Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Разработка автоматизированных пьезоприводных средств определения метрологических характеристик приборов размерного контроля деталей в микрометрическом диапазоне

Диссертация: Разработка автоматизированных пьезоприводных средств определения метрологических характеристик приборов размерного контроля деталей в микрометрическом диапазоне
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Высокая разрешающая способность пьезопривода, повторяемость характеристик преобразования при неизменных условиях их определения, обусловленные физической сущностью обратного пьезоэффекта, относительная простота и удобство управления с помощью электрического сигнала являются благоприятными факторами автоматизации воспроизведения микроперемещений. С другой стороны, имеется ряд факторов… Читать ещё >

Разработка автоматизированных пьезоприводных средств определения метрологических характеристик приборов размерного контроля деталей в микрометрическом диапазоне (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • ГЛАВА I. АНАЛИЗ ПРОБЛЕМЫ СОЗДАНИЯ АВТОМАТИЗИРОВАННЫХ СРЕДСТВ КАЛИБРОВКИ (АСК) ПРИБОРОВ РАЗМЕРНОГО КОНТРОЛЯ В МИКРОМЕТРИЧЕСКОМ ДИАПАЗОНЕ
    • 1. 1. Объекты, методы и эталонные средства метрологического обеспечения в области микрометрических измерений
    • 1. 2. Анализ пьезоприводных устройств микроперемещений
    • 1. 3. Постановка задач диссертационной работы
  • Выводы по главе 1
  • ГЛАВА 2. ТЕОРЕТИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ПРЕОБРАЗОВАНИЯ СТРУКТУРНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ПЬЕЗОПРИВОДНЫХ АСК
    • 2. 1. Математическое моделирование и исследование закономерностей статических характеристик преобразования
    • 2. 2. Алгоритмическое обеспечение расчета статической характеристики пьезопривода
    • 2. 3. Оценка погрешности воспроизведения микроперемещений в статике
    • 2. 4. Разработка и исследование динамических характеристик разомкнутого пьезопривода
    • 2. 5. Структурный синтез и параметрическая оптимизация системы управления АСК
  • Выводы по главе 2
  • ГЛАВА 3. РАЗРАБОТКА ТИПОВЫХ МОДЕЛЕЙ ПЬЕЗОПРИВОДНЫХ АСК ПРИБОРОВ РАЗМЕРНОГО КОНТРОЛЯ И РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ ЭЛЕМЕНТОВ
    • 3. 1. Устройство и расчет параметров исполнительного механизма АСК
    • 3. 2. Проектирование и расчет параметров элементов электронного блока управления
      • 3. 2. 1. Усилители высоковольтного напряжения
      • 3. 2. 2. Схема измерительного преобразователя
    • 3. 3. Конструктивное исполнение и управление работой АСК
  • Выводы по главе 3
  • ГЛАВА 4. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК ЭЛЕМЕНТОВ И СИСТЕМЫ
    • 4. 1. Исследование нелинейных свойств статической характеристики пьезодвигателя
    • 4. 2. Исследование и моделирование процесса ползучести исполнительных элементов пьезодвигателя
    • 4. 3. Экспериментальная оценка параметров динамических характеристик исполнительного механизма АСК
    • 4. 4. Экспериментальная оценка и нормирование метрологических характеристик типовых моделей АСК
  • Выводы по главе 4
  • ГЛАВА 5. РАЗРАБОТКА РЕКОМЕНДАЦИЙ ПО ПРИМЕНЕНИЮ АСК ПРИБОРОВ РАЗМЕРНОГО КОНТРОЛЯ ДЕТАЛЕЙ
    • 5. 1. Разработка рекомендаций по поверке и калибровке измерительных преобразователей микроперемещений
    • 5. 2. Разработка рекомендаций по контролю параметров настройки приборов размерного контроля
  • Выводы по главе 5

Перспективным направлением развития эталонной техники в области измерений размеров и перемещений является создание автоматизированных средств калибровки (АСК) приборов размерного контроля деталей, обеспечивающих определение их метрологических характеристик методом прямого воспроизведения перемещений на входе приборов по сигналу управления с нормированной точностью при высокой разрешающей способности. Применение АСК в качестве рабочих эталонов, а также средств проверки параметров настройки приборов размерного контроля позволит создавать высокопроизводительные автоматизированные поверочио-настроечные комплексы с использованием управляющих ЭВМ и микропроцессоров.

