Теоретическое исследование распространения нормальных акустических волн нулевого порядка в тонких пьезоэлектрических пластинах
Диссертация
В настоящее время весьма актуальной остается проблема влияния вязкой жидкости на свойства акустических волн, распространяющихся в ограниченных средах. Она представляет интерес как в фундаментальном плане, так и в плане создания соответствующих датчиков и приборов. Большинство опубликованных работ, цосвященных этой проблеме, по сути являются экспериментальными, а использованные в них… Читать ещё >
Список литературы
- Кольский Г. Волны напряжения в твердых телах. Пер. с англ. М. 1955. 4.1. гл.З.
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е. М. Теория упругости. 3 изд. М. 1968. гл. 1−3 (Теоретическая физика. Т.7)
- Бреховских Л.М. Волны в слоистых средах. М. 1957. гл. 1.
- Бергман Л. Ультразвук и его применение в науке и технике, пер. с нем., 1956. 4.2.
- Ермолов И.Н., Алешин Н. П., Потапов А. И. Неразрушающий контроль. Кн. 2. М.: Высшая школа, 1991.
- Nongaillard В., Ourak М., Logette P. and Gazalet M.G. Nondesructive surface testing method using focused ultrasonic surfase and Lamb waves// J. Appl. Phys. 1985. V. 57 (5). P. 1746−1748.
- Применение ультразвука в промышленности. М.-София. 1975.
- Викторов И.А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах. М.: Наука. 1981. 287 С.
- Физическая акустика под редакцией У. Мэзона, пер. с англ. т.1, ч.А. М. 1966. гл. 2.
- Кучеров И.Я., Островский И. В. Нормальные волны в пластинках кристаллов симметрии CqvII УФЖ. 1970. Т.15. N.7.
- Хыонг Д.Х., Коцаренко Н. Я., Федорченко A.M. Усиление волн Лэмба в пье-зополупроводниках кубической симметрии// УФЖ. 1970. Т.15. N.11.
- Кучеров И.Я., Островский И. В. Возбуждение поперечных волн в пластинах CdS и влияние проводимости на их затухание// УФЖ. 1971. Т.16. N.2. С.209−213.
- Бурлий П.В., Кучеров И. Я., Омельяненко М. Ю., Островский И. В. Исследование влияния проводимости на скорость распространения волн Лэмба в CdS// УФЖ.1975. Т.20. N.2.
- Yamaguchi М., Hashimoto К., Tanno М., Kogo Н. High coupling Lamb waves propagating in a ZnOjSiOi composite membrane// The Trans, of the IECE of Japan. 1986. V.69. N2. P.97−98.
- Mizutani K. and Toda K. Analysis of Lamb wave propagation characteristics in rotated Y- cut X- propagation LiNbOz plates// Electron, and Communic. in Japan. 1986. pt. 1. V. 69. N.4. P.47−55.
- Adler E.L. Electromechanical coupling to Lamb and shear- horizontal modes in piezoelectric plates// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Control.1989. V.36. N.2. P.223−231.
- Joshi S.G. and Jin Y. Exitation of ultrasonics Lamb waves in piezoelectric plates// J. Appl. Phys. 1991. V.69. P.8018−8024.
- Joshi S.G., Jin Y. Propagation of ultrasonic Lamb waves in piezoelectric plates// J.Appl.Phys. 1991. V.70. N.8. P.4113−4120.
- Jin Y., Joshi S.G. Propagation of quasi- shear- horizontal acoustic wave in Z-X lithium niobate plates// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Control.1996. V.43. P.491−494.
- Jin Y. and Joshi S.G. Lamb wave propagating in 128° Y-X Litium Niobate plates// IEEE Utrason. Sump. 1993. P.847−851.
- Wang C.-Y. and Achenbach J.D. New expressions for Lamb’s problem in solids of general anisotropy// IEEE Ultrason. Sump. 1998. P.427−429.
- Joshi S.G., Jin Y. Characteristics and application of quasi-shear-horizontal acoustic waves//Ultrasonics. 1996. V.34. P.507−509.
- Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E. Investigation of quasi-shear-horizontal acoustic waves in thin plates of lithium niobate// Smart and Material Structures. 1997. V.6. P.739−744.
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Joshi S.G. Theoretical and experimental investigations of QSH (quasi shear horizontal) acoustic waves// Ultrasonics. 1998. v.36. N 1−5. P. 31−35.
- Joshi S.G., Jin Y. Electromechenical coupling of ultrasonic Lamb Waves// J. Acoust. Soc. Am. 94 (1) July. 1993. P. 261−267.
