Разработка и исследование технологических основ формирования легированных анодных пленок диоксида кремния
Диссертация
Реализация центральных задач данной проблемы обеспечит научнотехнический прорыв в отечественных микрои нанотехнологиях, физики, химии и электроники слоев анодных оксидов, которые представляют значительный интерес для электрохимии, твердого тела, ионной проводимости диэлектриков (твердых электролитов) и многих других областей науки и техники, в которых применяется анодное окисление 5 металлов… Читать ещё >
Список литературы
- Борисов Ю.И. О стратегии развития электронной промышленности // Электронная промышленность. 2006. — № 4. — С. 4−16.
- Достанко А.П., Ланин В. Л., Хмыль A.A., Ануфриев Л. П. Технология радиоэлектронных устройств и автоматизация производства / Под. общ. ред. А. П. Достанко. -Мн.: Выш. шк. 2002. 415 с.
- Бучин Э.Ю., Денисенко Ю. И., Рудаков В. И. Формирование сквозных отверстий, в кремниевой подложке // Письма в ЖТФ. 2002. — Т. 28. — Вып. 24. — С.75−79.
- Агеев O.A., Коноплев Б. Г., Поляков В. В., Светличный A.M., Смирнов В. А. Исследование режимов фотонно-стимулированной зондовой нанолитографии методом локального анодного окисления пленки титана // Нано- и микросистемная техника. — 2008. № 1. — С. 14−16.
- Гаврилов С. А., Белов А. Н. Электрохимические процессы в технологии микро- и наноэлектроники. — М.: Высшее образование. 2009. -257 с.
- Барабан А.П., Булавинов В. В., Коноров П. П. Электроника слоев Si02 на кремнии. Л.: Изд-во ЛГУ. 1988.-303 с.
- Гюнтершульце А., Бетц Г. Электролитические конденсаторы / Пер. с нем. Б. М. Тареева и Р.Н. Тареевой- под ред. Б. М. Тареева. М.: Оборонгиз. 1938.-200 с.
- Юнг Л. Анодные оксидные пленки / Пер. с англ. Л. Н. Закгейма и Л. Л. Одынца. Л.: Энергия. 1967. — 232 с.
- Schmidt P.F., Michel W. Anodic formation of oxide films on silicon // J.216
- Electrochem. Soc. 1957. -V. 104. -№ 4. -P. 230−236.
- Баранов И.Л., Табулина Л. В., Становая Л. С., Русальская Т. Г. Особенности синтеза анодных пленок оксида кремния в водно-органических растворах, содержащих ортофосфорную кислоту // Электрохимия. — 2006. — Т. 42.-№ 4.-С. 370−376.
- Баранов И.Л., Табулина Л. В., Становая Л. С., Русальская Т. Г., Шостак Ю. А. Синтез и особенности использования анодных боросиликатных диффузантов // Микроэлектроника. 2008.- Т. 37. — № 5. -С. 344−351.
- Zhang G. Electrochemistry of silicon and its oxide. New York etc: Kluwer/Plenum. 2001. — P. 510.
- Чистяков Ю.Д., Бредихин И. С., Милешко Л. П. Анодные окисные пленки кремния как твердый диффузант в планарной технологии // Зарубежная электронная техника. — М.:ЦНИИ «Электроника». 1976. -№ 1(134).-С. 3−38.
- Одынец Л.Л., Орлов В. М. Анодные оксидные пленки. — Л.: Наука. 1990.-200 с.
- Милешко Л.П., Королев" А.Н. Электроника анодных оксидных пленок кремния и его соединений, формируемых в легирующих электролитах. Таганрог: Изд-во ТТИ ЮФУ. 2009. — 186 с.
- Mileshko L.P. Doped Anodic Oxide Films Obtained on Silicon and Silicon Compounds: Preparation, Properties, and Application // Inorganic Materials.-2009.-Vol. 45. No. 13. — PP. 1494−1510.
- Милешко Л.П. Особенности процессов гальваностатическогоанодирования алюминия, кремния и пленок нитрида кремния // Известия217вузов. Электроника. 2007. — № 5. — С. 88−90.
- Мелиоранская С.В. Получение пленочных конденсаторов с максимальной удельной емкостью на основе анодированного алюминия // В сб. Радиофизика и микроэлектроника. Воронеж. 1970. — С.79−85.
