Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Моделирование методом Монте-Карло процессов взаимодействия пучка электронов с твердым телом и возбуждения рентгеновского излучения

Диссертация: Моделирование методом Монте-Карло процессов взаимодействия пучка электронов с твердым телом и возбуждения рентгеновского излучения
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

В основе развития ряда методов исследования свойств и состава твёрдого тела лежат эффекты, обусловленные взаимодействием пучка электронов с атомами мишени. Ведущее место среди них занимают электронно-зондовый и рентгеноспектральный методы анализа. Всё более широкое распространение получают также методы рентгенофотоэлектронной, растровой и Сйсе-электронной спектроскопии. В последнее время эти… Читать ещё >

Моделирование методом Монте-Карло процессов взаимодействия пучка электронов с твердым телом и возбуждения рентгеновского излучения (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • Глава I. ПРОХОЖДЕНИЕ ЭЛЕКТРОНОВ СРЕДМХ ЭНЕРГИЙ ЧЕРЕЗ ВЕЩЕСТВО И МЕТОДа
  • РАСЧЁТА ИНТЕНСИВНОСТИ ПЕРВИЧНОГО РЕНТГЕНОВСКОГО ИЗЛУЧЕНИЯ
    • 1. 1. Основная идея метода Монте-Карло и его применения для исследования поведения электронного пучка в твёрдом теле
    • 1. 2. Торможение электронов. II
    • 1. 3. Рассеяние электронов
    • 1. 4. Обратное рассеяние электронов
    • 1. 5. Метода расчёта интенсивности первичного характеристического и тормозного рентгеновского излучения
    • 1. 6. Задачи и направления исследований
  • Глава 2. РАЗРАБОТКА МОДЕЛИ ДЛЯ ИМИТАЦИИ МЕТОДОМ МОНТЕ-КАРЛО ПОВЕДЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО ПУЧКА В ТВЁРДОМ ТЕЛЕ
    • 2. 1. Характеристика элементарных актов взаимодействия электрона с атомом
    • 2. 2. Схема последовательных столкновений
    • 2. 3. Программа для имитации на ЭВМ индивидуальных траекторий электронов
    • 2. 4. Расчёт функций распределения рентгеновского излучения по глубине объекта — ослабления электронного пучка — с), спектрального распределения обратнораесеянных электронов dS/dW
    • 2. 5. Обсуждение и корректировка модели
    • 2. 6. Оценка точности вычислений
    • 2. 7. Выводы
  • Глава 3. РАСЧЁТ ПРОБЕГОВ, ОБРАТНОГО И УГЛОВОГО РАССЕЯНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ
    • 3. 1. Расчёт пробегов электронов методом Монте-Карло
    • 3. 2. Угловое распределение и глубина диффузии электронного пучка
    • 3. 3. Обратное рассеяние электронов
    • 3. 4. Обратное рассеяние электронов при наклонном падении пучка.'
    • 3. 5. Выводы.*
  • Глава 4. РАСЧЁТ СПЕКТРАЛЬНОЙ ИНТЕНСИВНОСТИ ИЗЛУЧЕНИЯ РЕНТГЕНОВСКИХ ТРУБОК С АНОДОМ «ПРОСТРЕЛЬНОГО» ТИПА
    • 4. 1. Схема расчёта в случае многослойной мишени
    • 4. 2. Расчёт распределения интенсивности тормозного рентгеновского излучения по глубине тонкослойных мишеней

Актуальность темы

В основе развития ряда методов исследования свойств и состава твёрдого тела лежат эффекты, обусловленные взаимодействием пучка электронов с атомами мишени. Ведущее место среди них занимают электронно-зондовый и рентгеноспектральный методы анализа. Всё более широкое распространение получают также методы рентгенофотоэлектронной, растровой и Сйсе-электронной спектроскопии. В последнее время эти методы интенсивно используются для изучения поверхностных свойств твёрдых тел, свойств тонких плёнок в зависимости от их элементного состава и толщины, полупроводниковых структур и т. п. Данные объекты требуют для своего исследования дальнейшего развития указанных методов, потенциальные возможности которых не удаётся реализовать в полной мере из-за нерешённости ряда теоретических проблем в силу большой сложности описания поведения электронного пучка в объекте и особенно в тех случаях, когда объект является неоднородным по составу или гетерогенным.

