Акустические волны в структурах, содержащих пьезоэлектрические, диэлектрические, металлические и нанокомпозитные полимерные слои
Диссертация
Как известно, при разработке акустоэлектронных устройств большое значение имеют коэффициент электромеханической связи и температурный коэффициент задержки (ТСБ) акустической волны. В связи с этим одним из актуальных направлений исследованийв акустике является поиск таких типов волн и кристаллографических ориентаций, для которых К2 является максимальным, а ТСЮ — минимальным. Такое сочетание… Читать ещё >
Список литературы
- Бреховских, Л.М. Акустика слоистых сред / Л. М. Бреховских, О. А. Годин. -М.: Наука, 1989.-412С.
- Niklasson A.J., Datta S.K. On the modeling of guided waves in plates with thin superconducting layers // Review of Progress in Quantitative Nondestructive Evaluation /Ed. By D.O. Tompson and D.E. Chimenti.-AIP: 2000.
- Анисимкин В.И., Котелянский И. М., Осипенко B.A. Акустические свойства слоистой структуры пьезоэлектрическая пленка ZnO на кремнии // ЖТФ.-1987.- Т.57.- № 3.- С.535−539
- Nakahata Н., Hachigo A., Higaki К., Fujii S., Shikata S., Fujimori N. Theoretical study on SAW characteristics of layered structures including a diamond layer// IEEE Trans. On Ultras., Ferroel. And Freq. Contr.-1995.-V.42.-N2.- P.362−375
- Krowne C.M. Fourier tranformed matrix method of finding propagation characteristics of complex anisotropic layered media // IEEE Trans, on Microwave Theory and Techniques.- 1984.-V.MTT-32.-N12.- P.1617−1625.
- Men Q.X., Zhu S.Z. Surface wave in multilayer dielectric structures excited by various types of Hertzian dipoles //Electr. Lett. 1996.- V.32.- N6.- P.530−531.
- Zhang В., Yu M., Lan C.Q., Xiong W. Elastic wave and excitation mechanism of surface waves in multilayered media // J. Acoust. Soc. Am.-1996.- V.100.-N6.-P.3527−3538.
- Двоешерстов М.Ю., Чередник В. И., Чириманов А. П., Петров С. Г. Свойства акустических граничных волн, распространяющихся вдоль границы раздела двух пьезоэлектрических сред // Акуст.журн. 2002.-Т.48.-№ 6.-С.766−769.
- Плесский В.П., Тен Ю.А. Сдвиговые поверхностные волны на границе повернутого Y-среза кварца с вязкой средой//Акуст.журн.-1985.-Т.31.-№ 5.- С.553−554.
- Плесский В.П., Тен Ю.А. Сдвиговые поверхностные акустические волны на границе упругого тела с вязкой жидкостью (газом) // Письма в ЖТФ.-1984.-Т.10.-№ 5.- С.296−300.
- Hanhua F., Xingjiao L. Shear horizontal surface waves in a layered structure of piezoelectric ceramics // IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr. 1993. -V.40.-N2.-P. 167−170.
- Филиппов В.В. Волны Лява в анизотропных слоистых системах // Кристаллография.-1984.- Т.29.- № 3.- С.598−599.
- Shiosaki Т., Yamamoto Т., Kawabata А. // Proc. IEEE Ultrason. Symp.- 1977.-Р.814−817.
- R.Zhang, W. Cao, Q. Zhou, J.-H. Cha, K.K.Shung, and Y. Huang, «Acoustical properties of alumina colloidal/polymer nano-composite film on silicon,» IEEE Trans, on Ultrason., Ferroel., and Freq. Control, vol.54, pp.467−469, 2007.
- H.Wang, W. Cao, Q. Zhou, K.K.Shung, and Y. Huang, «Silicon oxide colloidal/polymer nanocomposite films,» Appl. Phys. Lett., vol.85, pp. 5998−6000, 2004.
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Joshi S.G., Borodina I.A./ Investigation of acoustic waves in thin plates of lithium niobate and lithium tantalate// IEEE Trans. 2001. V. UFFC 48. N.l. P.322.
- B. D. Zaitsev, S. G. Joshi, and I. E. Kuznetsova. Propagation of QSH (quasi shear horizontal) acoustic waves in piezoelectric plates // IEEE Trans. Ultrason. Ferroel. and Freq. Control.-1999.-V.46.-P.1298−1302.
- E. Kuznetsova, B. D. Zaitsev, S. G. Joshi, and I. A. Borodina. Acoustic plate waves in potassium niobate single crystal // Electronic Letters.-1998.- V.34.-N23.-P.2280−2281.