Наиболее актуальной является проблема создания АСК для приборов размерного контроля с диапазоном измерений от ± 3 мкм до ± 0,1 мм и нормированной основной погрешностью, составляющей десятые доли мкм. В соответствии с метрологическими нормами погрешность воспроизведения микроперемещений при определении метрологических характеристик приборов размерного контроля не должна превышать десятых, а в отдельных случаях и сотых долей мкм. С учетом дополнительных требований к линейности, плавности и равномерности воспроизведения микроперемещений возникают значительные трудности технической реализации автоматизированных средств, отвечающих перечисленным требованиям.

Одним из приемлемых технических решений проблемы автоматизации воспроизведения перемещений в микрометрическом диапазоне является создание АСК, выполненных на базе аналогового пьезопривода. Вместе с тем, имеется ряд факторов, ограничивающих точность и воспроизводимость микроперемещений посредством пьезопривода. Принципиальным предложением по улучшению метрологических характеристик пьезопривода является его оснащение эталонным обратным измерительным преобразователем микроперемещений. Однако, вопросы создания АСК на базе пьезопривода с обратными измерительными преобразователями требуют дальнейшего изучения, направленного на разработку эффективной структуры системы управления АСК и оптимизацию параметров ее элементов.

Действующие методики градуировки и поверки (калибровки) средств измерений размеров и перемещений с ценой деления шкалы от 1.0 мкм и более основаны на прямом измерении изменения размеров, воспроизводимых эталонными мерами с шагом дискретности 10 мкм. Для средств измерений с ценой деления шкалы 0,1- 0,2- 0,5 мкм применяют метод сличения показаний поверяемого и эталонного средств измерений путем одновременного воспроизведения на их входах изменения размера эталонными мерами более высокого разряда с шагом дискретности 1,0 мкм. Градуировка участков шкалы в пределах 1,0 мкм производится простым делением длины участка шкалы между оцифрованными метками. Необходимость применения мер чрезвычайно ограничивает производительность градуировочно-поверочных операций, делает их трудоемкими и требует высокой квалификации поверителя.

Не менее проблематичными являются вопросы настройки, а также проверки параметров настройки средств контроля размеров (приборы допускового контроля, контрольно-сортировочные устройства, приборы активного контроля). Настройка средств контроля производится, главным образом, с помощью аттестованных образцов контролируемых деталей, а проверка параметров настройки' - плавным двунаправленным контролируемым изменением размера на входе средства контроля. В последнем случае для воспроизведения изменения размера применяют клиновые приспособления, что в силу их механического устройства не снимает проблему низкой производительности. Кроме того, погрешность воспроизведения микроперемещений ограничена пределами ± 0,5 мкм, что в ряде случаев не достаточно для выполнения требований к достоверности полученных результатов.

Повышение производительности и достоверности поверочно-настроечных операций в микрометрическом диапазоне связано с решением проблемы автоматизированного воспроизведения перемещений с требуемой точностью и разрешающей способностью. Техническое решение проблемы заключается в создании высокоточного автоматизированного привода микроперемещений. Анализ метрологических требований и технических возможностей их реализации показывает, что наиболее приемлемым решением является создание автоматизированных калибраторов на базе аналогового пьезопривода линейных микроперемещений. Исполнительные элементы пьезопривода выполняются из многослойной пьезокерамики и при соответствующем выборе типоразмера и количества пьезоэлементов обеспечивают требуемый диапазон перемещений.

