Эффект поля, зарядовые состояния и ИК фотопроводимость в гетероструктурах на основе Si с квантовыми точками Ge
Диссертация
На затворных характеристиках транзисторов обнаружены пики тока исток-сток, обусловленные эффектами кулоновского взаимодействия и размерного квантования в прыжковом переносе дырок через квантовые точки. Из температурных зависимостей затворных характеристик определены энергии кулоновского взаимодействия дырок в основном и первом возбужденном состояниях (-25 и 45 мэВ), энергетические зазоры между… Читать ещё >
Список литературы
- Dingle R., Wiegmann W., Henry C.H. Quantum States of Conffined Carriers in Very Thin AlxGai. xAs-GaAs-AlxGaixAs Heterostructures. — Phys. Rev. Lett., 1974, v.33, № 14, pp.827−830.
- Chang L.L., Esaki L., Tsu R. Resonant tunneling in semiconductor double barriers. Appl. Phys. Lett., 1974, № 12, pp.593−595.
- Алферов Ж.И. История и будущее полупроводниковых гетероструктур. -ФТП, 1998, т.32, № 1, с.3−18.
- Petroff P.M., Gossard А.С., Logan R.A., Wiegmann W. Toward quantum well wires: Fabrication and optical properties. Appl. Phys. Lett. 1982, v/41, № 7,pp.635−638.
- Екимов А.И., Онущенко A.A. Квантовый размерный эффект в трехмерных микрокристаллах полупроводников Письма в ЖЭТФ, 1981, т.34, № 6, с. 363−366.
- Murray A., Isaacson М., Adesida I. AIF3 A new very high resolution electron beam resist. — Appl. Phys. Lett., 1984, v.45, № 5, pp. 589- 591.
- Goldstein L., Glas F., Marzin J.Y., Charasse M.N., Le Roux G. Growth by molecular beam epitaxy and characterization of InAs/GaAs strained-lauer super lattices. Appl. Phys. Lett., 1985, v.47, № 10, pp. 1099−1101.
- Леденцов H.H., Устинов B.M., Егоров А. Ю., Жуков А. Е., Максимов М. В., табатадзе И.Г., Копьев П. С. Оптические свойства гетероструктур с квантовыми кластерами InGaAs-GaAs. ФТП, 1994, т.28, № 8, с.1483−1487.
- Леденцов Н.Н., Устинов В. М., Щукин В. А., Копьев П. С., Алферов Ж. И., Бимберг Д. Гетероструктуры с квантовыми точками: получение, свойства, лазеры. ФТП, 1998, т.32, № 4, с.385−410.
- Hatami F., Ledentsov N.N., Grundmann N., Bohrer J., Heinrichsdorff F., Beer M., Bimberg D. Radiative recombination in tipe-II GaSb/GaAs quantum dots. Appl. Phys. Lett., 1995, v.67, № 5, pp. 656−658.
- Ji L.W., Su Y.K., Chang S.J., Wu L.W., Fang Т.Н., Chen J.F., Tsai T.Y., Xue Q.K., Chen S.C. Growth nanoscale InGaN self-assembled quantum dots. J. of Crystal Growth, 2003, v.249, pp. 144−148.
- Соколов JI.B., Дерябин А. С., Якимов А. И., Пчеляков О. П., Двуреченский А. В. Самоформирование квантовых точек Ge в гетероэпитаксиальной системе CaF2/Ge/CaF2/Si и создание туннельнорезонансного диода на ее основе. ФТТ, 2004, т. 46, № 1, с. 91−93.
- Cullis A.G., Booker G.R. The epitaxial growth of silicon and germanium films on (111) silicon surface using UHVsublimation and evaporation techniques. J. of Crystal Growth, 1971, v.9, pp. 132−138.
- Aleksandrov L.N., Lovyagin R.N., Pchelyakov O.P., Stenin S.I. Heteroepitaxy of germanium thin films on silicon by ion sputtering. J. of Crystal Growth, 1974, v.24/25, pp. 298−301.