- М.Ю. Двоешерстов, В. И. Чередник, А. П. Чириманов. Электроакустические волны Лэмба в пьезоэлектрических кристаллах // Акустический журнал. 2004. — Т.50. — № 5. — С.603−608.
- Y.Jin, S.G.Joshi. Propagation of quasi- shear- horizontal acoustic wave in Z-X lithium niobate plates // IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr.- 1996.-V.43.-P. 491−494.
- I. E. Kuznetsova, B. D. Zaitsev, S. G. Joshi. Temperature characteristics of acoustic waves propagating in thin piezoelectric plates // Proceed, of IEEE Int. Ultras. Symposium, 2001, V.I., pp.157−160.
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Teplykh A.A., Joshi S.G., Kuznetsova A.S. Power flow angle (TFA) of acoustic waves in thin piezoelectric plates // Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Contr.-2008.-V.55.-N9.-1984−1991.
- Wenzel S.W., White R.M. Analityc comparison of the sensitivities of bulk-wave, surface wave, and flexural plate-wave ultrasonic gravimetric sensors // J. Appl. Phys. Lett. 1989. V.54. N.20. P.1976.
- Baer R.L., Flory C.A., Tom-Moy M., Solomon D.S. STW chemical sensors // Proc. IEEE Ultrasonics Symp. 1992. P. 293.
- Josse F., Andle J., Vetelino J. et al. Theoretical and experimental study of mass sensitivity of PSAW-APMs on ZX-LiNb03 // IEEE Trans. 1995. V. UFFC- 42. N. 4. P.517.
- Ballantine D.S., White R.M., Martin S.J., Ricco A.J., Zellers E.T., Frye G.C., Wohltjen H. Acoustic Wave Sensors. San Diego: Academic Press, 1997.
- Hadjoub Z., Beldi I., Bouloudnine M. et al. Thin film loading effects on SAW velocity dispersion curves // Electron. Lett. 1998. V. 34, N.3. P.313.
- Josse F., Bender F., Cernosek R.W. Guided shear horizontal surface acoustic wave sensors for chemical and biomedical detection in liquids // Analytical Chemistry. 2001. V.73.N.24. P.5937.
- Auld B.A. Acoustic fields and waves in solids. New York: Wiley, 1973.
- Tamarin O., Dejous C., Rebiere D., Pistre J. Simple analytical method to estimate the influence of liquids viscosity on Love wave chemical sensors// Proceed, of IEEE Ultras. Symp.- 2001.-P.343−346.
- Wang Z., Cheeke J.D.N., Jen C.K. Perturbation method for analyzing mass sensitivity of planar multylayer acoustic sensors// IEEE Trans, on Ultras., Ferroel., and Freq. Contr.- 1996.- V.43.- N5.-P. 844−851.
- Zimmermann C., Rebiere D., Dejous C., Pistre J., Chastaing E. Evaluation of Love waves chemical sensors to detect organophosphorus compounds: comparison to SAW and SH-APM devices// Proceed, of IEEE/EIA Int. Freq. Control Symp.- 2000.-P.47−51.
- Zimmermann C., Rebiere D., Dejous C., Pistre J., Planade R. Love- waves to improve chemical sensors sensitivity: theoretical and experimental comparison of acoustic modes// Proceed, of IEEE Int. Freq. Control Symp.- 2002.- P.281−288.
- H.M. Ушаков, K.B. Запсис, И. Д. Кособудский. Электрофизические и диэлектрические свойства железосодержащих нанокомпозитов// Письма в ЖТФ.-2003.-Т.29.-Выи 22.-С. 29−32
- И.Д.Кособудский, Г. Ю. Юрков. Наноразмерные металлические частицы в полимерных матрицах: Синтез, физико-химические свойства. Применение //Известия вузов. Химия и химическая технология. 2000. Т. 43., № 5, С. З 19.
- Ушаков Н.М., Кособудский И. Д., Юрков Г. Ю., Губин С. П., Запсис К. В., Кочубей В. И. Ульзутуев А.Н. Новые композиционные наноматериалы суправляемыми свойствами для радиотехники и электроники // Радиотехника, 2005. № 10. С. 105−108
- Губин С.П., Кособудский И. Д. Металлические кластеры в полимерных матрицах // Успехи химии, 1983. т.52, С.1350 1364.
- А.П.Бабичев, Н. А. Бабушкина, А. М. Братковский и др. Физические величины / Под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейликова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232с.