Высокая разрешающая способность пьезопривода, повторяемость характеристик преобразования при неизменных условиях их определения, обусловленные физической сущностью обратного пьезоэффекта, относительная простота и удобство управления с помощью электрического сигнала являются благоприятными факторами автоматизации воспроизведения микроперемещений. С другой стороны, имеется ряд факторов ограничивающих возможность применения пьезопривода для рассматриваемых целей. К их числу относятся нелинейность и многозначность статической характеристики преобразования, явление ползучести пьезокерамики, выражающееся в медленном изменении первоначально установившегося значения в течении нескольких минут, а так же временная нестабильность параметров пьезоэлементов. Именно по этой причине до настоящего времени пьезопривод не нашел своего применения для высокоточного воспроизведения микроперемещений.

Цель данной диссертационной работы — повышение производительности и достоверности операций определения метрологических характеристик приборов размерного контроля геометрических параметров деталей путем создания высокоточных АСК, выполненных на базе аналогового пьезопривода, конструктивно совмещенного с эталонным обратным измерительным преобразователем микроперемещений.

В работе решались следующие задачи: экспериментальное исследование и математическое моделирование статических характеристик пьезоприводных АСКтеоретическое исследование и оценка погрешности воспроизведения микроперемещений в позиционных режимах работы АСКразработка математических моделей динамических характеристик пьезопривода АСК и исследование его динамического качестваразработка алгоритмического обеспечения для имитационного моделирования и исследования полных характеристик преобразования «управляющее напряжение — перемещение подвижного звена механизма" — разработка типовых конструкций исполнительных механизмов АСК с многослойными пьезокерамическими элементами и обратным преобразователемразработка структурных схем построения АСК с обратным каналом компенсации ошибкианализ и синтез параметров системы управленияразработка типовых моделей АСК и методики расчета и проектирования параметров их элементов.

Диссертация состоит из введения, пяти глав, заключения, списка литературы и приложений.

Основные выводы и результаты работы заключаются в следующем:

1. Экспериментально исследованы и математически описаны статические нелинейные свойства аналогового пьезопривода микроперемещений, выполненного на базе многослойной пьезокерамики, как многозначной нелинейности типа «гистерезис». Выявлены свойства функции чувствительности и рассчитаны ее значения.

2. Даны аналитические оценки погрешности воспроизведения микроперемещений для произвольной последовательности изменения управляющего напряжения и однопозиционного режима управления с предварительным переводом отображающей точки в начало координат.

3. Экспериментально исследован и математически описан процесс ползучести пьезокерамики при воспроизведении микроперемещений, выражающийся в медленном возрастании (уменьшении) первоначально установившегося перемещения в течении нескольких минут на 10% от первоначально установившегося значения.

4. Разработаны математические модели динамических характеристик разомкнутого пьезопривода микроперемещений в форме: системы линейных дифференциальных уравнений с многозначной статической нелинейностью;

— передаточных функций с замещением отклонений от линейности эквивалентными возмущающими воздействиямина основе которых исследованы характеристики переходного процесса, а так же частотные характеристики методом имитационного моделирования с помощью специального алгоритма.

5. Разработаны комбинированные структуры системы управления АСК, содержащих основной канал управления по задающему воздействию и канал компенсации ошибки между задающим воздействием и воспроизводимым микроперемещением, посредством интегратора. При этом показаны структурные возможности компенсации ошибки как по входу, так и по выходу комбинированной системы.

6. Получены передаточные функции предложенных вариантов комбинированных систем, на основе которых проведены исследования влияния параметров системы на устойчивость и точность воспроизведения микроперемещений при ограничениях на длительность и качество переходного процесса.

7. Представлены результаты разработки автоматизированных средств калибровки приборов размерного контроля и их элементов. Предложены типовые схемы конструкций исполнительных механизмов с пьезокерамическими исполнительными элементами (многослойный, биморфный), оснащенные встроенным обратным измерительным преобразователем микроперемещений.

8. Даны рекомендации по расчету и проектированию элементов АСК, а так же оптимальному выбору параметров системы управления.

9. В результате экспериментальных исследований подтверждена адекватность разработанных математических моделей реальным характеристикам преобразования системы.

