Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Влияние сорбции и тепловых воздействий на распространение акустических волн в твердотельных структурах

Диссертация: Влияние сорбции и тепловых воздействий на распространение акустических волн в твердотельных структурах
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Для мод каждого типа продемонстрирована возможность варьирования акустическими характеристиками без изменения направления распространения, кристаллографической ориентации и/или материала подложки, только за счет возбуждения моды определенного номера, обнаружены моды с рекорными значениями отдельных характеристик распространения — скоростью до 30 000 м/с, температурными коэффициентом задержки… Читать ещё >

Влияние сорбции и тепловых воздействий на распространение акустических волн в твердотельных структурах (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава 1. Обзор литературы
    • 1. 1. Акустические датчики газов
      • 1. 1. 1. Метод кварцевого микробаланса
      • 1. 1. 2. Метод поверхностных акустических волн (ПАВ)
    • 1. 2. Датчики жидкостей на поверхностных акустических волнах
      • 1. 2. 1. Механизм вязкоупругого взаимодействия
      • 1. 2. 2. Механизм массовой нагрузки
      • 1. 2. 3. Механизм электроакустического взаимодействия
      • 1. 2. 4. Тепловой механизм
  • Глава 2. Анизотропия парциальных вкладов и суммарной величины газового отклика ПАВ
    • 2. 1. 0. риентационные зависимости ПАВ на кристаллографических плоскостях пьезокварца и ниобата лития
    • 2. 2. Анализ анизотропии на основных плоскостях кварца и ниобата лития, оптимизация аналитических измерительных элементов
    • 2. 3. Испытательные стенды. Методика измерений
    • 2. 4. Аналитические измерительные элементы (лабораторные макеты)
    • 2. 4. 1. Конструкция
    • 2. 4. 2. Принцип действия
    • 2. 4. 3. Результаты испытаний аналитического элемента
  • Глава 3. Акустические моды в пластинах кварца при изменении параметров пластины и внешних воздействиях
    • 3. 1. Свойства пластинчатых мод при изменении параметров пластины
    • 3. 2. Свойства пластинчатых мод при внешних воздействиях
      • 3. 2. 1. Воздействие температуры
      • 3. 2. 2. Воздействие массово-упругой нагрузки поверхности
      • 3. 2. 3. Воздействие электрической нагрузки поверхности
    • 3. 3. Экспериментальное исследование пластинчатых мод
      • 3. 3. 1. Температурная чувствительность пластинчатых мод
      • 3. 3. 2. Чувствительность пластинчатых мод к сорбции из газовой фазы
  • Глава 4. Изучение поверхностных тепловых процессов с помощью акустических волн различного типа
    • 4. 1. Методика акустического изучения тепловых процессов
    • 4. 2. Теоретический профиль температур
    • 4. 3. Результаты акустического исследования процесса испарения микрокапель

Нобелевский лауреат Эмилио Сегре в своей замечательной книге-воспоминании о великом итальянском ученом Энрико Ферми, также Нобелевском лауреате, написал: «Различных физиков привлекают разные аспекты науки. Одни стремятся только к общим, фундаментальным принципам, другие охотятся за новыми явлениями, третьи любят точные измерения, четвертые разрабатывают новые приборы или методы. Эти стремления не исключают одно другое, они даже часто дополняют друг друга, и все они необходимы для развития физики» [1].

Приведенные слова в полной мере относятся к работам в области акустоэлектроники, которые находятся на стыке акустики твердого тела, физики полупроводников и радиоэлектроники. Долгие годы эти работы были направлены на исследование материалов, акустоэлектронных и акустооптических эффектов и разработку устройств для преобразования и аналоговой математической обработки радиосигналовпри этом изменениями акустических волн под влиянием температуры, газов окружающей среды и других внешних воздействий стремились избежать. В последние 10−15 лет в рамках того же научного направления бурное развитие получили работы, объектом исследования которых стали собственно внешние воздействия, процессы и среды, которые располагаются на границе области непосредственного распространения акустических волн — то есть на границе «твердое тело-газ» или «твердое тело-жидкость». Интерес к этим работам, в полном соответствии со словами Э. Сегре, обусловлен возможностью создания новых приборов и методов для контроля окружающей среды, химической и биологической защиты, аналитической химии, биологии, медицины и других областей науки и техники.

По сравнению с известными методами, основанными на иных физических принципах, детектирование внешних воздействий по изменениям амплитуды и скорости акустических волн (акустическому отклику) сулит ряд неоспоримых преимуществ: широкий спектр акустических колебаний позволяет надеяться на оптимизацию акутической волны в зависимости от каждой конкретной задачи в отдельности, чувствительность волн одновременно к нескольким воздействиям открывает возможность многопараметрического анализа приграничных сред и процессов, а частотный вид акустического отклика облегчает совмещение таких устройств с цифровыми системами обработки данных и повышает точность измерений. Особенно большие надежды связываются с анизотропией распространения акустических волн в монокристаллических материалах, поскольку именно она позволяет варьировать величину, знак и временную зависимость отклика без традиционной замены пленочного покрытия, чувствительного к данному газу или жидкости.

Однако, анализ сведений, полученных из литературных источников, показывает, что большинство работ, выполненных в этом направлении к началу данной диссертации (1999 г.), ограничивается распространением волн только по отдельным кристаллографическим направлениям и поэтому не может использовать преимущества анизотропии распространения для многопараметрического анализа газов и жидкостей (наиболее типичным примером служит кварцевый микробаланс — акустический резонатор на основе кварцевой пластины). В этих же работах игнорируется тепловой механизм чувствительности акустических волн, а их распространение в пластинах ограничивается лишь модами 2-х первых порядков. Вместе с тем, естественно было предположить, что увеличение числа направлений распространения, механизмов детектирования и типов волн может привести к появлению новых, ранее неизвестных возможностей для этой области науки.