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Shikhabudinov A.M. Elastic and Viscous Properties of Nanocomposite Films Based on Low- Density Polyethylene // Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Contr., 2010, vol.57, N9, pp.2009−2011
- Кузнецова И.Е., Ульзутуев A.H., Зайцев Б. Д., Ушаков Н. М., Кособудский И. Д. Акустические характеристики полимерных нанокомпозитных пленок // Труды XVIII сессии РАО, 11−15 сентября 2006 г., г. Таганрог, т.1, с. 15−19
- X.-J. Ji, T. Han, W.-K. Shi, and G.-W.Zhang, «Investigation of SAW propaerties of LGS and optimal cuts for high-temperature applications», Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Contr., vol.52, no. l 1, pp.2075−2080, 2005.
- I.V. Anisimkin, Yu.V. Gulyaev, V.I.Anisimkin, «Temperature sensitivity of plate modes in ST-Quartz,» Proc. of IEEE Ultrason. Symp., pp.423−426, 2001.
- Tomar M., Gupta V., Sreenivas K. Theoretical studies on LiNb03/Sapphire layered structure with Si02 over layer for zero TCD SAW device application // Proceed, on Ultras. Symp.- 2001.- P.265−268.
- Wu P., Emanetoglu N.W., Tong X., Lu Y. Temperature compensation of SAW in Zn0/Si02/Si structure // Proceed, on Ultras. Symp.- 2001.- P.211−214.
- CRC Handbook of Chemistry and Physics / R.C. Weast. Florida: CRC Press, 2001.
- Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E., Shikhabudinov A.M., Kolesov V.V. Temperature dependencies of dielectric permittivity of polymeric nanocomposite materials // Book of Abstracts of Int. Conf. AMAAV'09, Jan. 4−6, 2009, Cairo, Egypt, 2009, p.57
- Schweyer, M. G. An acoustic plate mode sensor for aqueous mercury / M.G. Schweyer, J.C. Andle, D.J. McAlister, L.A. French, J.F. Vetelino // Proc. of IEEE Int. Ultras. Symp.- 1996.- P. 355−358.
- Anisimkin, I.V. Acoustic wave liquid sensing: features, tendencies, perspectives / Anisimkin I.V.,' Gulyaev Yu.V. // Proc. 17th International Congress on Acoustics.- 2001.- V.IV.-P.90−91.
- Zaitsev, B.D. Acoustic waves in piezoelectric plates bordered with viscous and conductive liquids / B.D. Zaitsev, S.G. Joshi, I.E. Kuznetsova, I.A. Borodina // Ultrasonics. 2001.- V.39, N1.- P.45−50.
- White, R.M. Plate-mode ultrasonic oscillator sensors / R.M. White, P.J. Wicher, S.W. Wenzel, E.T. Zellers // IEEE Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Contr.- 1987.-V.34, N2.- P.162−171.
- Watkins, R.D. The attenuation of Lamb waves in the presence of a fluid / R.D. Watkins, W.H.B. Cooper, A.B. Gillespie, R. B, Pike // Ultrasonics.- 1982.- V.20.- P.257−264.
- Joshi, S.G. Miniature, high efficiency transducers for use in ultrasonic flow meter / S.G. Joshi, B.D. Zaitsev, I.E. Kuznetsova // Proc. of IEEE Int. Ultras. Symp.-2004, — P.1286−1289.
- Wu, J. Sensitivity of Lamb wave sensors in liquid sensing / J. Wu, Z. Zhu // IEEE Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Contr.- 1996.- V.43, N1.- P.71−72.
- Scandelari, L. A sensor for liquids characterization based on elastic surface waves generated with a P (VF2-VF3) film in a non-piezoelectric media / L. Scandelari, N. Noury, P. Benech, E. Chamberod // Ultrasonics.- 1998.- V.36.- P. 15−20.
- Викторов И.А. Физические основы применения ультразвуковых волн Рэлея и Лэмба в технике. М.: Наука, 1966Л
- Lamb H. On waves in an elastic plate // Proc. Roy. Soc. London A, 1917, v.93,p.14
- Кузнецова И.Е., Зайцев Б. Д., Джоши С. Г., Теплых А. А. Влияние жидкости на характеристики антисимметричных волн Лэмба в тонких пьезоэлектрических пластинах// Акуст. журн., 2007, т.53, № 5, с.637−644
- Бородина, И.А. Акустические волны в тонких пластинах ниобата лития / И. А. Бородина, С. Г. Джоши, Б. Д. Зайцев, И. Е. Кузнецова // Акуст.журн.- 2000.-Т.46, N1.- С.42−46.