- Eaglesham D.J., Cerullo M. Dislocation-Free Stranski-Krastanov Growth of Ge on Si (100). Phys. Rev. Lett., 1990, v.64, № 16, pp.1943−1946.
- Mo Y.-W., Savage D.E., Swartzentruber В.S., Lagally M.G. Kinetic Pathway in Stranski-Krastranov Growth of Ge on Si (100). Phys. Rev. Lett., 1990, v.65, № 8, pp.1020−1023.
- Yakimov A.I., Markov V.S., Dvurechenskii A.V., Pchelyakov O.P. Coulomb staircase in Si/Ge structure. Phil. Mag., 1992, v.65, № 4, pp. 701−705.
- Prinz V. Ya. A new concept in fabricating building blocks for nanoelectronic and nanomechanic devices. Microelectronic Enginttring, 2003, v.69, № 2, pp. 466−475.
- Wiesendenger R. Fabrication of nanometer structures using STM. Appl. Surf. Sci., 1992, v.54, pp.271−277.
- Nikiforov A.I., Cherepanov V.A., Pchelyakov O.P., Dvurechenskii A.V., Yakimov A.I. In situ RHEED control of self-organized Ge quantum dots. Thin Solid Films, 2000, v. 380, № 1−2, pp. 158−163.
- Kastner M., Voigtlander B. Kinetically Self-Limiting Growth ofGe Islands on Si (001). Phys. Rev. Lett., 1999, v. 82, № 13, pp. 2745−2748.
- Wang X., Jiang Z., Zhu H., Lu F., Huang D., Liu X., Ни C, Chen Y., Zhu Z., Yao T. Germanium dots with highly uniform size distribution grown on Si (100) substrate by molecular beam epitaxy. Appl. Phys. Lett., 1997, v. 71, № 24, pp. 3543−3545.
- Milekhin A., Stepina N.P., Yakimov A.I., Nikiforov A.I., Schulze S., Zahn D.R.T. Raman scattering ofGe dot superlattices. Eur. Phys. J. B, 2000, v. 16, pp. 355−359.
- Эренбург С.Б., Бауск H.B., Ненашев A.B., Степина Н. П., Никифоров А. И., Мазалов JI.H. Микроскопические характеристики гетероструктур, содержащих нанокластеры и тонкие слои Ge в Si-матрице. Журнал структурной химии, 2000, т. 41, № 5, с. 980−987.
- Sutter P., Mateeva Е., Sullivan J. S., Lagally M. G. Low-energy electron microscopy ofnanoscale three-dimensional SiGe islands on Si (lOO). Thin Solid Films, 1998, v. 336, pp. 262−270.
- Brunner K. Si/Ge nanoctructures. Rep.Prog. Phys., 2002, v.65, pp. 27−72
- Shaleev M. V., Novikov A. V., Yablonskiy A. N.,. Drozdov Y. N, Lobanov D. N., Krasilnik Z. F., Kuznetsov O. A. Photoluminescence of Ge (Si) self-assembled islands embedded in a tensile-strained Si layer. Appl. Phys. Lett., 2006, v. 88, pp. 11 914 011 916.
- Denker U., Stoffel ML, Schmidt O. G., Sigg H. Ge hut cluster luminescence below bulk Ge band gap. Appl. Phys. Lett., 2003, v. 82, № 3, p. 454−456.
- Тонких А.А., Цырлин Г. Э., Дубровский В. Г., Устинов В. М., Werner Р. О возможностях подавления dome-iaiacmepoe при молекулярно-пучковой эпитаксии Ge на Si (100). ФТП, 2004, т.38, с. 1239−1244.
- Peng С. S., Huang Q, Cheng W. Q., Zhou J. M., Zhang Y. H, Sheng Т. Т., Tung C.H. Improvement of Ge self-organized quantum dots by use of Sb surfactant. Appl. Phys. Lett., 1998, v. 72, № 20, pp. 2541−2543.