Цель диссертации состояла в исследованиии теплового механизма чувствительности акустических волн и анизотропии (различия) откликов волн разного типа под действием сорбции из газовой фазы и теплового воздействия.

Основные задачи диссертации заключались в: исследовании анизотропии газовых откликов волн одного типа (волн Рэлея) при распространении по разным направлениям одной кристаллографической плоскости пьезоэлектрического монокристаллаисследовании различия между откликами нормальных мод нулевого и более высоких порядков при распространении в одном направлении тонкой пьезоэлектрической пластины на газовое и тепловое воздействиесравнении откликов акустических волн разного типа (поверхностных, приповерхностных, объемных) на действие теплового источника, находящегося на поверхности однородного твердотельного материала с большой и малой собственной теплопроводностью, разработке новых аналитических методов и лабораторных макетов с использованием полученных результатов.

Диссертационная работа состоит из Введения, четырех глав и заключения. Она состоит из 149 страниц машинописного текста, 78 рисунков, 19 таблиц и списка литературы из 168 наименований.

Заключение

.

Основными результатами диссертации, полученными впервые являются:

1. Проведен сравнительный анализ анизотропии основных характеристик распространения рэлеевских волн на 10 плоскостях кварца и ниобата лития:

— показано, что наибольшим различием в рамках одной кристаллографической плоскости обладают газовые отклики волн, которые распространяются по направлениям 0°, -33°, 47° к оси X на кварце ST-среза и по направлениям 0°, 46°, 80°, 115° к оси X на ниобате лития 128°Y-cpe3a, с использованием найденных кристаллографических ориентаций разработаны лабораторные макеты аналитических элементов для измерений упругих, электрических и тепловых изменений в тонких пленках при адсорбции из газовой фазы, на тестовых объектах проведена апробация макетов и определены их предельные характеристики: по массе адсорбированного вещества — 0,1 монослоя, по изменениям плотности, упругих модулей, проводимости и температуры — 0,1%, 0,2%, 1% и 0.01 °С, соответственно, разрешение во времени — < 1 с.

2. Для нормальных мод Лэмба и мод сдвигово-горизонтальной поляризации SH в пластинах кварца толщиной порядка длины волны исследованы основные акустические характеристики и степень отличия между парциальными откликами мод при изменении плотности, упругости, температуры и поверхностной нагрузки пластины:

— для мод каждого типа продемонстрирована возможность варьирования акустическими характеристиками без изменения направления распространения, кристаллографической ориентации и/или материала подложки, только за счет возбуждения моды определенного номера, обнаружены моды с рекорными значениями отдельных характеристик распространения — скоростью до 30 000 м/с, температурными коэффициентом задержки до 350 -Ю" 6 /°С, нулевым значением того же коэффициента в рекорными широком диапазоне температур от 0 до 100 °C, показано, что для мод каждого типа величины парциальных откликов могут либо равняться нулю (все моды нечувствительны к данному воздействию), либо быть одинаковыми (все моды чувствительны к воздействию в одинаковой степени), либо меняться в зависимости от номера моды (чувствительность каждой моды различна), установлено, что для мод SH-поляризации эта зависимость может иметь монотонный, а для мод Лэмба — немонотонный характер.

3. Изучены физические основы применения теплового механизма детектирования акустических волн для аналитических целей: с использованием волн разного типа разработата методика и лабораторный макет для бесконтактной характеризации тепловых процессов на поверхности однородных твердотельных материалов, показано, что для исследования кинетики этих процессов и измерения сопровождающих их температурных вариаций предпочтительны тонкие образцы из материалов с высокой теплопроводностью (к ~ 150 Вт/м-К), а для измерения температурного профиля, удельной и полной теплоты исследуемого процесса — толстые образцы из материалов с малой теплопроводностью (к ~ 1 Вт/м-К), на примере испарения микрокапель летучих соединений объемом 0.5 — 10 мкл проведена апробация лабораторных макетов и определены их предельные характеристики: изменение температуры ДТ = 0.01 °С, выделяемое (поглощаемое) тепло — 0.05 Дж, теплота испарения гомогенных органических и неорганических соединений — 30 Дж/г, скорость испарения -0,01 г/(м2-с). После предварительной калибровки возможны измерения массы (объема) капель и теплопроводности самого образца.

