Взаимодействие электронных и механических зондов с рельефной поверхностью в нанометровом диапазоне
Диссертация
Интенсивное развитие нанотехнологий в последние десятилетия обусловило значительный интерес к измерениям линейных размеров в нанодиапазоне (1−100 нм). Наиболее универсальными приборами, в принципе позволяющими проводить такие измерения, являются растровый электронный микроскоп (РЭМ) и атомно-силовой микроскоп (АСМ). Создание специальных, тест-объектов — рельефных структур с аттестованными… Читать ещё >
Список литературы
- Нанотехнологии, метрология, стандартизация в терминах и определениях. Под ред. М. Ковальчука и П. Тодуа, Техносфера, 2009.
- Тодуа П.А. Измерительная техника. 2008, № 5, С.5−10:
- Тодуа П.А. Успехи современной радиоэлектроники. 2010, № 6, с. 56−62
- Postek М.Т. J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 1994. V. 99. P. 641−671.
- Растровая и электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. В 2-х книгах. Пер. с англ. М.: Мир, 1984.
- Reimer L. Springer Series in Optical Sciences, 1998. Vol. 45, 2nd ed.
- Филиппов M.H. Известия АН. Серия физическая. 1993. Т. 57. № 8. С. 165−171.
- Muller К.Н. I. Optik 33 (3). 1971, pp.296−311 (in German).
- Wall J.S. Scanning Electron Microscopy.1980Д, pp. 99−106.
- Ларионов Ю.В., Митюхляев В. Б., Филиппов M.H. Поверхность, № 9, c.53−64, 2008.
- Новиков Ю.А., Раков A.B. Известия вузов. Электроника. 1998. № 4. С. 81−88.
- Жданов Г. С. Поверхность. 1983, № 1. С.65−72.
- Ennos А.Е. Brit. J. Appl. Phys. 4 April, pp. 101−106 (1953).
- Christy R.W. J. Appl. Phys. 31 (9), pp. 1680−1683 (1960).
- Amman M., Sleight J.W., Lombardi D.R., Welser R.E., Deshpande M.R., Reed M.A., Guido L.J. J. Vac. Sei. Technol. B. 1996. Vol.14, № 1, p.54−62.
- Postek M.T. Scanning.1996. V.18, N 4. P. 269−274.
- Miller D.E. Scanning Electron Microscopy. 1978/1, pp. 513−528.
- Reimer L. New York, Springer. 1997. P.492.
- Bauer B. und Speidel R. Optik 48 (2). 1977, pp. 237−246 (in German).
- Ennos A.E. Brit. J. Appl. Phys. 5 (1). 1954, pp. 27−31.
- Yoshimura N. and Oikawa H. Shinku (J. Vac. Soc. Japan) 13 (5). 1970, pp. 171−177 (in Japanese).
- Bance U.R., Drummond I.W., Finbow D., Harden E.H., and Kenway P. Vacuum 28 (10/11). 1978, pp. 489−496.
- Knox W.A. Ultramicroscopy 1.1976, pp. 175−180.
- Kanaya K., Okayama S. J. Phys. D. 1972. V.5, N1. P.43−58.
- Silvis-Cividjan N., Hagen C.W., Kruit P. J.Appl. Phys. 2005. V.98. P.84 905−1-84 905−12.
- Жданов Г. С., Верцнер B.H. Докл. АН СССР. 1967. т. 176, с. 1040.
- Vladar А.Е. Scanning, 1999. v.21, р.191−196.
- Amman М., Sleight J.W. J.Vac.Sci. Technol. B. 1996, № 14(1), p. 54.
- Fourie J.T. Optik 52 (5). 1978/79, pp. 421−426.
- Fourie J.T. Scanning Electron Microscopy. 1979/П, pp.87−102.
- Yoshimura N. Vacuum Technology. Practice for Scientific Instroments. Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2008, p. 198.
- Pay Э.И., Савин Д. О., Спивак Г. В. Серия физическая. 1984. Т.48. № 2. С.306−310.
- Pay Э.И., Савин Д. О., Спивак Г. В. Автометрия, 1987, Ш, с.74−83.
- Rau E.I. Scanning, 1988, v.10, p.207−209.
- Hirsch P., Kaessens M., Puettmann M., Reimer L. Scanning 16.1994, p. 101.
