Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Исследование процесса и разработка аппаратов ультразвукового диспергирования жидкостей

Диссертация: Исследование процесса и разработка аппаратов ультразвукового диспергирования жидкостей
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Наиболее эффективным способом интенсификации рассматриваемых процессов является развитие поверхности контакта фаз между веществами, находящимися в жидкой и газообразной фазах, за счет увеличения свободной поверхности вещества, находящегося в жидкой фазе. Увеличение свободной поверхности жидкости может реализовываться различными способами: при помощи барботажа вспенивания жидкости, создания пленки… Читать ещё >

Исследование процесса и разработка аппаратов ультразвукового диспергирования жидкостей (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Введение. Ю
  • 1. Применение диспергирования жидкостей и необходимость использования новых перспективных способов диспергирования
    • 1. 1. Способы диспергирования жидкостей
      • 1. 1. 1. Гидравлическое диспергирование
      • 1. 1. 2. Механическое диспергирование
      • 1. 1. 3. Пневматическое диспергирование
      • 1. 1. 4. Электростатическое диспергирование
    • 1. 2. Анализ состояния процессов химических технологий, основанных на диспергировании жидкостей
      • 1. 2. 1. Мокрая очистка газов от дисперсных примесей
      • 1. 2. 2. Очистка газов от примесей
      • 1. 2. 3. Распылительная сушка
      • 1. 2. 4. Проблемы распылительной технологии, перспективные способы диспергирования жидкостей
    • 1. 3. Принцип и физический механизм ультразвукового диспергирования жидкостей
      • 1. 3. 1. Классификация способов ультразвукового диспергирования жидкостей
  • Q 1.3.2 Механизмы каплеобразования при диспергировании жидкости в слое
    • 1. 3. 3. Анализ факторов, влияющих на эффективность ультразвукового диспергирования
    • 1. 4. Практическая реализация и применение ультразвукового диспергирования
    • 1. 4. 1. Существующие ультразвуковые аппараты для диспергирования жидкости
    • 1. 4. 2. Структура ультразвукового оборудования для диспергирования жидкости
    • 1. 5. Постановка задач исследования
  • 2. Теоретическое исследование процесса ультразвукового диспергирования жидкостей с целью установления оптимальных режимов ультразвукового воздействия
    • 2. 1. Анализ физического механизма процесса диспергирования жидкостей путем кавитационного возбуждения капиллярных волн
      • 2. 1. 1. Определение зависимости звукового давления в слое диспергируемой жидкости от толщины этого слоя
      • 2. 1. 2. Определение радиуса кавитационного пузырька в зависимости от факторов, влияющих на процесс кавитации
      • 2. 1. 3. Определение величины амплитуды давления во фронте ударной волны, возникающей при захлопывании кавитационного пузырька
      • 2. 1. 4. Определение амплитуды капиллярных волн, возникающих на поверхности жидкости
    • 2. 2. Теоретические основы управления процессом ультразвукового диспергирования
      • 2. 2. 1. Контроль толщины слоя диспергируемой жидкости
      • 2. 2. 2. Определение вязкости диспергируемой жидкости
  • 3. Исследование процесса и выявление оптимальных режимов ультразвукового диспергирования
    • 3. 1. Подтверждение кавитационной природы диспергирования жидкостей
    • 3. 2. Разработка экспериментального стенда для определения оптимальных условий диспергирования
      • 3. 2. 1. Принцип электромеханических аналогий
      • 3. 2. 2. Выбор материалов для проведения экспериментальных исследований
      • 3. 2. 3. Методика проведения экспериментальных исследований
      • 3. 2. 4. Определение собственных характеристик колебательной системы и коэффициентов пропорциональности между измеряемыми электрическими сигналами и соответствующими физическими величинами
      • 3. 2. 5. Определение оптимальных условий ультразвукового диспергирования
  • 4. Практическая реализация ультразвукового диспергирования жидкости
    • 4. 1. Разработка способа управления процессом ультразвукового диспергирования
    • 4. 2. Разработка структурной схемы ультразвукового аппарата для ^ реализации предложенного способа управления процессом ультразвукового диспергирования
    • 4. 3. Создание ультразвуковых аппаратов, реализующих предложенный способ управления процессом диспергирования
      • 4. 3. 1. Разработка схемы электрической принципиальной электронного генератора ультразвуковой частоты
      • 4. 3. 2. Разработка ультразвуковых колебательных систем для диспергирования жидкости
      • 4. 3. 3. Разработка рабочих инструментов для диспергирования жидкостей
    • 4. 4. Подтверждение эффективности разработанного способа управления процессом диспергирования в реальных технологических процессах
      • 4. 4. 1. Нанесение фоточувствительного слоя на поверхность кремниевой пластины путем диспергирования фоторезиста
      • 4. 4. 2. Применение ультразвукового диспергирования для химико-механического полирования полупроводниковых пластин
      • 4. 4. 3. Применение ультразвукового диспергирования для оптимизации процесса тепловой сушки жидких растительных экстрактов

Большинство процессов химической технологии реализуется в гетерогенных системах, в частности, в двухфазных системах жидкость — газ.

