Мощные излучающие диоды на основе двойных гетероструктур в AlGaAs: Разработка и применение
Диссертация
Как и для любого технического новшества, для излучающих диодов путь развития определяется запросами науки и техники. По мере улучшения характеристик и совершенствования технологических процессов появляются новые области применения, которые, в свою очередь, ускоряют развитие этого новшества. Так, если поначалу излучающие диоды могли применяться только в слаботочной контрольно-измерительной… Читать ещё >
Список литературы
- ГОСТ 24 352–80. Излучатели полупроводникорые. Основные параметры.
- ГОСТ 22 274–80.Излучатели полупроводниковые. Термины, определения и буквенные обозначения параметров.
- Берг А., Дин П.- Светодиоды, — М.: Мир, 1979, — 686 с.
- Коган Л.М. Полупроводниковые светоизлучающие диоды,— М.: Энергоатом-издат, 1983.- 208с.
- Иванов В.И., Аксёнов А. И., Юшин А. М. Полупроводниковые оптоэлектрон-ные приборы. Справочник под редакцией Горюнова H.H.- М.: Энергоатомиздат, 1984 185 с.
- Лёгкий В.Н., Миценко И. Д., Галун Б. В. Малогабаритные генераторы накачки полупроводниковых лазеров, — Томск: Радио и связь, 1990.7. Алфёров Ж. И. Гетеропереходы в полупроводниках: Докторская диссертация, 1. Л.: ЛФТИ, 1970.
- Андреев В.М. Жидкостная эпитаксия гетероструктур в системе алюминий-галлий-мышьяк, разработка и исследование оптоэлектронных приборов на их основе: Докторская диссертация, — Л.: ЛФТИ, 1979.
- Гарбузов Д.З. Излучательная рекомбинация в AlGaAs гетероструктурах: Докторская диссертация, — Л.: ЛФТИ, 1979.
- Корольков В.И. Электрические и фотоэлектрические явления в AlGaAs гетероструктурах и их применение в полупроводниковых приборах: Докторская диссертация.- Л.: ЛФТИ, 1979.
- Улащик B.C. Новые методы и методики физической терапии, — Минск, 1986.
- Клячкин Л.М., Виноградова М. Н. Физиотерапия. Учебник, — М: Медицина, 1988, — 272с.
- Природные и преформированные физические факторы в восстановлении репродуктивного здоровья. Межрегиональная научно-практическая конференция.-Томск: ТНИИКиФ, 2000.
- Бехтерев В.М. Светолечение в нервных болезнях// Физиотерапия, СПБ,-1916, — Т.1.
- О биологическом действии монохроматического красного света. Сб.ст. под ред. Домбровского Б.А.- Алма-Ата, 1967, — 89 с.
- Биоэнергетика человека.- Под ред. В. И. Донцова.- М., 1994.-143 с.
- Воторопин С.Д., Кожемякин A.M. Устройства оптического и КВЧ- диапазонов длин волн для физиотерапии// Электронная промышленность.- 1998, — № 1−2.- С. 178- 181.
- Улащик B.C. Домашняя физиотерапия, — Минск: Беларусь, 1993, — 287 с.
- Брейнгард Дж.К., Бернекер К. А. Влияние света на физиологию и поведение человека// Светотехника, — 1996,-№ 1−2, — С. 10−13.
- Биоптрон. Светотерапия, — Switzerand: БИОПТРОН АО, 1997, — 54с.
- Патент РФ № 2 066 177 МКл. 6 А 61 N 5/06 от 08.04.92. Устройство для терапевтического воздействия на болевые очаги и точки акупунктуры/ Лисицына Л. И., Катаев A.A., Поляков Ю. С., Лисицына C.B., Чушикина В.И.- Публ. БИ № 25, 10.09.96.
- Александров М.Т., Фёдоров A.C., Баграмов Р. И., Корочкин И. М., Туринова Е. М. Применение лазеров в медицине// Обзоры по электронной технике, — Сер. 11, Лазерная техника и оптоэлектроника.- 1986, — № 9(1228).
- Симонова Г. А., Швальб П. Г. Применение лазеров для диагностики заболеваний// Обзоры по электронной технике.- Сер. 11, Лазерная техника и оптоэлектроника. -1987.- № 7(1300).
- Козлов В.И., Буйлин В. А. Лазеротерапия с применением АЛТ «Мустанг».-М.: Аспект Пресс, 1995, — 144 с.
- Илларионов В.Е. Техника и методики процедур лазерной терапии (Справочник).- М.: Лазер маркет, 1994, — 200 с.
- Чередниченко Ю.Н., Азбель Д. И., Дерибас A.A., Руководство по лазерной терапии в клинической практике (Методические рекомендации по низко интенсивным лазерным воздействиям).- Новосибирск: ИОПЭЧ СО РАМН, 1995, — 108 с.
- Laser Market.- 1995, — № (2−3).
- Тютрин И.И., Удут В. В., Прокопьев В. Е., Наумов С. А., Татарников В. А., Карпов А. Б., Бородулина Е. В. Лазерная фототерапия (теория и практика).- Томск, 1994.- 272 с.
- Илларионов В.Е. Медицинские информационно-волновые технологии.- Всероссийский центр медицины катастроф «Защита», 1998, — 45 с.
- Применение лазерного терапевтического аппарата «Мустанг» в клинической практике. Методические рекомендации.- М, 1997, — 53 с.
- Тучин ВВ. Шубочкин Л. П. Применение лазеров в офтальмологии. 4.1.// Обзоры по электронной технике.-Сер. 11, Лазерная техника и оптоэлектроника.- 1984, — № 2(1037).
- Тучин В.В., Шубочкин Л. П. Применение лазеров в офтальмологии. 4.2.// Обзоры по электронной технике.- Cep. ll, Лазерная техника и оптоэлектроника.- 1985,-№ 3(1119).
- Каталог медицинских электронных приборов, — М.: АО «Звёзды и С», 1994.
- Девятков Н.Д., Зубкова С. М., Лапрун И. Б., Макеева Н.С.// Успехи биологических наук, — 1987, — Т. 103, № 1, — С. 31−43.
- Митрофанов A.C. и др. Аппарат для низкоинтенсивной цветовой терапии «Спектр».- Тезисы докладов 1-го международного конгресса «Слабые и сверхслабые поля и излучения в биологии и медицине».- С.-Петербург, 1997, — С. 41 42,
- Karu T.I.- In Ser. «Laser Science and Technology». An International Handbook. -Chur. London. Paris. Ntw York. Melbiirn: Harword Publishers, 1990.