10. В результате аттестации разработанных моделей АСК нормированы следующие метрологические характеристики. Для модели АК-1:

— диапазон перемещений ± 60 мкм,.

— цена единицы младшего разряда 0,01 мкм,.

— чувствительность 0,01 мкм/мВ, предел допускаемой основной погрешности воспроизведения микроперемещений в диапазоне ± 60 мкм — 0,2 мкм- ±18 мкм — 0,05 мкм- ± 3 мкм — 0,03 мкм,.

— измерительное усилие не менее 100 Н. Для модели АК-2:

— диапазон перемещений ± 0,3 мм,.

— цена единицы младшего разряда 0,1 мкм, предел допускаемой основной погрешности воспроизведения микроперемещений 0,2 мкм,.

— измерительное усилие не более 300 сН. 11. Даны рекомендации по применению АСК при проведении операций настройки, градуировки и калибровки приборов размерного контроля и измерительных преобразователей микроперемещений. L.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Показать весь текст

Список литературы

  1. Актуальные вопросы поверки специальных средств линейных и угловых измерений и применение средств вычислительной техники / В. Б. Коркин и др. — М.: Изд-во стандартов, 1989. — 120 с.
  2. . Г. Справочное пособие для специалистов метрологических служб / Б. Г. Артемьев, Ю. Е. Лукашов. М.: Изд-во стандартов, 2004. — 645 с.
  3. Е.А., Вишнеков А. В., Николаев Ю. Л., Фирстов В. Г. Алгоритмы оценивания характеристик погрешностей измерительно-поверочных комплексов с помощью процедуры статистического моделирования. Машиностроитель, № 11−12, 1998. — С. 55.
  4. С. М. Гармоническая линеаризация обобщенной гистерезисной характеристики пьезоэлектрического привода для нано- и микроперемещений. Электричество, № 1, 2008. — С. 70−74.
  5. С. М. Пьезопреобразователи для приводов микроперемещений. Приборы и системы управления, № 2, 1998. — С. 41−42.
  6. С. М. Расчет статических и динамических характеристик пьезодвигателя наноперемещений. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 7, 2000. — С. 56−57.
  7. С. М. Исследование и расчет механических и регулировочных характеристик составного пьезодвигателя наноперемещений. — Датчики и системы, № 8, 2002, С. 29−31.
  8. С. М. Исследование и расчет гистерезисных характеристик составных пьезодвигателей наноперемещений. Датчики и системы, № 9, 2009. — С. 15−16.
  9. С. М. Корректирующие устройства системы управления пьезоприводом нано п микроперемещений. — Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 8, 2006. — С. 22−26.
  10. С. М. Об обобщенных условиях абсолютной устойчивости системы автоматизированного управления пьезодвигателем наноперемещенин. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 4, 2005. — С. 28−31.
  11. С. М., Афонин П. С. Программирование и моделирование характеристик пьезодвигателя наноперемещений. Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика, № 3, 2006. — С. 24−26.
  12. В. А., Попов Е. П. Теория систем автоматического регулирования. -М.: Наука, 1975, 768 с.
  13. Г. С., Серко А. А. Измерение геометрических величин и их метрологическое обеспечение. М.: Изд-во стандартов, 1987. — 368 с.
  14. В. А., Алферов А. В. Измерительные приборы. Издательство стандартов, 1986. 512 с.
  15. А. С. Основы метрологии и технические измерения. -М.: Машиностроение, 1980. 192 с.
  16. Ю. Н. И др. Сегнето- и антисегнетоэлектрики семейства титаната бария. М.: Химия, 1985. — 256 с.