В заключение выражаю глубокую благодарность своему научному руководителю академику Ю. В. Гуляеву за постановку данной работы, внимательное руководство, детальное обсуждение результатов и постоянную поддержку. Выражаю сердечную благодарность доктору Э. Вероне (институт акустики им. О. М. Корбино, Рим, Италия) за профессиональные консультации при работе с программой «ПАВ и ОАВ» университета МкГилл, обучение технологии изготовления тестовых экспериментальных образцов и полезные советы при обсуждении результатов. Выражаю искреннюю благодарность квалификационному семинару 17-го отдела Института радиотехники и электроники РАН за обсуждение и ценные замечания по теме диссертации, а также всему коллективу лаборатории неравновесных процессов в полупроводниках и полупроводниковых материалах ИРЭ РАН за всестороннюю помощь и дружеское отношение.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Э. Энрико Ферми.Физик: Пер. с англ.- М.:Мир, 1973, — С. 37.
  2. В.Н. //Поверхность.-1984, — N 3 С.5−8.
  3. Rayleigh, Baron (alias Strutt J.W.) On the Theory of Resonance //Philos. Trans.- 1870 N.161.-P.77−86.
  4. Sauerbrey G.//Z.Physik.- 1959.-N 155. P.206−212.
  5. McCallum J.J. //Analyst- 1989, — N 114, — P. 1173−1176.
  6. V.M. // Sensors and Actuators.- 1994, — N 40- P. l -4.
  7. Wohltjen H, Dessy R. Surface Acoustic Wave Probe for Chemical Analisis: parti Introduction and Instrument Description, part2 — Gas Chromatography Detector// Anal. Chem.- 1979, — N 51,-P. 1458−1476.
  8. D’Amico A., Palma A., Verona E. Palladium-surface Acoustic Wave Interaction for Hydrogen Detection // Appl.Phys.Lett. 1982, — V.41, N.3 — P.300 -305.
  9. S.J., Ricco A.J., Ginley D.S., Zipperian Т.Е. // IEEE Trans.-1987.- V. UFFC-34, N.2.-P. 142−147.
  10. W.D., Chuan R.L. // Rev.Sci.Instrum.- 1989, — V.60, N 7, — P. 1297−1301.
  11. Biyant A., Lee D.L., Vetelino J.F. A Surface Acoustic Wave Gas Detector // IEEE Ultrason. Symp. Proceedings.-1981.- P. 171 -174.
  12. Bryant A., Poirier M., Riley G, Lee D.L., Vetelino J.F. Gas Detection Using Surface Acoustic Wave Delay Lines // Sensors and Actuators.- 1983.-N.4, P. 105−110.
  13. Vetelino J.F., Lade R.K., Falconer R.S. Hydrogen Sulfide Surface Acoustic Wave Gas Detector// IEEE Ultrason. Symp.: Proceedings.- 1986.-P.549.
  14. Verona E. Surface Wave Sensors // Intern. School on Physical Acoustics: Proceedings.-Erice, Italy.-1988.-P. 199−203.
  15. Martin S.J., Schweizer K.S., Schwartz S.S., Gunshor R.L. Vapor Sensing by Means of a ZnO-on-Si Surface Acoustic Wave Resonator//IEEE Ultrason. Symp.: Proceedings.- 1984,-P.207−212.
  16. Rose-Pehrsson S.L., Grate J.W., Ballantine Jr., D.S., Jurs P.C. Detection of Hazardous Vapours Including Mixtures Using Pattern Recognition Analysis of Response from Surface Acoustic Wave Devices //Anal. Chem.-1988.- N60, — P. 2801−2811.
  17. Zellers E.T., White R. M, Wenzel S.W. Computer Modeling of Polimer-coated ZnO/Si Surface Acoustic Wave and Lamb wave chemical Sensor // Sensors and Actuators.- 1988, — N 14, — P. 35−42.
  18. Barendesz A.W., Vis J.C., Nieuwenhnizen M.S., Nieuwkoop E., Wellekoop W. J., Ghijsen W.J., Venema A. A SAW-chemosensor for N02 Gas-concentration measurement // IEEE Symp.: Proceedings.- 1985. -P.586−591.
  19. Barendesz A.W., Nieuwenhnizen M.S., Nieuwkoop E., Wellekoop W.J., Ghijsen W.J., Venema A. NO2 Gas-concentration Measurement With a SAW chemosensor // IEEE Transactions-1987-V.UFFC-34, P.148−155.
  20. Rapp M., Binz D., Kabbe I., von Schickfus M., Hunklinger S., Fuchs H., Schrepp W., Fleischmann B. A New High-frequency High-sensitivity SAW Device for NO2, Gas Detection in the Sub-ppm Range //Sensors and Actuators В.- 1991.-N4.-P.103−108.
  21. Enderlein J., Makarov S., Chilla E., Froehlich H.-J. Mass Sensitivity of Temperature-stabilized Surface Acoustic Wave Delay Lines on GaAs // Sensors and Actuators B.-l 995, — N24−25, — P.65−68.
  22. D’Amico A., Petri A., Verardi P., Verona E. NH3 Surface Acoustic Wave Gas Sensor// IEEE Ultrason. Symp.: Proceedings.- 1987. -P.633−637.
  23. D’Amico A., Palma A., Verona E. Surface Acoustic Wave Hydrogen Sensor // Sensors and Actuators.- 1982. N3, P.31.
  24. D’Amico A., Gentili M., Verardi P., Verona E. Gas Sensor Based on Improved SAW Devices // 2nd Intern. Meeting on Chemical SensorsProceedings.- Bordeaux, France.- 1985. P.743−749.
  25. Anisimkin V.I., Verona E., D% Amico A. Hydrogen Detection with Surface Acoustic Transverse Waves //II Nuovo Cimento. Note Brevi.- 1989, — V. l 1 D, N3, — P.503−508.
