Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем
Диссертация
Актуальность проблемы. Настоящее время характеризуется заметным оживлением деловой активность в области высоких технологий и, в частности, в электронной промышленности. Проводятся исследования, направленные на достижение более высокой степени интеграции схем, увеличения размеров кристаллов, повышения выхода годных изделий, внедрение полной автоматизации в процессы обработки и транспортировки… Читать ещё >
Список литературы
- ЗИ С. Технология СБИС. М., Мир, 1986.
- Введение в фотолитографию. Под ред. Лаврищева Н. М., Энергия, 1974.
- ХОЛЛЭНД Л. Пленочная микроэлектроника. М., 1968.
- ГОЛОТО И.Д., ДОКУЧАЕВ Б. Н. Чистота в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем. М., Энергия, 1975.
- ЦЫРЛИН А.Д., КЛИМКОВИЧ A.B. Применение метода определения блеска для оценки микропрофиля пленок фоторезиста / Электронная техника, сер.2, 1971, вып.7.
- HARRIMAN L.G. Solid State Technology, 1983, June.
- ВОЛКОВ В.A. Сборка и герметизация микроэлектронных устройств. М., Радио и связь, 1982.
- ТОРИЦУ К. Техника контроля за состоянием среды при изготовлении полупроводниковых приборов и расчет ее параметров / Куку тево-то райто, 1985, т.25,№ 2.
- Чистые помещения / Перевод с японского. Под ред. И.Хаякавы. М., Мир, 1990.
- Ю.ПИЛЬВИНИС Р. П. Аэрозольное загрязнение в производстве ИЭТ. М., Электронная промышленность, 1986, № 7.
- УННО К. Чистые комнаты. Современное состояние и тенденции развития контроля за средой в полупроводниковом производстве / Дэнси дзайре, 1985, т.4,№ 11.
- МАРТЫНОВ В. В. Чистые комнаты в произодстве СБИС / Зарубежная электронная техника, 1986, № 12.
- Расчет параметров воздушной среды в ЧПП. Обзоры по электронной технике, сер.7, вып.1 (146), М., ЦНИИ Электроника, 1988.
- ГРИН X., ЛЕЙН В. Аэрозоли, пыли, дымы, туманы. Л., Гидрометиздат, 1972.
- СЕЛЕЗНЕВА Е. С. Атмосферные аэрозоли. Л., Гидрометиздат, 1966.
- РАЙСТ П. Аэрозоли. Введение в теорию. М., Мир, 1987.
- КЕЙДЛ Р. Твердые частицы в атмосфере и космосе. М., Мир, 1969.
- КОНДРАТЬЕВ К.Я., МОСКАЛЕНКО Н. И. Атмосферный аэрозоль. Л., Гидрометиздат, 1983.
- МЭЙС0Н Б. Физика облаков. М., Мир, 1961.
- ИВЛЕВ Л. С. Химический состав и структура атмосферного аэрозоля. Л., 1982.
- ЮНГЕ X. Химический состав и радиоактивность атмосферы. М., Мир, 1965.
- ИСИДОРОВ В. А. Органическая химия атмосферы. Л., Химия, 1985.
- РАСУЛ С. Химия нижней атмосферы. М., Мир, 1987.
- БАТЧЕР С, ЧАРЛСОН Р. Введение в химию атмосферы. М., Мир, 1977.
- ДОВГАЛЮК Е.А., ИВЛЕВЛ.С. Физика водных и других атмосферных аэрозолей. Л., 1977.
- ПЕТРЕНЧУК О. Н. Экспериментальное исследование атмосферного аэрозоля. Л., 1978.
- ФУКС Н. А. Механика аэрозолей. М., Издательство АНСССР, 1955.
- ЛАКТИОНОВ А. Г. Содержание растворимых в воде веществ в частицах атмосферного аэрозоля / Известия АНСССР, ФАО, 1972, т.8, № 4.
- MENG Z., SEINFELD J. On the source of the submicrometer droplet mode of urban and regional aerosols / Aerosols science and technology, v.20, p.253−265, 1994/
- JUOZAITIS A., ULEVICIUS V., GIRGZDYS A., WILLEKE K. Differentiation of hydrophobic from hydrophilic submicrometer aerosol particles / Aerosol science and technology, v. 18, p.202−212, 1993.