  17. Ю. О., Машинистов В. М., Розентул С. А. Электронные измерительные системы для контроля малых перемещений. -М.: Машиностроение, 1976. 142 с.
  18. А. Д., Николаев Ю. J1. Математическая модель статических характеристик пьезокерамических преобразователей. -Автоматика и телемеханика, № 11, 1992.-С. 172−185.
  19. А. В. и др. Устройство для задания микроперемещений. А. с. СССР № 1 674 065. Б. и. № 31, 1990.
  20. А. В. Моделирование статической нелинейности пьезоэлементов. / Всесоюзная конференция «Современные проблемы физики и ее приложений». Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР, 1990. — С. 112.
  21. А. В. Особенности моделирования свойств исполнительных механизмов микроперемещений на основе пьезокерамических элементов. 6-ое Всероссийское Совещание-семинар «Инженерно-физические проблемы новой техники», Москва, 2001. С. 25.
  22. С. С., Педь Е. И. Приборы для автоматического контроля размеров в машиностроении. М.: Изд-во стандартов, 1975. — 336 с.
  23. Ю. В., Рубцов А. А, Контроль измерительных приборов и специального инструмента. М.: Машиностроение, 1981. — 200 с.
  24. И. А. Пьезокерамика. М.: Энергия, 1972. — 228 с.
  25. ГОСТ 8.051−81. ГСИ. Погрешности, допускаемые при измерении линейных размеров до 500 мм. М.: Изд-во стандартов, 1987. — 10 с.
  26. Р. Г., Ерофеев A. JI. Пьезокерамические элементы в приборостроении и автоматике JI.: Машиностроение, Ленингр. отделение, 1986.-256 с.
  27. Р. Г., Ерофеев А. Л. Пьезоэлектроиные устройства вычислительной техники, систем контроля и управления. / Справочник. -СПб.: Политехника, 1994. 286 с.
  28. В. П. Справочник по алгоритмам и программам на языке Бэйсик для персональных ЭВМ. М.: Наука, 1989. — 240 с.
  29. А. Г. Воспроизведение микроперемещений в динамическом режиме. / Всесоюзная конференция «Современные проблемы физики и ее приложений». Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР, 1990. -С. 110.
  30. А. Г. Пьезорегуляторы положения стола инструментального микроскопа. М.: МГТЦНТИ и П. 1989. — 4 с.
  31. А. Г., Николаев Ю. Л. Задатчик микроперемещений. А. с. СССР № 142 736. Б. и. № 36, 1988.
  32. А. Г., Николаев Ю. Л. Задатчик микроперемещений. А. с. СССР № 1 513 421. Б. и. № 37, 1989.
  33. А. Г и др. Задатчик микроперемещений. А. с. СССР № 1 587 319. Б. и. № 31, 1990.
  34. А. Г., Николаев Ю. Л., Вишнеков А. В. Исследование и проектирование пьезорегуляторов положения с применением ЭВМ. / Тезисы докладов Международной молодежной научной конференции НОЕМВРИ -1989г. Варна, ВМЕИ, НРБ. 1989. -С. 9.
  35. К. Б. Основы измерений. Электронные методы и приборы в измерительной технике. М.: Постмаркет, 2000. — 352 с.
  36. В. Б. Автоматизация линейных и угловых измерений: Конспект лекций. -М.: Изд-во стандартов, 1988. 68 с.
  37. В. В. и др. Пьезоэлектрические двигатели / В. В. Лавриненко, И. А. Карташов, В. С. Вишневский. М.: Энергия, 1980. — 110 с.
  38. В.Г., Гарипов В. К., Слепцов В. В., Вишнеков А. В. Автоматизация измерений, контроля и управления. М.: Машиностроение-1, 2005. 663 с.
  39. В. Г., Вишнеков А. В. Нормализующие измерительные преобразователи / Научные труды X Международной научно-практической конференции «Фундаментальные и прикладные проблемы приборостроения, информатики и экономики, г. Сочи, 2007. С. 186 — 192.
  40. В. Г., Ефимов П. В., Вишнеков А. В. Нормирование выходных сигналов первичных преобразователей. Приборы+автоматизация, № 12, 2007.-С. 19−21.