- Joshi S.G., Jin Y. Coupling of interdigital transduser to ultrasonic Lamb waves// Appl.Phys. Lett. 1991. V.58. N.17. P.1830−1832.
- Martin S.J., Ricco A.J., Niemczyk T.M., Frye G.C. Characterization of SH acoustic plate mode liquid sensors// Sensoers and Actuators. 1989. V.20. P.253−268.
- Ballantine D.S., White R.M., Martin S.J., Ricco A.J., Zellers E.T., Frye G.C., Wohltjen H. Acoustic Wave Sensors. San Diego: Academic Press, 1997, ch.3.
- Teston F., Feuillard G., Tessier L., Lethecq M. Mass sensitivity of acoustic plate mode in liquids// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Control.1998. V.45. N.5. P.1266−1272.
- Liew S., Josse F., Haworth D.T., Shana Z.A., Kelkar U.R., Grunze M. Applications of lithium niobate acoustic plate mode as sensor for conductive liquids// Proc. of IEEE Ultras. Symp. 1990. P.285−290.
- Vellekoop M.J. Acoustic wave sensors and their technology// Ultrasonics. 1998. V.36. N. l-5, P.7−14
- Costello B.J., Martin B.A., and White R.M. Ultrasonic plate waves for biochemical measurements// in Proc of IEEE Ultrason. Symp. B.R.McAvoy, Ed. New York: IEEE. 1989. P.977−981.
- Moreau A., Ketterson J.В., and Davis B. A new ultrasonic method for measuring elastic modul in unsupported thin films: application to Cu-Pd superlattices// J. Appl. Phys. 1990. V. 68. P.1622−1628.
- Moroney R.M., White R.M., and Howe R. T, Microtransport included by ultrasonic Lamb waves// Appl. Phys. Lett. 1991. V. 59. P.774−776.
- Sze S.M. Pysics of semiconductor devices. Wiley: New York. 1981.
- Rotter M., Ruile W., Wixforth A., Kotthaus J.P. Voltage controlled SAW velocity in GaAsILiNbOZ hybrids// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 1999. V.46. N1. P.120−125.
- Wixforth A., Kotthaus J.P., Weimann G. Surfase acoustic waves in GaAs/AlxGi-xAs heterostructures// Phys. Rew. Vol.B.40. P.7874. 1989.
- Rotter M., Rocke C., Bohm S., Lorke N., Wixforth A., Ruile W., Korte L. Single -chip fused hybrids for acoustoelectric and acoustooptics applications// Appl. Phys. Lett. 1997. V. 70. P. 2097−2099.
- Wixforth A., Scuba J., Wassermeier J., Kotthaus G., Weimann G., Schlapp W. Interaction of surfase acoustic waves with a two-dimensional electron system in LiNb03 — GaAs/AlGaAs sandwich structure// J. Appl. Phys. 1988. V.64. P. 2213−2215.
- Slobodnik A.J., Conway J.R. and E.D. Microwave acoustic handbook. V.1A. Surface wave velocities. Air Force Systems Command, USAF. 1973.
- Kovacs G., Anhorn M., Engan H.E., Visiniti G., Ruppel C.C.W. Improved material constants for LiNb03 and LiTa03 // Proc. IEEE Ultras. Symp. 1990. V.l. P.435−438.
- Cho Y., Yamanouchi K. Nonlinear, elastic, piezoelectric, electrostrictive and dielectric constants of lithium niobate// J. Appl. Phys. 1987. V.61(3). N.l. P.875−887.
- Zgonik M., Schlesser R., Biaggio I., Tscherry J., Gunter P., Voit E. Materials constants of KNb03 relevant for electro- and acousto-optics// J. Appl. Phys. 1993. V.74. N2. P.1287−1297.
- Yamanouchi K., Odagava H., Kojima T. Matsumura T. Theoretical and experimental study of super high electromechanical coupling surfase acoustic wave propagation in KNbOz single crystal// Electon. Lett. 1997. 33.(3). P. 193−194.
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E. Surface acoustic waves in a gallium arsenide -conducting layer structure// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 1996. V.43. N6. P.1130−1132.
- Зайцев Б.Д., Кузнецова И. Е., Нефедов И. С. Затухание акустических волн Рэлея на поверхности арсенида галлия со слоем двумерного электронного газа/ / Письма в ЖТФ. 1994. Т.20. В.4, С.60−64
- Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E. Propagation of QSH (quasi shear horizontal) acoustic waves in piezoelectric plates// Trans, on IEEE Ultras., Ferroel. and
- Freq. Control. 1999. V.46. N5. P.1298−1302.