- Неверова О. Предоставляется «последнее слово»// Известия.-2000.-24.05,1. С. 7.
- Полонский А.К., Лазерная и магнито-лазерная терапия достижения, проблемы и перспективы развития// Laser Market.- 1995, — № (2−3).- С. 13−18.
- Магнито-инфракрасный лазерный терапевтический аппарат со встроенным фоторегистратором// Laser Market.- 1995, — № (2−3).- С. 37.
- Корепанов В.И., Седова Т. И., Черкасов A.B., Магнитооптический лазерный аппарат «Виктория»// Laser Market.- 1995, — № (2−3).- С. 33−35.
- Палеев Н.Р., Карандашов В. И., Коган Л. М., Зродников B.C., Петухов Е. Б. Использование высокоэффективных полупроводниковых излучающих диодов в фототерапевтической аппаратуре// Laser Market.- 1995.- № 2−3, — С. 38−39.
- Патент РФ № 2 029 573 МКл, 6 А 61 N 1/00 от 01.07.92. Аппарат для физиотерапевтического лечения/ Гавинский Ю. В., Котов Б. С, — Публ. БИ № 6,27.02.95.
- Вилисов A.A., Светодиоды как альтернатива лазерам в медицине и связи// Laser Market- 1994, — № 5, — С. 20−22.
- Палеев Н.Р., Карандашов В. И., Коган Л. М., Зродников B.C., Петухов Е. Б., Использование высокоэффективных полупроводниковых диодов в фототерапевтической аппаратуре// Laser Market- 1995.- № (2−3).- С. 38−39.
- Новые эффективные приборы для фототерапии// Laser Market.- 1995, — № (23).- С. 40.
- Каталог фирмы Telefunken (AEG).- 1982.
- Справочник аналогов DATA BOOK.- 1985.49. Data Book.-1990.
- Каталог фирмы Opto Diode (США).-1991.
- Каталог фирмы Kodenshi (Япония).- 1991.
- Каталог фирмы Honeywell (США).-1991.
- Каталог фирмы Telefunken (AEG).- 1982.54. Data Book- 1985.
- Справочник аналогов DATA BOOK.- 1984.
- Вилисов A. A, Горбатов H. A, Сергеева A. A Герметизация излучающих диодов с помощью эпоксидных оптических компаундов// Деп. ЦНИИ «Электроника».- № 3439/82.
- Вилисов А. А, Захарова Г. Н, Кухта А. М, Нефёдцева И. В, Мощный излучающий диод АЛ 148А// Электронная промышленность, — 1990, — № 10, — С. 120.
- Разработка базовых технологических процессов изготовления мощных излучающих диодов. Отчёт по ОКР «Техас», Гос. per. Ф 25 265, — Томск: НИИПП, 1987.
- Разработка мощного импульсного излучающего диода для спецтехники. Отчёт по ОКР «Техас-1», Гос. per. Ф 31 032, — Томск: НИИПП, 1989.
- Каталог «Изделия волоконно-оптической техники», — М.: АО Волоконно-оптическая техника, 1993.
- Коган Л.М., Гальчина H.A., Родкин B.C. Излучающие ИК-диоды с повышенной мощностью излучения на основе двойных гетероструктур// Электронная промышленность.- 1993, — № Ю, — С. 71−75.
- Волков В.В., Закгейм А. Л., Кузьмичёв Ю. С. Мощные высокоэффективные полупроводниковые источники излучения в красной и ближней ИК областях спектра// Электронная промышленность.- 1996.- № 4, — С. 20−21.
- Новые электронные компоненты. Каталог, — М., 1999.
- Коган Л.М. Новые светодиоды и устройства на их основе// Светотехника.-1997, — № 3, — С. 27−30.
- Коган Л.М. Светоизлучающие диоды: дальнейшее развитие// Светотехника. -1999, — № 4, — С. 23−27.
- Saitoh T., Minagawa S. Multicolor Light-Emitting Diodes with Double Junction Structure// Trans, on Electron Devices.- 1975, — V. ED-22.- № 2, — P. 29 32.
- Sumitomo III-V Semiconductors. Каталог ф. Sumitomo.-1987.
- Келдыш Л.В. //ФТТ,-1962, — Т.4.- С. 2265.
- Алфёров Ж.И. История и будущее полупроводниковых гетероструктур// ФТП, — 1998, — Т.32, № 1.- С.3−18.
- Мильвидский М.Г., Чалдышев В. В. Наноразмерные атомные кластеры в полупроводниках новый подход к формированию свойств материалов. Обзор// ФТП.-1998, — Т.32, № 5, — С. 513−522.
- Эсаки Л. Молекулярно-лучевая эпитаксия и развитие технологии полупроводниковых сверхрешёток и структур с квантовыми ямами// Сб. «Молекулярно-лучевая эпитаксия и гетероструктуры» под ред. Ж. И. Алфёрова и Ю. В. Шмарцева, — М.: Мир, 1989, — С. 7−36.
- Полупроводники 99. ГУ Российская конференция по физике полупроводников. Новосибирск, Академгородок, — 25−29 октября 1999 г.
- Двуреченский A.B., Якимов А. И. Квантовые точки в системе Ge/Si// Тезисы докладов IV-й Российской конференции по физике полупроводников «Полупроводники- 99», — Новосибирск, Академгородок, — 1999.- С. 208.
- Леденцов H.H., Устинов В. М., Щукин В. А., Копьев П. С., Алфёров Ж. И., Бимберг Д. Гетероструктуры с квантовыми точками: получение, свойства, лазеры. Обзор// ФТП, — 1998, — Т.32, № 4, — С.385−410.
- Jakimov A.I., Markov V.A., Dvurechenskii A.Y., Pchelyakov O.P.// Phil. Mag.-1992.- V. В65, — P. 701.
- Караваев Г. Ф., Чернышев В. Н. Взаимодействие Х-долин при туннелирова-нии электронов в структурах AlAs/GaAs (100)// Тезисы докладов IV-й Российской конференции по физике полупроводников «Полупроводники 99», — Новосибирск, Академгородок, — 1999, — С. 182.
- Зегря Г. Г., Перлин В. Е. Внутризонное поглощение света в квантовых ямах за счёт электрон-электронных столкновений// ФТП, — 1998, — Т.32, № 4.- С.466−471.