Значительным шагом в развитии теории количественного анализа явилось использование методов Монте-Карло. Эти статистические методы позволяют имитировать на ЭВМ случайные процессы рассеяния и потерь энергии электроном в твёрдом теле и, тем самым, получать, практически, любую интересующую исследователя информацию, связанную как с самим электронным пучком, так и с различными сопровождающими эффектами. За последние пятнадцать-двадать лет, начиная с 1965 года, было создано много различных моделей, позволяющих изучать поведение электронного пучка в твёрдом теле. Однако, вскоре было обнаружено, что получаемые результаты содержат значительные погрешности, возникающие из-за неточности выражений для поперечных сечений процессов упругого и неупругого рассеяний электрона. Это показало, что реальному использованию методов Монте-Карло в количественных расчётах должен предшествовать этап тщательного анализа всех сторон процесса моделирования и последующей корректировки модели. Поэтому задана создания корректных моделей является по-прежнему актуальной, а весь накопленный опыт указывает на её сложность.

Цель работ — создание надёжной и информативной имитационной модели как инструмента исследования твёрдого тела с помощью электронного пучка.

В связи с этим определены основные задачи работы:

— выяснить роль и влияние на правильность результатов моделирования таких факторов, как величины эффективных сечений упругого и неупругого рассеяний, флуктуаций потерь энергии электронов в отдельных столкновениях, рассеяний при неупругих взаимодействиях;

— уточнить используемые выражения для поперечных сечений рассеяний электрона с целью улучшения сходимости расчётных и экспериментальных данных;

— уточнить существующие выражения для расчёта глубины диффузии, экстраполированного и траекторного пробегов электронов;

— исследовать угловые и энергетические распределения электронов как функции глубины проникновения пучка в мишень;

— исследовать явление обратного рассеяния электронов и оценить его вклад в функции распределения рентгеновского излучения по глубине мишени;

— применить разработанную модель для решения одной из важных практических задач — расчёта спектральной интенсивности излучения рентгеновских трубок с анодом «прострельного» типа.

Научная новизна работы.

Впервые развита имитационная модель с раздельным учётом упругих и неупругих столкновений электронов с атомами твердого тела, построенная на основе сопоставления результатов расчёта с широким кругом разнообразных экспериментальных данных, последующего анализа входных параметров и корректвровки модели;

Впервые предложено простое выражение для расчёта потерь энергии электроном в индивидуальных столкновениях, позволившее моделировать явление страгглинга электронов;

Разработана новая схема расчёта обратного рассеяния электронов, построенная на основе использования результатов, полученных методом Монте-Карло;

Получены уточнённые выражения для расчёта средней потери энергии в столкновении, глубины диффузии и экстраполированного пробега электронов;

Разработан вариант имитационной модели для расчётов в многослойных мишенях сложного химического состава;

Предложена модификация формулы Крамерса, значительно расширяющая область её применимости.

Автор защищает: — имитационную модель и её модификацию для многослойных объектов, а также программное обеспечение реализующее обе модели- - формулы для расчёта потерь энергии в индивидуальных столкновениях электрона с атомами мишени, для расчёта средней потери энергии в одном столкновении, для расчёта параметра экранирования, спектральной интенсивности тормозного рентгеновского излучения, глубины диффузии электронного пучка- - модель обратного рассеяния электронов.

Практическая значимость работы.

Разработана имитационная модель, которая вместе с её модификациями находит широкое применение в электронно-зондовых и рентгеновских методах исследования свойств и состава твёрдотельных i ! 7 объектов. Результаты работы в настоящее время используются в Ленинградском НПО «Буревестник» в расчетах, связанных с конструированием и тестированием рентгеновских трубок с анодом *hpo-стрельного" типа, в лаборатории рентгеноспектральных методов анализа Института геохимии СО АН СССР (г. Иркутск) для расчетов интенсивности тормозного и характеристического рентгеновского излучения, в Институте химической физики АН СССР (г.Черноголовка) для решения задач в физике горения и взрыва, на физическом факультете МГУ для решения задач по исследованию физических свойств полупроводниковых структур, в Институте электрохимии АН СССР (г.Свердловск j в расчетах, связанных с исследованием тонких пленок.

Апробация работы. Основные результаты диссертации докладывались на Международных (Дрезден, 1972; Москва-Киев, 1974), Всесоюзных (Москва, 1972; Ростов-на-Дону, 1975; Львов, I9SIЗвенигород, 1981; Черноголовка, 1982; Иркутск, 1984) конференциях, а также на Сибирских семинарах («Иркутск, 1982; Красноярск, 1983).