- Дьелесан Э., Руайе Д. Упругие волны в твердых телах. М.: Наука. 1982. 424 С.
- Поверхностные акустические волны / Под. ред. А. Олинера. М.: Мир, 1981. Гл. 2.
- Ильин В.А., Позняк Э. Г. Аналитическая геометрия. М. Наука. 1968., 2321. С.
- Джоши С.Г., Зайцев Б. Д., Кузнецова И. Е., Кузнецова А. С. Гравиметрическая чувствительность акустических волн в пьезоэлектрических пластинах // Радиотехника и электроника, 2005, т.50, N6, с.707−711
- Кузнецова А.С. Характеристики акустических волн в структуре «пьезоэлектрическая пластина металлический/диэлектрический слой» // Сборник материалов школы-конференции «Нелинейные дни в Саратове для молодых — 2005». Изд-во ГосУНЦ «Колледж», 2005. с.28−31
- Covacz G., Anhorn M., Engan H. E. et al. Improved material constants for LiNb03 and LiTa03 // Proc. IEEE Ultrason. Symp. 1990. V.l. P. 435.
- Slobodnik A.J. Microwave acoustic handbook. Bedford: Microwave Phys. Lab, 1973.
- Nakamura K, Kazumi M, and Shimizu H. SH-type and Rayleigh-type surface waves on rotated Y-cut LiTa03 // Proc. IEEE Ultrasonics Symp. 1977. P. 819.
- Кузнецова И.Е., Зайцев Б. Д., Джоши С. Г., Кузнецова А. С. Гравиметрическая чувствительность акустических волн в тонких пьезоэлектрических пластинах в присутствии жидкости // Письма в ЖТФ, 2006, т.32, вып. 16, с.84−89
- Трахтенберг Л. И, Герасимов Г. Н, Потапов В. К, Ростовщикова Т. Н., Смирнов В. В, Зуфман В. Ю. Вестник Московского университета, Сер. Химическая, 2001, т.42, № 5, с.325−331.
- Мейлихов Е.З. Физика твердого тела, 2001, т.43, № 7, с.1181−1184.
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Kuznetsova A.S. Acoustics waves in structure «piezoelectric plate-polymeric nanocomposite film» // Ultrasonics.- 2008.- У.48, — N6−7, — P.587−590
- Кузнецова И.Е., Зайцев Б.Д, Ушаков Н. М., Кузнецова А. С. Акустические волны в структуре «пьезоэлектрическая пластина полимерная нанокомпозитная пленка с наночастицами CdS» // Труды XIX сессии РАО, 24−28 сентября 2007 г., г. Нижний Новгород. т.2, с. 69−72
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Kuznetsova A.S. Influence of polymeric nanocomposite film on acoustic waves in piezoelectrics// Proceed, of Acoustics'08, June 29 -July 4, 2008, Paris. France, p.6053−6058
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Ushakov N.M., Kuznetsova A.S. Acoustic waves in structure «piezoelectric plate polymeric nanocomposite film» // ICU'2007, April 9−12, 2007, Vienna, Austria, Book of Abstracts, p. 166
- Kuznetsova A.S., Zaitsev B.D., Kuznetsova I.E. Acoustic Waveguides Based on Thin Piezoelectric Plates and Nanocomposite Polymeric Films for Biological and
- Chemical Sensors // X Int. Conf. «Wave Electronics and its Appl. in Information and Telecom. Syst., Non-Destruct. Testing, Security and Medicine», 2−7 July., 2007, St.-Peterburg, Russia, Abstracts, p.52
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Kuznetsova A.S. Acoustic waves in structures consist of polymeric nanocomposite material and piezoelectric plate // Int. Conf. AMAAV'09, Jan. 4−6, 2009, Cairo, Egypt, Book of Abstracts, p. 12
- Гинзтон Э.Л. Измерения на сантиметровых волнах. М.: ИЛ. 1960. 620 С.
- B.D. Zaitsev, I.E. Kuznetsova Electric field influence on acoustic waves. In Handbook of an advanced photonic and electronic materials and devices. Ed. by H.S.Nalwa. V.4. Ch.4. San-Diego: Academic Press, P.139−174, 2000
- H.F. Tiersten, «Perturbation theory for linear electroelastic equations for small fields superposed on a bias,» J. Acoust. Soc. Amer., vol.64, pp.832−837, 1978.
