Ионно-плазменное осаждение пленок a-C: H и их свойства
Диссертация
В пленках а-С:Н, полученных при определенных условиях разложения ионно-плазменым (магнетронным) распылением углеводород содержащих газов, атомы углерода образуют тетраэдрические связи. Такой материал, совместимый по технологии с a-Si:H, может использоваться для формирования гетеропереходов, сверхрешеток с a-Si:H и может быть использован при создании тонкопленочных солнечных элементов, приборов… Читать ещё >
Список литературы
- Клубович В. В., Хамчуков Ю. Д., Егоров В. Д., Спектры КР углеродных покрытий на металлической основе // ЖПС, 1993, Т.59, С. 86 89.
- Kobashi К., MutsukuraN., Mashi Y., Deposition of hard carbon films by the RF glow discharge methods // Thin solid films, 1987, V.158, P. 233 238.
- Kudoyarova V.Kh., Zvonareva Т.К., Shvarts M.Z., Study of diamond-like carbon films for antireflective coatings // Тезисы докладов II Международной конференции «Аморфные и микрокристаллические полупроводники», Санкт-Петербург, 2000, С. 79 .
- Kania D., Landstrass M., Piano M. et al. Diamond radiation detectors // Diamond and Related Materials, 1993, V. 2, P. 1012 -1019.
- Tsai H., Bogi D.B. Critical review., Characterisation of diamond-like carbon films and their application as overcoats on thin-film media for magnetic recording// J. Vac. Scl. Techn. A, 1987, V.5, P.3287−3310.
- Hammer P. et al., Electrical characterisation of plasma-deposited hydrogenated amorphous carbon films //Mat. Sci. & Ing, 1991, A 139, P.334 338.
- Klein C., Diamond windows for IR application in adverse environments // Diamond and related materials, 1993, V. 2, P.1024 1032.
- Браун Т., Лемей Г. Ю., Химия в центре наук, М., Мир, 1983, ч.1.
- Ю.Костиков В. И., Шинков Н. Н., Калашников Я. А., Дымов Б. К.,
- Шевяков В.П., Бубненков И. А. Графитация и алмазообразование, М., Металлургия, 1991, С. 224.
- П.Немойтин М. А., Фридленд М. Г., Шилова Г. С., Химия высоких энергий, 1979, Т. 13, N.3, С. 280.
- KrotoH.W., Smalley R. //Nature, 1985, V.318, P.162.
- Kratschmer W. et al. //Nature, 1990, V.347, P.354.
- Mildner D.F., Carpenter J.M. // J. Non-Cryst. Sol., 1982, V.47, p.391.
- Arakava E.T., Williams M.W., Inagaki Т., Optical properties of arc-evaporated carbon films between 0.6 and 3.8 eV // J. of Appl. Phys., 1977, V.48, P.3176 3177.
- Buck V., Bur am Orde J., Mausbach M., Deposition of diamond-like carbon films by the anodic arc technique // Materials science and engineering, 1991, V. 140, P. 770 774.
- Ingram D. Diamond-like carbon fabrication and modification using ion beams//Surface Modification Technologies, 1992, V.2, P.327 342.
- Aisenberg S., Chabot R. Ion-beam deposition of thin films of diamondlike carbon//J. Appl. Phys., 1971, V.42, P.2953−2958.
- Scaglione S., Emiliani G. Mechanical properties of a-C:H thin films produced by dual Ion beam sputtering // J.Vac.Technol. A, 1989, V.7, P.2303 -2306.
- Технология тонких пленок / Под ред. Майселла JI. и Гленга Р. М.: Советское радио, 1989, 2 тома, 768 с.
- Staryga Е., Lipinski A., Mitura S. Electrical conductivity and optical absorption of carbon films produced by RF decomposition of hydrocarbon // Thin solid Films, 1986, V. 145, P. 17−21.
- Szmidt J., Duszak M. Diamond-like layers as passivation coatings for semiconductor devices // High Performance Ceramic Films and Coatings, 1991, P. 729 734.
- Marotta E. et al. Diamond-like carbon as an electrical Insulator of copper devices for chip cooling // Thin Solid Films, 1991, V. 206, P.188 191.
