Система диагностики механических элементов вакуумного оборудования
Диссертация
В области повышения надежности вакуумных механизмов за последние 10−15 лет не произошло существенных изменений. Основным способом предотвращения отказов механизмов является система планово-предупредительных ремонтов (ППР). Требования к надежности вакуумных установок неуклонно растут, а надежность ее компонентов остается на прежнем уровне. Это обстоятельство привело к необходимости поиска новых… Читать ещё >
Список литературы
- Александрова А.Т. Исследование процессов дестабилизации параметров системы «механизм контролируемая вакуумная среда» и разработка теоретических основ проектирования оптимальных механизмов: Автореф. дис. док. техн. наук: 05.02.12. — М., 1979. -46 с.
- Арзыматов Б.М. Импульсно-динамическое нанесение твердосмазочных покрытий на детали подшипников //Машиностроительные технологии: Сб. тезисов всероссийской научно-технической конференции, — М., 1998.- С.229−230.
- Ашинов С.А. Исследование автоматизированного оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме с целью повышения его производительности и надежности: Автореферат дис. канд. техн. наук. М., 1982. — 16с.
- Блинов И.Г., Данилин B.C., Пупко В. А. Вопросы эксплуатации надежности установок вакуумного напыления //Электронная техника. Сер. 10.- Технология и организация производства. 1970. — № 3. — С. 100−116.
- Бронштейн И.Н., Семендяев К. А. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов. М.: Наука, гл. ред. физ.-мат. лит., 1986. — 544с.
- Вагин Н.С. Разработка герметичных волновых зубчатых передач для сверхвысоковакуумного технологического оборудования и повышение их надежности: Дисс. канд. техн. наук (05.02.12). М., 1984. — 226 с.
- Вакууметр ионизационный ВИ-14: Паспорт, — М.: В/О Машприборинторг, 1974.- 54с.
- Вакууметр ионизационный и термопарный ВИТ-2: Паспорт.- М.: В/О Машприборинторг, 1972.-36с.
- Вакуумная техника: Справочник / Е. С. Фролов, В. Е. Минайчев, А. Т. Александрова и др.- Под общ. ред. Е. С. Фролова, В. Е. Минайчева. М.: Машиностроение, 1992. -480с.
- Вводы вакуумные волновые. Технические условия. ОСТ 11.426.001−76. введ. 1/1 1978.УДК.621.521−585.1. группа Г-15.
- Вибрация подшипников /Под ред. K.M. Рагульскиса.- Л.: Машиностроение, Ленингр. отд-ние, 1985, — 119с., ил.-(Б-ка инженера. Вибрационная техника- Вып.4).
- Волчкевич Л.И. Надежность автоматических линий. М.: Машиностроение, 1969. -308с.
- Гейнце В. Введение в вакуумную технику.- М: Госэнергоиздат, 1967.147с.
- Генкин М.Д., Соколова А. Г. Виброакустическая диагностика машин и механизмов. М.: Машиностроение, 1987, — 282с.
- ГОСТ 27.002−83. Надежность в технике. Термины и определения. М.: Изд-во стандартов, 1983. -30 с.
- ГОСТ 27.002−83. Надежность в технике. Термины и определения. М.: Изд-во стандартов, 1983. -30 с.
- ГОСТ 27.503−81. Надежность в технике. Система сбора и обработки информации. Методы оценки показателей надежности. М.: Изд-во стандартов, 1982. -55с.
- Гущин И.В. Исследование и разработка системы диагностики элементов вакуумного оборудования: Автореферат дис. канд. техн. наук. М., 1997. -16с.
- Данилин B.C. Вакуумная техника в производстве интегральных схем.1. М.: Энергия, 1972. -256с.
- Деулин Е.А. Исследование вводов вращения высоковакуумного напылительного оборудования с целью создания унифицированных конструкций: Автореферат дис. канд. техн. наук. М., 1971. -16с.
- Деулин Е.А. Основы теории проектирования механизмов автоматизированного сверхвысоковакуумного оборудования: Дисс. док. тех. наук. -М&bdquo- 1987.-640с.
- Деулин Е.А., Медников М. И., Папко В. М. Расчет, конструирование и особенности эксплуатации механизмов для работы в вакууме / Заочный институт повышения квалификации ИТР. М.: Машиностроение, 1986. — 80 с.
- Деулин Е.А. Методические указания к лабораторным работам по курсу «Основы вакуумной техники» / Под.ред. Л.И. Волчкевича-М.: Изд-во МГТУ, 1989.-36с., ил.
- Дендат Дж., Пирсол А.Прикпадной анализ случайных данных: Пер. с англ. М.: Мир, 1989 г. -540с., ил.
- Коллакот Р. А .-Диагностирование механического оборудования, — Л.: Судостроение, 1980.-296с.-пер. с анлг.
- Крагельский И.В., Любарский И. М., Гусляков A.A. и др. Трение и износ в вакууме,— М.: Машиностроение, 1973.-216с.