Публикации. По теме диссертации опубликовано II работ, список которых приведен в Примечании на стр. 186−187.

Личное участие: В работах [П1-П4] автору диссертации принадлежат идеи построения имитационной модели, ее программная реализация и расчеты интенсивности характеристического рентгеновского излучения. Ему же принадлежит основной вклад и расчетное обоснование развиваемых положений в работе [ш}* В работах |П9-П11|им же выполнены расчеты и получены основные формулы.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Основным результатом данной работы является разработанная автором имитационная модель, построенная по схеме последовательных столкновений, в которой раздельно учитываются упругие и неупругие взаимодействия электрона с атомами вещества. Предложено простое выражение для расчёта потерь энергии в индивидуальных столкновениях, удовлетворительно описывающее флуктуации энергетических потерь, что позволяет выполнять детальные исследования поведения пучка электронов в веществе.

Модель откорректирована и проверена на широком экспериментальном материале. Результаты расчётов функций распределения характеристического рентгеновского излучения по глубине объекта позволили вскрыть и оценить погрешности, допущенные при экспериментальном измерении этих функций.

Выполнено исследование траекторных пробегов электронов и функций ослабления электронного пучка по мере его проникновения в объект* Анализ этих данных позволил уточнить формулу Бёте и выражение для расчёта экстраполированного пробега электронов.

Изучение углового распределения электронов позволило уточнить выражение для сечения упругого рассеяния и получить эмпирические выражения для оценки глубины диффузии и углового распределения пучка как функции глубины и энергии.

Выполнены расчёты обратного рассеяния электронов, позволившие лучше понять механизм этого явления и предложить новый теоретический подход к решению задачи. Получено выражение для вычисления коэффициента обратного рассеяния электронов при прямом и наклонном падении пучка, а также выражение для расчёта спектрального распределения обратнорассеянных электронов, хорошо согласующееся с экспериментом.

Разработан расширенный вариант модели, выполняющей расчёты для слоистых объектов с различным химическим составом. Областью применения такой модели могут служить многослойные структуры, широко используемые в современной микроэлектронике.

В качестве практического приложения разработанной модели были выполнены расчёты распределения интенсивности в спектре излучения рентгеновских трубок с анодом «прострельного» типа. Трубки такого рода, несмотря на малую мощность, обладают рядом преимуществ по сравнению с другими типами рентгеновских трубок и радиоизотопными источниками излучения. Результаты расчётов хорошо согласуются с имеющимися экспериментальными данными.

Расчёты интенсивности возбуждаемого в аноде рентгеновской трубки излучения показали, что формула Крамерса, обычно используемая в теории рентгеновского флуоресцентного анализа, не вполне правильно описывает зависимость интенсивности от длины волны. Опибка возрастает с ростом длины волны, достигая 400% при А>1Фш. Результаты расчётов позволили откорректировать формулу Крамерса и получить выражение, удовлетворительно описывающее интенсивность излучения, выходящего из окна-анода, когда толщина анода равна или незначительно отличается от величины I, 5*R. В остальных случаях данные могут быть получены путём расчёта методом Монте-Карло.