Наиболее эффективным способом интенсификации рассматриваемых процессов является развитие поверхности контакта фаз между веществами, находящимися в жидкой и газообразной фазах, за счет увеличения свободной поверхности вещества, находящегося в жидкой фазе. Увеличение свободной поверхности жидкости может реализовываться различными способами: при помощи барботажа вспенивания жидкости, создания пленки жидкости, смачиванием жидкостью различных насадок, диспергированием жидкости.

Диспергирование представляет собой технически наиболее просто реализуемый способ увеличения свободной поверхности жидкости, а его совершенствование является одной из важнейших задач химической промышленности. Этот факт базируется на существовании широкого спектра технологических процессов, в которых используется диспергирование, или реализация которых вообще невозможна без применения диспергирования жидкостей.

Примером таких технологических процессов могут служить: в области химической технологии — мокрая очистка газов от различных дисперсных примесей, абсорбция газовых примесей, как для их очистки, так и для выделения целевых компонентов, сушка и одновременное гранулирование материаловв области радиоэлектронной промышленности — нанесение паяльных флюсов при автоматическом изготовлении печатных плат, покрытие полупроводниковых пластин фоточувствительным слоем на стадии фотолитографии при производстве полупроводниковых схем и др. Все перечисленные технологические процессы являются базовыми в своих отраслях промышленности, поэтому эффективная реализация процесса диспергирования в этих технологиях является важной задачей.

Проведенный анализ показал, что наиболее широко используемые на практике способы диспергирования (так называемые традиционные способы): гидравлическое, механическое, пневматическое и электростатическое диспергирование обладают большим количеством недостатков, которые значительно снижают эффективность технологических процессов, осуществляемых на их основе.

В этой связи перспективным направлением совершенствования технологических процессов является применение новых способов диспергирования жидкостей. К таким способам относится диспергирование за счет использования энергии механических колебаний ультразвуковой (УЗ) частоты высокой интенсивности — ультразвуковое диспергирование.

Ультразвуковое диспергирование имеет ряд существенных преимуществ по сравнению с традиционными способами диспергирования:

— низкая энергоемкость;

— высокая производительность;

— возможность получать мелкодисперсное диспергирование;

— возможность получать монодисперсное диспергирование;

— возможность диспергировать высоковязкие жидкости без предварительного снижения их вязкостей при помощи различных растворителей.

Ультразвуковой способ пока не получил промышленного применения в широких масштабах. Это в первую очередь связано с сильной зависимостью производительности диспергирования от свойств диспергируемой жидкости, приводящей к необходимости подбора необходимой величины ультразвукового воздействия для каждой диспергируемой жидкости в зависимости от ее свойств, площади диспергирующей поверхности и требуемой производительности диспергирования. На сегодняшний день, ввиду недостаточности знаний о процессах, происходящих в диспергируемой жидкости, их взаимном влиянии, подбор требуемой величины ультразвукового воздействия осуществляется вручную, на основании субъективных ощущений оператора или по косвенным признакам. Это приводит к практической невозможности определения оптимальных условий диспергирования, что вызывает ухудшение дисперсных характеристик образующихся капель жидкости, и невозможности обеспечения монодисперсного диспергирования (а в ряде случаев и к невозможности поддержания самого процесса диспергирования) жидкости при изменяющихся условиях течения технологического процесса (температура, вязкость жидкости, производительность диспергирования).

Несмотря на существенность обозначенной проблемы, в настоящее время существует крайне мало теоретических исследований и практических наработок, позволяющих ее решить. Таким образом, задача изучения степени влияния свойств жидкости на процесс ее диспергирования и определение необходимых параметров ультразвукового воздействия является актуальной.

Целью работы является совершенствование процесса ультразвукового диспергирования жидкостей за счет обеспечения автоматического поддержания оптимальных режимов ультразвукового воздействия при реализации различных процессов химической технологии.

