ΠΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ
Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ SSPD Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ SSPD Π±ΡΠ»Π° ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π·Π΄Π΅ΡΡ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½ΡΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°. ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ SiO2 ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π»ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ 10 Π½ΠΌ/Ρ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΎΠ²… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΠ»Π°Π²Π° 1. ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΠ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠ² Π₯Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π¨ΡΠΌΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΠΈΠ΄Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π€ΠΠ£, ΠΠ€Π ΠΈ SSPD
ΠΠ»Π°Π²Π° 2. SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΠ±Π·ΠΎΡ SSPD Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π£ΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ SSPD Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΠ»Π°Π²Π° 3. ΠΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘ΠΏΠΈΡΠΎΠΊ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
ΠΡΠΊΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΠ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 1800 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΠΈΠ»ΡΡΠΌΠ° ΠΠ΅ΡΡΠ΅Π»Ρ. Π Π°Π·Π»ΠΎΠΆΠΈΠ² ΡΠ²Π΅Ρ Π² ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ, ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π» ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΡΡΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΌΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ° ΠΈ ΠΎΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠΈΠ», ΡΡΠΎ ΡΠΈΠ»ΡΠ½Π΅Π΅ Π²ΡΠ΅Ρ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π»ΡΡ ΡΠΎΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΌΠ΅ΡΡ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠΎΠ»Π½Π΅ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ, ΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎΡΡ Π±Ρ, ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π». ΠΠ½ Π»Π΅ΠΆΠ°Π» Π·Π° ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠΌ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ. ΠΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΠ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΈ: ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ (Π» = 0,74—2,5 ΠΌΠΊΠΌ), ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ (Π» = 2,5—50 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΈ Π΄Π»ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²Π°Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ°Π³Π΅ΡΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ (Π» = 50—2000 ΠΌΠΊΠΌ).
ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΠ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π°ΡΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠΈ. Π Π½Π°ΡΠΊΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠ΅ΠΌΠ»ΠΈ, Π² Π°ΡΡΡΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΡ , Π΄Π»Ρ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π°ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ : ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΠ΅ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ Π΅ΠΌ, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΈ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, Π² Π²ΠΎΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ Π½Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ, Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π±ΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ (ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΡ) ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°ΠΌ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΈ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΠΌ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ (superconducting single-photon detector? SSPD), ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ. Π ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π²ΡΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΌ, ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ SSPD c Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π°ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ΠΉ.
ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΡΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ NbN ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΊ Π½ΠΈΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ:
ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°, Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ;
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ, Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π² ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π° Π ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Π²ΠΈΠ΄Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ².
ΠΡΠΎΡΠ°Ρ Π³Π»Π°Π²Π° ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ SSPD Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ: Π΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ±Π·ΠΎΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ»Π°ΡΡΠ°, ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°, Π΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΡΠ°ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠ°ΡΡΡΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ².
Π ΡΡΠ΅ΡΡΠ΅ΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈ Π±Π΅Π· Π½Π΅Π³ΠΎ.
Π Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΈ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄Ρ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅.
ΠΠ»Π°Π²Π° 1. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ²Π΅ΡΠ°
1. Π₯Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π°Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. ΠΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², Π²Π°ΠΆΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ. Π‘ΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΡΡΠ΄ ΠΎΠ±ΡΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΠΌΡΡ ΠΊΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ. Π ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ, Π±ΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅, ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½.
ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ — ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ², Π·Π°ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Π·Π° Π½Π΅ΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΎΠΊ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ, ΠΊ ΡΠΈΡΠ»Ρ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΌΠ΅ΠΆΡΡΠΊΠ° Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ.
QE = NΡΡΠ°Π±/NΠΏΠ°Π΄
ΠΡΡΡΡΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π³ΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π°ΡΡ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΈΠΊ Π½Π° ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½Ρ, ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΠ΅Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ½ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠ°.
ΠΡΠ΅ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΎΠΉ Π²ΡΠ΅Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΡΠΌΡ, ΠΎ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ Π½ΠΈΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΠΎ.
ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΠ΅Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Ρ Π² ΠΏΡΠ½ΠΊΡΠ΅ 1, ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΡΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡΡΡ ΠΎ ΡΡΠΌΠ°Ρ , ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π΅ΠΈΠ·Π±Π΅ΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ Π²Π½ΠΎΡΡΡ ΠΈΡΠΊΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ½ΠΈΠΌΠ°Π΅ΠΌΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ.
Π¨ΡΠΌ — ΡΡΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°, ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ΅ΠΌΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ (Π²Π½ΡΡΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ), ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ Π½Π΅ΠΏΡΠΈΠ³ΠΎΠ΄Π½ΡΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ. Π ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠΌΠΎΠ². ΠΡΠΎ Π΄ΡΠΎΠ±ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠΌ, ΡΡΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΡΠΌΡ.
ΠΡΠΎΠ±ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠΌ — Π±Π΅ΡΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π³ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π·Π°ΡΡΠ΄Π°. ΠΠ΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΎΠΉ:
i2 = 2eisΠΠ½ Π³Π΄Π΅ e — Π·Π°ΡΡΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°, is — ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΠ½ — ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΡΠ°ΡΡΠΎΡ.
Π¨ΡΠΌ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° (Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎ — ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΡΠΌ) ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΡΠΌΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΊΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅, Ρ. Π΅. ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΠΊΠ°. Π’Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π²Π΄Π²ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π° Π΄Π΅ΡΡΡΡ Π³ΡΠ°Π΄ΡΡΠΎΠ² C. ΠΠ΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΎΠΉ:
i = 2iB[ΡB/N0(1+Ρ2Ρ2)]½
Π³Π΄Π΅ Ρ — Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, N0— ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΡΡ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ, Ρ — ΡΠΈΠΊΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ°, B — ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ, iB — ΡΠΎΠΊ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π’Π΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠΌ (ΡΡΠΌ ΠΠΆΠΎΠ½ΡΠΎΠ½Π°) — ΡΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΠΌ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° Π² ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠΈΡΡΡΡΠ°Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ². ΠΠ΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠΎΠΉ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΎΠΉ:
u = (4kTRB)½
Π³Π΄Π΅ k — ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½Π°Ρ ΠΠΎΠ»ΡΡΠΌΠ°Π½Π°, T — Π°Π±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°, R — ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°, B — ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ.
2. ΠΠΈΠ΄Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π€ΠΠ£ (ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Ρ) — ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΡΠΉ ΡΠΎΡΠΎΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ΄ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠΎΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΠΈ; ΡΠΎΠΊ Π² ΡΠ΅ΠΏΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄Π° (ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅ΠΊΡΠΎΡΠ° Π²ΡΠΎΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ²) Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ. ΠΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠ΅ Π±ΡΠ» ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½ ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½ Π. Π. ΠΡΠ±Π΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π² 1930;34.
Π ΠΈΡ. 1 Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΡΠΎΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΠ²Π°Π½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Ρ Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄, Π²ΡΠ±ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΠ· Π½Π΅Π³ΠΎ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅, ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡ Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ΄ΠΎΠ², ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π» ΠΏΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΎΡΠΎΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄Ρ. Π‘ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Π€ΠΠ£. ΠΠ°ΠΆΠ΄ΡΠΉ ΠΈΠ· Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΈΠ·ΠΎΠ³Π½ΡΡΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄, ΠΊ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 600 — 3000 Π, Ρ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ Π²ΡΠΎΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΠΈ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ. Π’ΠΎ Π΅ΡΡΡ, ΠΈΠ· ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ΄Π° Π²ΡΠ±ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ, ΡΡΠΎ Π² ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° Π²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π· (ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π² 105 ΡΠ°Π· ΠΈ Π²ΡΡΠ΅), ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊΠΎΠΌ.
ΠΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ΄Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ ΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Ρ ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ, ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½Π°Ρ ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ°, Π»ΠΈΠ±ΠΎ ΡΠΎΠΊΡΡΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° Π² ΡΠΊΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»ΡΡ . Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, Π€ΠΠ£ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΡΠΌΠΈ Π·Π°ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΄Π°ΠΆΠ΅ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ°.
Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π½Π° Π€ΠΠ£ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π»Ρ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° Π² ΡΠ΅ΠΏΠΈ Π°Π½ΠΎΠ΄Π°, Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π² ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΈΠ· Π΅Π³ΠΎ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ:
Π’Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΎΠΊ (ΡΠΎΠΊ Π² Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΈ Π² ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΠ°), ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π½Π΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°Π΅Ρ 10-9—10-10 Π.
ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΡΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Π΅ΡΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ Π€ΠΠ£:
Π‘Π²Π΅ΡΠΎΠ²Π°Ρ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ (ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π½ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊΠ° ΠΊ Π²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΌΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊΡ ΠΏΡΠΈ Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ΄ΠΎΠ²), ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1—104 Π/Π»ΠΌ.
Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ (ΡΠ°Π²Π½Π°Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠΊΠ°ΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ, Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 103—108).
ΠΠ€Π (Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄) — ΠΏΡΠΈΡΠΌΠ½ΠΈΠΊ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π²ΡΠΈΠΉ Π½Π° Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΡΠ²Π΅Ρ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ Π·Π°ΡΡΠ΄ Π·Π° ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π² p-n-ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ ΠΈ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½Π΅Π΅ ΡΡΠΈΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠ° Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ. Π‘ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π·ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ½ΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³Π°ΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ.
Π ΠΈΡ. 2 Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π° ΠΡΡΠ΅ΠΊΡ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ (Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ) — ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ Π² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠ°Ρ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°Ρ , Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΠΉ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π² ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π·Π°ΡΡΠ΄Π° ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π°ΡΠΎΠΌΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²ΡΠΎΡΠΈΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ°Ρ ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΡΠΎΠΊΠ°. ΠΠ»Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΠ€Π ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ:
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Π΅ Π² ΠΎΠ±Π΅Π΄Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΠΊΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ ΡΠΌΠΎΠ³Π»ΠΈ Π½Π°Π±ΡΠ°ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ, Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ, ΠΈ ΡΠ΄Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ;
Π¨ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΎΠ±Π΅Π΄Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·ΠΎΠ½Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° Π±ΡΡΡ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ².
Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ.
Π 1908 Π³ΠΎΠ΄Ρ Π² ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π»Π°Π±ΠΎΡΠ°ΡΠΎΡΠΈΠΈ ΠΠ΅ΠΉΠ΄Π΅Π½ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠ° ΠΏΠΎΠ΄ ΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΠΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ»ΠΈΠ½Π³ — ΠΠ½Π½Π΅ΡΠ° Π±ΡΠ» ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΉ Π³Π΅Π»ΠΈΠΉ. Π‘ΠΆΠΈΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π³Π΅Π»ΠΈΠΉ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ ΠΊΠΈΠΏΠ΅Π½ΠΈΡ (4,21 K), ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ ΠΈΠ·ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΡΠΏΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ . Π 1911 Π³ΠΎΠ΄Ρ ΠΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ»ΠΈΠ½Π³ — ΠΠ½Π½Π΅Ρ ΠΎΡΠΊΡΡΠ» ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΈ, ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ°Π»ΠΎΡΡ Π² Π½ΠΎΠ»Ρ ΠΏΡΠΈ Π’? Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΊ 4? Π. ΠΠΎΠ·Π΄Π½Π΅Π΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΡΠΊΡΡΡΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ² ΠΈ ΠΈΡ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ.
Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ (TESs).
Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ (Superconducting transition-edge sensors) — ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΠ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠ² Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈ Π½Π΅Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ.
Π ΠΈΡ. 3. Π‘Π»Π΅Π²Π° ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°, ΡΠΏΡΠ°Π²Π° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΎΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ. Π‘ΠΈΠ½ΡΡ ΡΠΎΡΠΊΠ°, Π½Π° ΠΏΡΠ°Π²ΠΎΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ΅, — ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΡΠΊΠ° Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ² Π² ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°Ρ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²Π°Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° (ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ), Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠ°ΡΡΡ Π½Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ, ΠΈΠ·-Π·Π° ΡΠΎΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° Π½Π΅Π΅, ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎΠΌΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°Ρ, ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ Π±ΡΡΡ Π·Π°ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½. ΠΡΠΎΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΏΠΎΡΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»Π΅Π½ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π°, ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΈΡΠ»Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 100 ΠΌΠ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½Π°Ρ ΠΈ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½Π°Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ΅ΠΌ Π΄Π»Ρ SSPD ΠΎΠ±ΡΡΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΡ Π½ΠΈΠΆΠ΅.
ΠΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ (SSPD).
Π―Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π½Π°ΡΠ»ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² Π½Π°ΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΈΠΊΠ΅. ΠΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΡΡ Π±ΡΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ — ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ (NbN), Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ².
Π ΠΈΡ. 4 ΠΠ½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°. ΠΠ° Π»Π΅Π²ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°. ΠΠ° ΠΏΡΠ°Π²ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π° ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° — ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ. Π‘Π²Π΅ΡΠ»ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ Π½Π° ΠΏΡΠ°Π²ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ° ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ° NbN Π±ΡΠ»Π° ΠΏΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π°. Π‘ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ
3. ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ SSPD ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ Π½Π° ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π΅ Π² ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ, Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉΡΡ Π² ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π΅ ΠΊ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΡΠΎΠΊΡ. ΠΠ²Π°Π½Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΡΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°Ρ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Ρ ΠΈΠ· ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡ, ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΉ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠ° ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡΡ. Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ «Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π΅ ΠΏΡΡΠ½ΠΎ». ΠΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ «Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠ½Π°» ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΏΠΎ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ° ΠΈ Π΄Π»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠ·ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΡΠ°ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ. Π§Π°ΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π² Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π·Π° Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 70 ΠΏΡ Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π·Π°Π΄Π΅ΡΠΆΠΊΠ° Π² ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π°. ΠΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° Π½Π°Π΄ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ. ΠΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ°Ρ Π΄ΠΈΡΡΡΠ·ΠΈΡ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡ Π² ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΡ ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ΅Π»Π°ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠ½Π°, ΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΠ½ΠΎ ΠΈΡΡΠ΅Π·Π°Π΅Ρ, ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ, ΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ Π²Π½ΠΎΠ²Ρ Π³ΠΎΡΠΎΠ² ΠΊ ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π°. ΠΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΎΡΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠ½Π° (ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 50 ΠΏΡ). Π§Π΅ΠΌ ΡΠΆΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°, ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΅Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΊΡΡΡΠΈΡ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ.
Π ΠΈΡ. 5 ΠΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠ° ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠ½Π° Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΠΎ Π΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΡ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠ½Π° ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π°. ΠΡΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ°ΡΠΎΠΉ, ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠΎΠ±ΡΠ΅ΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠΌΡΡ Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ, Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΆΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΡΠ°ΡΡΠΈΡΠ΅ΠΉ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π±ΡΡΡΡΠΎ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ²ΠΎΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½-ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΠΎΠΆΠ΄Π°Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π²ΡΠΎΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Ρ. ΠΡΠΎΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡ, ΠΏΠΎΠΊΠ° ΡΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π΅ ΡΡΠ°Π½Π΅Ρ ΡΠ°Π²Π½Π° ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ 0.1 eV (ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΠΠ΅Π±Π°Ρ), ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠΎΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½-ΡΠΎΠ½ΠΎΠ½Π½ΠΎΠ΅ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠ΅, ΡΠΎ Π΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅Ρ ΠΈΡΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π΄Π΅Π±Π°Π΅Π²ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ½ΠΎΠ½Ρ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ½ΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ Π°Π·ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΎΠ²ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΠ°Ρ.
Π ΠΈΡ. 6 ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π‘ΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΡΠ΅ΠΌΡΡΡ ΠΊ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ, ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΌΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ 2?, ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ, Π² ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Ρ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅ (Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΠΈ). ΠΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ Π² ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ΅ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅, ΠΈ, Π² ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠΎΠ², ΡΠ΅Π»Ρ ΡΡ Π»ΠΎΠΏΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°. ΠΡΠ° ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ Π³ΠΎΡΡΡΠΈΠΌ ΠΏΡΡΠ½ΠΎΠΌ.
4. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π Π°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠ½ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° Π΄Π²Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΡΠ°ΠΏΠ°. ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠ° ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ.
Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΏΡΠΈΡΠ° Π΄Π²ΡΡ ΡΡΠΎΡΠΎΠ½Π½Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠΈ, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 300 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠ΅ΠΊ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΡ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ.