- Никифоров A.M., Ульянов B.B., Пчеляков О. П., Тийс C.A., Гутаковский А. К. Рост и структура наноостровков Ge на атомарно-чистой поверхности окиси Si. -ФТТ, 2004, т. 46, № 1, с. 80−82.
- Lander J. J., Morrison J. Low Voltage Electron Diffraction Study of the Oxidation and Reduction of Silicon J. Appl. Phys., 1962, v. 33, pp. 2089−2092.
- Двуреченский A.B., Зиновьев B.A., Смагина Ж. В. Эффекты самоорганизации ансамбля нанокластеров Ge при импульсном облучении низкоэнергетическими ионами в процессе гетероэпитаксии на Si. Письма в ЖЭТФ, 2001, т. 74, № 5, с. 296−299.
- Liu F., Lagally М. G. Self-organized nanoscale structures in Si/Ge films. Surf. Sci., 1997, v.386,pp, 169−181.
- Zhu J., Brunner К., Abstreiter G. Two-dimensional ordering of self-assembled Ge islands on vicinal Si (001) surfaces with regular ripples. Appl. Phys. Lett., 1998, v. 73, № 5, pp. 620−622.
- Shklyaev A. A., Shibata M., Ichikawa M. Instability of 2D Ge layer near the transition to 3D islands on Si (lll). Thin Solid Films, 1999, v. 343−344, pp. 532−536.
- Zhong Z., Halilovic A., Fromherz Т., Schaffler F., Bauer G. Two-dimensional periodic positioning of self-assembled Ge islands on prepatterned Si (001) substrates. -Appl. Phys. Lett., 2003, v. 82, № 26, pp. 4779−4781.
- Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Kirienko V.V., Nikiforov A.I. Ge/Si quantum-dot metal-oxide-semiconductor field-effect transistor Appl. Phys. Lett. 2002. v. 80, pp. 4783−4785.
- Masini G., Colace L., Assanto G. 2.5 Gbit/s poly crystalline germanium-on-silicon photodetector operating from 1.3 to 1.55 pim. Appl. Phys. Lett. 2003. v. 82. pp. 25242526.
- Presting H. Near and mid infrared silicon/germanium basedphotodetection. Thin Solid Films, 1998. v. 321, pp. 186−195.
- Дроздов Ю.Н., Красильник З. Ф., Кудрявцев K.E., Лобанов Д. Н., Новиков А. В., Шалеев М. В., Шенгуров В. Б., Шмагин А. Н., Яблонский А. Н. Упругие напряжения и состав самоорганизующихся наноостровков GeSi на Si(001). ФТП, 2000, т. 34, № 1, с. 8−12.
- Krasilnik Z.F., Novikov A.V., Lobanov D.N., Kudryavtsev K.E., Antonov A.V., Obolenskiy S.V., Zakharov N.D., Werner P. SiGe nanostructures with self-assembledislands for Si-based optoelectronics. Semicond. Sci. Technol., 2011, v. 26, pp. 14 029 014 033.
- Elcurdi M., Boucaud P., Sauvage S., Kermarrec О., Campidelli Y., Bensahel D., Saint-Girons G., Sagnesl. Near-infrared waveguide photodetector with Ge/Si self-assembled quantum dots Appl. Phys. Lett. 2002. v. 80. pp. 509−511.
- Tong S., LiuJ.L., Wan J., Kang L.W. Normal-incidence Ge quantum-dot photodetectors at 1.5 jum based on Si substrate Appl. Phys. Lett. 2002. v. 80. pp. 11 891 191.
- Elving A., Hansson G.V., Ni W.-X.SiGe (Ge-dot) heterojunction phototransistors for efficient light detection at 1.3−1.55 jum. Physica E. 2003. v. 16. pp. 528−532.
- Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Kirienko V.V., Yakovlev Yu.I., Nikiforov A.I., Adkins С .J. Long-range Coulomb interaction in arrays of self-assembled quantum dots. -Phys. Rev. B, 2000, v. 61, № 16, p. 10 868−10 876.
- Шкловский Б.И., Эфрос A.Jl. Электронные свойства легированных полупроводников. М.: Наука, 1979, с. 416.
- Якимов А.И., Двуреченский, А В., Никифоров, А И., Блошкин, А А. Бесфононная прыжковая проводимость в двумерных слоях квантовых точек. Письма в ЖЭТФ, 2003, т. 77, № 7, с. 445−449.
- Kozub V.I., Baranovskii S. D., Shlimak I. Fluctuation-stimulated variable-range hopping.- Solid State Communications, 2000, v. 113, pp. 587−591.
- Van Houten H., Beenakker C.W.J., Staring A.A.M. Coulomb-blokade oscillations in semiconductor nanostructures. In: Singl Charge Tunneling./ Ed. By Grabert H., Devoret M.H. NATO ASI Series B. New York: Plenum, 1991, pp.1−64.
- Tewordt M., Hughes R. J. F., Martin-Moreno L., Nicholls J. T., Asahi H., Kelly M. J. Vertical tunneling between two quantum dots in a transverse magnetic field. Phys. Rev. B, 1994, v. 49, № 12, p. 8071−8075.
- Dixon D., Kouwenhoven L. P., McEuen P. L. Influence of energy level alignment on tunneling between coupled quantum dots. Phys. Rev. B, 1996, v. 53, № 19, p. 1 262 512 628.
- Blick R. H., Haug R. J., Weis J., Pfannkuche D., von Klitzing K., Eberl K. Single-electron tunneling through a double quantum dot: The artificial molecule. Phys. Rev. B, 1996, v. 53, № 12, p. 7899−7902.
- Burkard G, Loss D. Coupled quantum dots as quantum gates.-Phys. Rev. B, 1999, v. 59, № 3, p. 2070−2078.
- Duruoz C I., Clarke R. M., Marcus C M., Haris J. S. Conduction threshold, switching, and hysteresis in quantum dot arrays. Phys. Rev. Lett., 1995, v. 74, № 16, p. 3237−3240.
- Guo L., Leobandung E., Chou S.Y. A room-temperature silicon single-electron metal—oxide—semiconductor memory with nanoscale floating-gate and ultranarrow channel. Appl. Phys. Lett., 1997, v.70, pp.850−852.
- Sakamoto T., Kawaura H., Baba T. Single-electron transistors fabricated from a doped-Sifilm in a silicon-on-insulator substrate. Appl. Phys. Lett., 1998, v. 72, pp.795 796.
- Takahashi N., Ishikuro H., Hiramoto T. Control of Coulomb blockade oscillations in silicon single electron transistors using silicon nanocrystal floating gates. Appl. Phys. Lett., 2000, v. 76, pp. 209−211.
- Takahashi Y., Nagase M., Namatsu H., Kurihara K., Iwdate K., Nakajima Y., Horiguchi S., Murase K., Tabe M. Fabrication technique for Si single-electron transistor operating at room temperature. Electronic Letters, 1995, v. 31, pp. 136−137.
- Zhuang L., Guo L., Chou S.Y. Silicon single-electron quantum-dot transistor switch operating at room temperature. Appl. Phys. Lett., 1998, v. 72, pp. 1205−1207.
- Wang T.H., Li H.W., Zhou J.M. Si single-electron transistors with in-plane point-contact metal gates. Appl. Phys. Lett., 2001, v. 78, pp. 2160−2162.
- Phillips J., Kamath K., Brock T., Bhattacharya P. Characteristics of InAs/AlGaAs self-organized quantum dot modulation doped field effect transistors. Appl. Phys. Lett., 1998, v. 72,3509−3511.