- Елисеев П.Г., Акимова И. В. Излучение квантово-размерных структур InGaAs. I. Спектры спонтанного излучения// ФТП, — 1998, — Т.32, № 4, — С. 472−477.
- Елисеев П.Г., Акимова И. В. Излучение квантово-размерных структур InGaAs. П. Форм-фактор однородного уширения// ФТП, — 1998, — Т.32, № 4.- С. 478−483.
- Пихтин А.Н., Клот Б. Светодиоды: состояние и перспективы// Петербургский журнал электроники, — 1997.- № 1, — С. 3−12.
- Юнович А.Э. Светодиоды на основе гетероструктур из нитрида галлия и его твёрдых растворов. Обзор// Светотехника.- 1996.- № 5−6, — С. 2−7.
- Александров С.Е., Зыков В. А., Гаврикова Т. А., Красовицкий Д. М. Электрические и фотоэлектрические свойства анизотипных гетеропереходов n- GaxIni-xN/p-Si// ФТП, — 1998, — Т.32, № 4, — С. 461−465.
- Precision Optical Performans AlInGaP LED Lamps// Каталог ф. Hewlett Packard.- 10/98.
- Precision Optical Performans InGaN Bluish-Green LED Lamps// Каталог ф. Hewlett Packard.- 5/98.
- Электронные компоненты «Хьюлетт-Паккард"// Краткий каталог, — 8/98.
- Optoelektronics Designers Catalog (LED, Infrared).- 4/96.
- High Brightness LEDs// Каталог ф. Hewlett Packard.- 03/99.
- HP Components, Expanding Posibilities// Каталог ф. Hewlett Packard.-1999.
- Surfact Mount LEDs// Catalog. Hewlett Packard.- 05/96, 04/96.
- T-l¾ (5mm) Precision Optical Perfomans AlInGaP Lamps, Hewlett Packard.8/96.
- Light Emitting Diode Lamps, Blue, Green: Nichia Catalog.- № 9603.
- Light Emitting Diode NSPE series: Nichia Catalog.- № 960 129.
- White LED Lamps: Nichia Catalog.- № 96 0910k.
- Каталог. Сектор электронных компонентов, — Россия-99, — М.: ДОДЭКА, 1999. 1440 с.
- Тринчук Б.Ф. Светосигнальная аппаратура на светодиодах// Светотехника.1997, — № 5.- С.6−11.
- Коган Л.М., Шмерлинг И. Е. Полупроводниковые светодиодные излучатели для светосигнальных приборов навигационных знаков водных путей// Светотехника.1998, — № 2, — С. 19−22.
- Коган Л.М., Андреев Ю. П., Бурд С. А. Красный и инфракрасный излучатели с повышенным квантовым выходом для оксиметрии// Медицинская техника.- 1992.-№ 5, — С. 21−25.
- Лукаш B.C., Юрченко В. И., Трофимов С. В. Цветные источники света на основе полупроводниковых излучающих элементов// Электронная промышленность. -1998, — № 1−2, — С. 185−187.
- Миле Э. Государственная политика и программы США в области энергоэффективного освещения// Светотехника.- 1995,-№ 4/5, — С. 10−15.
- Айзенберг Ю.Б. Некоторые достижения современной светотехнической науки// Светотехника.- 1995, — № 4/5, — С. 34−37.
- Product Catalog.- Taiwan: United Epitaxy Company, LTD, 2000.
- ANNUAL REPORT EMCORE Corporation, 1999, — http://www.emcore.com
- Каталог изделий, — Екатеринбург: Промэлектроника, 2000.110. www. Kfflftbright-LED.com
- Surface Mount LEDs, Selection Guide.- Каталог фирмы Hewlett Packard, 1997.
- Super Bright LED Lamps.- Каталог фирмы Kingbright, 1997.
- Kingbright (offic Germany).- Каталог специальных СДб, 1996.
- Nonnile D. The Future Looks Bright for Blue LEDs// Popular Science.- 1995.-V.10, № 2, — P.48.
- High Brightness LEDs, Selection Guide.- Каталог фирмы Hewlett Packard, 03/98.
- Лукаш B.C., Юрченко В. И., Абрамовский А. П. Полупроводниковые сиг3 5нальные лампы на соединениях AB// Материалы 7-й Российской конференции „Ар-сенид галлия“, — Томск,-1999, — С. 146−149.
- Nakamura S., Senoh М., Jwasa N., Nagahama S. High-Brightness InGaN Blue, Green and Yellow Light-Emitting Diodes with Quantum Well Structures// Jap. J. Appl. Phys.- 1995, — V.34, part 2, № 7А, — P. L797−799.
- Nakamura S., Senoh M., Jwasa N. e.a. Superbright InGaN Blue and Green LED with QWS// Jap. J. Appl. Phys.- 1995, — V.34, part 2, № 10B.- P. L1332−1335.
- Абдуллаев O.P., Виноградов M.B., Курочкин Р. Б., Марков В. Н. Светодиодная технология в транспортных системах управления: НТЦ „ОПТОНИКА“, — 1998,
- Светофор не погаснет// „АИФ на ОБИ“, — 1999, — № 51, — С. 1.121. (Цены на светодиоды сверхвысокой яркости): Каталог НТЦ „Промэлектро-ника“, — Екатеринбург, — 1999.
- Сидоров В.Г., Сидоров Д. В., Соколов В. И. Светодиод из GaAs(Si) как ква-зисверхструктура туннельно связанных квантовых точек// Материалы 7-й Российской конференции „Арсенид галлия“, — Томск- 1999,-С. 106−108.
- Вилисов A.A., Особенности полупроводниковых приборов с односторонним расположением контактов// Электронная техника, сер.2, Полупроводниковые приборы, — 1987, — № 186, — С. 6−8.
- Вилисов A.A., Захарова Г. Н., Кухта А. М., Особенности мощных излучающих диодов на основе двойной гетероструктуры в системе AlGaAs// Лазерная техника и оптоэлектрбника», сер. 11, Электронная техника.- 1987.- №. 3(43).- С. 21−25.
- Богачёв Д.Л., Вилисов A.A. и др. Излучающие ИК-диоды для открытых каналов передачи информации// Электронная промышленность. -1991.- № 4.- С. 93.