  41. У. Физическая акустика. Т. 1. Методы и приборы ультразвуковых исследований. М.: Мир, 1966. — 592 с.
  42. Методические указания. Достоверность и требования к методикам поверки средств измерений МИ 187−86, МИ 188−86. М.: Изд-во стандартов, 1987.-39 с.
  43. Методические указания. Результаты и характеристики погрешности измерений. Формы представления. Способы использования при испытаниях образцов продукции и контроле их параметров. МИ 1.317−86. -М.: Изд-во стандартов, 1986. 29 с.
  44. Метрологическое обеспечение и эксплуатация измерительной техники / Под ред. В. А. Кузнецова. М.: Радио и связь, 1990. — 238 с.
  45. Механизация и автоматизация линейно-угловых измерений: Материалы семинара. М.: МДНТП, 1985. — 150 с.
  46. Н. Г. Измерения: планирование и обработка результатов. М.: ИПК Изд-во стандартов, 2000. — 301 с.
  47. Н. Г. Метрология. Основные понятия и математические модели. М.: Высшая школа, 2002. — 348 с.
  48. Н. Г. Назаров, Е. А. Архангельская. Современные методы и алгоритмы обработки измерений и контроля качества продукции. М.: Изд-во стандартов, 1995. — 163 с.
  49. Неразрушающий контроль: Справочник. В 7 т. Под общ. ред. В. В. Клюева. Т. 1: Визуальный и измерительный контроль. М.: Машиностроение, 2003. — 560 с.
  50. Ю. Л. Автоматизация воспроизведения микроперемещений на базе пьезоэлектрического привода. Автоматизация и современные технологии, № 3, 1997. — С. 6−12.
  51. Ю. Л. Автоматизированные механизмы и системы с пьезокерамическими приводными элементами / V Всесоюзное совещание по робототехническим системам. Тезисы докладов. М.: Институт проблем механики АН СССР, ВИНИТИ АН СССР, 1990. — С. 145.
  52. Ю. Л. Высокоточные системы микроперемещений / Всесоюзная конференция „Современные проблемы физики и ее приложений“. Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР, 1990. — С. 112.
  53. Ю. Л. Принципы конструирования пьезоэлектрических генераторов микроперемещений. Автоматизация и современные технологии, № 3, 2000. — С. 10−12.
  54. Ю. Л, Пьезорегуляторы положения / Всесоюзная конференция „Современные проблемы механики и технологии машиностроения“. Тезисы докладов. М.: ВИНИТИ АН СССР и ГКНТ, 1989.-С. 88.
  55. Николаев 10. Jl. Пьезоэлектрические калибраторы микроперемещений отсчетных механизмов. М.: МГТЦ НТИ и П, 1989. — 4 с.
  56. Ю. Л., Вишнеков А. В. Численные методы моделирования и исследования статических и динамических характеристик исполнительных пьезоэлементов. Измерительная техника, № 5, 1992. — С. 26−29.
  57. Ю. Л., Вишнеков А. В., Лукашкип А. Г. Пьезоприводные калибраторы микроперемещений с комбинированной системой управления. Контроль и диагностика, № 6, 2009. — С. 35−39.
  58. Ю. Л., Воронцов А. Л. Анализ силы закрепления и погрешностей позиционирования подвижных модулей в пьезоэлектрическом фиксаторе. Автоматизация и современные технологии, № 6, 1993. — С. 6−9.
  59. Ю. Л., Ершов А. Г. Автоматизированный отсчетный механизм микроперемещений. Измерительная техника, № 2, 1990. С. 21−22.
  60. Ю. Л., Ершов А. Г. Исполнительный механизм линейных перемещений. А. с. СССР № 1 520 484. Б. и. № 41, 1989.
  61. Ю. Л., Ершов А. Г., Смирнов В. А., Петров О. И. Устройство для позиционирования. А. с. СССР № 1 644 094. Б. и. № 15, 1991.
  62. Ю. Л., Ершов А. Г., Смирнов В. А., Петров О. И. Устройство для позиционирования исполнительного органа. А. с. СССР № 1 645 133. Б. и. № 16, 1991.