- Ishikuro H., Hiramoto T. Quantum mechanical effects in the silicon quantum dot in a single-electron transistor. Appl. Phys. Lett., 1997, v. 71, pp. 3691−3693.
- Saitoh M., Takahashi N., Ishikuro H., Hiramoto T. Large Electron Addition Energy above 250 meV in a Silicon Quantum Dot in a Single-Electron Transistor. Jpn. J. Appl. Phys., 2001, v. 40, pp. 2010−2012.
- Likharev K.K. Layered tunnel barriers for nonvolatile memory devices. -Appl. Phys. Lett., 1998, v. 73, pp. 2137−2139.
- Wilk G.D., Wallace R.M., Anthony J.M. High-Kgate dielectrics: Current status and materials properties considerations. -J. Appl. Phys., 2001, v.89, pp. 5243−5275.
- Gusev E.P., Cartier E., Buchanin D.A., Gribelyuk M., Copel M., Okorn-Schmidt H., D’Emic C. Ultrathin high-K metal oxides on silicon: processing, characterization and integration issues. Microelectronic Engin., 2001, v. 59, pp. 341−349.
- Kim D.-W., Kim Т., Banerjee S.K. Memory characterization ofSiGe quantum dot flash memories with Hf02 and Si02 tunneling dielectrics.- IEEE Trans. Electron. Dev., 2003, v. 50, № 9, pp. 1823−1829.
- King Y.-C., King T.-J., Ни C. A long-refresh dynamic/quasi-nonvolatile memory device with 2-nm tunneling oxide. IEEE Electron. Dev. Lett., 1999, v. 20, № 8, pp. 409 411.
- De Salvo В., Gibaudo G., Pananakakis G., Masson P., Baron Т., Buffet N.,. Fernandes A, Guillaumot B. Experimental and theoretical investigation of nano-crystal and nitride-trap memory devices. IEEE Trans. Electron. Dev., 2001, v.48, pp. 17 891 799.
- Lu Z., Lee C., Narayanan V., Pen G., Kan E.C. Metal nanocrystal memories-part II: electrical characteristics. IEEE Trans. Electron. Dev., 2002, v. 49, pp. 1614−1622.
- She V., King T.-J. Impact of crystal size and tunnel dielectric on semiconductor nanocrystal memory performance. IEEE Trans. Electron. Dev., 2003, v. 50, pp. 19 341 940.
- Yang H.G. Shi Y., Gu S.L., Shen В., Han P., Zhang R., ZhangY.D. Numerical investigation of characteristics ofp-channel Ge/Si hetero-nanocrystal memory. -Microelectron. J., 2003. v. 34, pp. 71−75.
- Tiwari S., Rana F., Hanafi H., Hartstein A., Emmanuel F., Crabbe F., Chan К. A silicon nanocrystals based memory. Appl. Phys. Lett., 1996, v.68, pp. 1377−1379.
- Новиков Ю.Н. Энергонезависимая память, основанная на кремниевых нанокластерах. ФТП, 2009, т. 43, № 8, с. 1078−1083.
- Kanoun М., Souifi A., Baron Т., Mazen F. Electrical study of Ge-nanocrystal-based metal-oxide-semiconductor structures for p-type nonvolatile memory applications. -Appl. Phys. Lett., 2004, v. 84, pp. 5079−5081.
- KingY.-C.- King T.-J., Ни C. MOS memory using germanium nanocrystals formed by thermal oxidation of Sil.xGex. IEEE Trans. Electron Devices Meet., 1998, pp. 115 118.
- Maeda J. Visible photoluminescence from nanocrystallite Ge embedded in a glassy Si02 matrix: Evidence in support of the quantum-confinement mechanism. Phys. Rev. B, 1995, v. 51, pp. 1658−1670.
- Ovsyuk N.N., Gorokhov E.B., Grishchenko V.V., Shebanin A.P. Low-frequency Raman scattering by small semiconductor particles. JETP Letters, 1988, v. 47, pp. 298 300.