- Вилисов A.A., Захарова Г. Н., Кухта A.M. и др. Особенности деградации излучающих диодов на основе структур типа GaAs-AlGaAs при работе в области высоких рабочих токов// Электронная техника, сер. Лаз.техн. иоптоэл-ка, — 1990, — № 4(56).- С. 18−20.
- ВилисовА.А., Горбатов H.A., Гребень Я, 3. Переходные характеристики электролюминесценции фотоэлектролюминесцентных структур на основе AlGaAs// Электронная техника, сер.2, Полупроводниковые приборы, — 1984, — № 6(172).- С. 101 103.
- Вилисов A.A., Захарова Г. Н., Кухта А. М., Нефёдцева И. В., Поспелова Е. Т., Купцова Т. А. Излучающие диоды на основе двойных гетероетруктур в системе арсенид галлия арсенид алюминия, — Электронная техника, сер. Материалы, — 1991, — № 3(257).- С. 60−62.
- Авт. св-во СССР N 1 200 771 от 05.01.84. Омический контакт к арсениду галлия р-типа/ Вилисов A.A., Вишняков A.C., Захарова Г. Н., Купцова Т, А, — Публ. 22.08.85.
- Патент РФ N 1 463 086 МКл.4 H 01 L 33/00 от 14.01.86. Излучающий диод/ Вилисов A.A., Захарова Г. Н., Кухта A.M.- Per. 20.01.93.
- Авт. св-во СССР N 1 507 147 МКл.4 H 01 L 33/00 от 13.04.87. Излучающий диод/ Вилисов A.A., Захарова Г. Н., Копырина И. А., Кухта A.M.- Публ. 08.05.89.
- Патент РФ N 1 819 488 МКл.4 H 01 L 33/00 от 04.06.91. Светодиод /Богачёв Д.Л., Вилисов A.A., Калинин Ю. М., Днепровский С. Н., Хан A.B.- Per. 11.10.92,
- Носов Ю.Р. Оптоэлектроника.- 2-е изд., перераб. и доп.- М.: Радио и связь, 1989.-360 с.
- Войцеховский A.B., Петров A.C., Потахова Г. И. Оптика полупроводников: Учебное пособие.- Томск: Изд-во ТГУ, 1987, — 222 с.
- Гаман В.И. Физика полупроводниковых приборов: Учебное пособие. -Томск: Изд-во НТЛ, 2000, — 426 с. 136. 136. Boos M., Leheny R.F., Jagdeep Shah. Hanbook on Semiconductors. Ch.6. Radiative recombination.-Paris, 1980, — 130 p.
- Pilkuhn M.H. Semiconductor Optoelectronics// Solid State Devices.- 1973, — № 6, — P. 1 29.
- Сидоров В.Г. Физические процессы, определяющие эффективность и надёжность излучающих структур на основе полупроводников AJB5: Автореферат докторской диссертации, — Ленинград, 1990.
- Ардышев В. М, Карлова Г. Ф, Ханин A.B. Роль безызлучательной рекомбинации в уменьшении мощности светодиодов на основе гетероструктуры// Электронная промышленность.- 1998, — № 1−2, — С. 116−117.
- Rupprecht H., Woodal LH., Konnerth К., Pettit DE// Appl. Phys. Lett.- 1966, — № 9, — P. 221.
- Разработка излучающего диода с мощностью излучения 400 мВт в непрерывном режиме. Отчёт по ОКР «Тикси-1».- Томск: НИИПП, 1982, — Гос.рег. № Ф14 372.
- Алфёров Ж.И., Андреев В. М., Гарбузов Д. З. и др. Мощные светодиоды с двумя гетеропереходами в системе AlGaAs// ЖТФ, — 1975, — T. XLV, Ш 2, — С. 374−391.
- Алфёров Ж.И., Агафонов В. Г., Гарбузов Д. З. и др. Многопроходные гетеро-структуры. П Внешний квантовый выход излучения// ФТП, — 1976, — Т.10, № 8 С. 1497−1506.
- Бондарь С.А., Галчёнков Д. В. и др. Мощные эффективные светодиоды ме-законструкции в системе AlGaAs// Электронная техника, сер. И, Полупроводниковые приборы, — 1984,-№ 2.-С. 134.
- Бондарь С.А., Галчёнков Д. В., Голдобин И. С. и др. Мощные эффективные светодиоды мезаконструкции в системе AlxGai-xAs// Электронная техника, Сер. 11, Лазерная техника и оптоэлектроника.- 1984, — № 2, — С. 134−139
- Халфин В. Б, Гарбузов Д. З. Теоретическое и экспериментальное исследование многопроходных излучающих гетероструктур. Деп. в ЦНИИ «Электроника».-1976.
- Халфин В.Б., Гарбузов Д. З., Давидам Н. Ю. Многопроходные гетероструктуры. 1. Спектральные и угловые характеристики излучения// ФТП.-1976, — Т.10, № 8.- С. 1490.
- Алфёров Ж.И., Андреев В. М., Гарбузов Д. З., Трукан М. К. Эффективная ин-жекционная люминесценция электронно-дырочной плазмы в структурах с двумя гетеропереходами// ФТП.- 1974, — Т.8, № 3- С.561−565.
- Андреев В. М, Гарбузов Д. З, Трукан М. К, Шелованова Г. Н. //ФТП.
- Алфёров Ж.Й., Андреев В. М., Гарбузов Д. З. и др. 100% внутренний квантовый выход излучательной рекомбинации в трёхслойных гетеросветодиодах на основе AlAs-GaAs// ФТП.- 1975, — Т. 9, № 3, — С. 462−469.
- Эпитаксиальные структуры арсенида галлия-алюминия ЭСАГА-60. Технические условия Яе0.032.060 ТУ.
- Эпитаксиальные структуры арсенида галлия-алюминия ЭСАГА-107. Технические условия Яе0.032.107 ТУ.
- Эпитаксиальные структуры арсенида галлия-алюминия ЭСАГА-136. Технические условия Яе0.032.136 ТУ.
- Коган Л.М., Ковыкин С. М., Родкин B.C., Андреев Ю. П. Новые светоизлучающие диоды// Электронная промышленность, — 1990, — № 9, — С.
- Эпитаксиальные структуры арсенида галлия-алюминия ЭСАГА-125. Технические условия Яе0.032.125 ТУ.
- Эпитаксиальные структуры арсенида галлия-алюминия ЭСАГА-129. Технические условия Яе0.032.129 ТУ.