  26. Yamamoto N., Tonomura S., Matsuoka Т., Tsubomura H. A Study on a Palladium-Titanium Oxide Schottky Diode as a Detector for Gaseous Components // Surface Science.-1980.- N.92.-p.400−406.
  27. В.И., Котелянский И. М., Верарди П., Верона Э. Определение упругих свойств тонких пленок и их изменений с помощью поверхностных акустических волн (ПАВ) // ФТТ-1994, — Т.36, № 2, — С.428−435.
  28. Caliendo С, Verona Е., Anisimkin V.I. Surface Acoustic Wave Humidity Sensors: a Comparison Between Different Types of Sensitive Membrane // Smart Material Structure.-1997.-Vol.6.-P.707−715.
  29. Caliendo C., Verona E., D’Amico A, Furlani A, Iucci G., Russo M.V. Surface Acoustic Wave Humidity Sensor // Sensors and Actuators B.-l993.-N15−16 P.288−292.
  30. Sato M., Yamamoto T. Sensitivity of Phase Velocity of a Composite ZnO plate to Humidity // Sensors and Actuators B.-1993.-N 13−14, — P.96−99.
  31. Э.И., Швандеров А. Ф. Возможности сенсора на поверхностных акустических волнах для контроля параметров газовых сред // Сенсоры.-2001, — № 1.- С. 42−45.
  32. Anisimkin V.I., Penza М., Osipenko V.A., Vasanelli L. Gas Thermal Conductivity Sensor Based on SAW// IEEETrans.-l995.-V.UFFC-42, N.6.-P.978−980.
  33. Ricco A.J., Frye, G.C., Martin SJ. //Langmuir.- 1989,-V.5. P.273−280.
  34. Glaves L., Frye G.C., Smith D.M., C.J. Brinker, Datye A., Ricco A.J., Martin S.J. // Langmuir.-1989, — У.5.- P.459−464.
  35. L.J., Crooks R.M., Ricco A.J. // Anal.Chem.- 1992, — V.64.- P.3191−3196.
  36. Sun L., Thomas R.C., Crooks R.M., Ricco A.J. // J.Amer.Chem.Soc.- 1991, — V.113.- P.8550−8556.
  37. Ricco A.J., Martin S.J. Thin Metal Film Characterization and Chemical Sensors: Monitoring Electronic Conductivity, Mass Loading and Mechanical Properties with Surface Acoustic Wave Devices // Thin Solid Films.-1991.- N 206, — P.94−101.
  38. Rebiere D., Pistre J., Hoummady M., Hauden D., Cunin P., Planade R. Sensitivity Comparison Between Gas Sensors Using SAW and Shear Horizontal Plate-mode Oscillators // Sensors and Actuators В.- 1992, — N6, — P. 274−278.
  39. Auld В .A. Acoustic Fields and Waves in Solids. Ed. by Wiley.- N.Y.-1973.-V.2.- P.278.
  40. LecR., Vetelino J.F., Falconer R.S., XuZ. Macroscopic Theory of Surface Acoustic wave Gas Microsensor // IEEE Ultrason. Symp.: Proceedings.-1988, — P.585−589.
  41. Galipeau J.D., Falconer R.S., Vetelino J.F., Caron J.J., Wittman E.L., Schweyer M.G., Andle J.C. Theory, Design and Operation of a Surface Acoustic Wave Hydrogen Sulfide Microsensor // Sensors and Actuators B.-1995.-N 24−25, — P.49−53.
  42. Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M., Verardi P., Verona E. Elastic Properties of Thin Film Palladium for SAW Sensors // Sensors and Actuators В.- 1995, — V.23, N 2−3, — P.203−208.
  43. В.И., Котелянский И. М., Верона Э. //Поверхность, — 1996, — № 10, — С.20−25.
  44. В.И., Максимов С. А. // Поверхность,-1999 №.11.- С.70−75.
  45. V.I., Kotelyanskii I.M., Fedosov V.I., Caliendo С., Verardi P., Verona E. // IEEE Ultrason.Symp.: Proceedings.- 1996, — P.293−298.
  46. Kostial P. Surface Acoustic Wave Control of the Ion Concentration in Water // Appl. Acoustics.-1994, — N 41, — p.187−193.
  47. Kostial P., Machalikova J., Cernobila F. Using an Immersion Surface Acoustic Wave Sensor for Liquid Testing// J.PhysHIFrance.- 1993. N3.-P.355−362.
  48. Kostial P., Machalikova J., Kaniok J. The Application of Surface Acoustic Waves for the Study of Liquids //ActaPhys. Slov.-1993.- Vol. 43.-No.3.- P. 169−176.
  49. Kostial P., Machalikova J. Surface Acoustic Wave Diagnosis of Oil Wearing // Acta Acustica -1993.-N1.-P.119−122.
  50. Ricco A.J. Martin S.J. Acoustic Wave Viscousity Sensor//Appl.Phys.Lett., 50(21), 25 May 1987.
  51. Hughes R.C., Martin S.J., Frye G.C., Ricco A.J. Liquid-Solid Phase Transition Detection with Acoustic Plate Mode Sensors: Application to Icing of Surfaces // Sensors&Actuators 1990,-Vol.A21-A23.- P.693−699.
  52. Moritake H., Inoue M., Toda К. Liquid Viscousity Measurement Uzing Plate Mode Shear Horizontal Waves on a Piezoelectric Ceramic Thin Plate// Jpn.J.Appl.Phys.-1997.-Vol. 36, — P.6088−6091.
  53. Moriizumi Т., Unno Y., Shiokawa S. New Sensor in Liquid Using Leaky SAW // IEEE Ultrason. Symp. :Proceedings. 1987, — P.579−582.