- Ennos A.E. Br. J. Appl. Phys. 5.1954, p. 27.
- Leisegang S. Ueber Versuche in einer stark gekuehlten Objektpatrone, in: R.H. Lange, J. Bloedorn: Das Elektronenmikroskop, TEM+REM (Thieme, Stuttgart, 1981), p. 184.
- Postek M.T. Scanning Microscopy. 1989. V. 3.14. P. 1087−1099.
- Haessler-Grohne W., Bosse H. Meas. Sei. Technol. 1998. V. 9. P. 1120−1128.
- Postek M.T., Vladar A.E. In «Handbook of Silicon Semiconductor Metrology». Ed. A.C.Diebold. Macel Dekker, Inc. New York Basel. P. 295−333.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии / Пер. с англ. М.:Мир, 1985. 496 с.
- Gornev E.S., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Volk Ch.P. Preprint IOFAN No. 5. Moscow: General Phys. Inst., 2002. 56 p.
- Новиков Ю.А., Раков A.B. Известия вузов. Электроника. 1998. № 4. С. 81−88.
- Волк Ч.П., Горнев Е. С., Новиков Ю. А., Озерин Ю. В., Плотников Ю. И., Прохоров A.M., Раков A.B. Микроэлектроника. 2002. Т. 31, № 4. С. 243−262.
- Волк Ч.П., Горнев Е. С., Новиков Ю. А., Плотников Ю. И., Раков A.B., Тодуа П. А. Труды ИОФАН, том 62.
- Новиков Ю.А., Раков A.B. Микроэлектроника. 1996. Т. 25. № 6. С. 417−425.
- Новиков Ю.А., Раков A.B. Микроэлектроника. 1996. Т. 25. № 6. С. 426−435.
- Novikov Yu. A., Gavrilenko V. P., Rakov A. V., Todua P. A. Proc. of SPIE, Vol. 7042, 704 208−1 704 208−12, (2008).
- Новиков Ю.А., Озерин Ю. А., Плотников Ю. И. и др. В сб. Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии, Труды ИОФАН, Наука, 2006. с. 36−76.
- Новиков Ю.А., Стеколин И. Ю. Труды ИОФАН. 1995. Т. 49. С. 41−65.
- Волк Ч.П., Новиков Ю. А., Раков A.B. Измерительная техника. 2000. № 4. С. 48−52.
- Волк Ч.П., Горнев Е. С., Новиков Ю. А., Озерин Ю. В., Плотников Ю. И., Прохоров A.M., Раков A.B. Патент на изобретение № 2 207 503. 2003.
- Волк Ч.П., Горнев Е. С., Календин В. В., Ларионов Ю. В., Морозов В. А., Новиков Ю. А., Озерин Ю. В., Раков A.B., Черняков В. Н. Электронная промышленность. 2000. № 3. С. 6064.
- Новиков Ю.А., Раков A.B. Измерительная техника. 1999. № 1. С. 14−18.
- Бухараев A.A., Бердунов Н. В., Овчинников Д. В., Салихов K.M. Микроэлектроника. 1997. Т. 26. № 3. С. 163−175.
- Villarrubia J.S., Ritchie N.W.M., Lowney J.R. Proc. of SPIE. 2007, v.6518,65180Kl-14.
- Li Y.G., Mao S.F., Ding Z.J. Part 4 in Applications in Monte-Carlo method in Science and Engineering, 2009. p.231−296.
- Данилова M.A., Митюхляев В. Б., Новиков Ю. А. и др., Измерительная техника, 2008, № 8, с.20−23.
- Shattenburg M.L., Smith H.I. Proc. of SPIE. 2001, v.4608.
- Новиков Ю.А., Пешехонов С. В., Стрижков И. Б. Труды ИОФАН. 1995. Т. 49. С. 20−40.62. .Новиков Ю. А., Озерин Ю. В., Плотников Ю. И., Раков A.B., Тодуа П. А. Труды ИОФАН. 2006. Т. 62. с. 36−76.
- D.M.Eigler, E.K.Schweizer. Nature. 1990. pp. 344, 524.
- Shanefield D. J., Kluwer. Academic Publ., Boston:
- Binnig G., Quate C.F., Gerber Ch. Phys. Rev. Lett., 1986. v. 56, № 9, p. 930 933.