- Абдулвагабов M. III., Шахшаев Г. М., Сафаралиев Г. К., Гамзатов А. Г., Косарев А. И., Маника И. П., Теплофизические свойства пленок а-С:Н //
- Nataraja V. et al. Diamond-like carbon films: Optical absorption, dielectric properties, and hardness dependence on deposition parameters // J. Vac. Sci. Technol., 1985, A 3(3), P. 681 -685.
- Hammer P. et al. Microwave plasma apparatus for deposition of hydrogenated amorphous carbon layers //Mat.Sci.& Ing., 1991, A.140, P.784 -787.
- Smith F. Optical constants of hydrogenated amorphous carbon films // J.Vac.Phys., 1984, V.55, P. 764 771.
- Angus J., Will Н., Stanko W., Growth of diamond-seed crystals by vapor deposition // J. Appl. Phys., 1968, V.39, P.2915 2922 .
- Ingram D., McCormlck A. The effect of MeV ion irradiation on the hydrogen content and resistively of direct ion beam deposited diamond-like carbon // Nuclear Instrument and Methods in Physics Reasears, 1988, V. 34, P.68 73.
- Matsumoto S., Sato Y., Kamo M., Setaka N. Vapour deposition of diamond particle from ethane//J. Appl. Phys., 1982, V.21, P.183 185.
- Sawabe A., Inuzuka T. Diamond-like carbon films synthesis from gas phase//J. Thin solid films, 1986, V.137, P.89 94.
- Angus J.C., Wang Y., Sunkara M. Metastable growth of diamond and diamond-like phase//Annu. Rev. Mater. Sci., 1991, V.21, P.221 -246.
- Коншина E.A., Поглощение и ширина оптической щели пленок а-С:Н, полученных из ацетиленовой плазмы//ФТП., 1999, Т. ЗЗ, Вып.4,С.469−475.
- Виноградов А.Я., Андронов А. Н., Косарев А. И., Абрамов А. С., Плазмохимическое напыление и эмиссионные свойства углеродных пленок, осаждаемых при низкой температуре // ФТП., 2001, Т.35, Вып. 6, С.698−702.
- Angus J.C., Stultz J.E., Shiller Р, J. Composition and properties of so-called «diamond-like» amorphous carbon films // Thin solid films, 1984, V.118, P. 311 -320.
- Блинов И., Кожитов Л. Оборудование полупроводникового производства, М.: Машиностроение, 1986.
- Savvides N. Optical constant and associated function of metastable DLamorphous carbon films In the energy range 0.5 -7.3 eV // J. Appl. Phys., 1986, V. 59, P. 4133 -4145.
- Orzheshko S., Bhola N., Woolam J. et. el. Thin-film hermetically: A quantitative analysis of diamond-like carbon using variable angle spectroscopic ellipsometry // J.Appl. Phys., 1988, V. 64, N. 8, P. 4175−4180.
- Kleber R., Dworschak W., Gerber J. et al. Investigations of the structure ofa-C:H films//Mater. Sci. andEngin., 1991, V. A140, P.775−779.
- Sawides N., Window B. DL amorphous carbon films prepared by magnetron sputtering graphite // J. Vac. Sci. Tech., 1985, V.3, P.2386 2390.
- Данилин B.C., Сырчин В. К. Магнетронные распылительные системы, М., Радио и связь, 1982.
- Morosanu С., Tomozeiu N., Cordos С., Stolka Т. Unhydro-genated DLC films obtained by magnetron sputtering. In book: NATO ASI Series. Wide band gap electronic materials / Edited by M. Prelas et al. Kluver Academic Publishers, 1995, P. 243 — 248.
- Benndorf C. et al. Structural and mechanical properties of niobium-containing amorphous hydrogenated carbon films (Nb-C:H) // Mat. Sci. & Eng., 1991, V. 140, P. 795 -801.
- Звонарева Т. К, Шаронова JI.B., Влияние материала подложки на скорость роста и оптические параметры слоев а-С:НУ/ ФТП., 1999, Т. ЗЗ, Вып.6, С.742−746.