В заключение отметим, что корректирующие коэффициента!, введённые в формулы для сечений упругого и^вгеупругого рассеяний, и призванные устранить неточности имеющиеся в этих формулах, вместе с тем не могут не включать в себя и ту степень приближения к описанию реальной физической картины рассеяния электронов, которая принята в разработанной имитационной модели.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Р. Имитационное моделирование систем — искусство и наука- М., Наука, 1978, 419 с.
  2. Сборник научных программ на Фортране. Вып"1. СтатистикаМ., Статистика, 1974, 315 с.3″ Ермаков С. М" Метод Монте-Карло и смежные вопросы. М. Наука, 1975, 471 с.
  3. Bethe Н.А. Zur Theorie dies Durchgangs Schneller Korpusku-lastrahlen durch Materie. Ann.Phys., 1929, 5, s.525−351.5> Аккерман А. Ф., Никитушев Ю*М>, Ботвин В. А* Решение методом Монте-Карло задач переноса быстрых электронов в веществе.
  4. Алма-Ата, Наука, 1972, 120 с"
  5. Williams Е. The Straggling of -Particles. Proc.Roy.Soc., 1929, .125, p.420−445.
  6. Cosslett V.E., Thomas R.N. Range-energy relation. Brit. J.Appl.Phys., 1964, 15, p. I283-I300.
  7. Bloch F. Bremsvermogen von Atomen. mit mehreren Electronen. Zeit.f.Phys., 1933, 81, s.363−376.
  8. Bakker C.J., Segre E. Stopping Power and Energy boss for Ion Pair Production for 340-Mev Protons. Phys.Rev., 1951, 81, p. 489−4-92.
  9. Duncumb R., Reed S.J. The Calculation of Stopping Power andB&ckScatter Effect in Electron Probe Microanalysis. -N.B.S., 1968, p.133−154.
  10. WilgQn R. Range and Ionisation Measurenents of High Speed Protons. Phys.Rev., 1941, 60, N II, p.749−753.
  11. Livingston H.S., Bethe H.A. G. Nuclear Dynamic, Experimental. Rev.Mod.Phys., 1937, % p.245−390.
  12. О.И., Поманский А. А. Радиационные единицы длиныи критические энергии- ЖЭТФ, 1963, 45, вып.28, с.268−2.7?.
  13. Walske М.С., Bethe Н.А. Asymptotic Formula for Stopping Power of K-Electrons. Phys.Rev., 1951″ 82″ H 2, p.457−458.
  14. Walske M.C. The Stopping Power of K-Electrons. Phys. Rev., 1952, v.88, N 6, p. I282-I289.
  15. Bichel H., Uehling E.A. Multiple Scattering Correction for Proton Ranges and the Evalution of the L-Shell Correction and I Value for Aluminium. Phys.Rev., I960, v. II9, H" 5, p.1670−1680.
  16. Caldwell D.O. Range-Energy Relation and Masses of the New Particles. Phys.Rev., 1955″ 100″ Я It p.291−294.
  17. Leiss J. Range Straggling of High-Energy Electrons in Carbon. Phys.Rev., 1957, 10^, p. I544-I548.
  18. Sachs D.C., Richardson J.R. Mean Excitation Potentials. -Phys.Rev., 1955, 82, N6, p. II63-H64.
  19. Стародубцев C. B-, Романов JI-M- Прохождение заряженных частиц через вещество* Ташкент, Изд. АН Узб-ССР, 1962, 156 с.
  20. Brandt W. Stopping Power and Valence States. Phys.Rev., 1956, 104, p.691−693.
  21. Вятскин А. Я- Теория неупругого рассеяния электронов в металлах. Ж-Т.ф., 28, № 10, с.2217−2227, Р И, с.2455−2468.
  22. А.Я. К теории неупругого рассеяния электронов в твердом теле. ФТТ, I960, 2, № I, с.122−132
  23. A.M., Учайкин B.C. Введение в теорию прохождения частиц через вещество. М., Ато’миздат, 1978, 256 с.
  24. Spencer L. Theory of Electron Penetration. Phys.Rev., 1955, 28, P. I597-I6I5.
  25. H., Месси Г. Теория атомных столкновений. М-, Мир, 1969, 756 с.
  26. Moliere G. Theory der Struung schneller geladener Teil-«chen I Einzelstruung am abgeschirmten Coulomb-Field. -Teit.Naturf., 1947, 2a, s.133−145.
  27. Lewis H.W. Multiple Scattering in Infinite Medium. Phys. Rev., 1950, 28, N 5, p.526−529.
  28. Wang M.C., Guthe E. On the General Theory of Multiple Scattering Particulery of Charged Particles. U.S. Bureau of Standarts, Oircl. 1954, p.39−59.