Π§ΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ· ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ NbN ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 30−100 Π, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΌΠ°Π³Π½Π΅ΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΠΊΠ΅ Π² ΡΠΌΠ΅ΡΠΈ Π°ΡΠ³ΠΎΠ½Π° ΠΈ Π°Π·ΠΎΡΠ°. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Π½Π° Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Z-400 ΡΠΈΡΠΌΡ Leybold Heraus. Π’Π΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 800ΠΎ Π‘.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π½Π°ΠΏΡΡΠΊΠ° Π°ΡΠ³ΠΎΠ½Π° Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ Π½Π° Ρ ΠΎΠ»ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ. ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ, Π½Π΅ Π²ΡΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π°, Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΊΠ°ΡΡ Π°Π·ΠΎΡ. ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π½Π°Π΄ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΉ. Π Π½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠ° Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ. ΠΡΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ Π²ΡΡΠ΅ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ Π΅Π³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ, ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ Π»Π°Π²ΠΈΠ½ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Ρ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ, ΡΠΎΠΊ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π° ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ. Π Π°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ Π°Π·ΠΎΡΠΎΠΌ, Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π² ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ ΠΏΠΎΡΡΠΈ Π²Π΅ΡΡ ΡΠ΅Π°Π³ΠΈΡΡΠ΅Ρ Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΠ΅ΠΌ. Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈ Π½Π° Π½Π΅ΠΉ ΡΠ½ΠΎΠ²Π° Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π°, ΡΠΎΠΊ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π° ΡΠΊΠ°ΡΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ, ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ. Π’ΠΎ Π΅ΡΡΡ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΡΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΡ Π½Π΅Π³ΠΎ. ΠΠΎΠ³Π΄Π° ΠΌΠΈΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠ° Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ — ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Ρ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠΎΠΌ Π°Π·ΠΎΡΠ°, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΌΠΈΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ²ΠΎΠ±ΠΎΠ΄Π½Π° ΠΎΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° — ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Ρ ΠΈΠ·Π±ΡΡΠΊΠΎΠΌ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ.
Π‘ΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠΊΡΡΡΠΈΡ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ°. Π£ΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠΌ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡ ΠΈ Π’Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ, ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΡ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄ ΠΏΠΎ ΠU=U-UAr, Π³Π΄Π΅ UAr — Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π° Π² Π°ΡΠ³ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠΌ ΠΆΠ΅ ΡΠΎΠΊΠ΅, ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ NbN ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠU=35−40 Π. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ NbN Ρ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΈ Π²ΠΎΡΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ (Π’Ρ).
Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°. Π Π΅Π³ΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ±ΡΠΎΠ²ΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ: Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 200−300 Π, ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°. ΠΠ°Π»Π΅Π΅ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΊΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠ°Π²Π½Π° 5 Π/Ρ.
Π’Π°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ NbN ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠ° ΠΈ Ti-Au ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ, Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡ Π·Π° ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠ° Ρ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ? 80 Π½ΠΌ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ, Π° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Ti-Au ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ — ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ. Π§ΡΠΎΠ±Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΡΡ Ρ ΠΎΡΠΎΡΠ΅ΠΉ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ (~0.1 ΠΌΠΊΠΌ) ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π΄Π²ΡΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΉ, Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡ Π·Π½Π°ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠ½Π°ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠΎΡΠΎΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΊΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π΄Π²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Ti-Au. ΠΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΠΉ Ti Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ Π΄Π»Ρ Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΠΊ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ NbN. ΠΠ½Π°ΠΊΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΡΠΌΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π½Π΅ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1000 Π Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ½ΠΈ Π±ΡΠ»ΠΈ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠΌΡ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏ.
ΠΠ΅ΡΠ²Π°Ρ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ — Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Π° Π·Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΡΠΎΠ»ΠΈΠΊΠ΅ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡΠ³ΠΈ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΡΠΎΡΠ°. ΠΠ»Ρ Π»ΡΡΡΠ΅ΠΉ Π°Π΄Π³Π΅Π·ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π½Π°Π½ΠΎΡΠΈΡΡΡ Π³Π΅ΠΊΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΠΈΠ»Π΄ΠΈΡΠΈΠ»ΠΎΠ·Π°Π½ (ΠΠΠΠ‘). ΠΠ°ΡΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠ°ΠΏΠ΅Π»Ρ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° AZ-1512 ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡΠ³Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ 3500 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 50 Ρ ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 1 ΠΌΠΊΠΌ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΡΠΊΠ° Π² ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 90ΠΎ Π‘ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 30 ΠΌΠΈΠ½. Π‘ΡΡΠΊΠ° Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° Π΄Π»Ρ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ· ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°.
Π€ΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠ² Π² ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ Π½Π°ΡΠΈΠ½Π°Π΅ΡΡΡ Ρ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π»Π°ΠΌΠΏΡ «Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ» ΡΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ»Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π² Ρ Π»ΠΎΡΠ±Π΅Π½Π·ΠΎΠ»Π΅. ΠΠΈΠ΄ΠΊΠ°Ρ ΡΠ°Π·Π° Ρ Π»ΠΎΡΠ±Π΅Π½Π·ΠΎΠ»Π° ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π½Π° ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ Π΄ΠΎΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ. ΠΠ»Π°Π³ΠΎΠ΄Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠ΅ ΠΈΠ· Ρ Π»ΠΎΡΠ±Π΅Π½Π·ΠΎΠ»Π° ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ «ΠΎΡΡΠΈΡΠ°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ» ΡΠ³ΠΎΠ» Π½Π°ΠΊΠ»ΠΎΠ½Π°, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±Π»Π΅Π³ΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Ρ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π½Π° ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ lift-off ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ° (Π²Π·ΡΡΠ²Π½Π°Ρ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ).
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ti-Au ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ Π² Π΅Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠΌ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΈΠΊΠ»Π΅ Π½Π° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π·Π°ΡΠ»ΠΎΠ½ΠΊΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ Π² Π½ΡΠΆΠ½ΡΠΉ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠ΅ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ. Π Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ, ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ Π’i ΠΈ Πu. Π’i ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΠ΅ΡΡΡ Ρ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΈ, ΡΠΊΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°Π»ΡΡ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠΊ ΠΈ Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½Π°Π²Π΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠΈΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ Π½Π°Π²Π΅ΡΠΊΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ 2×5 ΠΌΠΌ. ΠΠ°Π²Π΅ΡΠΊΠΈ (1−3 ΡΡΡΠΊΠΈ) ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠ°Π²Π»ΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΈΠ· Π’i ΡΠΎΠ»ΡΠ³ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 0,3 ΠΌΠΌ. ΠΡΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 50 Π ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 3−5 ΠΊΠΠΌ/ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°Ρ. ΠΡΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠΈ Π²Π΅ΡΡ Π½Π΅Π³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ Π’i-Au ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π²Π΅ΡΠΊΠ° Au 50 ΠΌΠ³. ΠΡΠΏΠ°ΡΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ Π΄Π»Ρ Au ΡΠ»ΡΠΆΠΈΡ ΠΌΠΎΠ»ΠΈΠ±Π΄Π΅Π½ΠΎΠ²Π°Ρ Π»ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΊΠ°, ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠΊ 200 A. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° 1000 Π. Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Au ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΡΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΎΡ 3 — 5 ΠΊΠΠΌ/ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°Ρ Π΄ΠΎ 3 — 4 ΠΠΌ/ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°Ρ.
ΠΠ° Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Ρ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π° Π½Π΅Π³ΠΎ Π΄Π²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Ti-Au Π·Π° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² (lift-off ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ). ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠ°, ΠΏΠΎΠ³ΡΡΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π² Π²Π°Π½Π½ΠΎΡΠΊΡ Ρ Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½ΠΎΠΌ Π½Π° 5 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ.
ΠΠ΅ΡΠ²Π°Ρ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ — Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠ° ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ ΠΊΠ°ΠΏΠ°ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠ°ΠΏΠ΅Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° (PMMA 950K+2% Ρ Π»ΠΎΡΠ±Π΅Π½Π·ΠΎΠ»Π°) ΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΈΡΡΠ³Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π²ΡΠ°ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ 5000 ΠΎΠ±/ΠΌΠΈΠ½ Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 40 ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° 0.08 ΠΌΠΊΠΌ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π΅Π³ΠΎ ΡΡΡΠΊΠ° Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 100o C Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 60 ΠΌΠΈΠ½., ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΡΠΊΠ°ΡΠΊΠ° ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ Π΄ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ 5×10-5 ΠΌΠ±Π°Ρ. Π ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΎΡΠΊΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΡ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΡΡΡΠΈΠΉΡΡ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΡΡΠΊΠ° Π² Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½Π° ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΡΡΡΠΊΠΎΠΉ Π² ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠ°ΡΠ΅.
Π€ΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Ρ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎ Π·Π½Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. ΠΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ΅Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² Π΄Π²ΡΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ°Ρ : ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ° ΠΈ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. Π ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠΌΠΎΡΡΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π»ΡΡ ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΠΈ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π½Π° ΡΠΊΡΠ°Π½Π΅ ΠΌΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΡΠ°. ΠΡΠΎΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ Π΄Π»Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΡ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎ Π·Π½Π°ΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Π ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Ρ ΠΎΠ΄ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π»ΡΡΠ° Π·Π°Π΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠΎΠΉ. ΠΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ»ΠΈΠΌΠ΅ΡΠΈΠ·ΡΡΡΡΡ.
ΠΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ, Π³Π΄Π΅ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠ²Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡ Π·Π°ΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½, ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡΡΡΡ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ.
ΠΠ»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ Π² ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠ΅ NbN ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ Π³Π°Π·Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ SF6, ΠΏΠΎΡΠΎΠΌΡ ΡΡΠΎ Π² Π½Π΅ΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ NbN Π²ΡΡΠ΅, ΡΠ΅ΠΌ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Ρ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΡΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°, ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΌ lift-off ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π»ΠΈΡΡ Π² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Ti-Au (Ti — 5 Π½ΠΌ, Au — 200 Π½ΠΌ) Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π½Π° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ»ΠΎΡ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° Π΄Π²ΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Ti-Au ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 200 Π½ΠΌ.
ΠΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΊΠΈ ΠΈΠ· ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° 20×20 ΠΌΠΊΠΌ, ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΠ΅ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΎΠ»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΡΠ»ΡΠΆΠ°Ρ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ NbN ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΈ Π·Π°ΡΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ NbN ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π·Π° ΠΈΡΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠ±ΡΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΠΈΡΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π»ΠΈ Π² ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ.
ΠΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°, ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ Π·Π½Π°ΠΊΠΎΠ² ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π»ΠΈΡΡ Π² ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π±Π»ΠΎΠ½Π° ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ 20×20 ΠΌΠΊΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π² Ρ Π»ΠΎΡΠ±Π΅Π½Π·ΠΎΠ»Π΅, ΠΏΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΡΠΌΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»Ρ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Π²ΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΡΡΠΊΠ° ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° Π² ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ 120ΠΎ Π‘, Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 30 ΠΌΠΈΠ½. Π ΡΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ Π·Π°Π΄ΡΠ±Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. Π ΡΠ°ΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅Π½ Π½Π°Π΄Π΅ΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅ΠΏΡΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ.
ΠΠΎΡΠ»Π΅ Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΡΡΠΊΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ° ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ NbN ΠΏΠΎ ΠΏΠΎΠ»Ρ. ΠΠ° Π²ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ»Π΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ NbN ΡΠ΄Π°Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π° ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ°Ρ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ°Π΄ΠΎΠΊ 20×20 ΠΌΠΊΠΌ, Π·Π°ΡΠΈΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ· ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΠ»Ρ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΡ NbN ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΠ΅Π»Ρ Π‘Π -4 (HNO3:HF:CH3COOH=5:3:3). Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠ· ΡΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ.
ΠΠ° Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ°. ΠΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΡΠ΄Π΅ΡΠΆΠΊΠΈ Π² Π°ΡΠ΅ΡΠΎΠ½Π΅ ~ 5 — 10 ΠΌΠΈΠ½.
ΠΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½Ρ Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ — ΡΠΈΠΏΡ. Π Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΡΠΈΠΏΠ° 4×4 ΠΌΠΌ2.
ΠΠ° Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠΈΠΏΠ°Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π€ΠΠ£, ΠΠ€Π ΠΈ SSPD.
ΠΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π½Π° Π±Π°Π·Π΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΡΡ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ΅. Π Π°Π±ΠΎΡΠ° ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π° Π½Π° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°Π΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°Π·ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π·Π°ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡ. Π ΡΠΎΠΆΠ°Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ°ΠΊΠ°Ρ ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠΉ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π°ΠΌΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ 1Π½Ρ (Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΠΈΠ½Π΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠ»Π΅ΡΠ° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΠΈ Π΄ΠΈΠ½ΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ, Π° Π΄Π»Ρ ΠΠ€Π ΡΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π³Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»Π°ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠΈ). ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π°ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ΅ΠΌΡΡ Π² ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°Ρ , ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π΄Π»ΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1ΠΌΠΊΠΌ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π½Π° Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Π°Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΠ»Π°Π±Π΅Π²Π°Π΅Ρ. ΠΡΠ°ΡΠ½Π°Ρ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ~0.9 ΠΌΠΊΠΌ. ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ ΠΠ€Π ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π΄ΠΎ Π»=1 ΠΌΠΊΠΌ, Π³Π΅ΡΠΌΠ°Π½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ — Π΄ΠΎ 1.8 ΠΌΠΊΠΌ, ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π΅ΠΌΡΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· ΠΌΡΡΡΡΠΊΠΎΠ²ΠΈΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³Π°Π»Π»ΠΈΡ GaAs — Π΄ΠΎ 5 ΠΌΠΊΠΌ. Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ — ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ, Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π»Π΅ΠΆΠΈΡ ΡΠ°Π·ΠΎΠ³ΡΠ΅Π² ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ. ΠΡΠΈ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π² Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°Π½ΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ 1 ΠΌΠΊΡ. ΠΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ·Π΄Π°ΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π±ΡΡΡΡΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Ρ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π΅ΠΌ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 100Π½Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠ· ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ Π² ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠ΅, Π½ΠΎ ΡΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π»Ρ ΡΡΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ½Π°Ρ ΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ°.
Π‘ΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° Ρ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ Π±ΡΡΡΡΡΠΌΠΈ ΡΡΠ΅ΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΠ-ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ½ ΠΏΠΎ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΈΡ ΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΆΠ°Π΅Ρ. Π’Π°ΠΊ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 1,3 ΠΌΠΊΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠ° 9β’106Ρ-1 ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π΄ΠΎ 0,1% ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Ρ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 2β’104Ρ-1 (ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΠΈΡΠΌΡ Hamamatsu). ΠΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ Π΄ΠΈΠΎΠ΄Ρ ΠΈΠ· InGaAs (ΡΠΈΡΠΌΡ Fujitsu) Ρ ΠΎΡΡ ΠΈ Π΄Π΅ΠΌΠΎΠ½ΡΡΡΠΈΡΡΡΡ Π±ΠΎΠ»ΡΡΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ QE=16%, Π½ΠΎ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠ° 5β’106Ρ-1 ΠΈ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ Π»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ (ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Ρ) 500 Ρ-1. Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡ ΠΎΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ ΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΡΡ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ QE = 95% Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π» = 1550Π½ΠΌ, Π½ΠΎ ΠΈΡ jitter (ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 100Π½Ρ) ΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ — Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ½ΠΎΠ²Π° ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠ½Ρ (ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 1ΠΌΠΊΡ), ΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ ΠΊΠ°ΠΊ SSPD, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠΌ ΠΈ Π»Π°Π²ΠΈΠ½Π½ΡΠΌ ΡΠΎΡΠΎΠ΄ΠΈΠΎΠ΄Π°ΠΌ. ΠΡΡΠ³Π°Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½Π°Ρ Ρ Π±ΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Π° ΠΏΠΎΠ΄Π΄Π΅ΡΠΆΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 100mK.
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 1 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π»ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° (SSPD) Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»ΡΠ½ΠΊΠΈ NbN.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 1. Π‘ΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ 1,3ΠΌΠΊΠΌ
Π’ΠΈΠΏ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° | ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠ° (Ρ-1) | ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ (%) | ΠΠ΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ (Ρ-1) | Jitter (ΠΏΡ) | |
ΠΠ°Π²ΠΈΠ½Π½ΠΎ-ΠΏΡΠΎΠ»Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ InGaAs ΡΠΈΡΠΌΡ Fujitsu | 5,0*106 | ||||
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΠΎΡΠΌΠ½ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»Ρ ΡΠΈΡΠΌΡ Hamamatsu | 9,0*106 | 0,1 | 2,0*104 | ||
ΠΠ°Π²ΠΈΠ½Π½ΠΎ-ΠΏΡΠΎΠ»Π΅ΡΠ½ΡΠΉ Π΄ΠΈΠΎΠ΄ Si ΡΠΈΡΠΌΡ EG&G | 5,0*106 | 0,01 | |||
ΠΠΎΠ»ΠΎΠΌΠ΅ΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ | 0,001 | 105 | |||
ΠΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ (SSPD) | 10*109 | 0,001 | |||
ΠΠ· ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Π½Π΅ ΡΡΡΡΠΏΠ°ΡΡ, Π° Π΄Π°ΠΆΠ΅, ΠΏΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌ ΠΊΠ°ΠΊ: ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠ°, Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ jitter ΠΏΡΠ΅Π²ΠΎΡΡ ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»Π»Π΅Π³ ΠΏΠΎ ΡΠ΅Ρ Ρ.