- Звонарева Т. К, Иванов-Омский В.И., Нащекин А. В., Шаронова JI.B., Особенности роста пленок а-С:Н и а-С:Н<�Си> при магнетронном распылении//ФТП., 2000, Т.34, Вып.1, С.96−101.
- Tsai Н., Bogy D.B. Characterization of diamond-like carbon films and their application as overcoats on thin-film media for magnetic recording // J.Vac.Sci. Technol. A., 1987, V.5, No.6, P.3287.
- Плазменная технология в производстве СБИС /Под ред. Н. Аинспрука и Д. Брауна / Пер. с англ. М.: Мир, 1987, -471 с.
- Байтингер Е.М. Электронная структура конденсированного углерода. Свердловск, 1988, 152 с.
- Rother В., Siegel J., Muhling J. Catholic arc deposition of diamond-like carbon: effect of bias voltage and deposition angle // Mater. Sci. and Engin., 1991, V 140, P.780 783.
- Lettington A. Optical application and improved deposition processes for diamond-like carbon coatings // SPIE, 1988, V. 969, Diamond optics, P. 153 158.
- Knight J.C. Structural and chemical characterisation of a-Si:H. In book: The Physics of hydrogenated amorphous silicon, Part 1 / Ed. G. Joannopoulos and G. Lucosky. Springer-Verlag, 1984, 285 p.
- Меден А., Шо M. Физика и применение аморфных полупроводников. М.: Мир, 1991, 670 с.
- Kobashi К., Nishimura К., Miyata К., Kawate Y. Surface morphology and defect structures in microwave CVD diamond films // SPIE, 1988, V. 969, Diamond optics, P. 159 167.
- Смит А. Прикладная ИК спектроскопия, M.: Мир. 1982, 238 с.
- Nadler P., Donovan Т., Green A. Thermal annealing study of carbon films formed by plasma decomposition of hydrocarbons// Thin solid films, 1984, V.116, P.241 -247.
- Dischler В., Bubenzer A., Koldi P. Hard carbon coating with low optical absorption // Solid State Commun., 1983, V. 48, P 105 108.
- Kobashi K., Nishlmura K. et al. Surface morphology and defect structures In microwave CVD diamond films // SPIE, 1988, V. 969, Diamond optics, P.159- 167.
- Schaarschmidt G. et al. Plasma and particle flux characterisation of the a-C:H deposition process by Ion-assisted methods // Mat. Sci.&Eng., 1991, V. 140, P.788 794.
- Клубович В. В., Хамчуков Ю. Д., Егоров В. Д. Спектры углеродных покрытий на монокристаллах хлорида натрия // ЖПС, 1993, Т.58, С. 448 455.
- Nemanich RJ. Grown and characterisation of diamond thin films // Annu. Rev. Mater. Scl., 1991, V.21, P.535 558.
- Звонарева Т.К., Иванов-Омский В.И., Ястребов С. Г., Голубок А. О., Горбенко О. М., Розанов В. В., Исследование морфологии поверхности пленок аморфного гидрогенизированного углероде, модифицированного медью//ФТП, 2001, Т.35, Вып.2, С.237−241 .
- Moravec T.J., Orent T.W. Electron spectroscopy of ion beam and hydrocarbon plasma generated diamond-like carbon films// J.Vac.Sci. Technol., 1981, V. 18, No.2, P.226.
- CRC Handbook of Chemistry and Physics, 63rd ed., ed. by R.C. Weast, Boca Raton, FL, CRC, 1983, P. F-186.
- Mori T. and Namba Y. Hard diamond like carbon films deposited by ionized deposition of methane gas // J.Vac.Sci. Technol. A, 1983, V. l, No. l, P.23.
- Pirker K., Schallauer R., Fallmann W., Olcaytug F., Urban J., Jachimowicz A., KohlF., ProhaskaО. /ЯЪт Sol. Films, 1986, V. l38, P. 121.77,Ojha S.M., Norstrom H., McCulluch DM Thin Sol. Films, 1979, V.60, No.2, P.213.