- Эпитаксиальные структуры арсенида галлия-алюминия ЭСАГА-131. Технические условия Яе0.032,131 ТУ.
- Эпитаксиальные структуры фосфида-арсенида галлия ЭСФАГ130−100. Технические условия Яе0.032.130 ТУ.
- Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках.- М.: Мир, 1973.- С. 85.
- Тупицкая H.A. Получение и исследование AIGaAs гетероструктур с целью создания высокоэффективных мощных светодиодов: Кандидатская диссертация.-Л.:ЛФТИ, 1985.
- Olsen G.H., Ettenberg M. (Универсальный травитель для выявления границ в соединениях AHIBV)// J.ApplJPhys.- 1974.- V. 1, № 45.- Р.5112−5114.
- Klug Н.-Р., Neumann H. Determination of the Composition of AlxGaixAs from Schottky Barrier Fotovoltage Measurements// Exp. Techn. Phys.- 1975, — V. 23, № 6,-P. 605−610.
- Deutsches Patetamt № DE 3 826 736 Al Int.Cl. 5 H 01 L 27/15, 05.08.88. Ver-faren zum Trennen von monolithisch auf einer Halblaitersubstratscheibe erzeugten LED-Chip-Anordnungen/ Weglaiter W.- 08.02.90.
- ВилисовАА., Горбатов H.A., Желудков B.M. Светодиод для внутриобьек-товых ВОЛС// Техника средств связи, сер. ВОС, — 1983, — № 2, — С. 154−160.
- Сукач Г. А. Тепловые процессы в светоизлучающих диодах// Оптоэлектро-ника и полупроводниковая техника.- 1987, — № 9.- С. 41−47.
- Кейси X., Паниш М. Лазеры на гетероструктур ах,— М.: Мир, 1981, — Т.1.- С. 224.
- Saxena A.K. and Sing В.В. Significance of Hall measurements in AlxGai-xAs alloys at 300K// Pramana- 1983.- V.21.- P.123−129 (print in India).
- Barras С.A., Miller B.I., Smallaria, doubl egeterostructure aluminium-gallium transmission lines// Optic Communications.- 1981, — V. I, № 4, — P. 308−309.
- Теоретическое изучение оптических и электрофизических свойств твёрдых3 5растворов, А В с целью усовершенствования элементной базы микро и оптоэлектро-ники и поиска новых принципов преобразования сигналов. Отчёт по НИР «Фабула». -Томск: СФТИ, 1987. г
- Алфёров Ж.И., Андреев В. М., Гарбузов Д. З. и др. Исследование высокоэффективных гетеросветодиодов в системе AlGaAs// ЖТФ, — 1978, — Т.48, № 4, — С.809−817.
- Закгейм А.Е., Марахонов В. М. и др. Мощные AlGaAs гетероэпитаксиальные излучающие диоды многомезовой конструкции// Письма в ЖТФ, — 1980.- Т.6, № 17,-С. 1034−1037.
- Физико-технологические исследования рекомбинации в излучающих диодах на основе гетероструктур AlGaAs при больших токах возбуждения с целью установления предельно-допустимых режимов эксплуатации излучающих диодов, отчёт- ДЗ3469(Е44 107).
- Вилисов А.А., Горбатов Н. А. Предельно допустимые режимы эксплуатации излучающего диода АЛ-124// Деп. ЦНИИ «Электроника», — № 9143/84
- Ермаков О.Н. Влияние температурных эффектов на характеристики полупроводниковых источников излучения// Обзоры по электронной технике.- Сер.2, Полупроводниковые приборы, — 1987, — № 1(1254).
- Гурков Л.Н. Разработка и исследование полупроводниковых источников некогерентного излучения большой мощности для ВОЛПИ и индикаторов- Кандидатская диссертация,— М.: МИРЭиА, 1984.
- Абдуллаев О.Р., Абрамов B.C., Гаршенин Л. В. Тепловые свойства излучающих диодов с локализацией области излучения, — Электронная техника. Сер. 2. Полупроводниковые приборы, — 1986, вьш.4(183).- С. 74 79.
- Моряков О С., Куцко О. С. Свойства материалов, применяемых в корпусах мощных полупроводниковых приборов для теплоотвода и термокомпенсирования// Обзоры по электронной технике, — Сер.2, Полупроводниковые приборы, — 1978, — № 3(538).
- US Patent № 4 920 404 Int. CI. 5 H01 L 23/28, H 01 L 33/00 filled 12,05.89.- Low Stress Light-Emitting Diode Mounting Package/ Shrimal D.C., Steranka F.M., McLeod L.-Publ. 24.04.90.
- US Patent № 3 581 162 Int. Cl. 5 H01 L 1/12, 9/06 filled 01.07.69, — Optical Semiconductor Device/ Wheatlev W.R.- Publ. 25.05.71.
- Kennedi D.P. Spreading resistance in cylindrical semiconductor devices// J. Appl. Phys.- i960,-V. 31.-P. 1490−1497.
- ОСТ 23−78. Приборы полупроводниковые. Методы отвода тепла.
- Мотин Э.А., Цесорский И. Б. Приближённый расчёт в форме диска с торцовым отводом тепла// Вопросы радиоэлектроники, Сер. ТРТО.-1974.- № 1.
- Шперлинг Р.П. Решение неосесимметричной задачи нестационарной теплопроводности для двухслойного полого цилиндра конечной длины/./ ИФЖ, — 1972.-Т.23, № 5.
- Янке Е., Эмде Ф. Специальные функции, формулы, графики, таблицы.-М.:Наука, 1977.
- Техович А.И., Жидких В. М., Расчёты теплового режима твёрдых тел,— Л.: Энергия, 1976.
- ГОСТ 19 656.15−84 Диоды полупроводниковые сверхвысокочастотные. Методы измерения теплового сопротивления переход-корпус и импульсного теплового сопротивления.
- ГОСТ 19 834.2−74. Методы измерения силы излучения и энергетической яркости.
- Вилисов А.А., Едреев А. А., Шумилова Н. И., Захарова Г. Н., П.В.Вершинин. Установка измерения и визуализации диаграммы направленности излучающих диодов.// Измерительная техника, — 1990, — № 9, — С. 33−34
- Casey Н.Е. Jr,. Sell D.D. and Panish M.B. Refraetive index of AlxGai. xAs between 1,2 and 1,8 ev// Appl. Phys. Lett.- 1974, — V. 24, № 2, — P. 63−65.