- Von Borany J., Groetzschel R., Heinig K.-H, Markwitz A., Schmidt В., Skorupa W., Thees H.-J., The Formation of Narrow Nanocluster Bands in Ge-lmplanted Si02-Layers. Solid-State Elelctronics, 1999, v. 43, pp. 1159−1163.
- Choi S., Park В., Kim H., Cho K., Kim S. Capacitance-voltage characterization of Ge-nanocrystal-embedded MOS capacitors with a capping Al203 layer. Semicond.Sci. Technol., 2006, v. 21, pp. 378−380.
- Rizza G. C, Strobel M.,. Heinig K.-H, Bernas H. Ion irradiation of gold inclusions in Si02: Experimental evidence for inverse Ostwald ripening. Nucl. Instr. Meth. In Phys. Res. B, 2001, v. 178, pp. 78−83.
- Kim J. K, Cheong H. J, KimY, Yi J.-Y, Bark H. J, Bang S. H, Cho J.H. Rapid-thermal-annealing effect on lateral charge loss in metal-oxide-semiconductor capacitors with Ge nanocrystals. Appl. Phys. Lett, 2003, v. 82, pp. 2527−2529.
- Ammendola G, Ancarani V, Triolo V, Bileci M, Corso D, Isodiana Crupi I, Perniola L, Gerardi C, Lombardo S, DeSalvo B. Nanocrystal memories for FLASH device applications. Solid-State Electron, 2004, v.48, pp. 1483−1488.
- Baron T, Pelissier B, Perniola L, Mazen F, Hartmann J. M, Rolland G. Chemical vapor deposition of Ge nanocrystals on Si02. Appl. Phys. Lett, 2003, v. 83, pp. 14 441 446.
- Larsen A.N. Germanium quantum dots in Si02: fabrication and characterization. In: Physics, Chemistry and Application of Nanostructures, eds. Borisenko V. E,. Gaponenko S. V, Gurin V. S" World Scientific Singapore, 2003, p. 439.
- Wan Q, Wang T. H, Liu W. L, Lin C.L. Ultra- high-density Ge quantum dots on insulator prepared by high-vacuum electron-beam evaporation. J. Cryst. Growth, 2003, v. 249, pp. 23−27.
- Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Kirienko V.V., Nikiforov A.I., Adkins C.J. Oscillation of hopping conductance in an array of charge-tunable self-assembled quantum dots. J. Phys. Condens. Matter, 1999, v. 11, pp. 9715−9722.
- Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Kirienko V.V., Nikiforov A.I. Ge/Si Quantum Dot Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transitor. Nanostructures: Physics and Technology, St. Petersburg, Russia, 2002. p. 191.
- Dvurechenskii A.V., Nenashev A.V., Yakimov A.I. Electronic structure of Ge/Si quantum dots. Nanothechnology, 2002, v. 13, p. 75−80.
- Slater J.S., Koster G.F. Simplified LCAO Method for the Periodic Potential Problem. Phys. Rev., 1954, v. 94, p.1498−1524.
- Chadi D.J. Spin-orbit splitting in crystalline and compositionally disordered semiconductors. Phys. Rev. B, 1977, v. 16, p.790−796.
- Ненашев A.B., Двуреченский A.B. Пространственное распределение упругих деформаций в структурах Ge/Si с квантовыми точками. ЖЭТФ, 2000, т. 188, с.570−578.
- Jancu J.-M., Scholz R., Beltram F., Bassani F. Empiricalspds* tight-binding calculation for cubic semiconductors: General method and material parameters. -Phys. Rev. B, 1998, v. 57, p.6493−6507.
- Beenakker C.W.J. Theory of Coulomb-blockade oscillations in the conductance of a quantum dot. Phys. Rev. B, 1991, v. 44, p. 1646.