- Tsai H. Structure Mid physical properties of amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) films.//Materials Science Forum, 1989, Vols.52−53, P.71.
- Stone D., La Fontaine W.R. et al. // J.Mater.Res., 1988, V.3, No. l, P.25.
- Morita.S. at al.// Pure Appl.Chem., 1985, V.59, P.1277.
- Harding G.L., Craig S. Magnetron-sputtered metal carbide solar selective absorbing surfaces.//J.Vac.Sci.Technol., 1979, V. 16, No.3, P.857.
- Angus J.C., Koidl P., Domitz S. Plasma Deposited Thin Films, in: J. Mort and F Jansen, Eds, CRC Press, Inc., Boca Raton, Florida, 1986.
- Memming R. // Thin Sol.Films, 1986, V.143, P.279.
- Cohen M.H., Fritzche H., Ovshinsky S.R. Simple band model for amorphous semiconductors alloys.// Phys.Rev.Lett., 1969, V.22, No.20,P. 1065.
- Coudene P., Cabheline Y.// Thin Sol. Films, 1987, V.146, P.93−107.
- Bubenzer A., Dischler B, Brandt G. and Koidl P. rf-plasma deposited amorphous hydrogenated hard carbon thin films: Preparation, properties and applications. //JAppl.Phys., 1983, V.54, No.8, P.4590.
- Sleptsov V.V., Baranov A.M., Kuzin A. A., Elinson V.M. Electrical and optical properties of carbon films. In book «Physics and Technology of Diamond Materials». Moscow: Polaron Publishers, 1994, P. 80 — 87.
- Stoika Т., Dragomir A. et al. Optical properties of sputtering and glow discharge a-C:H films. In book: NATO ASI Series. Wide band gap electronic materials / Edited by M. Prelas et al. Kluver Academic Publishers, 1995, P. 285−290.
- Шулепов C.B. Физика углеграфитовых материалов. M.: Металлургия, 1972, 254 с.
- Карасов В.Ю., Шомин С. Н. Физические свойства углеграфитовых материалов, Челябинск, 1983, 176 с.
- Dyer Н.В., Rual F.A., Du Preez L., Loubser J.H.N. Optical absorption features associated with paramagnetic nitrogen in diamond.// Phil.Mag., 1965, V. ll, No. 112, P.703.
- Wen L. Hsu et al. Molecular beam mass spectrometry study of chemical vapour deposition of diamond//J. Appl. Phys., 1994, V.33, P 2231 -2239.
- Morgan M. // Thin SoLFilms, 1971, V.7, P.313.
- MOTT H., Дэвис Э. M., Электронные процессы в некристаллических веществах. Мир, 1982, Т.1 и 2. 664 с.
- G.G. Hauser. Hopping conductivity in amorphous carbon films// Sol.St.Com., 1975, V.17, No.12, P.1575.
- Hauser JJ. Electrical, structural and optical properties of amorphous carbon.//J. Non-Cr.Sol., 1977, V.23, No. l, P.21.
- Matsumoto S., Sato Y., Tsutsumi M., Setaka N. // J.Mater.Sci., 1982, V.17, P.3106.
- Matsumoto S. // J.Mater.Sci.Lett, 1985, V.4, P.600.
- Wessmantel C., Bewilogua K., Dietrich D., Erler H.-J., Hinneberg H.-J., Klose S., NowickW., ReisseG.// Thin Sol. Films, 1980, V.72, P.19.
- Has Z., Mitura S., ClapaM., Szmidt J. //Thin Sol. Films, 1986, V.136, P.161.
- Jones D.I., Stewart A.D. Properties of hydrogenated amorphous carbon films and the effects of doping. //Phil.Mag.B., 1982, V.46, No.5, P.423.
- Graebner J.E., Golding B. // Phys. Rev. B, 1986, V.34, P.5696.
- Lohneysen H.V. //Phys. Rep, 1981, V.79, P. 161.105 .Field J.E., The properties of Diamond, Academic press, London, 1990, 674 p.
- Spitsyn B.V. // Handbook of Crystal Growth.V.3.Elsevier Seience B.V., 1994, P.403.