Работа является продолжением исследований, проводимых в «Лаборатории акустических процессов и аппаратов» Бийского технологического института (филиала) Государственного образовательного учреждения высшего профессионального образования «Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова». Автор выражает глубокую благодарность коллективу лаборатории, а также Хмелеву Владимиру Николаевичу за полезные замечания и консультации, поддержку и помощь в работе.

Заключение

.

В результате выполнения работы усовершенствован процесс ультразвукового диспергирования жидкостей за счет определения оптимальных режимов ультразвукового воздействия путем исследования явлений, происходящих в жидкости при ее ультразвуковом диспергировании, и изучения влияния свойств жидкости на эффективность ультразвуковых аппаратов. При достижении поставленной цели были решены следующие частные задачи:

— показана возможность повышения эффективности ультразвукового диспергирования жидкостей за счет выявления, установления и автоматического поддержания оптимального режима ультразвукового воздействияопределены свойства жидкостей, оказывающие наибольшее влияние на процесс диспергирования и требующие учета их влияния;

— разработана теоретическая модель, поэтапно описывающая процесс преобразования ультразвуковой энергии от момента ее излучения в слой диспергируемой жидкости до момента ее затрачивания на образования капиллярных волн на поверхности жидкости и позволившая определить оптимальную толщину слоя диспергируемой жидкости в зависимости от свойств этой жидкости и амплитуды колебаний ультразвукового преобразователя;

— на основании анализа разработанной модели выявлены причины, ограничивающие эффективность процесса ультразвукового диспергирования, которыми являются вязкость и толщина слоя диспергируемой жидкости. Установлено, что взаимодействие ударной волны, образующейся при захлопывании кавитационного пузырька, с поверхностью слоя жидкости является достаточным для возбуждения на поверхности капиллярной волны и образования капель жидкости;

— для установления кавитационной природы диспергирования жидкостей проведены экспериментальные исследования, позволившие установить связь кавитационного процесса в слое жидкости с диспергированием жидкости, причем степень развитости кавитации прямо пропорциональна производительности диспергирования. В результате исследований установлено, что предложенная модель позволяет определять оптимальные режимы ультразвукового диспергирования;

— предложен способ автоматического управления процессом ультразвукового диспергирования, положенный в основу концепции ультразвукового аппаратасозданы узлы ультразвукового аппарата, необходимые для его практической реализациипри осуществлении технологических процессов изготовления полупроводниковых схем в стадии нанесения фоточувствительного слоя на поверхность кремниевой пластины и в стадии химико-механического полирования пластины показана эффективность оптимизации ультразвукового диспергирования по предложенному способу. На примере снижения потерь сухого продукта при распылительной сушке растительного экстракта показана эффективность применения оптимизации ультразвукового диспергирования в традиционных областях химической технологии.