  29. Bothe W. Durchgang von Electronen durch Materie. Hand. d.Phys., 1933, 22/2, s. I-70.
  30. Lin S.R., Sherman N., Percus J.K. Elastic Scattering of Relativistic electrons by Screened atomic nuclei. Nuclear Phys., 1963, p.492−504.
  31. Wentzel G. Zwei Bemerkungen uber die Zerstreuung Korpus-kuarer Strahlen als Beagungseercheinung. Z.Phys., 1926, 40, s.590−593.
  32. А.А., Тернов И. М. Квантовая механика и атомная физика. М., Просвещение, 1970, 423 с.
  33. Cosslet V.E., Thomas R.N. Multiple Scattering of 5−30 keV Electrons in Evaporated Metal Films. Brit.J.Appl.Phys., 1964, N8, p.88−908.
  34. Г. ф. Столкновение электронов с атомами и молеку-а лами— М.: Наука, 1978, 255 с.
  35. Г. Квантовая механика. Пер. с англ. М.: Мир, 1965, 333 С.
  36. В.М., Зайченко А. К., Дмитриенко Р. В. Рентгеноспек-тральный анализ с ионным возбуждением. М.: Атомиздат, 1978, 247 с.
  37. Abrahamson A.A. Bora-Mayer-type interatomic potential for neutral ground-state with Z-2 to Z-I05. Phys.Rev., 1969, v. I78, N I, p.76−77.
  38. Shinoda G., Murata K., Shimizu R. Scattering of Electrons in Metallic Targets. Quantitative Electron Probe Microanalysis, N.B.S. 298, 1968, p.155−188.
  39. Herman P., Skillman S. Atomic structure calculation. -Prentice-Hall, New Jersey, 1963.
  40. Lu C.C., Carlson T.A., Malik P.B., Tucker Т.О., Nestor S.W. Hartree-Pock-Slater eigenvalues, radial spectration values and potentials for atoms, 2 Z 126. AtonuData, 1971, v. I, N I, p.I.
  41. Riley M.E., MacCallum C.J., Biggs P. Theoretical Electron-atom Elastic Scattering Cross Sections Selected Elements, I keV to 256 keV. Atomic Data and Nucl. Data Tables, 1975» v.15″ N 5″ p.443−476.
  42. A.E. Изучение спектров отражения электронов в условиях электронно-зондовых исследований твердых тел. Канд.дисс., Ереван, 1974.
  43. Bishop Н.Е. Some Electron Backscattering Measurements for Solid Targets.- Optiques des Rayons X et Microanalyse, Herman, Paris, 1967, p.153−158.
  44. Eanter H. Zur Ruckstreuung von Electronen im Energiebe-reich von 10 bis 100 keV. Ann.Phys., 1957″ 20, s.144−166.
  45. Kulenkampf H., Ruttiger К. Untersuchungen der Energiever-teilung ruckdiffundierter Electronen an dunnen Metallschi-chten. Z•Phys., 1958, 152, N 2, s.249−263.
  46. Holliday J.E., Sternglass E.J. Backscattering of 5−20 keV Electrons from Insulators and Metals. J.Appl.Phys., 1957, 28, N 10, p.1189−1193.
  47. Hunger H.J., Kuchler L. Measurements of the electron back-scattering coefficient for quatitativa EPMA in the energy range of 4 to 40 keV. — Phys.Stat.Sol., 1979″ A6, N I, p. k45-k48.
  48. Щ. Neubert G., Rogashewski S. Backscattering coefficient measurements of 15 to 60 keV electrons for Solids at varies angles of incidence. Phys.Stat.Sol., 1980, A59. N I, p.35-^1.
  49. Weinryb E., Philibert J. Mesure des Coefficient de Retro-diffusion des Electrones de 5 к 30 keV. C.r.Acad.Sci., Щ, 258, N 18, p.4535−4540.
  50. Everhart Т.Е. Simple Theory concerning the Reflection of Electrons from Solids. J.Appl.Phys., I960, ?1, IT 8, p.1413−1420.
  51. Находкин Н-Г-.Остроухов A.H., Романовский В. А", Неупругое рассеяние электронов в тонких пленках. Ф.Т.Т., 1962, 4, Р 16, с.151и-152и.
  52. Л.Б., Кушнир Ю.М" Элементарная теория отражения электронов от поверхности твердого тела. Радиотехника и электроника, 1964, 9, № 8, сЛ458−1464.
  53. Н.Г., Остроухов А. А., Романовский В. А. Неупругое рассеяние электронов в тонких пленках. Ф.Т.Т., 1965, 7, № I, с.210−216.
  54. Cosslett V.E., Thomas H.N. Multiple Scattering of 5−30 keV Electrons in Evaporated Metal Films. III. Backscatte-ring and Absorption. J.Appl.Phys., 1965? 16, N 6, p.779−795.