- Разработка AlGaAs импульсных полупроводниковых излучателей для систем накачки твердотельных лазеров. Отчёт по НИР, — Е4 002 884, — РТ 17.47.35.
- Коган Л.М., Водовозова М. Л., Вишневская Б. И. и др. Светодиоды с узконаправленным излучением, — Электронная техника, сер.2, Полупроводниковые приборы, — 1988, — № 1(192).- С. 17−23.
- FR Patent № 2 531 814 Int Cl. 5 H 01 L 33/00, 10.08.82, — Association monolithique de diodes electroluminescentes et de lentilles/ Carballes J.C.- 17.02. 84.
- EP № 101 368 A2 Int. Cl. 5 H 011 L 33/00, 10.08.82, — Association monolithique d’une diode electroluminescente et de lentilles/ Thomson-CSF.- 22.02. 84.
- Kontkiewicz A.M. The influence of light-emitting diode design on the shape of emitted radiation beam// Electron Technology.- 1985, — V.15, № l-2ro- P. 89−103.
- Hall Robert и др. Пространственное распределение излучения многоцветных светодиодов// Sold State Technology.- 1975, — Т. 18, № 3.
- Томас, Гвинедд, Уэлс. Определение полезной выходной мощности свето-диодов по полярной диаграмме// Электроника.- 1977.- № 21.- С. 63−65.
- Заявка Японии № 61−198 691 кл. H01L 33/00, 1987.
- Стриха В.И., Попова Г. Д., Бузанёва Е. В. Физические основы изготовления омических контактов металл-полупроводник. Полупроводниковая техника и микроэлектроника- Киев: Наукова думка, 1975, — № 19.
- Стриха В.И., Попова Г. Д., Бузанёва Е. В. Физические основы изготовления омических контактов металл-полупроводник. II. Полупроводниковая техника и микроэлектроника, — Киев: Наукова думка, 1975, — № 20.
- Sands Т. Compound Semiconductor Contact Metallurgy.// Material Science and Endineering.- 1989, — V, В1, — P. 289 312.
- Norman Braslaw, Ohmic contact to GaAs and GaxAlixAs// J.Vac. Sci. And Technol. В.- 1983, — V. 1, № 3.
- Мельников Ю.Ф. Светотехнические материалы,— М.: Высшая школа, 1976.
- Вилисов А.А., Соснина И.В, Машнич ГЛ., Галевко Т. В, Интегральный оп-тоэлектронный прибор на основе арсенида галлия// VI-е Всесоюзное совещание по исследованию арсенида галлия, Сб. трудов, — 1987, — Томск, — Т 1.- С. 161−162,
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов.- М.: Мир, 1984, — T.I.- С. 318.
- Вилисов А.А., Поспелова Е. Т., Купцова Т. А., Ничипуренко Б. А. Измерительный излучающий диод АЛ-154// Электронная промышленность, — 1991, — № 4, — С. 93.
- Авт. св-во СССР N 1 591 779, 06.10.87. Двухволновый излучающий диод/ Вилисов А. А., Бердникова Т В., В. П. Орлов.
- Lee С.Р., Margalit S., Yariv A. Dependence of Zn Diffusion on the AJ Content in Ga}.xAlxAs// Sol.-St. Electronics.- 1978, — V.211, — P. 905 907.
- Lang D.V., Logan R.A., Kimerling L.C. Observation of Deep Energy Shifts as a Function of Composition in AlxGai-xAs Mixed Cristals// J. Appl. Phys.- 1978, — V.49, — P. 615−618.
- ОСТ 11 091.103.1−81.- ИЭТ Порядок выполнения научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ и постановки изделий на производство.
- ГОСТ 15.001−88, — Система разработки и постановки продукции на производство. Продукция производственно-технического назначения,
- ГОСТ В 15.101−79.- Система разработки и постановки на производство военной техники. Тактико-техническое (техническое) задание на выполнение научно-исследовательских работ,
- ГОСТ В 20.57.402−81.- Комплексная система контроля качества. Изделия электронной техники, квантовой электроники и электротехнические военного назначения. Требования к обеспечению качества.
- ГОСТ В 28 146−89, — Приборы полупроводниковые. Общие технические условия.
- ГОСТ 15 133–77, — Приборы полупроводниковые. Термины и определения.
- ГОСТ В 20.39.403−81 (СТ В СЭВ 0262−87).- Комплексная система общих технических требований. Изделия электронной техники, квантовой электроники и электротехнические военного назначения. Требования по надёжности,
- ГОСТ 20.57.406−81, — Комплексная система контроля качества. Изделия электронной техники, квантовой электроники и электротехнические военного назначения. Методы испытаний,
- ГОСТ 19 834.0−75, ГОСТ 19 834.2−74 ГОСТ 19 834.5−80 (СТ СЭВ 3788−82).-Излучатели полупроводниковые. Методы измерения параметров.
- ГОСТ 18 986.0−74 (СТ СЭВ 1622−79).- Диоды полупроводниковые. Методы измерения электрических параметров. Общие положения.
- ОСТ 11 0095−84, — Индикаторы знакосинтезирующие полупроводниковые. Излучатели полупроводниковые. Оптопары. Требования и методы испытаний на надёжность.
- ОСТ 11 0216−85.- Приборы полупроводниковые. Методы ипытаний по определению конструктивно-технологических запасов.
- ОСТ 11 0219−85, — Приборы полупроводниковые. Методы технологических (отбраковочных) испытаний.
- РМ 11 070.071−81.- Изделия электронной техники. Методы определения типовых характеристик.
- OCT В 11 070.059−79.- Изделия электронной техники. Методы установления норм на электрические параметры.
- ОСТ 11 336.040−78.- Приборы полупроводниковые оптоэлектронные. Методы установления норм электрических и спектрометрических параметров.
- ГОСТ 27.410−87, — Надёжность в технике. Методы контроля показателей надёжности и планы контрольных испытаний на надёжность,
- Lindsay С.Е., Conlon F.B. Reliability of Infra Red Surface Light Emitting Diodes Suitable for Military and Avionic Wavelength Division Multiplexing Systems// 40th Electron Compon. and Technol. Conf. 1990: Proc.- V. 1, — P. 49 54.