  54. Martin S.J., Ricco A.J., Hughes R.C. Acoustic Wave Devices for Sensing in Liquids // 4th Internal Conf On Solid-State Sensors and Actuators: Proceedings.-1987, — P.478−481.
  55. Shana Z, Josse F. Analysis of Liquid-Phasebased Sensors Utilizing SH Surface Waves On Rotated Y-Quartz//IEEE Ultrason. Syrnp.:Proceedings.- 1990,-P. 123−126.
  56. Nomura Т., Yasuda T. Measurement of Acoustic Properties of Liquids Using SH-type Surface Acoustic Waves //IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.- 1990, — P.307−310.
  57. Martin B. A, Wenzel S.W., White R.H. Viscousity and Density Sensing with Ultrasonic Plate Waves// Sensors&Actuators.-l990, — Vol. A21-А23,-P.704−708.
  58. Furukawa S., Furukawa H., Nomura Т., Yasuda Т., Tamura M. Precise Estimation of Viscosity of Liquid Using Leaky Surface Acoustic Waves Propagating Along Liquid/Polymer/LiNb03 Structures// Ultrason. Symp.Proceedings.-1992,-P.303−306.
  59. Nomura Т., Yasuda Т., Furukawa S. One-Port Surface Acoustic Wave Resonator for Sensing in Liquids"//Ultrason. Symp.Proceedings.- 1992.P.299−302.
  60. Hauden D., Hoummady M., Choujaa A, Bastien F. Acoustic Wave Sensors Quartz Technological Channel and Silicone Tecnology// IEEE Ultrason. Symp.- 1992.-P.310−313.
  61. Jakoby В., Vellekoop M.J. Viscous Losses of Shear Waves in Layered Structures Used for Biosensing// IEEE Ultrason. Symp.:Proceedings.-1998.-P.90−93.
  62. Herrmann F., Weihnacht M. Sensor Based On Shear-Horizontal Surface Acoustic Waves in Layered Quartz/Si02 and LiTaOs/ S1O2 Structures // IEEE Ultrason. Symp. Proceedings.- 1999,-P.413−416.
  63. Calabrese G.S., Wohltjen H, Roy M.K. Surface Acoustic wave Devices as Chemical Sensors in Liquids. Evidence Disputing the Importance of Rayleigh Wave Propagation //Anal.Chem.- 1987,-N59.- p.833−837.
  64. Kostial P. Surface Acoustic Wave Measurements of Evaporation Rate //Appl.Acoustics.-1996.-Vol.47.-N 2, — P. 121−127.
  65. Hou J., van de VaartH. Mass Sensitivity Of Plate Modes In Surface Acoustic Wave Devices And Their Potential As Chemical Sensors//IEEE. Ultrason. Symp.: Proceedings. P.573−575.
  66. Wenzel S.W., White R.M. A Multisensor Employing an Ultrasonic Lamb-Wave Oscillator // IEEE Trans Electron. Devices.- June 1988, — Vol. 35, — N6, — P.735−743.
  67. Andle J., Vetelino J., Lade M., McAllister D. Detection of Nucleic Acid Hybridization With an Acoustic Plate Mode Microsensor //IEE Ultrason. Symp.: Proceedings.- 1990.P.291−294.
  68. Andle J.C., Vetelino J.F., Lade M.W., McAllister D.J. An Acoustic Plate Mode Biosensor // Sensors&Actuators В.-1992, — N8, — P. 191−198.
  69. Rajendran V., Koike M., Hashimoto K. Mass Density Sensor For Liquids Using ZnO -Film/Al -Foil Lamb Wave Device // IEEE Proc. Ultrason. Symp.- 1992, — P.263−268.
  70. J.C.Andle, J.T.Weaver, J.F.Vetelino, D.J.McAllister «Selective Acoustic Plate Mode DNA Sensor"II Sensors&Actuators В 24−25 (1995), p. 129−133.
  71. Josse F., Andle J.C., Vetelino J.F., Dahint R., Grunze M. Theoretical and Experimental Study of Mass Sensitivity of PSAW-APMs on ZX-LNO // IEEE Tmns.-July 1995, — Vol. UFFC 42, — No.4.
  72. Josse F., Dahint R., Schumacher J., Grunze M., Andle J.C., Vetelino J. On the Mass Sensitivity of Acoustic-Plate-Mode Sensors // Sensors & Actuators А.-1996, — N 53, — P.243−248.
  73. Seigel R.R., Harder P., Dahint R., Grunze M., Josse F., Mrksich M., Whitesides G. On-Line Detection of Nonspecific Protein Adsorption at Artificial Surfaces // Anal. Chem.-1997.-Vol.69,-N16.-P.3321−3328.
  74. Teston F., Feuillard G., Tessier L., Lethiecq M. Mass Sensitivity of Acoustic Plate Mode in Liquids //IEEE Trans.- September 1998, — Vol. UFFC 45, — N.5.
  75. Dahint R., Bender F., Morhard F. Operation of Acoustic Plate Mode Immunosensors in Complex Biological Media //Anal. Chem.- 1999.-N71.-P.3150−3156.
  76. Bender F., Dahint R., Josse F., Ricco A. J., Martin S.J. Characteristics of Acoustic Plate Modes on Ratated Y-Cuts of Quartz Utilized for Biosensing Applications // Anal. Chem.-1999.-N 71, — P.5064−5068.
  77. Esteban I., Dejous C., Rebiere D., Pistre J., Planade R. Study of the Mass Sensitivity of SH-APM Sensors with Maple V // Sensors&Actuators.-1999.- N 76, — P.43−50.
  78. Andle J.C., Vetelino J.F., Lec R., McAllister D.J. An Acoustic Plate Mode Immunosensor// IEEE Ultrason. Symp.: Proceedings.-1989.-P.579−584.
  79. Rapp M., Moss D.A., Reicher J., Ache H.J. Acoustoelectric Immunosensor Based On Surface Transverse Waves For In Situ Measurements In Water//.7th Intem.Conf. on Solid-State Sensors and Actuators Proceedings. 1990. P.90−93.