- Маминова С.П., Одынец JI.JI. Электрохимическое окисление кремния в этиленгликоле // Электрохимия. — 1966. Т.2. — Вып.З. — С. 346 350.
- DelPOca C.J. Properties of anodic oxide films formed in the anodization of silicon nitride // J. Electrochem. Soc. 1973. — V.120. — № 9. — P.1226−1230.
- Угай Я.А., Анохин B.3., Владимирова JI.H., Анохина А. И. Анодное окисление кремния в этиленгликоле в присутствии кислородсодержащих анионов элементов Y группы и бора // В сб. Полупроводниковые материалы и их применение. Воронеж. 1974. — С. 136−140.
- Угай Я.А., Шаталов А.Я, Анохин В. З., Владимирова Л. Н. Особенности анодного окисления кремния в гальваностатическом режиме // В кн. Нитевидные кристаллы и тонкие пленки. 4.2. Воронеж. 1975. — С. 410−415.
- Mileshko L.P., Sorokin I.N., Bondarenko V.P. Anodic oxidation of silicon in H3PO4 and H3BO3 containing solution // Abs. 40th Int. Soc. Electrochem. Meeting, Kyoto. Japan. Sept. 17−22. 1989.-P. 748−749.
- Милешко Л.П., Варзарёв Ю. Н. Кинетические и термодинамические особенности анодного окисления карбида кремния в электролитах на основе этиленгликоля // ФХОМ. 2000. — № 2. — С. 45−48.
- Revesz A.G. Noncristalline structure and electronic conduction of silicon dioxide Films // Phys. Stat. Sol. -1967. № 24 (115). — P. l 15 — 126.
- Madou M.J., Games W.P., Fransen F., Cardon F. Anodic oxidation of p-type silicon in methanol as compared to glycole // J. Electrochem. Soc. 1982. -V.129. — № 12.-P.2749−2752.
- Young L. Temperature rise during formation of anodic oxide films in //
- Trans. Faraday Soc. 1957. — V.53. — №.2. — P. 229−233.218
- Sharma S.K., Chakravaty B.C., Singh S.N., Das B.K. Growth kinetics of thin anodic oxide of silicon and its dependence on phosphorus concentration in silicon // Thin Solid Films. 1988. — V.163. — P. 373−377.
- Васько A.T., Ковач C.K. Электрохимия тугоплавких металлов. -Кие: Техшка. 1983.- 160 с.
- Шишкин Ю.П. Некоторые закономерности, связывающие физиико-химические и диэлектрические свойства веществ // Электронная техника. Сер.5. Радиодетали. 1972. -Вып.2 (27). С. 63−69.
- Strydom W.J., Lombaard J.C. and Pretorius R. Low temperature formation of insulating layers on silicides by anodic oxidation // Solid- State Electronics. -1987. V.30. — № 9. — P. 947- 951.
- Харин A.H., Катаева H.A., Харина Jl.T. Курс химии. М: Высш. школа. 1983.-511 с.
- Кудрявцев А.А. Составление химических уравнений. — М.: Высш. школа. 1979.-293 с.
- Морачевский А.Г., Сладков И. Б. Термодинамические расчеты в металлургии. -М.: Металлургия. 1985. 136 с.
- Рабинович В.А., Хавин З. Я. Краткий химический справочник /Под ред. А. А. Потехина и А. И. Ефимова. Л.: Химия. 1991. — 432 с.
- Васильев В.П. Термодинамические свойства растворов электролитов. -М.: Высш. школа. 1982. — 320 с.
- Лидин Р.А., Андреева Л. Л., Молочко В. А. Справочник по неорганической химии. Константы неорганических веществ. — М.: Химия. 1987. 320 с.
- Бабушкин В.И., Матвеев Г. М., Мчедлов-Петросян О.П. Термодинамика силикатов / Под ред. О.П. Мчедлова-Петросяна. — М.: Стройиздат. 1986.-408 с.
- Физико-химические свойства окислов. Справочник / Г. В. Самсонов, А. Л. Борисова, Т. Г. Жидкова и др./ Под ред. Г. В. Самсонова. М.: Металлургия. 1978. — 472 с.
- Милешко Л.П. Анодное окисление кремния в легирующих электролитах // ФХОМ. 2004. — № 3. — С. 81 -92.