ΠΠ»Π°Π²Π° 2. SSPD Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΡ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ
1. ΠΠ±Π·ΠΎΡ SSPD Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΠ°ΠΊ ΡΠΆΠ΅ ΡΠΏΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΠΎΡΡ Π² Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ, Π² ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ Ρ Π±ΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ (ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΡ) ΠΏΠΎΡΠ²ΠΈΠ»ΡΡ ΡΠ΅ΡΡΠ΅Π·Π½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°ΠΌ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΠΌ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ: Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ, Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΡΠ΅ΡΠ°, Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Ρ, ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½, ΠΎΡ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΡΡ Π΄ΠΎ ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΡ , ΠΈ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅. Π£Π΄ΠΎΠ²Π»Π΅ΡΠ²ΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π°ΠΌ, SSPD ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 15−20%. Π’Π°ΠΊΠ°Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π½Π°ΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»Π° ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Ρ Π½Π° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² ΡΠ΅Π»Π΅ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΠ½ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ°Ρ . ΠΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π»ΠΎ ΠΊ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠΎΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΡΡ , superconductive single-photon detectors with optical cavities — ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ.
Π ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΠ΄Ρ Π²ΡΡΠ»ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ°ΡΠ΅ΠΉ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π»ΠΈ Π½Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΈ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»Π΅, Π² Π΄Π²Π° ΡΠ°Π·Π°, ΠΏΡΠΈ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΊ ΡΠΆΠ΅ ΠΎΠ±ΡΡΠΆΠ΄Π°Π²ΡΠΈΠΌΡΡ SSPD.
2. Π£ΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΠ΄Π΅Ρ, Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠ°Ρ Π² ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ², ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π·Π°ΡΡΠ°Π²ΠΈΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΎΠΊ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡ Π΄Π²Π°ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° (ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ). ΠΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΡΠ΅ΡΠ΅Π· Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°ΠΌΠΈ: ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ — r, ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ — Ρ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ — t. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΡΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ t Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΎΠ²Π°ΡΡ, ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π°, Π² ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΌΡ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡ, ΡΠΎ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ Π±ΡΠ΄ΡΡ Π²ΡΠ΅ ΡΡΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ°. Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ΅ ΠΎ Π½Π°Ρ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠ² ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ Π½Π° ΡΠ»ΠΎΠΈΡΡΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΏΠΎ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΠΈ ΠΊ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»ΠΎΡΠ². Π‘Π»ΠΎΠΈ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³Π° ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² Π½ΠΈΡ ΠΈ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΡΡΡ Π°Π½ΠΈΡ. Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎ — ΡΡΠΎ ΡΠΏΡΠ°Π²Π΅Π΄Π»ΠΈΠ²ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅ — ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΡΡΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡ ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠΉ. ΠΠ±ΡΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΈΠ·Π²Π΅ΡΡΠ΅Π½ — ΡΡΠΎ Π΄Π²Π΅ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΏΠΎ Π½ΠΎΡΠΌΠ°Π»ΠΈ ΠΊ ΡΠ»ΠΎΡΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²ΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ . ΠΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΈΡΠ»Π°, Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ ΠΈ ΡΠ°Π·Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΎΡ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΊ ΡΠ»ΠΎΡ, ΠΈ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ° ΠΎΡΡΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΊ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄ ΠΈ ΡΠ°Π· (Π΄ΡΡΠ³ΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ²Π°ΠΌΠΈ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΡ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄).
ΠΡΡΠΌΠΎΠΉ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π² ΡΡΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΡ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΠΎΡ Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΠ΅ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΉ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ»ΠΎΡΠΌΠΈ. ΠΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ° Π΄Π°ΡΡ, ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎ Π΄Π²Π° Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ Π°Π»Π³Π΅Π±ΡΠ°ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΡΠΈ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ N Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ° ΠΈΠ· 2N ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ N 1 ΡΠΆΠ΅ Π½Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎ.
Π£Π΄ΠΎΠ±Π½ΡΠΉ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ Π·Π°ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π² ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΆΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΎ, Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ, Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΡΠ½Π½ΠΎΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°ΡΡ Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅
Π³Π΄Π΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ I ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΈ Π½Π΅ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΡ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄. Π§ΡΠΎΠ±Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ, ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°Π²Π½Ρ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΡ I, Π½Π°Π΄ΠΎ, ΠΊΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎ, ΠΏΠΎΡΡΡΠΏΠΈΡΡ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ — ΡΡΠΈΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ ΠΎΡ Π½ΠΈΡ .
ΠΠ½ΡΡΡΠΈ ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ»ΠΎΡΠ² ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΠΈΡ ΡΡ ΡΠ°ΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½ Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΊΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°ΡΡ. ΠΡΡΡΡ Π΄Π»Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΠ΅ΠΉΡΡ Π²ΠΏΡΠ°Π²ΠΎ,, ΡΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π»Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΠ΅ΠΉΡΡ Π²Π»Π΅Π²ΠΎ,, k — Π²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ Π² Π²Π΅ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ»ΠΎΡ. Π’ΠΎΠ³Π΄Π° Π΄Π»Ρ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ d ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π½Π° Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠ°Π²ΠΎΠΉ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ°Ρ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠ°ΠΊ:
ΠΡΠ»ΠΈ Π΅ΡΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠ°Ρ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡΡ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ, ΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ°Π·Ρ Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Ρ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Π°ΠΌΠΈ Π²ΠΎΠ»Π½ ΡΠ»Π΅Π²Π° ΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π° ΠΎΡ Π²ΡΠ΅ΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ:
ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠ»ΠΎΡΠ² ΠΈ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ: ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡΠ° M, ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΠ°Ρ Π²ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΡΠ°Π²Π½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡ I ΠΈ ΠΌΠ°ΡΡΠΈΡ S, Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½Π½ΡΡ Π² ΡΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ΅, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΠΈ ΡΠ»ΠΎΠΈ.
Π§ΡΠΎΠ±Ρ Π½Π°ΠΉΡΠΈ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΡ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π· ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠ»ΠΎΠΉΠ½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ, ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌ ΡΠΈΡΡΠ°ΡΠΈΡ, ΠΊΠΎΠ³Π΄Π° ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ°Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Π° Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ»Π΅Π²Π°. ΠΠ΅ΡΡΠΌ Π΅Ρ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΡ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ (Π½Π° Π»Π΅Π²ΠΎΠΉ Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ) ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ 1, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ Π°ΠΌΠΏΠ»ΠΈΡΡΠ΄Ρ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΡΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΠ΅ΠΉ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΎΠ±ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅ΠΌ r ΠΈ t. Π Π΅ΡΠ°Ρ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅:
Π½Π°Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°Π²Π½Ρ:
.
Π ΠΈΡΠΎΠ³Π΅, Π΅ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΡ Π²ΡΡΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΡ ΠΊ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌ, ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΠΌΡΠΌ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅, ΡΠΎ ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ:
Β· Π΄Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ:
Ρ = 1 — r, Π³Π΄Π΅ r — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ:
Π³Π΄Π΅ n — ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°, Ρ — ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, d — ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°, Ρ — ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ°. Π ΠΈΡΠΎΠ³Π΅ ΠΌΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ nΡd/c ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ Ρ/2 ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΠΈΠ½ΡΡΠΎΠΌ, Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ = 75%. ΠΡΠ»ΠΈ nΡd/c ΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ Ρ, ΡΠΎ r ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅ΠΉ ΠΊΠΎΡΠΈΠ½ΡΡ ΠΈ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΡΠΌ 100%. Π‘Π»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ r Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠΎΡΡΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΡ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΡ. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ r Π±ΡΠ΄Π΅Ρ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΊΡΡΡΠ΅ΠΌΡΠΌΡ ΡΠ°ΠΊ, ΠΊΠ°ΠΊ n ΠΈ Ρ Π²Ρ ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ Π² Π°ΡΠ³ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΊΠΎΡΠΈΠ½ΡΡΠ° ΠΈ ΡΠΈΠ½ΡΡΠ° Π½Π΅ Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠ°Π½ΡΡ, Π° Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ.