- СЕДУН0 В Ю. С. Физика образования жидкокапельной фазы в атмосфере. Л., Гидрометеоиздат, 1972.
- МАЗИН И. П. Некоторые вопросы теории облачных ядер конденсации / Метеорология и гидрология, № 8, 1980.
- СМИРНОВ В.И. О равновесных размерах и спектре размеров частиц аэрозоля во влажной атмосфере / Известия АНСССР ФАО, 1978, т. 14, № 10.
- КАЧУРИН Л.Г., МОРАЧЕВСКИЙ В. Т. Кинетика фазовых переходов воды в атмосфере / Издательство ЛГУ, 1965.
- ФУКС Н. А. Испарение и рост капель в газообразной среде. М., Изд. АНСССР, 1958.
- СМИРНОВ В. И. Скорость коагуляционного и конденсационного роста частиц аэрозолей / Труды ЦАО, 1969, вып. 91.
- АЛЕКСАНДРОВ Э. С. Конденационный рост капли раствора / ФАО, 1967, 3, № 8.
- WILLIAMS M.M.R. (1983) I Colloid Interface Sci. 93.
- ЛАКТИОНОВ А. Г. Равновесная гетерогенная конденсация. Л., Гидрометеоиздат, 1988.
- ЛАКТИОНОВ А. Г. Конденсационное укрупнение частиц атмосферного аэрозоля / Изв. АНСССР ФАО, 1985, т.21, № 6.
- ЛАКТИОНОВ А. Г. Теория конденсационной трансформации функции распределения частиц атмосферного аэрозоля / Изв. АНСССР ФАО, 1985, т.21, № 9.
- РУСАНОВ А. И. Фазовые равновесия и поверхностные явления. Л., Гидрометиздат, 1967.
- ЛЕВКОВ Л. Конденсационный процесс на шероховатых поверхностях / ИЗВ. АНСССР, сер. ФАО, 1970, т.4, № 8.
- КРЫСТАНОВ Л., МИЛОШЕВ Г. Об активности конденсационных ядер в естественных условиях и при адсорбции / Доклад БАН научн. сессии. Геофизический институт, София, 1964.
- JOKINIEMI J. Effect of selected binary and mixed solutions on steam condensation and aerosol behavior in containment / Aerosol science and technology, V. 12, p.891−902,1990.
- HANEL G. The ratio of the extintion coefficient to the mass of atmospheric aerosols particles as function of the relative humidity / J. Aerosol Sci., 1972, v.3, № 6.
- ЕМИЛЕНКО A.C. Оптические проявления конденсационной трансформации аэрозоля / Дис. ИФА АНСССР, М., 1979.
- ЛЮБОВЦЕВА E.G. О фотохимической и конденсационной изменчивости субмикронной фракции аэрозоля / Изв. АНСССР, ФАО, т. 14, Ш2, 1978.
- АНДРЕЕВ С. Д., ИВ ЛЕВ Л. С. Влияние относительной влажности на аэрозольное ослабление оптической радиации в атмосфере / Изв.ВУЗов., Физика, № 5, 1974.
- PILAT M.J., HARLSON R.J. The theoretical and optical investigations / J.Rech.Atmosph., V.2, № 2−3, 1966.
- РОЗЕНБЕРГ Г. В., ГЕОРГИЕВСКИЙ Ю. С. Влажность как фактор изменчивости аэрозоля / Изв. АНСССР, ФАО, т.9, № 2, 1973.
- РОЗЕНБЕРГ Г. В., ГЕОРГИЕВСКИЙ Ю. С. Субмикронная фракция аэрозоля / Изв. АНСССР, ФАО, 1977, т.13, № 11.
- РОЗЕНБЕРГ Г. В., САНДОМИРСКИЙ А. Б. Оптическая стратификация атмосферного аэрозоля / Изв. АНСССР, ФАО, 1971, т.7, № 7.
- NEIBURGER М., WURTELE М. On the nature and size distribution of particles in base, fog, and stratus of the Angeles region / Chem.Rev., 1949.
- ИВЛЕВ Л. С. Влияние изменения влажности на оптический и микрофизический характер аэрозолей. Л., ЛГУ, Проблемы физики атмосферы, вып. 8.