- Tiersten H.F., Sinha B.K. Perturbation analysis of the attenuation and dispersion of surface waves // J.Appl. Phys. 1978. V.49. N1. P.87−95.
- Niemczyk T.M., Martin S.J., Frye G.C., Ricco A.J. AcOustoelectric interaction of plate modes with solutions// J. Appl. Phys. 1988. V.64. N.10. P.5002−5008.
- Wenzel A.J., Maxtin B.A., White R.M.// Proc. of the 1988 IEEE Ultras. Symp. P.563.
- Nomura Т., Takebayashi M., Furukawa S., Obana M.// Proc. of the 1995 IEEE Symp. P. 547.
- Shana Z. and Josse F. Analysis of liquid-phase-based sensors utilizing SH surfase waves on rotated Y-cut quarts// Proc. of the 1988 IEEE Ultrason. Sump. P.549−554.
- Josse F. and Sanna Z.//J. Acoust. Soc. Am. V. 85(4). 1989. P. 1556.
- Zhang D. and Tong L.// Proc. of the 1994 IEEE Ultrason. Symp. P.639.
- Jin Y. and Joshi S.G.// Proc. of the 1997 IEEE Ultrason Symp. P.381.
- Кучеров И.Я., Островский И. В. Возбуждение поперечных волн в пластинах CdS и влияние проводимости на их затухание// УФЖ. 1971. Т.16. N. 2. С. 209−213.
- Васькова В.И., Деев В. Н., Пятаков П. А. Фотоиндуцированное изменение скорости поверхностной акустической волны в кристаллах силиката и германата висмута// ФТТ. 1984. Т. 26. в. 8. С. 2338−2343.
- Миргородский В.И., Пешин С. В. Акустоэлектронное затухание в условиях нестационарной фотопроводимости// ФТП. 1988. Т. 22. в. 8. С. 1486−1488.
- Лямов В.Е., Участкин В. И. Некоторые вопросы взаимодействия ультразвуковых волн с электронами проводимости// Труды ИК АН СССР. М. 1965. С. 11−121.
- Кмита A.M., Медведь А. В. Поперечный акустоэлектрический эффект в слоистой структуре LiNbOz Si// Письма в ЖЭТФ. 1971. Т.14. N.8. С. 455.
- Кмита A.M., МеДведь А.В., Федорец В. Н. Влияние поперечного дрейфа электронов на поглощение поверхностных акустических волн в CdS// Физика твердого тела. 1976. Т. 18. N.12. С.3610−3614.
- Вьюн В.А., Ржанов А. В., Яковкин И. Б. Акустоэлектронные методы исследования поверхности полупроводников// Новосибирск: ИФП СО АН СССР. 1978. 126 С.
- Боритко С.В., Гуляев Ю. В., Мансфельд Г. Д. Особенности детектирования радиосигналов с помощью акустоэлектрического эффекта// Радитехника и электроника. 1984. N.6. С. 1179−1185.
- Бородина И.А., Зайцев Б. Д., Синицын Н. И., Калинин В. Ю., Висюлькин Ю. Ф. Устройство для измерения распределения импульсного электромагнитного поля в микрополосковой линии// А.с. N1374150, заявлено 19.08.86, опубл.15.02. 88, Bkxji. N6.
- Дьелесан Э., Руайе Д. Упругие волны в твердых телах. М.: Наука. 1982. 4241. С.
- Ильин В.А., Позняк Э. Г. Аналитическая геометрия. М. Наука. 1968., 232 С.
- Балакирев М.К., Гилинский И. А. Волны в пьезокристаллах. Новосибирск: Наука. 1982. 237 С.
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E. Electric field influense on acoustic waves// Handbook of an advanced photonic and electronic materials and devises edited by H.S. Nalwa Academic Press. USA. 2000. V.4. Ch.4.P.139−174.
- Акустические кристаллы, под ред. М. П. Шаскольской. М.: Наука. 1982. 632 С.
- Urabe S., Uku S. Valtage controlled monolithic SAW phase shifter using MZOS structure// El. Lett. 1980. V.16. P. 777−778.
- Yamaguchi M., Tanno M., Hashimoto K., Kogo H. Propagation characteristics of SAW on ZnO jSiOi high-velocity-structure// Japanese Journ. of Appl. phys. 1986. V.25. Suppl. 25−1. P.127−129.
- Coldren L.A. Effect of bias field in zinc-oxide-on-silicon acoustic convolver// Appl. Phys. Lett. 1974. V.25. N.9. P.473−475.
