ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния. 
Бвойства Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½Π°

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

Основной способ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² это мСханичСскоС ΠΎΡ‚ΡˆΠ΅Π»ΡƒΡˆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ слоёв пиролитичСского Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π»ΠΈΠΏΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ осаТдСниС Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ высоколСгированного крСмния ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ слоСм диэлСктрика (SiO2). ΠŸΡ€ΠΈ использовании этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° поиск Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½Π° осущСствляСтся Π² ΠΎΠΏΡ‚ичСском микроскопС, Π° Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π°Π½ΠΎΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Π² ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС Ρ€Π°ΡΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ нСльзя, Ρ‚ΠΎ ΡΠ½Π°Ρ‡Π°Π»Π° находят… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠœΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Ρ‹ изготовлСния. Бвойства Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½Π° (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Основной способ ΠΏΠΎΠ΄Π³ΠΎΡ‚ΠΎΠ²ΠΊΠΈ Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² это мСханичСскоС ΠΎΡ‚ΡˆΠ΅Π»ΡƒΡˆΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ слоёв пиролитичСского Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π° с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π»ΠΈΠΏΠΊΠΎΠΉ Π»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡƒΡŽΡ‰Π΅Π΅ осаТдСниС Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ высоколСгированного крСмния ΠΏΠΎΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ слоСм диэлСктрика (SiO2). ΠŸΡ€ΠΈ использовании этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° поиск Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½Π° осущСствляСтся Π² ΠΎΠΏΡ‚ичСском микроскопС, Π° Ρ‚Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π°Π½ΠΎΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΊΡ‚Ρ‹ Π² ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС Ρ€Π°ΡΡΠΌΠΎΡ‚Ρ€Π΅Ρ‚ΡŒ нСльзя, Ρ‚ΠΎ ΡΠ½Π°Ρ‡Π°Π»Π° находят ΠΎΡ‚Π½ΠΎΡΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ большой ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ†. Π•Π³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅Ρ€Π³Π°ΡŽΡ‚ стандартной ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅Π΄ΡƒΡ€Π΅ для использования элСктронной Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡŽΡ‰Π΅ΠΉ Π΄ΠΎΠ±ΠΈΡ‚ΡŒΡΡ Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ порядка 10 Π½ΠΌ.

Π‘Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° Π·Π°ΠΊΡ€Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡƒ с ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Ρ‘Π½Π½Ρ‹ΠΌ Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠΌ элСктронным рСзистом ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ элСктронного ΠΏΡƒΡ‡ΠΊΠ° Π·Π°ΡΠ²Π΅Ρ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‚ рСзист, нанося Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π³Ρ€Π°Ρ„Π΅Π½ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π½Π°Π½ΠΎΠ»Π΅Π½Ρ‚, Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ удалСния нСэкспонированного рСзиста (для Π½Π΅Π³Π°Ρ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзиста ΠΈΠ»ΠΈ Π½Π°ΠΎΠ±ΠΎΡ€ΠΎΡ‚ удалСния экспонированного рСзиста для ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ рСзиста) проводят ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Ρ‚Ρ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π’ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ… использовали элСктронный рСзист HSQ.

Π˜ΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡ химичСский ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π±Ρ‹Π»ΠΈ созданы Π½Π°Π½ΠΎΠ»Π΅Π½Ρ‚Ρ‹ с ΡˆΠΈΡ€ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 10 Π½ΠΌ. Для этого ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄Π° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ…ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ тСрмичСски Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚. Π­Ρ‚ΠΎΡ‚ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π½Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ использованиС Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ ΠΈ Ρ‚равлСния, поэтому Π³Ρ€Π°Π½ΠΈΡ†Ρ‹ Π½Π°Π½ΠΎΠ»Π΅Π½Ρ‚ ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π°ΡŽΡ‚ΡΡ Π³Π»Π°Π΄ΠΊΠΈΠΌΠΈ.

БущСствуСт Π΅Ρ‰Ρ‘ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π½Π΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡŒΠ·ΡƒΡŽΡ‰ΠΈΠΉ Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡŽ, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΡƒ маской здСсь выступаСт тонкая кварцСвая Π½ΠΈΡ‚ΡŒ (Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ 200 Π½ΠΌ), Ρ‡Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ°Ρ‚ΡŒ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹Ρ… ΠΏΠΎΠ²Ρ€Π΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ Π·Π°Π³Ρ€ΡΠ·Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡ€ΠΈ Π»ΠΈΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ. ΠšΡ€ΠΎΠΌΠ΅ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ Π½Π΅ Π²Ρ€Π΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π·Π°Ρ‚Ρ€Π°Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ.

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