  80. Gizeli E., Goddard N.J., Lowe C.R., Stevenson A.C. A Love Plate Biosensor Utilizing a Polimer Layer // Sensors&Actuators B.-l992, — N6, — P. 131 -137.
  81. Kovacs G., Venema A. Theoretical Comparison Of Sensitivities Of Acoustic Shear Wave Modes For (Bio)chemical Sensing In Liquids // Appl.Phys.Lett.-1992.- Vol. 61.-N 6.-P.639−641.
  82. Kovacs G., Lubking G.W., Vellekoop M.J., Venema A. Love Waves for (Bio)chemical Sensing in Liquids//IEEE Ultrason. Symp. Proceedings 1992.-P.281−285.
  83. R.L., Flory C.A., Тош-Моу M., Solomon D.S. STW Chemical Sensors //IEEE Ultrason. Symp. Proceedings.- P.293−298.
  84. Kovacs G., Vellekoop M.J., Haueis R., Lubking G. W, Venema A. A Love Sensor For (Bio)chemical Sensing In Liquids // Sensors&Actuators А.-1994, — N43, — P.38−43.
  85. Hunklinger S., von Schikfus M. Chemical Sensing in Gases and Liquids with Surface Acoustic Devices'7/Ibid.
  86. Tom-Moy M., Baer R.L., Solomon D.-S., Doherty T P. Atrazine Measurements Using Surface Transverse Wave Devices // Anal. Chem.- 1995. N 67, — P. 1510−1516.
  87. Welsch W. Klein C., von Schikfus M., Hunklinger S. Development of Surface Acoustic Wave Immunosensor // Anal. Chem.- 1996, — N 68, — P.2000−2004.
  88. Gizeli E., Lowe C.R., Liley M., Vogel H. Detection of Supported Lipid Layers With the Acoustic Love waveguide device: Application to Biosensors// Sensors&Actuators В.-1996.-N34. -P.295−300.
  89. Du J., Harding G.L., Ogilvy J.A., Dencher P.R., Lake M. A Study of Love-Wave Acoustic Sensors // Sensors&Actuators A.-1996.-N 56.-, P.211−219.91. von Schikfus M., Welsch W., Weip M., Hunklinger S. Biosensing With Surface Acoustic Wave Devises"//Ibid.
  90. Gizeli E., Liley M., Lowe C. R, Vogel H. Antibody Binding to a Functionalized Supported Lipid Layer: A Direct Acoustic Immunosensor// Anal. Chem.- 1997, — N 69.-P.4808−4813.
  91. Freudenberg J., Schelle S., Beck K, von Schickfus M., Hunklinger S. A Contactless Acoustic Wave Biosensor//IEEE Ultrason. Symp. Proceedings.- 1997.-P. 90−93.
  92. Du J., Harding G.L. A Multilayer Structure for Love-mode Acoustic Sensors // Sensors&Actuators A.-1998.-N 65, — P. 152−159.
  93. Cowan S.E., Black J., Keasling J.D., White R.M. Ultrasonic Flexural-Plate-Wave Sensor for Detecting the Concentration of Settling E. Coli W3110 Cells // Anal. Chem.- 1999.-N 71.-P. 36 223 625.
  94. Niemczyk T.M., .Martin S.J., G.S.Frye, Ricco A. J. Acoustoelectric Interaction of Plate Modes With Solutions//J.Appl.Phys.-1988.-Vol 64.-N 10.-P.5002−5008.
  95. Martin S.J., Ricco A. J., Niemczyk T.A., Frye G.C. Characterization of SH-Acoustic Plate Mode Liquid Sensors//Sensors&Actuators.- 1989,-N20.-P.253−268.
  96. Dejous C., Savart M., Rebiere D., JPistre A Shear-horizontal Acoustic Plate Mode (SH-APM) Sensor for Biological Media // Sensors&Actuators В.-1995, — N 26−27.P.452−456.
  97. Caliendo C., D’Amico A., Verardi P., Verona E. K+ Detection Using Shear Horizontal Acoustic Modes//IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.- 1990.-P.383−387.
  98. Baer R.L., Flory C.R. Some Limitations on the Use of Leaky SAW Mode Sensors in Liquids // IEEE Ultrason. Symp.- 1991.-P.279−284.
  99. Kondoh J., Nakamura M., Matsui Y., Shiokawa S. Water Recognition Using SH-SAW Sensors //IEEE Ultrason. Symp.:Proceedings.-1991, — P.390−393.
  100. Shiokawa S., Kondoh J., Matsui Y. Application of liquid phase SH-SAW sensor for biosensing and taste sensor"// IEEE Ultrason. Symp.:Proceedings.- 1991, — P.270−273.
  101. Kondoh J., Matsui Y., Shiokawa S., Wlodarski W.B. Enzyme-immobilized SH-SAW biosensor // Sensors&Actuators В.-1994ю- N 20 P. 199−203.
  102. Kondoh J., Saito K, Shiokawa S., Suzuki H. «Multichannel Shear Horizontal Surface Acoustic Wave Sensor for Liquid Characterization // IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.-1995 P.445−449.
  103. Kondoh J., Yogi S., Hayashi S., Shiokawa S. Measurement Of Complex Permittivity Using a Surface Wave Liquid-Phase Sensor // World Congress on Ultrasonics: Proceedings.-1997,-Yokohama P. 94−95.
  104. Yamazaki Т., Kondoh J., Matsui Y., Shiokawa S. Estimation of Components and Concentrations in Mixture Solutions of Electrolytes Using a Liquid Flow System With Acoustic Wave Sensor // IEEE Ultrason. Symp. proceedings.- 1998 P.73−76.
  105. Nomura Т., Saitoh A., Horikoshi Y., Furukawa S. Liquid Sensing System Based On Two Port SH-SAW Resonator // IEEE Ultrason. Symp. Proceedings.-1999, — P.477−480.