Показать весь текст

Список литературы

  1. , А. Г. Основные процессы и аппараты химической технологии Текст. / А. Г. Касаткин. 9-е изд. — М.: Химия, 1973. — 750 с.
  2. , Ю. И. Процессы и аппараты химической технологии Текст. В 2 ч. Ч. 1. Теоретические основы процессов химической технологии. Гидромеханические и тепловые процессы и аппараты / Ю. И. Дытнерский. -М.: Химия, 2002. 400 с.
  3. , Ю. И. Процессы и аппараты химической технологии Текст. В 2 ч. Ч. 2. Массообменные процессы и аппараты / Ю. И. Дытнерский. М.: Химия, 2002. — 368 с.
  4. , Д. Г. Основы техники распыливания жидкостей Текст. / Д. Г. Пажи, В. С. Галустов. М.: Химия, 1984. — 256 с.
  5. , Д. Г. Распылители жидкостей Текст. / Д. Г. Пажи, В. С. Галустов. -М.: Химия, 1979.-216 с.
  6. , В. А. Распыливание жидкостей Текст. / В. А. Бородин. -М.: Машиностроение, 1967.-208 с.
  7. , Д. Г. Распиливающие устройства в химической технологии Текст. / Д. Г. Пажи, А. А. Корягин, Э. JI. Ламм. М.: Химия, 1975. -199 с.
  8. , К. Д. Движение потоков вязкой жидкости по поверхности быстровращающегося плоского диска Текст. / К. Д. Вачагин, В. С. Николаев // Химия и хим. технолог. 1960. — Т. 3, -№ 6. — С. 71−76.
  9. , Д. Г. Форсунки в химической промышленности Текст. / Д. Г. Пажи, А. В. Прахов, Б. Б. Равикович. -М.: Химия, 1971.-221 с.
  10. , П. Г. Гидромеханические процессы химической технологии Текст. / П. Г. Романков, М. И. Курочкина. 2-е изд. — Л.: Химия, 1974. -282 с.
  11. , И. А. Ректификационные и абсорбционные аппараты Текст. / И. А. Александров. М.: Химия, 1978. — 172 с.
  12. , В. М. Абсорбция газов Текст. / В. М. Рамм. М.: Химия, 1976. -172 с.
  13. , П. Г. Массообменные процессы в химической технологии Текст. / П. Г. Романков, В. Ф. Фролов. М.: Химия, 1990. — 172 с.
  14. , П. Г. Теплоообменные процессы в химической технологии
  15. Текст. / П. Г. Романков, В. Ф. Фролов. JL: Химия, 1982. — 288 с.
  16. , JI. 3. Основы проектирования химических установок Текст. / J1. 3. Альперт-М.: Высшая школа, 1989. 172 с.
  17. , Е. Б. О применении ультразвука для введения растворов в источник света при спектральном анализе / Е. Б. Геркен, Jl. М. Иванцов, Б. И. Костин // Заводская лаборатория. 1962. — Т. 12. — С. 145−149.
  18. , О. К. Получение аэрозолей Текст. / O.K. Экнадиосянц, // ф Физические основы ультразвуковой технологии / под ред.
  19. Л.Д. Розенберга. -М.: Наука, 1970. С. 337−395.
  20. , Б. Г. Применение акустических колебаний в химико-Y технологических процессах (Процессы и аппараты химической инефтехимической технологии) Текст. / Б. Г. Новицкий. М.: Химия, 1983.- 192 с.
  21. , В. М. Ультразвуковая химическая аппаратура Текст. / В. М. Фридман. -М.: Машиностроение, 1867.-212 с.
  22. , О. К. О распылении жидкости низкочастотными ® ультразвуковыми колебаниями Текст. / О. К. Экнадиосянц //
  23. Акустический журнал. 1966.-Т. 12,-№ 1.-С. 127−132.
  24. , В. А. Основы физики ультразвука Текст. / В. А. Шутилов. -Л.: Изд-во Ленинградского университета, 1980. 280 с.
  25. , В. В. Основы теории излучения и рассеяния звука Текст. / В. В. Крылов. -М.: Изд-во Московского университета, 1989. 118 с.
  26. , Е. Л. Волновые задачи гидроакустики Текст. / В. В. Крылов. -Л.: Судостроение, 1972.-352 с. V143
  27. , О. К. О физическом механизме распыления жидкости акустическими колебаниями Текст. / О. К. Экнадиосянц, Ю. Я. Богуславский // Акустический журнал. 1969. — Т. 15, № 1. — С. 17−32.
  28. , W. К. Hochleistungs-Schallzerstauber Text. / W. К. Fortman // Oil+Gas. 1965. — V. 10, № 4. — P. 58−64.
  29. , H. С. Метод расчета зазора генератора форсунки жидкого топлива Текст. / Н. С. Ламекин. М.: Машиностроение, 1861. — 114 с.
  30. , Н. С. Основы теории форсунки для жидкого топлива с газовым генератором Текст. / Н. С. Ламекин. М.: Машиностроение, 1860. -104 с.
  31. , О. К. О кинетике ультразвукового туманообразования Текст. / О. К. Экнадиосянц // Акустический журнал. 1963. — Т. 9, № 2. -С. 247.