Β· Π΄Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π±Π΅Π· ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°:
Ρ = 1 — r — t/n, Π³Π΄Π΅ r — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ:
Π³Π΄Π΅ n — ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ, ΠΈΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ, Π΄ — ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ ΡΠ°Π²Π½Π°Ρ Π΄ = 30/(2R), R — ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ.
t — ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ:
Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π΄Π»Ρ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π±Π΅Π· ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°, Ρ = 20%. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΏΡΠΎΠΈΠ»Π»ΡΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° Π½Π° ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠΈΠΌ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊ:
Π ΠΈΡ. 7 ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. ΠΡΠΈΠ²Π°Ρ Ρ ΠΊΠ²Π°Π΄ΡΠ°ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΡΠΈΠ²Π°Ρ Ρ ΠΊΡΡΠ³Π»ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π±Π΅Π· ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° ΠΠ· Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ° Π½Π° ΡΠΈΡ. 7 Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 75%, Π² ΡΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π±Π΅Π· ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 20%. ΠΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π²ΡΡΠ΅ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΡΠΉ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄, ΡΡΠΎ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠ°, Π° Π·Π½Π°ΡΠΈΡ ΠΈ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π² ΡΠ΅Π»ΠΎΠΌ.
ΠΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ (ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄Ρ) Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°Π΅Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½Π°Ρ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Π°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°. ΠΠ°ΠΈΠ±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΡ ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΡ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠ², ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ΠΈ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΠΊΠΎ Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Ρ Π½Π° ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Π΅ ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, Ρ Π½ΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ Ρ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠΌ ΠΌΡ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΠΌ Π΄Π΅Π»ΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΎΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ:
Π = 2nd,
Π³Π΄Π΅ Π — ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΡ Ρ ΠΎΠ΄Π°, n — ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ΅Π΄Ρ, Π² ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΠ΅ΡΡΡ Π²ΠΎΠ»Π½Π°, d — ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΠΊΠΈ.
Π = +2mΠ»/2 — ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΅ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠΎΠ² Π³Π΄Π΅ Π — ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΡ Ρ ΠΎΠ΄Π°, m — ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ°, Π» — Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ. m ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π°Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ 0,1,2,3 ΠΈ Ρ. Π΄.
Π = +(2m — 1) Π»/2 — ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ΅ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΠΎΠ² Π³Π΄Π΅ Π — ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΡΡΡ Ρ ΠΎΠ΄Π°, m — ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠΊ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΠ°, Π» — Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ. m ΠΏΡΠΎΠ±Π΅Π³Π°Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ 1,2,3 ΠΈ Ρ. Π΄.
Π ΠΈΡ. 8 Π‘Ρ Π΅ΠΌΠ° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°, Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ NbN (Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ), Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΠΎΠ½ΡΠΈΠ³ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°, ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Π°Ρ Π½Π° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡ Π΅ΠΌΠ΅, Π½Π΅ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ Π½Π΅Π΅ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ Π΅ΡΠ΅ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π²Π°ΡΠΈΠ°Π½ΡΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΌΡ ΠΎΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΠΌΡΡ Π½Π° ΡΡΠΎΠΌ
3. Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ SSPD Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π’Π΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ SSPD Π±ΡΠ»Π° ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠΎΠ±Π½ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Π° Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Π΅, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π·Π΄Π΅ΡΡ Π±ΡΠ΄ΡΡ ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠΌΠ΅Π½ΡΡ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π» Π½Π°Π½ΠΎΡΡΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ Ρ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°. ΠΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΈ SiO2 ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π°Π»ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ 10 Π½ΠΌ/Ρ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ΄Π±ΠΈΡΠ°Π»Π°ΡΡ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ° ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ 1,55 ΠΌΠΊΠΌ ΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ n, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠΎ-Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. Π’ΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° Si3N4 ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΈΠ»Π° 192 Π½ΠΌ, SiO2 — 264 Π½ΠΌ. ΠΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ ΠΈΠ· ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π·ΠΎΠ»ΠΎΡΠ° ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ 150−300 Π½ΠΌ, ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-Π»ΡΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΡΠΏΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ 0,5 Π½ΠΌ/Ρ. ΠΡΠΈ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ SiO2 ΠΎΠ±Π° ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ ΡΠ»ΠΎΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΡΠΎ ΡΠΏΡΠΎΡΡΠΈΠ»ΠΎ ΡΠ΅Ρ Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΈ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ»ΠΎ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄ Π³ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ. Π’Π°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π½Π°Π½Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° ΠΏΠ°Π΄Π°Π»Π° Π½Π΅ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΅ΠΌ Π½Π° 1 Π, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ± ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄a Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°.
ΠΠ»Π°Π²Π° 3. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠ»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ Π±ΡΠ»Π° ΡΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π° ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° (ΡΠΌ. ΡΠΈΡ. 9). ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ° ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ»Π° ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ²:
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°: ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡ ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΎΡ ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΠ£Π — 5. ΠΠΎ Π²ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ , Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ, Π΄Π»Ρ ΡΠ½ΡΡΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ»ΡΡ, Π²ΡΡΠ΅ ΡΠΏΠΎΠΌΡΠ½ΡΡΡΠΉ, ΠΠ£Π — 5 (Π ΠΈΡ. 9 ΠΏΡΠ½ΠΊΡ: Π±).
ΠΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. Π ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΠΈ ΡΠΎΡ ΠΆΠ΅ ΡΠΎ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΠ΅Π»Π΅ΠΌ (ΡΠΈΡ. 9 ΠΏΡΠ½ΠΊΡ: Π°).
Π£ΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΈ ΡΠ½ΡΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠ° ΠΠΊΡΠ°ΠΊΠΎΠΌ-Iwatsu ACK — 7404 Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² 400MHz ΠΈ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΡΠ΅ΡΡΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ. ΠΠΎ Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ ΡΡΠ΅ΡΡΠΈΠΊ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ Agilent 53131A Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠΌ Π² 225MHz, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΎΠ½ ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ, ΡΠ΅ΠΌ Π²ΡΡΡΠΎΠ΅Π½Π½ΡΠΉ ΡΡΠ΅ΡΡΠΈΠΊ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠ°.
ΠΠΈΠ·ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ. ΠΠ°Π½Π½Π°Ρ ΡΠ°ΡΡΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°Π΅Ρ Π² ΡΠ΅Π±Ρ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΡ: ΡΠΎΡΡΠ΄ ΠΡΡΠ°ΡΠ° ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΌ 40 Π»ΠΈΡΡΠΎΠ², ΠΌΠ°ΠΊΠ΅Ρ Ρ Π·Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½Π½ΡΠΌ Π² Π½Π΅ΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠΌ (ΡΠΈΡ. 9 ΠΏΡΠ½ΠΊΡΡ: Π²).
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ» Π² Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΡΠ°ΠΏΠΎΠ².
ΠΠ° ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»Π°ΡΡ ΡΠ±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ. ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠΈΠ»ΡΡ Π½Π° Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Π΅ Π²ΡΡΠ°Π²ΠΊΠΈ. ΠΠ±ΡΡΠ½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΡΠΆΠΈΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΡ ΠΈΠ· ΡΠΎΡΡΠΎΡΠΈΡΡΠΎΠΉ Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΡ, Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ΄Π°ΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠ½ΡΡΠΈΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠΊΠ»ΠΈΠΊΠ°. Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΡΡΠΎΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± Π½Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Ρ ΠΎΠ΄ΠΈΠ», ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ Π² Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡ Π΄Π²Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°: ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅ΠΌΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ Π²ΡΡΡΡΠΏΠ°Π» Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠ°Π½Π΄Π°ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π΅ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π½Π΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»ΠΈΡΡ Π² ΠΌΠ°ΠΊΠ΅ΡΠ΅. ΠΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π½ΡΠΆΠ΅Π½ Π±ΡΠ» ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°ΡΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²: ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π΅ΠΈΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΡ Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΊΠ»Π΅Π΅ΠΌ. ΠΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΊΡΠ΅ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΈΠΌΠ΅Π»Π°ΡΡ Π½Π΅ΠΊΠ°Ρ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠ°Ρ Π² ΡΠΎΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠ½Π°, ΠΏΠΎ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌ ΡΠ²Π΅Ρ ΠΏΠΎΠΏΠ°Π΄Π°Π΅Ρ ΠΎΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ, ΠΈΠΌΠ΅Π»ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΠΎΠΊΠΎΠ»ΠΎ 1 ΠΌΠΈΠ»Π»ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠ°. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΎΠ±Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΡΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π½ΡΡΠΎΠ² Π²ΠΎΠ»ΠΎΠΊΠΎΠ½ ΠΏΠΎΠ΄ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΎΠΌ ΠΏΠΎ ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΈΡΠΊΠ°ΠΌ. ΠΠΎΡΠ»Π΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ 25−30 ΠΌΠΈΠ½ΡΡ Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΡΡΠΈΠ»ΡΡ ΠΏΠΎΠ΄ Π»Π°ΠΌΠΏΠΎΠΉ Π½Π°ΠΊΠ°Π»ΠΈΠ²Π°Π½ΠΈΡ.