  63. Ю. Л., Ершов А. Г., Сапрыкин В. М., Вишнеков А. В. Исполнительный механизм микроперемещений. А. с. СССР № 1 798 767. Б. и. № 8, 1993.
  64. Ю. Л., Ершов А. Г., Сапрыкин В. М., Вишнеков А. В. Исполнительный механизм микроперемещений. А. с. СССР № 1 784 949. Б. и. № 48, 1992.
  65. Ю.Л., Гноенский Л. С., Вишнеков А. В. Разработка и исследование многоканальной системы перемещений и позиционирования. Научные труды межвузовской научно-технической конференции
  66. Фундаментальные основы создания наукоемких и высокотехнологичных приборов», МГАПИ, Москва. 1997. С. 56.
  67. А. А. Точные двухканальные следящие электроприводы с пьезокомпенсаторами. -М.: Энергоатомиздат, 1988. 160 с.
  68. Основополагающие стандарты в области метрологического обеспечения. М.: Издательство стандартов, 1986. — 271 с.
  69. Ю. И., Успенский С. Д. Метрологическое обеспечение средств измерений в эксплуатации. М.: ВИСМ, 1990. — 102 с.
  70. В. М., Семенов В. С. Пьезокерамические твердые схемы. -М.: Энергия, 1971. 168 с.
  71. Е. П., Пальтов И. П. Приближенные методы исследования нелинейных автоматических систем. М.: Физматгиз, 1960. — 792 с.
  72. Прецизионные пьезомикроманипуляторы для миниатюрных устройств / А. А. Ерофеев, Т. А. Поплевкин, М. А. Салтхушвили, С. В. Бойцов. Л.: ЛДНТП, 1991. — 28 с.
  73. Применение пьезоактивных материалов в промышленности / Под ред. В. В. Леманева. Л.: ЛДНТП, 1988. — 94 с.
  74. Прогрессивные методы и средства измерений линейных и угловых величин / Украинский республиканский дом экономической и научно-технической пропаганды. Киев: б. и., 1990. — 19 с.
  75. Рекомендации по метрологии Р 50.2.083−2004. Измерения прямые однократные. Оценивание погрешностей и неопределенности результата измерений. М.: ИПК изд-во стандартов, 2004. — 7 с.
  76. Средства для линейных измерений / Б. М. Сорочкин и др. Л.: Машиностроение. Ленингр. отд-ние, 1978. — 263 с.
  77. Средства контроля и измерений линейных и угловых размеров: Методики контроля и поверки / ВНИИизмерения. Кн. 2. Микрометрические приборы. -М.: 1991. 123 с.
  78. Средства контроля и измерений линейных и угловых размеров: Методики контроля и поверки / ВНИИизмерения. Кн. 4. Головкиизмерительные, индикаторные, индикаторы и индикаторные приборы. М.: 1991.-210с.
  79. Средства контроля и измерений линейных и угловых размеров: Методики контроля и поверки / ВНИИизмерения. Кн. 7. Поверочный инструмент. М.: 1991.- 161 с.
  80. А. В. Приборы для автоматического контроля размерных параметров в машиностроении. Омск: Омский политехнический институт, 1975.-213 с.
  81. А. В. Расчет и проектирование индуктивных измерительных устройств. М.: Машиностроение, 1979. — 173 с.
  82. Е. Г. и др. Новые пьезокерамические материалы / Е. Г. Фесенко, А. я. Данцигер, О. Н. Разумовская. Ростов н/Д: Изд-во Рост, ун-та, 1983.- 156 с.
  83. Н. Н., Николаев Ю. JT. Современные достижения и тенденции развития приборостроения. -М.: ВИНИТИ, 1990. 36 с.
  84. В. Д., Николаев Ю. JL, Шереметьев К. В. Борьба с вибрациями в прецизионной металлообработке. Техномир, № 1, 2006. — С. 80−83.
  85. Н. А., Болкисев А. М. Колебания пьезоэлектричских тел. -Киев: Наук. Думка, 1990. 227 с.
  86. А. Г. Теория, расчет и проектирование измерительных устройств. М.: ФГУП «Стандартинформ», 2006. — 248 с.