  106. Shiokawa S., Kondoh J. Surface Acoustic Wave Sensor For Liquid-Phase Application // IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.- 1999.-P.445−452.
  107. Joshi S.G., Jin Y. Use Of a SAW Device For Measuring Flow Rate Of Liquids // IEEE Ultrason. Symp. Proceedings.- 1990.-P.319−321.
  108. Anisimkin I.V., Anisimkin V.I., Gulyaev Yu. V., Cimmino A, VeronaE. Multichannel Acoustic Tool for Sensing in Liquid Microdroplets //IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.- 2000, — P.713−716.
  109. Yamamoto N., Tonomura S., Matsuoka Т., Tsubomura H. A study on a Palladium-Titanium Schottky Diode as a Detector for Gaseous Components // Surface Science.-1980.- N 92.-P.400−406.
  110. В.И., Гуляев Ю.В, Анисимкин И. В. Метод поверхностных акустических волн: новые аналитические возможности //Поверхность, — 2000, — № 8, — С.3−9.
  111. Anisimkin IV., Gulyaev Yu. V., Anisimkin V.I. A novel tool for nondestructive characterization of thin film materials // 4th Internat. Conf. on Theoretical and Experimental Problems of Material Engineering.-1999.- Puchov, Slovakia.-P.20.
  112. Anisimkin I.У., Anisimkm V.I., Caliendo С, Penza M., Verona E. A study of SAW gas sensing versus gas concentration // IEEE Ultrason. Symp.: Proceedings.-l 999, — P. 485 488.
  113. И.В., Анисимкин В. И., Верона Э., Гуляев Ю. В., Земляков В. Е., Крышталь Р. Г., Медведь А. В., Хоанг Ван Фонг Акустический датчик для анализа физико-химических процессов в микропористых адсорбентах//Сенсоры и системы, — 2000.-№ 10.С.51−53.
  114. Anisimkin I.V., Anisimkin V.I., Hickernell F. Novel Multichannel SAW Tool for the Analysis of Gas-phase Adsorption //IEEE Ultrason. Symp.: Proceedings.-P.376.
  115. Fedosov V.I., Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M., Caliendo C., Verardi P., Verona E. Analysis of Acoustic Waves in Multilayers Using Compound Matrices // IEEE Ultrason. Symp. Proceedings. -1996, — P.207−212.
  116. Slobodnik Jr., A.J., Conway E.D., Delmonico R.T. Microwave Acoustic Handbook.- AFCRL-TR-73−0597.- 1973.
  117. Kosinski J. A., Gualtieri JG, Ballato A. Thermoelastic Coefficients of Alpha Quartz // IEEE Trans.-1992.-Vol. UFFC-39.- N.4.-P.502−507.
  118. Smith R.T., Welsh F.S. Temperature Dependence of the Elastic, Piezoelectric, and Dielectric Constants of Lithium Tantalate and Lithium Niobate // J. Appl. Phys.- 1971, — Vol.42.- N.6.-P.2219−2230.
  119. Auld B. A Acoustic Fields in Waves and Solids. N.Y.: Wiley.- 1973, — Vol.2.- 278 P.
  120. Г. Ф., Зорин З. М., Чураев H.B. //Коллоидный журнал.-1975.-т.37-№ 1.-с.208−210.
  121. И. А. Звуковые поверхностные волны в твердых телах.-М.Наука, 1981.-287 С.
  122. Д.А. Поперечные нормальные волны в пластине кубического кристалла // Акуст. Журн.-1969.-Т. 15.-№ 2.-С.307−309.
  123. О.В., Кучеров И .Я. Нормальные упругие волны в пластинах кристаллов класса Сзу // Укр.физ.журн. 1972.-17.-№ 12- С. 1980−1988.
  124. Adler E.L., Slaboszewicz J.K., Farnell G.W., Jen C.K. PC Software for SAW Propagation in Anyzotropic Multilayers //IEEE Trans.-1990.-Vol. UFFC-37.- P.215−223.
  125. Акустические кристаллы / под ред. М. П. Шаскольской. М.:Наука, 1982, 632 С.
  126. Anisimkin I.V., Gulyaev Yu.V., Verona E. Temperature properties of Acoustic Plate Modes // 17th Intemation. Congress on Acoustics.-2001, — Rome, Italy.-Vol.1. P.278−279.
  127. И.В., Гуляев Ю. В. Температурные свойства пластинчатых мод в кварце // 5-я междунар. конференция «Кристаллы:рост, свойства, реальная структура, применение».- 2001. Александров, Россия.- Т.1.- С.24−30.
  128. Anisimkin I.V., Anisimkin V.I., Gulyaev Yu.V., Verona E. Temperature Sensitivity of Plate Modes in ST-quartz //IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.- 2001, P.378−382.
  129. И.В., Гуляев Ю. В., Анисимкин В. И. Многомодовые акустические элементы для электронных систем распознавания газов и жидкостей // Радиотехника и электроника. -2002. Т.47, — № 2, — С.253−256.
  130. Slobodnik Jr., A. J. Materials and their influence on characteristics of devices // Acoustic Surface Waves / Ed. A.A. Oliner. Springer-Verlag.-1978, — P. 270.
  131. Farnell G.W., Adler E.L. Elastic Wave Propagation in Thin Layers // Physical Acoustics / Ed. By Mason W.P., Thurston R.N.- 1972.-N.Y-London.-V.9.-P.35−127.
  132. Ballato A. Doubly Rotated Thickness Mode Plate Vibrations // Physical Acoustics / Ed. Mason W.P.-l 977, — Academic Press, Inc.- V. 13.- P. 115−181.