  32. , О. К. К вопросу о природе распыления жидкостей в ультразвуковом фонтане Текст. / О. К. Экнадиосянц, Б. И. Ильин // Акустический журнал. 1966. — Т. 12, № 3. — С. 310.
  33. , О. К. О роли кавитации в процессе распыления жидкостей в ультразвуковом фонтане Текст. / О. К. Экнадиосянц // Акустический журнал, 1968.-Т. 14, № 1.-С. 107−122.
  34. Drop Size and Distribution Electronic resource. Sono-Tek Corporation. -Режим доступа: http://www.sono-tek.corn/technolog-v/drop tech. php
  35. Antonewich, J. N. Ultrasonic Atomization of Liquids Text. / J. N. Antonewich // Electronic Conference Chicago. 1957. — V. 13. — P. 198.
  36. , Б. А. Основы физики и техники ультразвука Текст. / Б. А. Агранат, М. Н. Дубровин и др. М.: Высшая школа, 1987. — 352 с.
  37. , В. А. Пульсации кавитационных полостей Текст. / В. А. Акуличев, // Физические основы ультразвуковой технологии / под ред. Л. Д. Розенберга. М.: Наука, 1970. — С. 129−167.
  38. , К. А. О кавитационной области Текст. / К. А. Наугольных // Труды акустического института. 1969. — Вып. 7. — С. 14−19.
  39. , В. П. Некоторые особенности динамики кавитационной области Текст. / В. П. Елистратов, В. И. Ильичев, В. JI. Корец // Труды акустического института. 1969. — Вып. 7. — С. 20−26.
  40. , Л. Д. Кавитационная область Текст. / Л. Д. Розенберг // Мощные ультразвуковые поля / под ред. Л. Д. Розенберга. М.: Наука, 1968.-С. 221−265.
  41. Ультразвуковая технология / под ред. Б. А. Аграната. М.: Металлургия, 1974.-505 с.
  42. , Я. Б. Физика ударных волн и высокотемпературных гидродинамических явлений Текст. / Я. Б. Зельдович, Ю. П. Райзер. -2-е изд. М.: Наука, 1965. — 688 с.
  43. Ultrasound Company Electronic resource. Sono-Tek Corporation. — Режим доступа: http://www.sono-tek.com/.
  44. Sono-tek Spray Fluxing Electronic resource. Sono-Tek Corporation. -Режим доступа: http://www.sprayfluxing.com/sonoflux2000fp/sonoflux 2000fp. php
  45. Biometrical Coating Applications Electronic resource., Sono-Tek Corporation. — Режим доступа: http://www.sono-tek.com/biometrical/ accumist standalone.html.
  46. Glass Coating Electronic resource. Sono-Tek Corporation. — Режим доступа: http://www.sono-tek.com/widetrack/floatglass.php
  47. Ultrasound technology Electronic resource. Sonics&Materials Inc. -Режим доступа: http://www.sonicsandmaterials.com
  48. Sonaer Ultrasonic Products Electronic resource. Sonaer Inc. — Режим доступа: http://www.sonozap.com/
  49. Ultrasound breaking new barriers Electronic resource. — Misonix Inc. -Режим доступа: http://www.misonix.com/
  50. , А. В. Ультразвуковые электротехнические установки Текст. / А. В. Донской, O.K. Келлер, Г. С. Кратыш. Л.: Энергия, 1968. — 276 с.
  51. , О. К. Ультразвуковые генераторы для электротехнологических установок / O.K. Келлер. Л.: ЛДНТП, 1968. — 78 с.
  52. , В. В. Источник питания ультразвуковой технологической установки Текст. / В. В. Редько, Б. А. Багинский // Приборы и техника эксперимента. 2000. — № 4. — С. 154−157.
  53. , В. H. Электроника / В. Н. Гусев, Ю. М. Гусев. М.: Высшая школа, 1991.-621 с.
  54. , О. А. Усилители мощности на транзисторах в режиме переключения Текст. / О. А. Коссов. -М.: Энергия, 1971. -212 с.
  55. , И. И. Ультразвуковые колебательные системы Текст. / И. И. Теумин. -М.: Машгиз, 1959.-331 с.
  56. , С.Н. Исследование и совершенствование пьезоэлектрических ультразвуковых колебательных систем для интенсификации процессов химических технологий: дис. канд. тех. наук.: 05.17.08: защищена 28.10.05 / С. Н. Цыганок. Бийск, 2005. — 125 с.
  57. , Р.В. Исследование ультразвукового воздействия на технологические среды и повышение эффективности технологических аппаратов: дис. канд. тех. наук.: 05.17.08: защищена 28.10.05 / Р. В. Барсуков. Бийск, 2005. — 135 с.
  58. Micro-encapsulation Electronic resource. Sono-Tek Corporation. — Режим доступа: http://www.sono-tek.com/rnicroencap/index.php
  59. , П. Ф. Справочник по высшей математике Текст. / П. Ф. Фильчаков. Киев: Наукова думка, 1972. — 744 с.