- Кужман А.Г. Повышение надежности узлов трения сверхвысоковакуумного технологического оборудования: Дисс. канд. техн. наук (05.27.07).-М&bdquo- 1987,-215с.
- Марпл-мл С.Л., Цифровой спектральный анализ и его приложения: Пер. с англ. М.: Мир, 1987 г.-584с., ил.
- Марусов В.А. Создание и исследование герметичных механизмов поступательного движения для сверхвысоковакуумного автоматизированного технологического оборудования: Автореферат дисс. на соискание ученой степени канд. техн. наук (05.02.12).-М&bdquo- 1981.-16с.
- Методика оптимизации периодичности проведения замен технических устройств / ГКС СМ СССР. М.: Издательство стандартов, 1975. — 31 с.
- Методы контроля состояния подшипников качения механизмов привода в процессе работы //Экспресс информация ВИНИТИ: Детали машин, 1979 г., № 30,-с.5−12
- Механические системы вакуумно-космических роботов и манипуляторов: Учебное пособие для вузов, В 2х томах Т.1.- /Под. ред. Н. В. Василенко, К. Н. Явленского, — Томск: МГП «РАСКО», 1998.-465с.
- Механические системы вакуумно-космических роботов и манипуляторов: Учебное пособие для вузов, В 2х томах Т.2.- /Под. ред. Н. В. Василенко, К. Н. Явленского.-Томск: МГП «РАСКО», 1998, — 378с.
- Основы электротензоизмерений, /В.А. Шушкевич, — Минск: Вышейная школа, 1975.- 352с.
- ОСТ 11.426.001−76. Вводы вакуумные волновые. Технические условия. -введ. 1.01.1978.-М., 1978.-24 с.
- Папко В.М. Исследование воздействия вакуума на работоспособность шарикоподшипников: дисс. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук.-М., 1975.-239с.
- Патент РФ N"1 835 065 Способ диагностики технического состояния циклически нагруженных элементов вакуумного оборудования / Б.И.-1993.- № 30 .
- Перель Л.Я., Филатов A.A. Подшипники качения: Расчет, проектирование и обслуживание опор: Справочник. М.: Машиностроение, 1992. -524 с.
- Проников A.C. Надежность машин. М.: Машиностроение, 1978. — 591 с.
- Пупко В.А. Исследование производительности и экономической эффективности вакуумного напылительного оборудования для изготовления тонкопленочных интегральных микросхем: Автореферат дис. канд. техн. наук. М.: 1969. -22 с.
- Разработка методики проектирования и исследования параметров прецизионных вакуумных приводов: Отчет о научно-исследовательской работе
- МГТУ- Руководитель Е. А. Деулин. ГР№ 80 005 833, инв. № А121 880. — М., 1980−190с.
- Розанов Л.Н. Вакуумная техника: учебное пособие для вузов.-2е изд.-М.: Высш. шк&bdquo- 1990.- 320с.: ил.
- Розанов Л.Н. Вакуумные машины и установки. Л.: Машиностроение, (Ленингр. отд-ние), 1975.-336с., ил.
- Руководство к выполнению расчетной части курсовых и дипломныхпроектов: Учебное пособие для студентов вечернего факультета/ Л. И. Волчкевич, И. И. Камышный, Е. А. Деулин и др. М.: МВТУ, 1985. — 60 с.
- Рябов В.Т. Исследование автоматизированных процессов сборки блоков сверхминиатюрных ламп с целью повышения надежности и производительности сборочных машин: автореф. дис. канд. техн. наук: 05.02.07, — М., 1978. 16 с.
- Саксаганский Г. Л. Молекулярные потоки в сложных вакуумных структурах. М.: Атомиздат, 1980, — 216с.
- Свириденок А.И., Мышкин Н. К. и др. Акустичекие и электрические методы в триботехнике /Под ред. В. А. Белого.- Мн.: Наука и техника, 1987.- 280с.
- Синодеев И.В. Разработка и исследование механизмов поступательного движения на базе планетарных винтовых передач с внешним сопряжением для вакуумного технологического оборудования: Автореф. дис. .канд. техн. наук. М., 1984. — 16с.
- Солодовников В.В., Плотников В. Н., Яковлев A.B., Теория автоматического управления техническими системами, М.: изд-во МГТУ им. Баумана, 1993.-492с.
- Статистическая обработка результатов экспериментов на микро-ЭВМ и программируемых калькуляторах / A.A. Костылев, П. В. Миляев, Ю. Д. Дорский и др. -Л.: Энергоатомиздат, Ленингр. отд-ние, 1991. -304 с.
- Степаньянц Ю.Р. Исследование автоматизированных процессов сборки электронно-оптических систем цветных кинескопов с целью повышения точности и производительности сборочного оборудования: Автореф. дис. канд. техн. наук: 05.02.07, — М., 1979.- 16 с.
- Техническое описание и инструкция по эксплуатациимногофункциональной платы ввода/вывода ЛА70МЗ, — М.: АОЗТ «Руднев-Шиляев», 1995. -40с.
- Усилитель сигналов тензодатчиков «Топаз-1»: Паспорт,-Машприборинторг, 1974,-24с.
