 097 868 С1,-1998.
- Рябчиков А.И., Степанов И. Б. Устройство для очистки плазмы дуговогоиспарителя от микрочастиц (его варианты)./ Патент России RU 2 107 968 Cl, 1998.
- Симонов В.В., Корнилов JI.A., Шашелев A.B., Шокин Е. В. Оборудование ионной имплантации. М.: Радио и связь, 1988. -185с.
- Ryabchikov A.I., Stepanov I.B., Dektjarev S.V., and Sergeev O.V. Vacuum arc ion and plasma source Raduga 5 for materials treatment// Rev. Sei. Instrum. -1998.-v. 69.-p. 810.
- Дектярев C.B. система контроля дозы ионного облучения при многоэлементной импульсно-периодической имплантации.// Тез. докл. II Всес. конф. «Модификация свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц», Свердловск. 1991. — с. 78−79.
- Пакет программ ЭРА для автоматизации электрооптических расчетов/ Н. М. Горбенко, В. П. Ильин, Г. С. Попова, В.М.Свешников//Численные методы решения задач электронной оптики. Новосибирск: изд. ВЦ СО АН СССР, 1979. — с.34−60.
- Будилов В.В., Будилова A.B., Минаев О. Б., Моделирование ионно-плазменного осаждения покрытий/ЛГез.докл. IV Всерос. конф. по модификации свойств конструкционных материалов пучками заряженных частиц, Томск. 1996. — с.450.
- Рябчиков А.И., Луконин Е. И., Карпов Д. А. Импульсно-периодические методы формирования ионно-плазменных потоков и их технологическое применение// Тез.докл. IX Симпозиума по сильноточной электронике,
- Екатеринбург. 1992. -T. 3. — с.86−88.
- Пранявичюс Л.И., Тамулевичюс С.И.// Поверхность. Физика, химия, механика. -1983. -№ 4. -с. 75−78.