- Альтшиц В.И., Любимов В. Н., Науменко Н. Ф., Переломова Н. В., Шувалов A.JI. Особые объемные упругие волны в кристаллах различной симметрии// Кристаллография. 1985. Т.ЗО. N. 2. С. 213−219.
- Бородина И.А., Джоши С. Г., Зайцев Б. Д., Кузнецова И. Е. Акустические волны в тонких пластинах ниобата лития// Акуст. журн. 2000.Т.46. N.l. С.42−46.
- Бородина И.А., Джоши С. Г., Зайцев Б. Д., Кузнецова И.Е Акустические волны в твердых телах. 4.2. Изд. СГУ: Саратов. 2000. 32 С.
- I.E.Kuznetsova, B.D.Zaitsev, S.G.Joshi, I.A.Borodina Investigation of Acoustic Waves in Thin Plates of Lithium Niobate and Lithium Tantalate// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 2001. V.48. Nl. P.322−328
- Borodina I.A., Joshi S.G., Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E. Acoustic Waves in Thin Plates if Lithium Niobate// Acoustical Physics. 2000. V.46. N. l, P.42−46.
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Joshi S.G., Borodina I.A. Acoustic plate waves in potassium niobate single cristal// Electronic Letters. 1998. V.34. N23. P.2280−2281
- Джоши С.Г., Зайцев Б. Д., Кузнецова И. Е., Бородина И. А. Исследование коэффициента электромеханической связи акустических волн в тонких пластинах ниобата калия// Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. В.8. С.67−70.
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Borodina I.A., Joshi S.G. Characteristics of acoustic plate waves in potassium niobate (KNb03) single crystal// Ultrasonics. 2001. V.39. N1. P.51−55.
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Joshi S.G., Borodina I.A. Superhigh electromechanical coupling for acoustic plate waves in potassium niobate// IEEE Ultras. Symp. 1999. Nevada. USA. Oct.17−21 1999, pp.305−309
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Borodina I.A., Joshi S.G. Characteristics of acoustic plate waves in potassium niobate (KNb03) single crystal// Ultras. Int.'99. 29 June-lJuly 1999. Denmark.
- Гуляев Ю.В., Кузнецова И. Е., Зайцев Б. Д., Джоши С. Г., Бородина И. А. Влияние тонкого проводящего слоя с поверхностной проводимостью на характеристики акустических волн в ниобате калия// Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. N.8. С.21−26.
- Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E., Borodina I.A. Influence of conducting laier and conducting electrode on acoustic waves in potassium niobate plates// IEEE
- Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 2001. V.48. N.2. P.624−626.
- Кузнецова И.Е., Зайцев Б. Д., Бородина И. А., Попов В. В. Влияние тонкого проводящего поверхностного слоя на свойства квазипоперечных сдвиговых волн и волн Лэмба в пластинах арсенида галлия// Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. N3. С.38−43.
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Joshi S.G., Borodina I.A. Shear horizontal acoustic waves in piezoelectric plates bordered with conductive liquid// IEEE Trans, on on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 2001. V.48. N.2. P.627−631.
- Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E., Borodina I.A. Acoustic waves in piezoelectric plates bordered with viscous and conductive liquids // Ultras. International'99, 29 June 1 July, 1999, Denmark.
- Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova I.E., Borodina I.A. Acoustic waves in piezoelectric plates bordered with viscous and conductive liquids// Ultrasonics. 2001. V.39. N.l.
- Олеск А.О. Фоторезисторы// 1966. M.-JI. изд. Энергия. 128 С.
- Borodina I.A., Ermolenco A.V., Zaitsev B.D., Sinitsyn N. L External electric field ifluenceon SAW velosity in MSD-structure// Proceed, of 5-th Conf. «Acoustoelectronics'91» 1991. Varna. Bulgaria.P.116−118.
- Бородина И.А., Голубский А. А., Ермоленко А. В., Зайцев Б. Д., Осипенко В.A., Синицын Н.И.Влияние внешних постоянных и переменных электрических полей на скорость ПАВ в МДП структуре// Акуст. ж. 1994. Т.40. В.З. С.439−440.
- Borodina I.A., Ermolenco A.V., Zaitsev B.D., Sinitsyn N.I. Microwave signal processing by acoustic waves in piezosemiconductor MSD structures// Proceed, of the Int. Conf. «Signal Prosessing» 1990. Riga. Latvian. V2.P.107−109.
- Бонч-Бруевич В.JI., Калашников С. Г. Физика полупроводников. М.: Наука. 1977. 672С.