- Милешко Л.П., Варзарев Ю. Н. Анодное окисление кремния в арсенатных электролитах на основе этиленгликоля // ФХОМ. 2004. — № 6. -С. 43−47. .
- Некрасов Б. В: Основы общей химии- Т.2. М.: Химия. 1973. — 688с.
- Croset М., Petreanu Е., Samuel D., Amsel О. and Natai J. H2018 study of the: source of oxygen in the anodic oxidation of silicon and tantalum in some organic solvents // J. Electrochem. Soc. 1971.- V. l 18. — № 5. -P. 717−727.
- Паркер В. Анодное окисление кислородсодержащих соединений: В- кн.:. «Электрохимия- органических соединений» / Пер. с англ. под. ред. А. П. Томилова, Л. Г. Феоктистова. М.: Мир. 1976. — С. 377−391.
- Duffek E.E., Benjamini Е.А. and Mylroie С.Е. The anodic Oxidation of Silicon in Ethelene Glycol Solutions // Electrochemical Technology. 1965. — V.3. № 3−4.- P. 75−80.
- Duffek E.F., Mylroie C.E. and-Benjamini E.A. Electrode reactions and mechanism of silicon anodization’in N- methylacetamide // J- Electrochem. Soc. -1964. V. l l 1. -№ 9. — Р.1042-Г046.
- Lyklema J. The Electrical Double Layer on Oxides // Croatica Chemica
- Acta. 1971. — V.43. — № 4. -P.249−260.
- Шуткевич B.B., Грибанова E.B., Тихомолова К. П. Коллоидно-химические исследования ферритов и феррито-образующих оксидов // Обзоры по электронной технике. — 1987. Сер.6. Материалы. — Вып. 7 (1316). -56 с.
- Богоявленский А.Ф. О механизмах образования оксидной пленки на алюминии (обзор теорий). В кн.: «Анодная защита металлов» — .М.: Машиностроение. 1964. С. 22−34.
- Богоявленский А.Ф. О теории анодного окисления алюминия // Изв. ВУЗов. Хим. и химическая технология. 1971. Т. XIV. — № 5. — С. 712−717.
- Богоявленский А.Ф. О химизме анодного окисления металлов. В сб.: «Анодное окисление металлов». — Казань: КАИ. 1983. — С. 3- 7.
- Ерусалимчик И.Г. Физико-химические свойства повер-хности окисла кремния и их связь с некоторыми технологическими процессами // Электронная техника. Сер.2. Полупроводниковые приборы. — 1975. Вып.7 (99). — С.128−135.
- Милешко Л.П. Механизмы формирования легированного фосфором или бором анодного S1O2 на карбиде кремния // Известия вузов. Электроника. -2007. № 2. — С. 10−15.
- Милешко Л.П., Варзарев Ю. Н. Анодное окисление пленок Si3N4 на кремнии в боратных и фосфатных электролитах на основе этиленгликоля // ФХОМ. 2002. — № 3. — С. 38−44.
- Милешко Л.П. Механизмы электрохимического формирования Si02 из структур SisNrSi // Известия вузов. Электроника. 2007. — № 1. — С. 3−11.
- Макинтош Д.М., Шмидт П. Ф., Ларкин М. В. Изготовление221интегральных дополняющих приборов с помощью электрохимических методов // ТИИЭР. 1964. — Т.52. — № 12. — С. 1570 — 1572.
- Schmidt P.F., Owen А.Е. Anodic oxide films for device fabrication in silicon. I. The controlled incorporation of phosphorus into anodic oxide films on silicon // J. Electrochem. Soc. 1964. — V. l 11. — №.6. — P. 682 — 688.
- Schmidt P.F., O' Keeffe T.W., Oroshnik J.F. and Owen A.E. Doped anodic oxide films for device fabrication in silicon. II. Diffusion sources of controlled composition and diffusion results // J. Electrochem. Soc. 1965. -V.l 12.-№ 8.-P. 800 -807.
- Croset M. La silice anodique: proprietes et applications // L' onde Electrique. 1968. — V.48. -№ 501.-P. 1057−1064.
- Основы технологии кремниевых интегральных схем. Окисление, диффузия, эпитаксия / Под ред. Р. Бургера и Р. Донована- пер. с англ. — Ml: «Мир». 1969.-451с.