- ГРИГОРЬЕВ И.О., ИВЛЕВ Л. С. Экспериментальное исследование процессов перехода твердых частиц в капельное состояние / Вестник ЛГУ, 1971, № 16.
- ИВ ЛЕВ Л.С. О влиянии влажности на коагуляцию аэрозольных частиц / Труды ЕГО. 1974, вып.290.
- ВОЛОЩУК В.М., СЕДУНОВ Ю. С. Процессы коагуляции в дисперсных системах. Л., 1975.
- ГОЛОВИНА Е. Г. Исследование структуры аэрозольного загрязнения атмосферы и его роли в процессах фазовых переходов воды / Канд. дисс, Л., 1975.
- ТАТАРСКИЙ В. И. Теория флуктуационных явлений при распространении волн в турбулентной атмосфере. Изв. АНСССР, 1959.
- ЕЛАГИНА Л. Г. Об измерении частотных спектров пульсаций абсолютной влажности в приземном слое атмосферы. Изв. АНСССР, сер.геофиз., № 12, 1963.
- УШАКОВ В.И., КАРАКЕЯН В.И., РЕДИН В. М. Прецизионное кондиционирование воздуха в чистых производственных помещениях. М., МИЭТ, 1988.
- КАРАКЕЯН В.И., МУРАВИН И.А. и др. Расчет параметров воздуха и характеристик чистых технологических помещений / Электронная промышленность, 1986, № 7.
- КОВЫЛИН Н., ЧУМАК А. Автоматизация систем кондиционирования промышленных зданий / Обзоры по электронной технике, сер.7, вып. 10, 1986.
- УШАКОВ В.И., КАРАКЕЯН В.И. и др. Производственно-техническая экология изделий электронной техники и принципы организации чистых помещений. М., МИЭТ, 1988.
- КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВ, А Н. В. Выбор принципиальных решений системы кондиционирования и фильтрации воздуха ЧПП и расчет параметров наружного воздуха / М-лы НТК «Микроэлектроника и информатика», М., МИЭТ, 1995.
- КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В., ЛЕСЛИ A.B. Обеспечение постоянных влажностных характеристик воздуха в ЧПП высокого класса / М-лы НТК «Микроэлектроника и информатика», М., МИЭТ, 1995.
- КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н. В. Некоторые аспекты новой концепции технологической экологии микроэлектроники / М-лы НТК «Микроэлектроника и информатика», М., МИЭТ, 1995.
- КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В., РЯБЫШЕНКОВ А. С. Исследования основных эксплуатационных характеристик ЧИП / Тезисы доклада Всероссийской НТК «Электроника и информатика», М., МИЭТ, 1995.
- КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н. В. Теоретические аспекты концепции техноэкологии МЭ / Электронная промышленность, № 6, 1995, стр. 86.
- КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н.В. О критериях оценки теплового состояния человека в процессе работы в ЧИП / Тезисы доклада Всероссийской НТК «Электроника и информатика», М., МИЭТ, 1995, стр. 206.
- ДВУХИМЕННЫЙ В.А., СТОЛЯРОВ Б.М., ЧЕРНЫЙ С. С. Системы очистки воздуха от аэрозольных частиц на АЭС. М., Энергоатомиздат, 1987.
- ДВУХИМЕННЫЙ В.А., СТЕЧКИНА И.Б., КИРШ А. А. Изменение эффективности и перепада давления аэрозольных фильтров при накоплении на волокнах осадка твердых частиц / Теоретические основы химической технологии., 1985, т. 14.
- КИРШ А.А., СТЕЧКИНА И.Б., ФУКС Н. А. Течение газа в фильтрах, состоящих из полидисперсных ультратонких волокон / Коллоидный журнал, 1973, т.35,№ 4.
- КИРШ А.А., ФУКС Н. А. Исследования в области волокнистых аэрозольных фильтров / Коллоидный журнал, 1967, т.29, № 5.
- ПЕТРЯН0 В В.И., КОЗЛОВ В.И. и др. Волокнистые фильтрующие материалы. М, 1968.
- УАЙТ П., СМИТ С. Высокоэффективная очистка воздуха. М., Мир, 1967.