- Madelon R., Alroudl M., Fortinl A. DLDS-related near-bandgap photoluminescence peak current degraded GaAJAs LEDs// Semicond. Sci. Techol.- 1991, — V. 6, — P. 810 -814.
- Заявка на патент РФ № 97 112 991/25 кл. 6 Н 01 L 33/00 от 30.07.97. Светодиодное устройство/ Абрамов B.C., Беленьков Н. М., Денисов С. Д., Щербаков Н. В., Уваров Л.А.- Публ. БИ № 16, 10.06.99.
- Кудпяшов В, Е., Туркин А. Н., Юнович А. Э., Ковалёв А. Н., Маняхин Ф. И. Люминесцентные и электрические свойства светодиодов InGaN/AlGaN/GaN с множественными квантовыми ямами// ФТП, — 1999.- Т. ЗЗ, № 4, — С. 445−450.
- Мильвидский М.Г. Полупроводниковые материалы в современной электронике- М, — Наука, 1986, — 144 с.
- Птащенко А.А. Деградация светоизлучающих диодов// Ж. Прикл. Спектроскопии, — 1980, — Т. ЗЗ, № 5.- С. 781−803.
- Гаршенин Л.В., Чемисов С В., Щепетилова Л. А. Деградация излучающих диодов ИК диапазона с локализацией области излучения// Электронная техника, сер.2 Полупроводниковые приборы.- 1987, — № 3(188).
- Сукач Г. А. Тепловые процессы в светоизлучающих диодах// Оптоэлектроника и полупроводниковая техника.- 1987 № 9, — С. 41−47.
- Kingbright Optoelectronic Components, 2000−2001. Taiwan: Taipei Hsien.
- Коган Л.М. Светодиоды с повышенной мощностью излучения.// Светотехника, — 2000.- № 2, — С. 16−19.
- Neuberger М. Hanbook of Electronic Materials. V.7 III V Ternary Semiconducting Compounds — Data Tables. New York-Washington-London, 1972, — 56 p.
- Rideut V.L. A Review of the Theory and Technology for Ohmic Contacts to Group III-V Compound Semiconductors// Solid State Electronics.-1975.-V. 18, — P. 541−550,
- Pellegrini В., Salardi G. A Model of Ohmic Contacts to Semiconductor// Solid State Electronies."1975.-V. 18.- P. 791−798.
- Применение оптоэлектронных приборов: Пер. с англ. под ред. Ю. Р. Носова / Гейт С., Эванс Д., Ходапп М., Соренсен X.- М.: Радио и связь, 1981, — 344 с.
- Носов Ю.Р. Олтоэлектроника.- 2-е изд., перераб. и доп.- М: Радио и связь, 1989, — 360 с.
- Пляскин П.В. Семинар выставка «День светотехника Москвы»/,/ Светотехника, — 2000, — Не 3, — С. 45−47.
- Басов Ю.Г., Кузнецов В. Д., Сысун В. В. Бытовые светильники со светоизлу-чающими диодами// Светотехника, — 2000, — № 2.- С. 21−22.
- Варфоломеев Л.П. Новые источники света на Ганноверской ярмарке 1999г. И Светотехника, — 2000.- № L- С. 39−41.
- Айзенберг Ю.Б. Осветительные приборы на международных выставках 1999г.// Светотехника.- 1999.- № 6, — С. 37−41.
- ОСТ 11 336.003 74. Приборы полупроводниковые. Методы отвода тепла.
- Птащенко А.А., Сушков В. П., Ирха В, И., Баранов В. М. Исследование механизма деградации электролюминесценции GaixAlxAs// Письма в ЖТФ.- 1979, — Т.5, № 10, — С. 624−627.
- Мартынов В.Н., Кольцов Г. И. Полупроводниковая оптоэлектроника: Учебное пособие для вузов, — М: МИСИС, 1999, — 400 с.
- Jshimatsu S., Okuno Y. High efficiency GaAlAs LED/ Optoelectronics devices and Technologis.- 1989, — V.4, № 1, — P.21−32,-л**
- Второй Российско-Украинский семинар «Нанофизика и наноэлектроника»,-Киев: ИФП НА НУ, 2000.- 123 с.
- Отблеск А.Е., Челноков В. Е. Физические проблемы в силовой полупроводниковой электронике.- Л.: Наука, 1984, — 238 с.
- Бржезинский В.А. Прогнозирование работоспособности светоизлучающих диодов на основе ускоренных испытаний и моделирования процесов деградации.- Киев: Знание, 1991.-23 с.
- Елисеев П.Г., Цимберова И. С. Безызлучательные потери в гетероструктурах InGaAsP/lnP//Квантовая электроника, — 1989,-Т. 16, № 10, — С, 2074−2077,
- Елисеев П.Г., Цимберова И. С. Нелинейность люминесценции гетерострук-тур InGaAsP/lnP в диапазоне 1,0−1,6 мкм// Радиотехника и электроника, — 1989, — Т.34, № 3, — С. 618−627.
- Елисеев П.Г. Введение в физику инжекционных лазеров. М.
- Дьяконов В.П. Импульсный трансформатор для регистрации токов наносе-кундного диапазона// ПТЭ, — 1987.- № 2, — С. 103.
- Агаханян Т.М. Основы транзисторной электроники,— М.: Энергия, 1974.
- Заявка на патент РФ № 97 109 754/25 от 10.06.97. МКл 6 H01L 33/00. Источник света/ Карпович Н. В., Криворотов Н. П., Хан A.B.- Публ. БИ № 16, 10.06.99.
- РАЗДЕЛ II. ПРИМЕНЕНИЕ СВЕТОИЗЛУЧАЮЩИХ ДИОДОВ
- Основные результаты исследований и разработок по данному разделу диссертации опубликованы в работах 27,65,66, 95,117,156−161,193,213−219.
- ГЛАВА 5. СВЕТОДИОДНЫЕ ФИЗИОТЕРАПЕВТИЧЕСКИЕ АППАРАТЫ ПОВЕРХНОСТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ 27,65,79,95,117,193,217.51.Введение
- Целью представленной здесь компиляции является обоснование выбранным в дальнейшем параметрам воздействий, для реализации которых в процессе работы проводился подбор и модернизация СИД, разрабатывались светодиодные устройства.
- Практически этой же цели служит и анализ основных тенденций развития аппаратурного обеспечения светотерапии.
- Светотерапии воздействие с лечебной или профилактической целью на биологический объект, в частности на человека и животных, электромагнитным излучением видимого и ближнего инфракрасного диапазона спектра.