- Образцов A.H., Павловский И. Ю., Ральченко В. Г., Окуши X., Ватаиабе X., Определение теплопроводности алмазных поликристаллических пленок с помощью фотоакустического эффекта //ЖТФ, 1999, Т.69, Вып.4, С.97−101 .
- Образцов А.Н., Павловский И. Ю., Окуши X., Ватанабе X., Влияние структурных особенностей на теплопроводности поликристаллических алмазных пленок //ФТТ, 1998, Т.40, Вып.7, С.1221−1225.
- Ивановский Г. Ф., Петров В. И., Ионно-плазменная обработка материалов, М. :Радио и связь, 1986, 195 с.
- ПО.Плазменная технология в производстве СБИС, под ред. Н. Айнспрука, М. Мир, 1987, 456 с.
- Технология СБИС, под ред. С. Зи, М.:Мир, 1986, Т.2, 400 с.
- Ивановский Г. Ф., Слепцов В. В., Елинсон В. М., Кондратов П. Е., Ионно-плазменное осаждение пленок углерода в производстве изделий электронной техники, Электронная промышленнностъ, N12, 1989, С.26−29.
- Лабунов В. А., Данилович Н. И., Уксусов А. С., Минайчев В. Е., Современные магнетронные распылительные устройства //Зарубежная электронная техника, 1982, Вып. 10, С.2−62.
- Swanepoel R., Determination of the thickness and optical constants of amorphous silicon // J. Phys. E: Sci. Instrum., 1983, Vol. 16, P 1214 1222 .
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок . -М.: Энергоатомиздат, 1989, -327с.
- James J.F. On the use of a photomultiplier as a photon counter .Mot. NotR. AstorSoc., 1967, Vol.137, P.15.
- Totnill A. A., Measurement of very low spectral intensities .EMI. Ltd, Document, Ref. R/P029Z70.
- Anthony T.R., Fleisher J.L. // J. Appl. Phys., 1991, V.22, P.981.
- Лыков A. H., Теория теплопроводности. M.: Высшая Школа, 1967, 600с.
- Bruce R.H., ConnelD.S.// Phys. Rev., 1973, V.15, P.914.121 .Чеперин B.T. Ионный зонд. Киев: Наумова думка, 1981.
- Горелик С.С., Расторгуев Л. Н., Скаков Ю. А. Рентгенографический и электронографический анализ.- М: Металлургия, 1970, 368с.
- Эндрюс К., Дайсон Д., Киоун С. Электронограммы и их интерпретация. -М.: Мир, 1971, 256с.
- Хирш П., Хови А., Пэшли Д., Уэлан М. Электронная микроскопия тонких кристаллов. -М.: Мир, 1968, 574с.
- Beeman D., Silberman J., Lguds R., Anderson M.R. Modeling studies of amorphous carbon //Phys. Rev. B, 1984, Vol.30, N2, P.970−975.
- Гавриленко В.И., Оптические свойства полупроводников, справочник, Киев, Наукова Думка, 1987.450с.
- Robertson J., Deposition of diamond -like carbon // Phil. Trans. R. Soc. bond. A, 1993, V.342, P.277−286.
- Smith F. W., Optical constants of a hydrogenated amorphous carbon films// J.Appl.Phys., 1984, V.55, No.3, P.764−771.
- Mui R., Basa D. K., Smith F. W., Coderman R., Optical constants of series of amorphous hydrogenated silicon-carbon alloy films //Phys.Rev. B, 1987, V.35, No.15, P.80−89.
- Эмин Д. Электрические и оптические свойства аморфных тонких пленок. В кн.: Тонкие поликристаллические и аморфные пленки: Физика и применение/ Под ред. Казамерзки JI. М.: Мир. 1983. 304 с.
- Иванов-Омский В.И., Толмачев, А.В., Ястребов С. Г., Оптические свойства пленок аморфного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита// ФТП, 2001, Т.35, Вып.2, С.227−232.
- Spear W. Е., Le Comber P.G., Optical constant of hydrogenated amorphous carbon films //Phil.mag.B43, 1981, P.781−785.