- GUPTA А., NOVICK V., BISWAS Р., MONSON Р. Effect of humidity and particle hygroscopicity on the mass loading capacity of high efficiency particulate air (HEPA) filters / Aerosol science and technology, v. 19, p.94−107, 1993.
- КАРАКЕЯН В.И., РЕДИН В.М., ТЕРЕЩЕНКО A.M., ОСИПОВА Н. В. Аэродинамические режимы в ЧПП и пылегенерация финишных фильтров / Электронная промышленность, № 4−5, 1995, стр. 94.
- РОБИНСОН Р.А., СТОКС Р. Г. Растворы электролитов. М., Химия, 1963.
- LOW R. А generalized equation for the solution effect in droplet growth / J.Atmos.Sci., 1969, v.26, № 3.
- TANG I., FUNG K., 1ШЕ D., MUNKELWITZ H. Phase transformation and metastability of hygroscopic microparticles / Aerosol science and technology, V.23, p.443−453, 1995.
- ПОЗИН M.E., ЗИНЮК Р.Ю. Физико-химические основы неорганической технологии. Л., Наука, 1993.
- КАССАНДРОВА О.Н., ЛЕБЕДЕВ В. В. Обработка результатов наблюдений. М., Высшая школа, 1970.
- ГМУРМАН B.C. Теория вероятностей и математическая статистика. М., Высшая школа, 1972.
- КАРАКЕЯН В.И., ТЕРЕЩЕНКО A.M., БЕРЕЗИНА Н. В. Влажность как фактор снижения запыленности в чистых объемах / Тезисы докладов на НТК «Электроника и информатика 97», М., МИЭТ, 1997, стр. 197.
- КАРАКЕЯН В.И., ОСИПОВА Н. В. Некоторые аспекты влияния влажности воздуха на уровень чистоты помещения / Материалы межвузовской НТК «Микроэлектроника и информатика 96», М., МИЭТ, 1996, стр. 132.
- БЕРЕЗИЬТ Н. В. Влажность воздуха как фактор конденсационного роста аэрозолей в чистых объемах / М-лы межвузовской НТК «Микроэлектроника и информатика-99», М., МИЭТ, 1999, стр. 223.
- КУТАТЕЛАДЗЕ С. С. Основы теории теплообмена. М., Атомиздат, 1979.
- ИСАЧЕНКО В.П., ОСИПОВА В.А., СУКОМЕЛ А. С. Теплопередача. М., Энергоиздат, 1981.
- ЛЫКОВ А.В. Тепло- и массообмен при фазовых и химических превращениях. Минск, 1983.
- ЛЫКОВ А. В. Теория тепло- и массопереноса. М., Наука, 1963.
- ЛЫКОВ А. В. Теория сушки. М., Наука, 1968.120
- ЛЫКОВ A.B. Тепло- и массообмен в капиллярно-пористых телах. Минск, 1965.
- ПАТАНКАР С. Численные методы решения задач тепломассообмена и динамики жидкостей. М., Мир, 1984.
- ПОЛЕЖАЕВ В.И., ФЕДОСЕЕВ А. И. Метод конечных элементов в задачах гидромеханики тепло- и массообмена. М., ИПМ, 1980.
- ПАСКОНОВ В. М. Численное моделирование процессов тепло- и массообмена. М., Наука. 1984.
- КОЧУБЕЙ A.A. Метод конечных элементов в задачах тепломассопереноса. Днепропетровск, 1986.
- КОЧУБЕЙ A.A., РЯДНО A.A. Метод конечных элементов в задачах теплообмена. Днепропетровск, 1985.
- РЯДНО A.A. Моделирование и методы расчета тепломассопереноса. Днепропетровск, 1990.
- ФЛЕТЧЕР К. Численные методы на основе метода Галеркина. М., Мир., 1998.
- СЕГЕРЛИНД Л. Применение метода конечных элементов. М., Мир, 1979.
- ЗЕНКЕВИЧ О. Конечные элементы и аппроксимация. М., Мир, 1990.
- Посггело61|АС. :i/2t)oo г. 1. АКТоб использований результатов диссертационной работы Березиной Н. В. «Теоретическое и экспериментальное исследование конденсационного роста субмикронных частиц аэрозоля в чистых объемах производства интегральных схем»