- Ю.С.Бараш «Силы Ван-дер-Ваальса», M: «Наука», 1988, 344 с.
- Saint Jean М., Hudlet S., Guthmann С., Berger J. J. Appl. Phys., 1999, v. 86 (9), p. 5245 -5248.
- Matey J.R., Blanc J. J. Appl. Phys., 1985, v. 57, № 5, p. 1437 1444.
- Миронов В. JI. Основы сканирующей зондовой микроскопии. Учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений. // Российская академия наук, Институт физики микроструктур г. Нижний Новгород, 2004 г.
- Арутюнов П.А., Толстихина А. Л. Микроэлектроника. 1997. Т. 26. № 6. С. 426−439.71. .Bykov V., Gologanov A., Shevyakov V. Appl. Phys. 1998. V. A66. P. 499−502.
- Bykov V.A., Novikov Yu.A., Rakov A.V., Shikin S.M. Ultramicroscopy. 2003. V. 96. P. 175−180.
- Арутюнов П. А., Толстихина А. Л. Микроэлектроника. 1999. Т. 28, № 6. С. 405−414
- Раков A.B., Новиков Ю. А., Тодуа П. А. Измерительная техника. 2008, № 5, С.13−15.
- Nagase M., Namatsu H., Kurihara К., Iwadate К., Murase К. Jpn. J. Appl. Phys. 1995. V. 34. P. 3382−3387.
- Горнев E.C., Новиков Ю. А., Плотников Ю. И., Раков A.B. Измерительная техника. 2001. № 1.С. 28−31.
- ГОСТ 8.628−2007. Меры рельефные нанометрового диапазона. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и материалу изготовления. Москва, 2007.
- Mueller К.Н. Optik 33,1971, 296.
- Love G., Scott V.D., Dennis N.M.T., Laurenson L. Scanning 4,1981, 32.
- Hren J.J. Barriers of AEM: contamination and etching, in: В. Jouffrey, С. Colliex (eds.): Electron Microscopy 1994, Paris, Vols. 1—5 (Les Editions de Physique, Les Ulis, 1994) p. 481.
- Бронштейн И. M., Фрайман Б. С. Вторичная электронная эмиссия. М.: Наука 1969 -407 стр.
- Postek М.Т. Proceeding of SPIE. 2002. V. 4608. P. 84−96.
- Nyyssonen D.N., Postek M.T. Proceedings SPIE. 1985. V. 565. P. 180−186.
- Postek M.T. J. Res. Natl. Inst. Stand. Technol. 1994. V. 99. P. 641−671.
- ГОСТ 8.594—2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки».
- Принят Межгосударственным Советом по стандартизации, метрологии и сертификации — протокол № 36 от 11.11.2009 г.
- Утвержден Госстандартом приказ № 58-ст от 05.04.2010 г. Дата введения — 2010−11−01.
- ГОСТ 8.591—2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона с трапецеидальным профилем элементов. Методика поверки».
- Принят Межгосударственным Советом по стандартизации, метрологии и сертификации — протокол № 36 от 11.11.2009 г.
- Утвержден Госстандартом приказ № 55-ст от 05.04.2010 г. Дата введения — 2010−11−01.
- ГОСТ 8.592−2009 «Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления».
- Принят Межгосударственным Советом по стандартизации, метрологии и сертификации — протокол № 36 от 11.11.2009 г.
- Утвержден Госстандартом приказ № 56-ст от 05.04.2010 г.
- Дата введения — 2010−11−01.
- Кузин А.Ю., Лахов В. М., Новиков Ю. А., Раков A.B., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Наноиндустрия. 2009. № 3. С. 2−5.
- Гавриленко В.П., Лесновский E.H., Новиков Ю. А., Раков A.B., Тодуа П. А., Филиппов М. Н. Известия. Серия физическая. 2009. Т. 73. № 4. С. 454−462.
- Kalendin V.V., Chernyakov V.N., Todua P.A., Zhelkovaev Zh. Proc. of the 9-th International Precision Engineering Seminar. Germany. 1997. P. 138−139.
- Новиков Ю.А., Раков A.B., Стеколин И. Ю. Измерительная техника. 1995. № 2. С. 6466.