- Изидинов С.О., Блохина А. П. Кинетика анодного окисления и фотоэлектрохимическое поведение кремния в этиленгликоле с добавками Н20 и NH4NO3. Электрохимия. 1973. — T. IX. — Вып. 10. — С. 1426 — 1433.
- Изидинов С.О., Блохина А. П. Камыса Н.Г. Низкотемпературное окисление кремния анодированием в тетрагидрофурфуриловом спирте // ЖПХ. 1974. — № 1. — С. 158−162.
- Коноров П.П., Урицкий В. Я., Мельницкий В. А. Кинетика электрохимического окисления кремния и свойства межфазовой границы. Микроэлектроника. 1975 — Т. 4. — Вып. 1. — С. 61 — 64.
- Лабунов В.А., Кожитов Л. В., Баранов И. Л. Исследование влияния типа электролита на процесс получения анодных оксидных плёнок кремния // Электронная техника. Сер. Материалы. 1975. — Вып. 11. — С. 55−64.
- Козлов В.И., Сорокин И. Н., Низкотемпературное электрохимическое окисление кремния в безводных электролитах // Электронная техника. Сер.З. Микроэлектроника. 1976. — Вып. 5(65). — С. 80−84.
- Баранов И.Л., Становая Л. С., Физико-химическое исследование222процесса формирования анодных плёнок диоксида кремния в безводных электролитах. // Электрохимия. 1987. — Т. XXIII. — Вып.9. — С. 1178−1186.
- Mende G., Hensel Е., Fenske F., Elietner H. The Electrophysical properties of anodically grown silicon oxide films // Thin Solid Films. 1989. -V.168. — № 1.-P. 51−60.
- Ghowsi K., Gale R.J. Theoretical model of the anodic oxidation growth kinetics of Si at constant voltage // J. Electrochem. Soc. 1989. — V.136. — № 3. -P. 867−871.
- Montero I., Gomez-San Roman R.J., Albella J.M. Low temperature nonilluminated anodization of n-type silicon // J. Vac. Sci. Technol. B. 1990. -V.8. — № 3. — P. 544−550.
- Salace G., Patat J.M. Tunnelling spectrscopy possibilities in metall-oxide-semiconductor devices with a very thin oxide barrier // Thin Solid Films. -1992.-Y.207.-P. 213−219.
- Mende G., Fenske F., Flietner H., Jeske M., Schultze J.V. Localised anodic oxide films on Si: preparation and properrties // Electrochimica Acta. -1994. V.39. — № 8/9. — P. 1259−1264.
- Урицкий В.Я. Особенности влияния электронно-дырочных процессов на начальную стадию анодного окисления кремния // Конденсированные среды и межфазные границы. 1999. — Т. 1. — № 3. — С. 219−223.
- Parkhutik V., Costa Gomes F., Moya Tarasona L., Fenolossa Estebe R. Oscillatory kinetics of anodic oxidation of silicon influence of the cristllographic orientation // Microelectronics Reliability. — 2000. — V.40. — P. 795−798.
- Parkhutik V. Silicon anodic oxides grown in the oscillatory anodizationregime kinetics growth, composition and electrical propertis // Solid-State223
- Electronics. 2001. — V.45. — P. 1451−1463.
- Baranov I.L., Stanovaya L.S., Tabulina L.V. Peculiarities of electrochemical synthesis of nanosized Si02 // Reviews and short notes to Nanomeeting 2003 «Physics, Chemistry and Application of Nanostuctures».Minsk. Belarus. 2003. — P.403−406.
- Shishiynu S.T., Lupan O.I., Shishiynu T.S., Sontea V.P., RaiLean S.K. Propertis of Si02 thin films prepared by anodic oxidation under UV illumination and rapid photothermal processing // Electrchimica Acta. 2004. — V.49. — P.4433−4438.
- Благих В.П., Анохин B.3., Владимирова Л. Н. Исследование кинетики роста легированных оксидов на кремнии // В сб.: Полупроводниковые материалы и их применение. — Воронеж: ВГУ. 1974. -С. 193−197.
- Madou M.J., Morrison S.R., Bondarenko V.P. Introduction of Impuries in Anodically grown Silica// J. Electrochem. Soc. 1988. — V.135. — № 1. — P. 229 — 235.