- A. J. Slobodnik, «The Temperature Coefficients of Acoustic Surface Wave Velocity and Delay on Lithium Niobate, Lithium Tantalate, Quartz, and Tellurium Dioxide,» Phys. Sci. Res. Pap., No.477, 1972.
- C.S. Kim, К. Yamanouchi, S. Karasawa, and K. Shibayama, «Temperature dependence of the elastic surface wave velocity on LiNb03 and LiTa03,» Jap. Journ. of Appl. Phys., vol. 13, pp.24−27, 1974.
- X.-J. Ji, T. Han, W.-K. Shi, and G.-W.Zhang, «Investigation of SAW propaerties of LGS and optimal cuts for high-temperature applications», Trans, on Ultrason., Ferroel. andFreq. Contr., vol.52, no. l 1, pp.2075−2080, 2005.
- I. V. Anisimkin, V. I. Anisimkin, Yu. V. Gulyaev, and E. Verona, «Temperature Properties of Plate Modes in Quartz,» Acoustical Physics, vol.48, pp.8−11,2002.
- S.G. Joshi, Y. Jin, «Propagation of ultrasonic Lamb waves in piezoelectric plates,» J. of Appl. Phys., vol. 70, no.8, pp.4113−4120, 1991.
- G.W. Farnell and E. Adler, «Elastic wave propagation in thin layers,» in Physical Acoustics, vol.9, W.P. Mason and R.N. Thurston, Eds. New York: Academic Press, 1972.
- Zaitsev B.D. Kuznetsova I.E. Joshi S.G. Kuznetsova A.S. New method of change in temperature coefficient delay of acoustic waves in thin piezoelectric plates // Trans, on Ultrason., Ferroel. and Freq. Contr., 2006. v.53, no. l 1, pp.2113−2120
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Joshi S.G., Kuznetsova A.S. New method of change in temperature coefficient delay of acoustic waves in thin piezoelectric plates // Proceedings of IEEE Ultrasonics Symp., 2005, pp. 1272−1275
- G.W.Kaye, Т.Н. Laby, Tables of physical and chemical constants. London, UK: Longmans, Green & Co, 1959.
- Кузнецова А.С., Шихабудинов A.M. Влияние температуры на характеристики акустических волн в структуре «пьезоэлектрическая пластина -нанокомпозитная полимерная пленка»//Нелинейный мир, 2009, т.7, № 6, с.483−484
- Кузнецова И.Е., Зайцев Б. Д., Кузнецова А. С. Влияние температуры на характеристики акустических волн в структуре «пьезоэлектрическая пластина -нанокомпозитная полимерная пленка» // Труды XX сессии РАО, 27−31 октября 2008 г., г. Москва, т.2, с.61−64
- Кузнецова И.Е., Зайцев Б. Д., Кузнецова А. С. Новый способ изменения температурного коэффициента задержки акустических волн в структуре, содержащей пьезоэлектрическую пластину// Труды XXII сессии РАО, 15−17 июня 2010 г., г. Москва, т. 1, с. 1−8
- Kuznetsova I.E., Zaitsev B.D., Kuznetsova A.S. New Method of the Change of TCP of Acoustic Waves in Structure Containing Piezoelectric Plate // Proceedings of IEEE Ultrasonics Symp., 2010, Oct. 11−13, 2010, San-Diego, USA, pp.2219−2222
- Тенденции развития мирового рынка ультразвуковых расходомеров // www.stroygorhoz.ru
- Биргер Г. И./ Биргер Г. И, Бражников Н. И, / Ультразвуковые расходомеры. Москва: «Металлургия», 1964. 384 с.
- Фрайден Д./ Фрайден Д. / Современные датчики. Справочник. М.: Техносфера, 2005. 588
- Лепявко А.П./ Лепявко А. П. /Расходомеры и счетчики жидкости и газа. Поверка и калибровка: Учеб. пособие. Москва: «Москва», 2005.
- Condensed reference series for ultrasonic nondestructive testing vol.2 velocity tables / Staveley NDT technologies.2007
- Кузнецова И.Е., Зайцев Б. Д., Бородина И.А, Кузнецова А. С. Антисимметричные волны Лэмба нулевого порядка в структуре «пьезоэлектрическая пластина нанокомпозитный слой — жидкость"// Труды XXIV сессии РАО, 12−15 сентября 2011 г., г. Саратов, т.1, с.70−73
- Joshi, S.G. Efficient mode conversion transducers for use in ultrasonics flow meters / S.G. Joshi, B.D. Zaitsev, I.E. Kuznetsova // Proceedings of IEEE Ultrasonics Symp.- 2009.- P. 1491 1494.