  60. , В. Н. Исследование влияния кавитирующих сред на работу электронного генератора ультразвуковых аппаратов Текст. /
  61. B. Н. Хмелев, Р. В. Барсуков, А. В. Шалунов, А. Н. Сливин // Измерения, автоматизация и моделирование в промышленных и научныхф исследованиях: межвузовский сборник / под. ред. Г. В. Леонова. Бийск, 2003.-С. 216−226.
  62. , М.А. Звукохимические реакции и сонолюминисценция ® Текст. / М. А. Маргулис. М.: Химия, 1986. — 300 с.
  63. , М. Г. Кавитационная прочность воды Текст. / М. Г. Сиротюк II Труды акустического института. 1969. — Вып. 6. — С. 5−15.
  64. , Б. Ф. Статистическая термодинамика кавитационных зародышей Текст. / Б. Ф. Диев // Труды акустического института. 1969. — Вып. 6. -С. 39−55.
  65. Hickling, R. Shock wave at slammed of cavitational bubble Text. / R. Hickling, M.S. Plesset // Phys. Fluids. 1964. — V. 7, № 1. — P. 7−14.
  66. , Е. Ультразвуковые преобразователи / Е. Кикучи- пер. с англ. изд. И. П. Голяминой. М.: Мир, 1972. — 424 с.
  67. Тула: Тульский государственный университет, 2003. Режим доступа: http://aim.tsu.tula.ru/ZIP/45.zip
  68. Khmelev, V. N. The Ultrasonic Sputtering of Liquid Text. / V.N. Khmelev,
  69. A.V. Shalunov, R.V. Barsukov, S.N. Tchyganok, A. N. Slivin, E. V. Chipurin // Siberian Russian Student Workshops and Tutorials on Electron Devices and Materials EDM'2005: Workshop Proceedings. Novosibirsk: NSTU, 2005. -P. 117−130.
  70. Ultrapure Water Electronic resource. Millipore Inc. — Режим доступа: http://www¦millipore.com/markets/wateфuriflcation.nsf/docs/6b8kbr
  71. , Б. А. Ультразвуковая очистка Текст. / Б. А. Агранат,
  72. B.И. Башкиров, Ю. И. Китайгородский // Физические основы ультразвуковой технологии / под ред. Л. Д. Розенберга. М.: Наука, 1970. -С. 165−252.
  73. Liquid Optical Particle Counter Electronic resource. Particle Measuring Systems. — Режим доступа: http://www.pmeasuring.com/particleCounting /liquid
  74. , С. H. Повреждаемость поверхности при кавитационной эрозии Текст. / С. Н. Буравова // Журнал технической физики. 1998. — Т. 68. -№ 9.-С. 110−114.
  75. , С. А. Цветные телевизоры ЗУСЦТ Текст. /
  76. C. А. Ельяшкевич. М.: Радио и Связь, 1987. — 270 с.
  77. Пьезокерамические преобразователи. Методы измерения и расчета параметров: справочник Текст. / под ред. С. И. Пугачева. Л.: Судостроение, 1984. — 126 с.
  78. , JI. Я. Пьезокерамические излучатели и приемники Текст. / Г. Я. Гутин // Журнал технической физики. 1945. — № 5. — С. 17−21
  79. Физические величины: справочник Текст. / под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. -М: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.
  80. Краткий справочник по химии Текст. / под ред. О. Д. Куриленко. Киев: Наукова думка, 1974. — 992 с.
  81. Источники мощного ультразвука Текст. / под ред. Л. Д. Розенберга. М.: Наука, 1969.-380 с.
  82. , М. Т. Планирование эксперимента и статистическая обработка данных Текст.: учеб. пособие / М. Т. Решетников Томск, 2000.-231 с.
  83. A. В. Шалунов // Альманах «Бийский вестник». Барнаул: АлтГТУ, 2004. — № 4. — С. 49−62.
  84. ГОСТ 16 165–80. Генераторы транзисторные ультразвуковые для технологических установок. Общие технические условия. Введ. 198 201−01. — М.: Изд-во стандартов, 1980. — IV, 8 с.
  85. Wieder, В. Spray coating for mems, nems and micro systems Text. /
  86. B. Wieder, C. Brubaker, T. Glinser, P. Kettner, N. Nodes // Pacific Rim Workshop on Transducers and Micro/Nano Tecnologies, 2002. P. 135−138
  87. Process for chemical-mechanical polishing of III-V semiconductor materials Text.: pat: 3 979 239 USA: ICL H01L 021/304: CCL 438/692 / Walsh- Robert- Monsanto Company- app. num. 537 478- app. 30.12.1974- pub. 07.09.1976.
  88. В. Н. Ультразвуковой распылитель для химико-механического полирования Текст. / В. Н. Хмелев, А. В. Шалунов // Современные проблемы радиоэлектроники: сборник научных трудов. М: Радио и связь, 2006.-С. 186−189.1. Ai
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!