- Аморфные полупроводники // Под ред. Бродски М. М.: Мир. 1982.419 с.
- Аморфные полупроводники и приборы на их основе// Под ред. Й. Хамакава. -М.: Металлургия, 1986, 576с.
- Гавриленко В.И., Грехов A.M., Оптические свойства полупроводников, Справочник, Киев, Наукова думка, 1987, С.95−106.
- Аверьянов B. JL, Федоров В. А., Ястребов С. Г. О применении многоугловой эллипсометрии для исследования и контроля тонкослойных поглощающих оптических покрытий. //ЖТФ, 1994, Т.64, No. l, С. 103−117.
- Пшеницын В.И., Абаев М. И., Лызлов Н. Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. JL, Химия, 1986, 152с.
- Dischler В., Bubenser A., Koidl P., Hard carbon coatings with low optical absorption//Appl.Phys.Lett., 1983, V.42,P.636−638.
- Anderson D., Similar a-C:H films //Phil.Mag., 1977, V.35, P.17−22.
- Spear W. E., Allen D, Le Comber P.G., Structure investigation of thin films of Diamond like carbon //Phil.mag.B41,1980, P.419−430.
- Elliot S. R., AC conductivity due to intimate pairs of charged defect centers //Sol. State Comm., 1978, V.27, N8, P694−751.
- Siebert W., Carius R., Fuhs W., Jahn K. // Phys.St.Sol.(b), 1987, V.140, No. l, P.311−321.
- Sussman R. S., Lander E. H. // J.de Phys., 1981, V.42, P. C4−1029--C41032.
- Sussman R. S., Ogden R. // Phil.Mag., 1981, V. B44, No. l, P.137−146.
- Masumoto Y., Kunitomo H., Shionoga Sh., Munnekata H., Kukimoto H. // Sol. St. Commum., 1984, V.51, No. l, P.209−212.
- Васильев В.А., Волков A.C., Мусабеков E., Фототоминесценция аморфных пленок a-SiixCx:H // ФТП, 1990, Т.24, Вып.4, С.710−716.
- Francesca D., StefFen S., Alberto Т., Photoluminescence in a-C:H films //Phy.Rev.B, 1995, No.4, V.51, P.2143−2147.
- Xinxing Yang, Barnes A.V., Albert M.M., Albridge R.G., McKinley J.T., and Tolk N.H., Cathodoluminescence and photoluminescence from chemical vapor deposited diamond//J.Appl.Phy., 1995, V.77, No.4, P. 1758−1761.
- Бабаев A.A., Абдулвагабов М. Ш., Особенности фотолюминесценции аморфного алмазоподобного гидрогенизированного углерода // Письма в ЖТФ, 1989, Т.15, Вып.14, С.75−79.
- Васильев В.А., Волков А. С., Мусабеков Е&bdquo-, Теруков Е.Н., Особенности фотолюминесценции пленок аморфного гидрогенизированного углерода а-С:Н // Письма в ЖТФ, 1988, Т. 14, Вып. 18, С. 1675−1679.
- Obraztsov A.N., Okushi Н., Watanabe Н., Pavlovsky I.Yu. // Diamond and Related Materials, 1998, V.7, P. 1513−1518.
- Но Н.Р., Lo К.С., Tjong S.C., Lee S.T. // Diamond and Related Materials, 2000, V.9, P.1312−1319.
- Schmidt R., Franke Т., Haussler P. // Journal of Non-Crystalline Solids, 1999, V.5,P.811−814.
- Cheung A.C., Leung K.M., Sun C. Liu B.C., Woo H.K., Lee S.T., Shi X.Q. // Diamond and Related Materials, 1999, V.8, P. 1607−1610.
- Гамзатов А.Г. // Тезисы докладов ВНКСФ-7, С-Петербург, 2001, С.89−90.
- Абдулвагабов М.Ш., .Шахшаев Г. М, Г Сафаралиев.К., Гамзатов А. Г., Косарев А. И., Маника И. П. // Тезисы докладов II международной конференции по микрокристалическим полупроводникам, г. С-Петербург, 2000, С. 56.