- Механизмы воздействия низкоинтенсивного электромагнитного излучения инфракрасного и видимого диапазонов изучены достаточно хорошо, хотя и остались «белые пятна», обусловленные высочайшей сложностью живого организма.
- В самом общем виде световое излучение оказывает на биологические объекты энергетическое и информационное воздействие 20,194−196.
- Вообще вопрос рассматривается так, что облучение включает реакции, ведущие к нормализации функций организма, к восстановлению регулирующих функций мозга. Отсюда и многообразие положительных эффектов фототерапии.
- Отметим, что к настоящему времени номенклатура полупроводниковых излучающих приборов столь обширна, что можно решать вопрос создания светодиодных аппаратов даже для деструктивного воздействия на биоткани.
- Довольно много аппаратов с различным сочетанием длин волн излучения в видимом и инфракрасном диапазоне спектра излучения 42,198−203.
- Большинство аппаратов сочетанного светоэлектровоздействия предназначено для внутриполостной терапии. Это, например, аппарат электролазерный терапевтический урологический АЭЛТУ-01 «Ярило» 61−64. (см. гл.6).
- На предприятии под руководством автора в 1997−99г. разработано несколько разновидностей аппаратов для электросветотерапии, преимущественно с целью внут-риполостного применения. Особенности этих аппаратов более подробно рассматриваются в главе 6 65,66.
- В одной из моделей аппаратов серии «Мустанг» излучение может модулироваться на любой частоте от 0,5 до 3000 Гц 57., в аппарате «Милта» частота повторения импульсов излучения 5, 50, 1000, 5000 Гц [17].
- Биорезонансная терапия. Вопрос оптимизации частоты воздействия логично решается так, что оптимальную частоту модуляции излучения необходимо искать в самом организме так появилось новое направление светотерапии — биорезонансная терапия.
- Аппараты серии «Мустанг-био» также имеют датчики сердечного ритма и дыхания пациента, и этими сигналами модулируется лазерное и светодиодное излучение.
- Вопросы оптимизации параметров воздействия наиболее полно рассмотрены в21.
- Многодиодные аппараты серии «Геска»
- Первые макеты аппарата «Геска» изготавливались в модернизированных корпусах телевизионного усилителя «Икар» (Рис. 5.1).
- Рис. 5.5. Светодиодный физиотерапевтический аппарат портативный1. Теска-1"ские разбросы характеристик диодов. Всё это существенно усложняет процесс сборки и вдобавок ко всему возникает реальная опасность выгорания сразу всех диодов.
- Для многодиодных аппаратов («Геска-2», варианты аппарата «Геска-1») надёжность работы повышается с соединением излучателей в параллельно-последовательную матрицу 95.
- Рис. 5.3. Простейшие схемы включения светодиодов в аппарате.
- Для повышения надежности и электрической безопасности аппарата целесообразно часть диодов соединить параллельно с образованием отдельных подрядов параллельно соединённых излучающих диодов, соединённых последовательно.
- Для более устойчивой работы аппарата и упрощения сборки целесообразно диоды в пределах отдельного подряда параллельно соединённых излучающих диодов подбирать идентичными по их номинальному напряжению.
- При необходимости включать в подряд излучающие диоды, различающиеся по номинальным напряжениям и рабочим токам целесообразно в подрядах параллельно соединённых диодов, по меньшей мере, часть диодов снабдить отдельными гасящими резисторами.
- Перечисленные признаки обеспечивают физиотерапевтическому аппарату высокую надёжность и электрическую безопасность при сохранении терапевтической эффективности при возможных отказах части излучающих диодов в матрице.
- Экспериментальная зависимость 10 и I- от числа «отказов» диодов типа «обрыв» в этом ряду и приведена на Рис. 5.8.
- Рис. 5.4. Параллельно-последовательная матрица с полярной запиткойМ1. Фиг.2
- Рис. 5.5. Параллельно-последовательная матрица с запиткой переменным током
- Рис. 5.6. Фрагмент матрицы с гасящим резистором в цепи диода
- Рис. 5.7. Схема экспериментачисло «отказавших» диодов («обрыв»)
- Результаты эксперимента проведенного для матрицы светодиодов красного цвета размером 10×5 для различного числа «отказавших» диодов в одном из рядов (Рис. 5.8), подтверждают проведенный анализ.
- Рис. 5.106. Плотность мощности красного излучения 1е, отн.ед.1е, охн.ед.
- Рис. 5.11а. Суммарная плотность мощности излучения1е, отн.ед.
- Рис. 5.116. Суммарная плотность мощности излучения-ДЛГ
- Отмечается портативность аппарата и удобство его применения.
- Аппарат широко применяется в клинической практике и в индивидуальном пользовании в домашних условиях.
- Отмечается целесообразность использования аппаратов серии «Геска» в растениеводстве, птицеводстве, животноводстве, рыбоводстве.
- Аппараты серии «Геска-маг» для еветомагнитотерапии
- Поэтому логичным продолжением разработки светотерапевтических аппаратов «Геска» стало создание на их основе устройств для физиотерапевтического воздействия на очаг патологии одновременно оптическим излучением и постоянным магнитным полем 117.
- Разработка технологии серийного производства аппарата «Геска-маг» имеет несколько важных аспектов.
- Поэтому важным является выбор типа используемого магнита.
- Измерения магнитной индукции проводили в открытом виде (Рис. 5.12) и при размещении магнита на листе железа (Рис. 5.13).
- Рис. 5.14. Зависимость нормальной составляющей магнитной системы из двух магнитов от расстояния и количества магнитопроводов. О без магнитопровода, 1,2,3, — количество пластин магнитопровода.
- Были согласованы типоразмеры с НПО «Магнетон» (г.Владимир) и ПОЗ «Прогресс» (г.Верхняя Пьппма) и использовались пластинчатые магниты из сплава Ч36Р по 48−4-543−90 ТУ.
- Поскольку и такие магниты имеют технологический разброс, а, кроме того, система предусматривает два рядом расположенных разнополюсных магнита, то необходимо установить корреляционную связь параметров системы и исходных параметров магнита.
- Размещая магнитопровод с лицевой стороны системы магнитов можно уменьшать значения магнитной индукции (Рис. 5.16). Таким методом можно существенно снизить магнитную индукцию как в сторону пациента, так и в сторону обслуживающего персонала.