  55. Archard G. Backscattering of Electrons. J.Appl.Phys., 1961, 12, p.1505−1509.
  56. Dashen R.F. Thepry of Electron Backscattering. Phys.Rev. 1964, 14, P. AI025-AI032.
  57. Tomlin S.G. The Back-scattering of Electron from Solids.-Proc.Phys.Soc., 1963, 82, p.465−466.
  58. А.А. Вычисление коэффициента неупругого отражения и прохождения электронов средних энергий. Ф.Т.Т., 1968, 10, Р 7, с.2105−2114.
  59. В.В. К теории отражения быстрых электронов от проводящих сред. Ж.-Э-Т-Ф., 1965, 49, Р 4, с. 1126.
  60. Капауа К., Okayama 0. Penetration and Energy-Loss Theory of Electrons in Solid Targets. J.Phys. Ds Appl.Phys., 1972, v.5, N I, p.43−58.
  61. Brown D.B., Ogilvie R.E. An Evalution of the Archard
  62. Electron Diffusion Model. J.Appl.Phys., 1964, N 10, p.2793−2795.
  63. Dupouy M.G. Distribution Energetique des Electrons Retro-diffuses. C.r.Acad.Sci., 1971, 221, Ser. B, p. II27-H30.
  64. Kulenkampf H., Spyra W. Energieverteilung ruckdiffundier-ter Electronen.
  65. Castaing R. Electron Probe Microanalysis. In: Adv. in Electronics and Electron Physics, I960, I^, p.317−384.
  66. Castaing R., Descamps J. Sur les Bases Physiques deanalyse Ponctuelle par Spectrographie X-«e. J.Phys. et Radium, 1955, 16, N 4, p.241−352.
  67. Castaing R., Henoc J. Repartition en Profondeur du Rayonne-ment caractdristique. In- X-Ray Optics and X-Ray Microanalysis. Paris, 1966, p.120−126.
  68. Vignes A., Dez G. Distribution in Depth of the Primary X-Ray Emission in Anticathodes of Titanium and Lead. -Brit.J.Appl.Phys., 1968, I, Ser.2, N 10, p. I309-IJ22.
  69. Brown J.D. The Sandwich Sample Technique Applied to Quantitative Microprobe Analysis. In: Electron Probe Microanalysis. Acad.Press., N.Y. and London, 1969″ P.4−5-71.
  70. Штройбель П. ПК Боровский И. Б. Экспериментальный способ получения функции ионизации ?(рэс). Ф.М.М., 1969, 28, вып.1, с.57−66.
  71. Furuno S., Izui К. Experimental Determination of Depth Distribution Function of Carbon К X-Rays. Jap.J.Appl. Phys., 1971, 10, N 8, p.1077−1082.
  72. I. Рентгеновская флуоресценция, возбужденная тормозным спектром электронов. В кн-: Физические основы рент-геноспектрального локального анализа. М., Наука, 1973, с.235−247.
  73. В. Флуоресцентное излучение от толстых и тонких ми-шений. В кн.: Физические основы рентгеноспектрального локального анализа. М., Наука, 1973, с.212−222.
  74. Murata M., Shibahara H., Evalution of X-Ray Tube Spectra for quantitative X-Ray Fluorescence analysis. X.R.S., 1981, 10, N I, p.4I-45.
  75. Brown D.B., Wittry D.B., Kyser D.F. Prediction of X-Ray Production and Electron Scattering in Electron Probe Analysis Using a Transport Equation. J.Appl.Phys., 1967″ 58, Ж 4, p.1627−1636.
  76. Brown D.B., Ogilvie R.E. An Electron Transport Model for the Prediction and Electron Backscattering in Electron Microanalysis. J.Appl.Phys., 1966, 2Z» N 12, P. W29
  77. Рид С. Электронно-зондовый микроанализ. М-: Мир, 1979, 424 с.
  78. Green М.А. A Monte Carlo Calculation of Spatial Distribution of Characteristic X-Ray Production in a Solid Target, Proc.Phys.Soc., 1963, v.82, IT 526, p.204−2I5.
  79. Shimizu R., Ikuta T., Murata K. The Monte Carlo Technique as applied to the Fundamentals of EPMA and SEM. J.Appl. Phys., 1972, 42, N 10, p.4233−4249.
  80. Maurice F., Henoc J. Application de la Methode de Monte-Carlo a la Simulation des Trajectoires des Electrons de 10 a 30 keV dans les cibles Epaisses. Report CEA-R-46I5j A.32, C.E.N. -Saclay, B.P. n 2, 9II90-GIF-sur-YVETTE1. France, 1975″