- Popovic D., Fowler A.B., Washburn S., Stiles P.J. Conductance fluctuations in large metal-oxide-semiconductor structures in the variable-range hopping regime. -Phys. Rev. B, 1990, v. 42, pp. 1759−1762.
- Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Nikiforov A.I., Pchelyakov O.P. Charging Dynamics and Electronic Structure of Excited State in Ge Self-Assembled Quantum Dots.- Phys. Low-Dim. Struct., 1999, v. ¾, pp. 99−110.
- Yakimov A.I., Dvurechenskii A.V., Kirienko V.V., Yakovlev Yu.I., Nikiforov A.I., Adkins C.J. Long-range Coulomb interaction in arrays of self-assembled quantum dots.- Phys. Rev. B, 2000, v. 61, pp. 10 868−10 876.
- Якимов А.И., Двуреченский A.B., Никифоров А. И., Чайковский С. В., Тийс С. А. Фотодиоды Ge/Si со встроенными слоями квантовых точек Ge для ближней инфракрасной области (1.3 1.5 мкм). — ФТП. 2003. Т. 37, С. 1383−1388.
- Якимов А.И., Двуреченский А. В., Кириенко В. В., Никифоров А.И. Ge/Si-фотодиоды со встроенными слоями квантовых точек Ge для волоконно-оптических линий связи. ФТТ, 2005, т. 47, с. 37−40.
- Shklyaev A.A., Shibata М., Ichikawa М. High-density ultrasmall epitaxial Ge islands on Si (lll) surfaces with a Si02 coverage. Phys. Rev. 2000, v. В 62, pp. 15 401 543.
- Morris D., Perret N,. Fafard S. Carrier energy relaxation by means of Auger processes in InAs/GaAs self-assembled quantum dots. Appl. Phys. Lett., 1999, v. 75, pp. 3593−3595.
- Yoda Y., Moriwaki O., Nishioka M., and Arakawa Y. Efficient Carrier Relaxation Mechanism in InGaAs/GaAs Self-Assembled Quantum Dots Based on the Existence of Continuum States. Phys. Rev. Lett., 1999, v. 82. pp. 4114−4117.
- Besenbacher F. Scanning tunneling microscopy studies of metal surfaces. Rep. Prog. Phys. 1996, v. 59, pp. 1737−1802.
- Kolobov A.V. Raman scattering from Ge nanostructures grown on Si substrates: Power and limitations. -J. Appl. Phys., 2000, v. 87, pp. 2926−2930.
- Mooney P. M, Dacol F., Tsang J.C., Chu J.O. Raman scattering analysis of relaxed GexSi]~x alloy layers. Appl. Phys. Lett., 1993, v. 62, pp. 2069−2071.
- Abstreiter G, Schittenhelm P, Engel С, Silveira E, Zrenner A, Meertens D, Jager W. Growth and characterization of self-assembled Ge-rich islands on Si. — Semicond. Sei. Technol., 1996, v. 11, pp. 1521−1528.
- Cerdeira F., Buchenauer C.J., Pollac F.N., Cardona F. Stress-Induced Shifts of First-Order Raman Frequencies of Diamond- and Zinc-Blende-Type Semiconductors. -Phys. Rev. B, 1972, v. 5, pp. 580−593.
- Groenen J., Carles R., Cristiansen S., Albrecht M., Dorsch W., Strunk H.P., Wawra H., Wanger G. Phonons as probes in self-organized SiGe islands. Appl. Phys. Lett., 1997, v. 71, pp. 3856−3858.
- Yakimov A.I., Stepina N.P., Dvurechenskii A.V., Nikiforov A.I., Nenashev A.V. Excitons in charged Ge/Si type-II quantum dots. Semicond. Sci. Technol., 2000, v. 15, pp. 1125−1130.
- ГОСТ 1772–88 Приемники излучения полупроводниковые фотоэлектрические и фотоприемные устройства. Методы измерения фотоэлектрических параметров и определения характеристик. — М.: Изд-во стандартов, 1988, с. 66.