  87. Analysis of electrostatic comb-driver actutors in linear and nonlinear regions. / M. Tilleman. Int. J. Solid pieroelectric and Struct., № 18−19, 2004. — C. 4473−4502.
  88. Embedded p ieroelectric с eramic trunduceres i n s andwiched b earns. / A. Madhav, S. Kiong. Smart Mater, and Struct., № 2, 2006. C. 538−549.
  89. Lober C., Gtinter W/ Mikrorechntr in der Messtechnik. Berlin: Technik, 1983.-236 c.
  90. Micropositioning device using impact forse of pieroelectric flying wires / L. Ying-Tier, Y. Yutaka, H. Tohiro. IEEE/ASMT Trans. Meliatron, № 6, 2005. — C. 692−696.
  91. Mills A. A., Hurst A. W. A pieroceramic fmemovement control. J. Phys. E: Sci. Instrum., № 3, 1981. C. 295−296.
  92. Piezoelectric ceramics. By B. Jaffe, R. Cook and H. Jaffe. 1974 -288 c.
  93. Principles and application of ferroelectrics and related materials/ By M. E. Lines, A. M. Glass, Oxford, 1977. 723 c.
  94. Sanguinetti В., Varcoe B. Use of a piezoelectric SQUIGGLE motor for positioning at 6K in a cryostat. Cryogenics, № 9, 2006. — C. 694−696.
  95. Soft modes in ferroelectrics and antiferroelectrics/ By R. Blinc and B. Zekz (Amsterdam- New York), 1974. 395 c.
  96. Trajectory tracking of piezoelectric positioning stages using a dynamic sliding-mode control. Shieh Hsin-Jnag, Huang Po-Kai. IEEE Trans. Ultrason., Ferroelec., and Freq. Contr. № 10, 2006. C. 1872−1882.1. СОГЛАСд&АШ
  97. Элма" ТЗ. Г. Парфенов 1990 г.1. УТВЩР^-:^^ Приложение 1. udUj .И. Н. Холин l '' -Щл: и, 1990 г. 1. ПРОГРАММАметрологической аттестации автоматического калибратора микроперемещений модели АК-2
  98. СОГЛАСОВАНО Гл. метролог I МЧЗд.Д.Евдокимовfl"-*. 1990 Г, 1. СОГЛАСОВАНО
  99. Гл.метролог НЩ «Элла» 1И"Ю.Криков1990г.1. СОГЛАСОВАНО Гд. шшхег МШ
  100. Н.Ф. Гриделева " .^ск^г 1990 г.1401. СОДЕРЖАНИЕ1. Вводная часть". 3
  101. Перечень метрологичеоких характеристик, подлежащих аттестации.3
  102. Операции метрологической аттестация.3
  103. Средотва метрелогячеокой аттеотации.3
  104. Условия проведения метрологической аттеотации. 3
  105. Подготовка к метрологнчеокоЗ аттестаций.5
  106. Порядок проведения метрологической аттестации.6
  107. Оформление результатов метрологическойаттестации. 10
  108. Установление порядка метрологического обслуживанияв условиях эксплуатации. 101. Жршюжение. II1. Вводная часть
  109. Настоящая программа распространяется на автоматический калибратор микроперемещений АК-2 и устанавливает методы и средства его аттестации.
  110. Аттестация АК-2 как рабочего нестандартизованного средства измерений проводится в метрологической лаборатории 1МЧЗ им. С. М. Кирова с 14 мая, 1990 г. по 30 июня 1990 г.
  111. В комплект документации" представленной вместе с аттестуемым калибратором, входят: — техническое описание АК-2-- программа метрологической аттестации АК-2-- проект методических указаний по методам и средствам поверки АК-2.
  112. Перечень метрологических характеристик, подлежащих аттестации.
  113. Операции метрологической аттестации.
  114. Последовательность и объем исследований приведены в таблице I.
  115. Средства метрологической аттестации.
  116. Перечень средств метрологической аттестации приведен в таблице 2.
  117. Уоловия проведения метрологической аттестации
  118. Аттестацию следует проводить в условиях, изложенных в таблице 3.1. Наименование операции'
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!