- Фролов Е.С., Никулин Н. К. Теоретические основы вакуумной техники: учеб. пособие / Под ред. Е. С. Фролова, — 2-е изд., перераб. и доп. М., 1993.- 76 е., ил.
- Хруничев Ю.А. Автоматические сборочные станки в электровакуумном производстве // Автоматизация сборочных работ в приборостроении: Тезисы докладов Всесоюзной научно-технической конференции. М., 1975. -160 с.
- Хруничев Ю.А. Анализ производительности оборудования для производства электронных приборов // Электровакуумное машиностроение: Межвузовский сборник. М. — 1978. — Вып. 2. — С. 46−71.
- Цветков Ю.Б. Исследование автоматизированных установок совмещения и экспонирования для фотолитографии с целью повышения их производительности и точности: Автореф. дис. канд. техн. наук: 05.02.07, — М., 1979. 16 с.
- Чуев Ю.В., Михайлов Ю. Б., Кузьмин В. И. Прогнозирование количественных характеристик процессов. М.: Советское радио, 1975.- 400с.
- Шаумян Г. А. Комплексная автоматизация производственных процессов.- М.: Машиностроение, 1973. 639с.
- Юрков Ю.В. Исследование шарикоподшипников, работающих в автоматизированном вакуумном технологическом оборудовании: Автореферат дисс. канд. техн. наук. (05.02.07). М., 1981. -16с.
- Явленский К.Н., Явленский А. К. Вибродиагностика и прогнозирование качества механических систем. Л: Машиностроение, 1983. — 184с.
- Catalogue Vacuum Generators: High Precision Specimen Translators, 04.009.378. Sussex. England. Великобритания.
- Catalogue Balzers, BA 800 074 PE (8801), Liechtenstein, Ed. 1987. — p.6−8. Лихтенштейн.
- Catalogue Edward’s Vacuum Equipment, 1 978. p.132−133. Великобритания.
- Catalogue Leisk (Leisk Engineereng Limited), 04.006.984, 04.005.287, West Sussex, England. Великобритания.
- Catalogue Leisk. RM Series Rotary motions, 04.003.180. England. Великобритания.
- Catalogue Leybold-Heraeus Schiebedurckfuhrung Kat.-N 882.29. -p.11−12. Германия.
- Catalogue MECA 2000 TRANSFER RODS Preliminary brochure 4015. Франция.
- Catalogue RIBER, 608 40 J 595. p.803. Франция.
- Catalogue RIBER. Single motion feedthrongh. 608 IOL 191−192, 710. Франция.
- Catalogue Ulvac, №E4205, p.13, №E0203. p.8. Япония.
- Catalogue ULVAC, Rotary motion feedthrough, Model TDU-8, № У2302, Japan, Tokyo. Япония.
- Catalogue Vacuum Generators, Rotary Motion Feedthroughs, RD5, RD6, RD7. 04.004.476 Revised 9/79. США.
- Catalogue VAT, BPRL 91 E1. Швейцария.
- Control and Diagnostics Can Improve Your Vacuum, if you know your needs., /А. Toy., // Semiconductor International.- October 1989, — pp. 60−63.
- Desorption from ball bearings in ultrahigh vacuum, Y. Fujii, H.lshimaru. J.Vac. Sci. Teccnol. A9(3), May/Jun 1991, — pp.2017−2020.
- Instrumentation reference and catalogue, National Instruments Corporation.-1997. P.560.
- MatLab The Language of Technical Computing. Using MatLab., MathWorks, Inc.- 1997, — P.516.
- Outgassing stimulated by deformation. P. Repa, D. Oralek // Vacuum 53,1999.- pp.299−302.
- Peksa L., Repa P. The design of a continuously measuring friction vacuum gauge. Vacuum. — 1997 v.48 n. 10, — P.861.
- Peksa L., Repa P., Ulman R. Shake sensitivity and range limits of the Becker friction vacuum gauge // Vacuum.- 1998, V.51, n.1.- P.75.
- Repa P., Rott M. Outgassing of metals stimulated by friction // Vacuum. SEP 01 1997 v.48 n.7/9,-P.775.
- Rush A.A. Kurtosis-a crystal ball for maintenance engineers. «Iron and Steel Int.».- 1979, 52, № 1. pp.25−27.
- Sturm A., Billhardt S., Walzlagerdiagnotik // Maschinenbautechnik, 1990,-3 918 647.- ss.293−298.
- Sturm A., Forster R., Maschinen- und Anlagendiagnose fur die zustandbezogene Instandhaltung.- Berlin: Verlag Technik, 1988.- ss.450.
- Sturm A., Kinsky D., Diagnostics of Rolling-Element Bearing Condition by Means of Vibration Monitoring under Operating Conditions // Measurement, London 2,1984, № 2, — ss.58−62.
- Sturm A., Forster R., Hippmann N, Kinsky D. Walzlagerdiagnose an Maschinen und Anlagen.- Koln: TUV Rheiland.- 1986, — ss.237.