  81. Murata К., Matsukawa Т., Shimizu R. Monte-Carlo Calcula^: — tions on Electron Scattering in a Solid Target. Jap.J. Appl.Phys., 1971, 10, N 6, p.678−686.
  82. Shimizu R., Nashigori N., Murata K. Monte Carlo Technique as Applied to Quantitative Electron Probe. Microanalysis. -Techn.Report of the Osaca Univ., 1972, 22, N 1060, p.40I-417.
  83. Reimer L. Monte-Carlo-Rechnungen sur Electronendeffusion.-Optik, 1968, B.27, N 2, s.86−99.
  84. McDonald I.R., Lamki A.M., Delaney C.F.G. The attenuation and backscattering of electron beams by thin films. J. Phys. D.: Appl.Phys., 1971, v.4, p. I2I0-I2I7.
  85. Kyser D.F., Murata K. Application of Monte Carlo Calculation to Electron Microprobe Analysis of the Films Substrates. In- Use of Monte Carlo Calculation in Electron Probe Microanalysis and Scanning Electron Microscopy. NBS, 1976, p.129−138.
  86. Reimer L., Krefting E.R. The effect of scattering models on the results of Monte Carlo calculations. N.B.S., Spec.Publ. 460, 1976, p.45−60.
  87. Proykova A. An analysis of scattering process of conversion electrons in solid layers. J.Phys. D: Appl.Phys., 1980, 12, Я 2, p.291−305.
  88. Ichimura S., Arata M., Shimizu R. Monte Carlo calculation approach to quantitative Auger electron spectroscopy. J. Appl.Phys., 1980, v.5I, N 5, p.2853−2860.
  89. В. И. Расчет ионизации атомов электронным ударом в бинарном приближении классической механики. В сб.: Вопросы теории атомных столкновений. Л., издат. ЛГУ, 1975, с.42−65.
  90. Shimizu R., Kataoka Т., Ikuta Т., Kashikawa Т., Hashimoto A Monte Carlo approach to the direct simulation of electron penetration in solids. J .Phys. Dt Appl.Phys., 1976, % U I, p. I0I-II4.
  91. Ф.Н. Общий курс рентгенотехники. М., Физматгиз, 1956, 453 с.
  92. Ш Э-А., Комяк Н. И., Хуцишвили Л"А- Портативные рентгеновские трубки для рентгеноепектрального анализа. В кн.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л., 1971, вып. 8, с.169−1747
  93. Аб Э.А., Гуревич Ю. М., Комяк Н. И., Плотников Р. И. Аналитические возможности бескристальной рентгенофлуоресцентной аппаратуры, разрабатываемой СКВ РА. В кн.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л.9 197I, вып.9, с.148−167.
  94. Zulliger H.R., Stewart J.E. X-ray fluorescence analysis with transmission target tubes. Adv. X-Ray Anal., 1975, 18, p.278−287.
  95. Murata M., Shihahara H. An evaluation of X-ray tube spectra for quantitative X-ray fluorescence analysis. X.R.S., 1981, v. 10, IT I, p.41−45.
  96. B.C., Гиманов В. П., Плотников Р. И. Исследованиеспектров рентгеновской трубки БХ-I с помощью Sl(Lt) детектора- - В кн.: Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л., IS74, вып. 15, с.84−86.
  97. Watson R.L., Michael M.W., Herkandez J., beeper A.K. Exi-tation effeciencies for К and L-X-ray by Mo transmission tube. Adv. X-Ray Anal., 1978, v.21, p.105−118.
  98. И.М., Шрайман B.C. Вторичная электронная эмиссия. М.: Наука, 1969, 407с.
  99. Phylibert J. A methode for calculating the absorption corrections in electron probe microanalysis, X-Ray Optics and X-Ray Microanalysis.- H.Y., Acad. Press, 1963, p.379−392.
  100. Borovskii I.В., Rydnik V.I. The theory of quantitative electron probe microanalysis.- Quantitative Electron Probe Microanalysis. UBS 298,1968,p.35−52.
  101. И.Б., Рыдник В. И. Локальность рентгеноспектраль-ного микроанализа. В кн.:Аппаратура и методы рентгеновского анализа. Л., 1969, вып. 5, с.141−153. II. Яворский Б. М., Детлаф А. А. Справочник по физике.
  102. М.: Ш, 1963. 847с. 12. Лаццау Л. Д., Лившиц Е. М. Механика. Электродинамика.
  103. М.: ФМ, 1969. 271с. — (Краткий курс теоретической физики- т.1).
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!