ΠΡΡΠ³Π°Ρ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΡΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ»Π° Π² ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ°ΠΊΡΠ½ΡΡ Π»Π°ΠΏΠΎΠΊ. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΠ΅ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΡΠ΅ Π½ΠΈΡΠΈ, ΠΏΡΠΈΠΏΠ°ΡΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΊ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°ΠΌ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΠ΅ — Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ, Π½Π° ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½Π΅ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ²Π°ΡΠΊΠΈ. ΠΠ°Π»Π΅Π΅ Π΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½ΡΠ»ΡΡ ΠΊ Π²ΡΡΠ°Π²ΠΊΠ΅ Π΄Π²ΡΠΌΡ Π²ΠΈΠ½ΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΡΡΠ°Π²ΠΊΠ° ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΠΏΡΡΠΊΠ°Π»Π°ΡΡ Π² ΡΠΎΡΡΠ΄ ΠΡΡΠ°ΡΠ° Ρ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΈΠΌ Π³Π΅Π»ΠΈΠ΅ΠΌ, ΠΈ ΡΠ°ΠΌ ΠΎΡ Π»Π°ΠΆΠ΄Π°Π»Π°ΡΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π² 4,2 ΠΊΠ΅Π»ΡΠ²ΠΈΠ½Π°.
ΠΠ° Π²ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΡΡΠ°ΠΏΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡ Π½Π΅ΠΏΠΎΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ΅, ΡΡΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΎ — ΡΡΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΎΠ²ΡΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΎΡ ΡΠΎΠΊΠ° ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ»ΠΈ Π½ΡΠΆΠ½Ρ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΠ·Π½Π°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΡΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ΅ Π² 15,2Β΅A ΡΡΠ΅ΡΡΠΈΠΊ ΡΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ΅Ρ 1400 ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° 1000 ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΠΎΠΊΠ΅ Π² 8,2Β΅Π. Π Π½Π°ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΡΠΈΡΠ»ΠΎ ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠ°Ρ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΡΠ°Π²Π½ΡΠΌΠΈ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ½ΠΈ Π±ΡΠ»ΠΈ Π²ΡΠ±ΡΠ°Π½Ρ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΈΡ ΡΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ². ΠΠ»Ρ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π±ΡΠ»Π° ΡΠΎΠ±ΡΠ°Π½Π° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ°, Π±Π»ΠΎΠΊ-ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅.
Π ΠΈΡ. 9 ΠΠ»ΠΎΠΊ-ΡΡ Π΅ΠΌΠ° ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠΈ, Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ.
ΠΠ°Π»Π΅Π΅, ΠΎΠΏΠΈΡΠ°ΡΡΡ Π½Π° ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΈΡ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ. ΠΡΠΈ Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠ»ΠΈΡΡ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡ ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΎΡΠ° ΡΠ½ΠΈΠ²Π΅ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΠ£Π — 5 Π² ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Ρ ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ°ΠΌΠΈ 2 ΠΈ 3.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 2: Π²Ρ ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΠΈ Π²ΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΡΠ΅Π»ΠΈ
ΠΠ»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ | ΠΡ ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΡΠ΅Π»Ρ | ΠΡΡ ΠΎΠ΄Π½Π°Ρ ΡΠ΅Π»Ρ | |
200 — 400 Π½ΠΌ | I | II | |
400 — 500 Π½ΠΌ | II | I | |
500 — 850 Π½ΠΌ | I | I | |
850 — 1050 Π½ΠΌ | II | I | |
1050 — 1200 Π½ΠΌ | I | II | |
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 3: Π€ΠΈΠ»ΡΡΡΡ
ΠΠ»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ | Π€ΠΈΠ»ΡΡΡ | |
200 — 400 Π½ΠΌ | ΠΠ‘ — 8 (Π±Π΅ΡΡΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΉ) | |
400 — 600 Π½ΠΌ | ΠΠ΅Π· ΡΡΠ΅ΠΊΠ»Π° | |
600 — 1200 Π½ΠΌ | ΠΠ‘ — 11 (ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΡΠΉ) | |
Π’ΡΠ΅ΡΠΈΠΉ ΡΡΠ°ΠΏ — ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ².
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π²ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ². ΠΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΈΠΌΠ΅Π» ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ: ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠ° 7×7 ΠΌΠΊΠΌ2, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ NbN 4 Π½ΠΌ, ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ 120 Π½ΠΌ, Π·Π°Π·ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ 80 Π½ΠΌ, ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 560 ΠΊΠΠΌ. ΠΡΠ΅ Π·Π΄Π΅ΡΡ Π½ΡΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° № 11 ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠΈ 15571 Π±ΡΠ» ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² 1056 Π½ΠΌ. ΠΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π±Π΅Π· ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° ΠΈΠΌΠ΅Π» ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ: ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ 7×7 ΠΌΠΊΠΌ2, ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ NbN 3.7 Π½ΠΌ, ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ 100 Π½ΠΌ, Π·Π°Π·ΠΎΡ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ 100 Π½ΠΌ, ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 1164 ΠΊΠΠΌ.
ΠΠΎ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ»ΠΎΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠ½Π°ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΈ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΠ²Π°Π»ΠΎΡΡ Ρ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ, ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 4. ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈ ΠΏΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌ Π΄ΡΡΠ³ ΠΊ Π΄ΡΡΠ³Ρ, ΡΠΎ ΡΡΠΎ Π³ΠΎΠ²ΠΎΡΠΈΡ ΠΎΠ± ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠΈ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ² Π² Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ΅. ΠΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠΎ ΡΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΡΠ½ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π΅ΠΏΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΡΡ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ (Π·Π°ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΊ), ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΏΠΎΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΌΠ΅Π°Π½Π΄ΡΠ°. ΠΡΠ»ΠΈ ΠΆΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π΅ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠΎ ΡΡΠΎ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ «ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ°Π²ΠΎΠΌ», Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Π° ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠ»ΠΈΡΡ.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 4: ΠΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²
Π Π΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ 15571№ 11 | ΠΠ±ΡΡΠ½ΡΠΉ 1517№ 14 | ||
ΠΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ QE (%) | 1.1 | ||
Π‘ΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ R (ΠΊΠΠΌ) | |||
ΠΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊ Ic (ΠΌΠΊΠ) | 16.1 | ||
ΠΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ², Π½Π° ΡΠΊΡΠ°Π½Π΅ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠ° ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Ρ, ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ Π½ΠΈΠΆΠ΅. ΠΡΠ° ΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ½Π° Π±ΡΠ»Π° Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π° Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ΅, ΡΡΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°Π»ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ — ΡΡΠΎ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°Π» ΡΡΠ΅ΡΡΠΈΠΊ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠΎΠΌΠ΅Ρ. ΠΠ»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Ρ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΎΠ½ΠΈ Π±ΡΠ»ΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π²ΡΡΠ΅, ΠΈΠ·-Π·Π° Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ Π½Π° Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ.
Π ΠΈΡ. 10 ΠΠ½Π΅ΡΠ½ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ° Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΡΠΊΡΠ°Π½Π΅ ΠΎΡΡΠΈΠ»Π»ΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠ°, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅Π³ΠΈΡΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½Π° ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠΌ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΌ NbN (Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ) Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠΈΡΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊ, ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 11. ΠΠ° Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ Π΄Π²Π΅ ΠΊΡΠΈΠ²ΡΠ΅: Π²Π΅ΡΡ Π½ΡΡ ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ Π·Π΅Π»Π΅Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° (Ρ Π·Π°ΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ) ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΠ° ΡΡΠΎΠΉ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠΉ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ Π΄Π²Π° ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ: ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ ΠΏΡΠΈ 700 Π½ΠΌ ΠΈ Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ 1000Π½ΠΌ. ΠΠ΅ΡΠ²ΡΠΉ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ. ΠΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΡΠ»ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°, Π° ΡΡΠΎ ΠΎΠ·Π½Π°ΡΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° NbN ΠΏΡΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠ² ΡΠ²Π΅ΡΠ°. ΠΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠ°ΠΌΠΈ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² 850 Π½ΠΌ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΈΠΉ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠΉ Ρ Π΄Π΅ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΏΡΡΠΊΠΎΠ², ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ²Π΅ΡΠ°, ΠΏΠΎΠΏΠ°Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ Π½Π° NbN ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½Π°. ΠΠΈΠΆΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΠ²Π°Ρ ΡΠΈΠ½Π΅Π³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° (Ρ Π½Π΅ Π·Π°ΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΡΠΊΠ°ΠΌΠΈ) ΠΎΠΏΠΈΡΡΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π±Π΅Π· ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°. ΠΠΎ Π½Π΅ΠΉ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ, ΡΡΠΎ Ρ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π½Π° ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, Π² Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΏΡΠΈ 700Π½ΠΌ. ΠΠ»Ρ ΠΎΠ±ΠΎΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ΅Π½ ΡΠ΅Π·ΠΊΠΈΠΉ ΡΠΏΠ°Π΄ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° 600 Π½ΠΌ. ΠΡΠΎΡ ΡΠΏΠ°Π΄ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ Ρ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ° «Π³ΠΎΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΏΡΡΠ½Π°», ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠΎΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠ΅ΠΉ.