  133. Bailey D.S., Andle J.S., Lee D.L., Soluch W., Vetelino J.F. Temperature dependence of the material and acoustic wave parameters of berlinite // IEEE Ultrason. Symp.- 1983, — P.335−340.
  134. Webster RT. X-cut quartz for improved surface acoustic wave temperature stability // J. Appl. Phys.-1984.- Vol. 56,-№ 5.-P. 1540−1542.
  135. Falconer R.S., Vetelino J.F. Infrared measurements, temperature coefficient of delay and insertion loss of heat treated berlinite samples // IEEE Ultrason. Symp.:Proceedings.- 1985, — P. 241 -245.
  136. Shimizu Y., Murakami K. A new cut of LiNbCb with zero slope temperature by a leaky surface wave// IEEE Ultrason. Symp. Proceedings 1986, — P. 191−194.
  137. Shimizu Y., Endo Y., Watanabe T. A new cut of LiTaCb with zero slope temperature by a leaky surface wave //IEEE Ultrason. Symp.:Proceedings.-1987.- P. 253−256.
  138. Webster RT. Cubic Temperature Dependence for SAWs on X-cut quartz // IEEE Trans.- 1988,-V. UFFC-35 № 3, — P. 386−398.
  139. Isobe A., Hikita M., Asai K. Large k2and good temperature stability for SAW on new double-rotated cut of a quartz with gold film //IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.- 1993,-P. 323−326.
  140. Sato Т., Abe H. Propagation properties of longitudinal leaky surface waves on lithium tetraborate// IEEE Ultrason. Symp.- 1994,-P. 287−292.
  141. Bigler E., Ballandras S., Bonjour C., Palmier D., Philippot Experimental study of SAW propagation on gallium orthophosphate // IEEE Ultras on. Symp. .Proceedings.-1994 P.385−389.
  142. Ma W., Shi W. Temperature-sensitive cuts for surface acoustic waves in quartz // IEEE Trans.-2001, — V. UFFC-48.-№l.-P. 333−335.
  143. Ono S., Wasa K., Hayakawa S. Surface acoustic wave properties in Zn0-Si02-Si layered structure //Wave Electronics.-1977.-Vol. 3.- N 35.
  144. Isobe A., M. Hikita, K. Asai Large k2and good temperature stability for SAW on new double-rotated cut of a-quartz with gold film// IEEE Ultrason. Symp.:Proceedings.-1993.-P. 323−326.
  145. Koda M. SAW Characteristics of a ZnO/Quartz Substrate Structure Having Large coefficient, Electromechanical Factor and a Small Temperature// Jap. J. Appl. Phys.1997.- Vol. 36, — P. 3076.
  146. K. Yamanouchi, H. Satoh, T. Meguro, Y. Wagatsuma High Temperature Stable GHZ-Range Low-Loss Wide Band Transducers and Filters Using SiCVLiNbCb, LiTaCb // IEEE Trans.-1995.-Vol. UFFC-42.- P.392.
  147. Emanetoglu N.W., Patounakis G., Muthukumar S., Lu Y. Analysis of Temperature Compensated SAW Modes in ZnO/SiCVSi Multilayer Structures // IEEE Ultrason. Symp. Proceedings .-2001 .-P.325−327.
  148. Ward R.B. Temperature coefficients of SAW delay and velocity for Y-cut and rotated LiNbCb // IEEE Trans.-1990.- UFFC-37.-P. 481.
  149. S., Briot J. В., Martin G. Thermal sensitivity of transverse waves on thin quartz plates //IEEE Ultrason. Symp.Proceedings.- 1996, — P. 459−462.
  150. В.И., Максимов С. А., Калиендо Ч, Верона Э. Адсорбция водяных паров на кварце, палладии и сплаве палладия с никелем //Поверхность.-1998.- № 3.-С.73−78.
  151. Э., Прат А. Микрокалориметрия— М.:Изд.Ин.Лит, — 1963.-С.7.
  152. Bender F., Dahint R, Losse F, Ricco A. J., Martin S.J. Characteristics of acoustic plate modes on rotated Y-cuts of quartz utilized for biosensing applications//Anal. Chem., -1999, — N71.-P. 5064.
  153. Anisimkin I.V., Anisimkin V.I. Acoustic Wave Device for Thermal Sensing in Liquid Droplets // 5th Italian Conference on Sensors and Microsystems extended to Mediterranean Countries.-2000,-Lecce, Italy.-P.459−462.
  154. И.В., Анисимкин В. И. Ультразвуковой датчик микрокапель жидкостей // Всеросс. Конф. с международным участием «Сенсор 2000 Сенсоры и микросистемы»:Тезисы.-2000, — С.-Петербург, Россия.- С. 248.
  155. И.В., Анисимкин В. И. Акустотермический анализатор микропроб жидкостей//Радиотехника и электроника.- 2000.-Т.45, — № 7, — С.893−895.
  156. Anisimkin I.V., Gulyaev Yu.V., Anisimkin V.I. Multichannel Acoustic Tool for Sensing in Liquid Microdroplets // Internat. Forum on Wave Electronics and Its Applications: Abstracts.-2000,-S.Petersburg-Valaam-Mandrogi, Russia.-P.41.
  157. Anisimkin I.V., Anisimkin V.I., Gulyaev Yu.V., Cimmino A., Verona E. Multichannel Acoustic Tool for Sensing in Liquid Microdroplets // IEEE Ultrasonics Symp. Proceedings.-2000, — P.713−716.
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!