ΠΠ±ΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΠΈ Π² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² IV Π³ΡΡΠΏΠΏΡ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΌΡ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π»ΠΈ Π² V-VII Π³ΡΡΠΏΠΏΠ°Ρ
: ΠΏΡΠΈ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ
Ρ Π²Π½ΠΈΠ· ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π²ΡΡΡΠΈΡ
ΡΠΎΡΠΌ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°ΡΡ, Π° Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π½ΠΈΠ·ΡΠΈΡ
ΡΠΎΡΠΌ — ΡΠ±ΡΠ²Π°ΡΡ. ΠΠ°ΠΊ ΠΈ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠΈΡ
ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ
, ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄Π° — ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ — Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠ²ΠΎΠΈΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΠ±ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΠ΄Π°.
ΠΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΠ²ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΡΡΡΡ
Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°Ρ
ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄ Π² Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ
ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠ΅Π½, ΡΡΠΎ ΡΠ΅Π°Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡΡ
, Ρ
ΠΎΡΡ ΠΈ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΠΎ ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉΡΠΈΠΌΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ (Π?. Π) :
ΠΠ· ΡΡΠΈΡ
Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ, Π²ΠΎ-ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ
, ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ — ΠΌΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠ½Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°, ΡΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ΄Π΅Π³ΠΈΠ΄ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠΏΠΈΡΡ — Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π΄ΠΈΡΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠ² Π‘02 ΠΈ Π‘Π4, Π²ΠΎ-Π²ΡΠΎΡΡΡ
, ΡΡΠΎ Π‘02 Π² ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ ΠΌΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠ½Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ° — Π½Π°ΡΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, ΡΡΠΎ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠΎΠ½Ρ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΎΠ½ΠΈΡ Π΄ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ Ρ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π‘02 (ΠΈΠΎΠ½ Π‘Π*-) ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π½, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΡΡ Π² ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΄Π΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΆΠΈΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°.
ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ² ΠΈ Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ, ΠΈ Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ
. ΠΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ Ρ
Π»ΠΎΡΡ, ΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠΎΡΡ ΠΎΠ½ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π΄ΠΈΡΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π° Si02 ΠΈ SiH4 (Π, Π):
Π Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠ° Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π΅ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Si02 ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠΊΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ, Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΡ Ρ Π²ΡΠ΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π° ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΠ³ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ, ΡΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΡΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅.
Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ΠΎΠ² SiO?' -Si ΠΈ Π‘Π?' -Π‘ (Π³ΡΠ°ΡΠΈΡ) (?Ρ = +0,46 Π) ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΉ Π² Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ
— Π³ΠΎΡΠ°Π·Π΄ΠΎ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄. Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ +2 ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°, ΡΡΠΎ Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°Ρ
, Π° ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Si (IV) Π² ΡΠΈΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ².
ΠΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π΅ ΠΊ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΠΆΠ΅Π»ΡΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΈΠ΄Ρ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ°ΡΠΏΠ°Π΄Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ΅ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°, Π·Π°ΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ Π2*, ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠ΅Ρ ΠΎΡ Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΡ (?*?, Π) :
ΠΠ±ΡΠ°ΡΠΈΡΠ΅ Π²Π½ΠΈΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π΅ΡΠ΅ ΡΠ°Π· Π½Π° ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΌ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ Π (IV) — Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π²Π°Ρ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠ°, Π΄ΠΈΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠ° ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΎΡΠΎΡΠΌΡ ΠΎΠ»ΠΎΠ²Π°. Π‘ΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Ρ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ², ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ²Π΅ΡΠΆΠ΄Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½ Ge2* Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ Π΄ΠΈΡΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΈΠΎΠ½Ρ Π³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠΊΡΠΎΠ½ΠΈΡ Π΄ΠΎ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Π°, Sn2* - Π΄ΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, a Sn (IV) — ΡΠ»Π°Π±ΡΠΉ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, Π½Π°ΠΊΠΎΠ½Π΅Ρ, ΡΡΠΎ Π Π¬2* ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ΅Π½ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ², ΡΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΠ°ΠΊ Π Π¬02 — ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Ρ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠΉ Π² ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ΅ ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΡΡΡ Π²ΠΎΠ΄Ρ Π΄ΠΎ ΠΊΠΈΡΠ»ΠΎΡΠΎΠ΄Π°.