- Приемные оптические модули ДФДМШ40−16, www.dilas.ru.
- Землянов А.А., Кириенко В. В., Якимов А. И., Донченко В. А. Исследование временных характеристик фотодетекторов на основе наногетероструктур Ge/Si. Известия высших учебных заведений, 2010, № 5, с. 64 — 67.
- Двуреченский А.В., Зиновьев В. А., Кудрявцев В .А., Смагина Ж. В. Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при гетероэпитаксии Ge/Si из молекулярных пучков. Письма в ЖЭТФ, 2000, т. 72, № 3, с. 190−194.
- Dvurechenskii A. V, Smagina Zh.V., Groetzschel R., Zinoviev V.A., Armbrister V.A., Novikov P.L., Teys S.A., Gutakovskii A.K. Ge/Si quantum dot nanostructures grown with low-energy ion beam-epitaxy. Surface & Coating Technology, 2005, v. 196, pp. 25−29.
- Ригс.В., Паркер M. Анализ поверхности методом рентеновской фотоэлектронной спектроскопии в кн. «Методы анализа поверхности», М. Мир, 1978, с 142−149.
- Cho В, Schwarz-Selinger Т, Ohmori К, Cahill D.G., Greene J.E. Effect of growth rate on spatial distributions of dome-shaped Ge islands on Si (001). Phys. Rev. B, 2002, v. 66, pp. 195 407−195 411.
- McDaniel E.P., Jiang Q., Crozier P.A., Drucker J., Smith D.J., Kinetic control of Ge (Si)/Si (100) dome cluster composition. Appl. Phys. Lett., 2005, v. 87, pp. 223 101 223 103.
- Stepina N.P., Dvurechenskii A.V., Armbrister V.A., Kesler V.G., Novikov P.L., Gutakovskii A.K., Kirienko V.V., Smagina Zh.V. Pulsed ion-beam induced nucleation and growth of Ge nanocrystals on Si02. Appl. Phys. Lett., 2007, v. 90, p. 133 120.
- Paine D.C., Caragianis C., Schwartzman A.F. Oxidation of Sij-xGex alloys at atmospheric and elevated pressure. J. Appl. Phys., 1991, v. 70, pp. 5076−5084.
- Lion H.K., Mei P., Gennser U., Yang E.S. Effects of Ge concentration on SiGe oxidation behavior. Appl. Phys. Lett., 1991, v. 59, pp. 1200−1202.
- Eugene J., LeGoues F.K., Kesan V.P., Lyer S.S., d’Heurle F.M. Diffusion versus oxidation rates in silicon-germanium alloys. Appl. Phys. Lett., 1991, v.59, pp.78−80.
- Sass T., Zela V., Gustafsson A., Pietzonka I., Seifert W. Oxidation and reduction behavior of Ge/Si islands. Appl. Phys. Lett., 2002, v.81, pp. 3455−3457.
- Швец B.A., Спесивцев E.B., Рыхлицкий C.B., Михайлов H.H. Эллипсометрия — прецизионный метод контроля тонкопленочныхструктур с субнанометровым разрешением. Российские нанотехнологии, 2009, т. 4, № 3, с. 72−85.
- Novikov P., Heinig K.-H., Larsen A., Dvurechenskii A.V. Simulation of ionirradiation stimulated Ge nanocluster formation in gate oxides containing Ge02 Nucl. Instum. Methods Phys. Res. B, 2002, v. 191, pp. 462−467.
- Spenser B.J., Tersoff J. Stresses and first-order dislocation energetics in equilibrium Stranski-Krastanow islands. Phys.Rev. B, 2001, v. 63, pp. 205 424- 205 432
- Tillmann K., Forster A. Critical dimensions for the formation of interfacial misfit dislocations of Ino.0Gao.4As islands on GaAs (OOl). Thin Solid Films, 2000, v. 368, pp. 93−104.