Π ΠΈΡ. 11 ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΎΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ°, ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 11, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½ΠΈΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ Π΄ΡΡΠ³ Ρ Π΄ΡΡΠ³ΠΎΠΌ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠΈΡΡ Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ, ΠΎ Π΄Π»ΠΈΠ½Π°Ρ Π²ΠΎΠ»Π½, Π½Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΡ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ². ΠΠΎ ΡΡΠΎΠΌΡ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΡ Π½Π΅Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΠΊΠ°Π·Π°ΡΡ, Π½Π° ΠΊΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΡΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΉΠ΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΈΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΊΠΈΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Π°Ρ Π²ΠΎΠ»Π½, Π² Π΄Π°Π»ΡΠ½Π΅ΠΉΡΠ΅ΠΌ, ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π±ΡΠ΄Π΅Ρ Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°ΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. Π ΡΡΠΎΡ Π²ΠΎΠΏΡΠΎΡ Π²Π΅ΡΡΠΌΠ° ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ΅Π½. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ Π±ΡΠ» ΠΏΠΎΡΡΡΠΎΠ΅Π½ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Ρ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ ΠΊ ΡΠΈΡΠ»Ρ ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 12. ΠΠ° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠ° ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡΠ» ΠΈΠ· ΠΏΡΠ½ΠΊΡΠ° 2 Π²ΡΠΎΡΠΎΠΉ Π³Π»Π°Π²Ρ, ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΡ, Π½Π° ΠΊΠ°ΠΊΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ 1 ΠΈ 2 ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠΎΠ². ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° ΠΏΡΠΈΠ±Π»ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΠΏΡΠΈΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡΡΡΡ Π½Π° 1400 Π½ΠΌ. ΠΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° Π½Π°Π±Π»ΡΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² 600 Π½ΠΌ. Π‘Π°ΠΌΠΎΠΉ ΡΡΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΊΠΈ Π½Π΅Ρ Π½Π° ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠΉ, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π» ΠΌΠΎΠ½ΠΎΡ ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΎΡΠ°, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π»ΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Π° Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² 1200 Π½ΠΌ. Π Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Π΅ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² 800 Π½ΠΌ ΠΈΠΌΠ΅Π΅ΡΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ 2 ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ°.
Π ΠΈΡ. 12 ΠΡΠ°ΡΠΈΠΊ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΊ ΡΠΈΡΠ»Ρ ΡΡΠ°Π±Π°ΡΡΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°. 600Π½ΠΌ — ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌ Π²ΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ°. 800 Π½ΠΌ — ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌ 2 ΠΏΠΎΡΡΠ΄ΠΊΠ° ΠΠ°ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘ΡΠΎΡΠΌΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ.
Π ΡΠ°ΠΌΠΊΠ°Ρ Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π±ΡΠ» ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΈ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°, Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΎΠ½ΠΊΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° Π½ΠΈΠΎΠ±ΠΈΡ, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ, ΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ° Π±Π΅Π· ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ Π² ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΈ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Ρ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π΅ΡΡ ΠΈΠ· Π³ΡΠ°ΡΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅.
Π’Π°ΠΊ ΠΆΠ΅ Π² ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ Π±ΡΠ» ΠΏΡΠ΅Π΄Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ: ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° (Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΠΌΡ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΌΠ°ΡΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΊΠ½ΠΈΠ³Π΅ Π. ΠΠΎΡΠ½Π° ΠΈ Π. ΠΡΠ»ΡΡΠ° «ΠΡΠ½ΠΎΠ²Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ») Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ ΡΠΎΠΎΡΠ½ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ, ΡΠ²ΡΠ·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΡ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠΎΠ³Π»ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ — Ρ, Π΄Π»Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ Ρ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΠΊ: ΡΠ°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ — Ρ, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π»ΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΠ½ΠΊΠΈ — n ΠΈ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ — R; ΠΏΡΠΎΡΡΠΎΠΉ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ± ΠΎΡΠ΅Π½ΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΡΠΌΠΎΠ² ΠΈ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΡΠΌΠΎΠ² ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΡ Π΄Π»Ρ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°, ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Ρ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΠΎΠΌΠΈΠΌΠΎ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠΈΡ ΠΆΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡΠ» ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡΠ° Π΄Π»Ρ ΡΠ΅Ρ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΠ½ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½ Π²ΠΎΠ»Π½. ΠΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ ΡΠ°ΠΊ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ ΡΠ΅Π·ΠΎΠ½Π°ΡΠΎΡ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° № 11 ΠΈΠ· ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠΈ 15571 Π±ΡΠ» ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½ Π½Π° Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ Π² 1056 Π½ΠΌ.
1. ΠΡΡΡΠΈΠ°Π½ Π. Π. Π€ΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΡ, — Π.: ΠΡΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅, 1984.
2. ΠΠΈΠ΅Ρ Π .ΠΠΆ., ΠΡΡΠ·Π΅ Π. Π., ΠΠ°ΡΠ»ΠΈ Π. Π. ΠΈ Π΄Ρ. Π€ΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠΊΠΈ Π²ΠΈΠ΄ΠΈΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ ΠΠ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ΠΎΠ²; ΠΏΠΎΠ΄ ΡΠ΅Π΄. Π .ΠΠΆ. ΠΠΈΠ΅ΡΠ°: ΠΏΠ΅Ρ. Ρ Π°Π½Π³Π». — Π.: Π Π°Π΄ΠΈΠΎ ΠΈ ΡΠ²ΡΠ·Ρ, 1985.
3. Π¨ΠΌΠΈΠ΄Ρ Π. Π.
ΠΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠ΅
Π² ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΡ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ². ΠΠ·Π΄. 2-Π΅, ΠΈΡΠΏΡ. ΠΈ Π΄ΠΎΠΏ., — Π.: ΠΠ¦ΠΠΠ, 2000.
4. ΠΡΠ΅ΡΠΈΠ½ Π. Π. Π‘Π²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ, — Π.: ΠΠ°ΡΠΊΠ°, 1978.
5. ΠΠΈΠ½Π°Π΅Π²Π° Π. Π. ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΡΠ°: ΠΠ°Π³ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠΊΠ°Ρ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ, — Π.: 2005.
6. A. Korneev, P. Kouminov, V. Matvienko, G. Chulkova, K. Smirnov, B. Voronov, and G.N. Gol’tsman, M. Currie, W. Lo and K. Wilsher, J. Zhang, W. Slysz, A. Pearlman, A. Verevkin, and Roman Sobolewski, «Sensitivity and gigahertz counting performance of NbN superconducting single-photon detectors», Applied Physics Letters volume 84, number 26, 28 June 2004, pp 5338−5340.
7. Kristine M. Rosfjord1, Joel K. W. Yang1, Eric A. Dauler1, Andrew J. Kerman, Vikas Anant1, Boris M. Voronov, Gregory N. Gol’tsman, Karl K. Berggren1 «Nanowire Single-photon detector with an integrated optical cavity andanti-reflection coating» 23 January 2006 / Vol. 14, No. 2 / OPTICS EXPRESS.
8. M.G. Tanner, C.M. Natarajan, V.K. Pottapenjara, J.A. O’Connor, R.J. Warburton, R.H. Hadfield, B. Baek, S. Nam, S.N. Dorenbos, E. BermΡdez UreΡa, T. Zijlstra, T.M. Klapwijk, and V. Zwiller «Enhanced telecom wavelength single-photon detection with NbTiN superconducting nanowires on oxidized silicon» APPLIED PHYSICS LETTERS 96, 221 109 _2010.