- Милешко Л.П. Анодное окисление кремния, карбида и нитрида кремния // Тез. Докл. II Всесоюзной научной конференции «Физика окисных пленок». Т. И. Петрозаводск: ПТУ. 1987. — С. 31.
- Милешко Л.П. Электролиты для получения легированных анодных224оксидных пленок кремния. В сб. статей по материалам Всероссийской конф. «Современные электрохимические технологии». Саратов: СГТУ. 2002. — С. 163−167.
- Электрохимия металлов в неводных растворах / Пер. с англ.- под ред. Я. М. Колотыркина. М.: «Мир». 1974. — 352 с.
- Жданов С.И., Поворов Ю. М. Химические источники тока с электролитами на основе органических растворителей// Итоги науки и техники. Электрохимия. М.: ВИНИТИ. 19 741 Т.9. — С. 46−83.
- Бредихин И.С., Милешко Л. П., Селиванова В. А. Электролит для легирования оксидной пленки кремния фосфором. Авт. свид. СССР. № 527 989 от 19.05.1975. БИПМ. 2001. — № 10.С. 334.
- Милешко Л.П., Бредихин И. С., Селиванова В. А. Электролит для легирования оксидной пленки * кремния бором. Авт. свид. СССР № 545 210 от 10.07. 1975. БИПМ.-2001.-№ 10.-С. 334.
- Бредихин И.С., Милешко Л. П., Чистяков Ю.Д, Волкова Т. А., Палиенко А. Н. Электролит для анодного оксидирования кремния. Авт. свид. СССР'№ 602 054 от 2.10.1976. БИМП. -2001. -№ Ю. С. 335.
- Милешко Л.П., Волкова Т. А., Чистяков Ю. Д., Бредихин И:С., Палиенко А. Н., Шкиров В. С, Электролит для получения легированной оксидной пленки на кремнии. Авт. свид. СССР № 599 667 от 12.10.1976. БИМП. 2001. — № 10. — С. 334−335.
- Бредихин И.С., Милешко Л. П., Чистяков Ю.Д, Волкова Т. А., Нагучев Д. Ш. Электролит для легирования оксидных пленок" кремния фосфором. Авт. свид. СССР № 615 785 от 14.01. 1977. БИМП. 2001. — № 10. -С. 335.
- Милешко Л.П., Волкова Т. А., Чистяков Ю. Д., Бредихин И. С., Нагучев Д. Ш. Электролит для легирования оксидных пленок кремния бором. Авт. свид. СССР № 616 893 от 01.03.1977. БИМП. -2001. № 10. — С. 334.
- Бредихин И.С., Ломакина Т.П, Милешко Л. П., Чистяков Ю.Д.
- Электролит для легирования оксидных пленок кремния мышьяком. Авт.225свид. СССР № 682 055 от 10.02.1978. БИМП. 2001.-№ 10.-С. 335.
- Вредные вещества в промышленности: Справочник для химиков, инженеров и врачей / Под ред. Н. В. Лазарева и Э. Н. Левиной. Т. 1. Органические вещества. Л.: Химия. — 1976. — 592 с.
- Вредные вещества в промышленности: Справочник для химиков, инженеров и врачей / Под ред. Н. В. Лазарева и Э. Н. Левиной. Т. 2. Органические вещества. Л.: Химия. — 1976. — 624 с.
- Вредные вещества в промышленности. Справочник для химиков, инженеров и врачей / Под ред. Н. В. Лазарева и Э. Н. Левиной. Т. 3. Неорганические и элементоорганические соединения. — Л.: Химия. — 1977. — 608 с.
- Контроль химических и биологических параметров окружающей среды / Под ред. Л. К. Исаева. — СПБ, Эколого-аналитический информационный центр «Союз». 1988. — 896 С.
- Тсай С.С. Неглубокие диффузионные слои фосфора в кремнии // ТИИЭР. 1969. — Т.57. — № 9. — С. 38−46.
- Бредихин И.С., Милешко Л. П., Глоба A.B., Срывкин Ю. М., Нагучев Д. Ш. Токоподвод для электрохимических процессов. Информационный листок № 711−77. Ростов — на — Дону: ЦНТИ. — 1977. -2 с.
- Заддэ В.В., Зайцева А. К. Электроды для анодного окисления полупроводников // Приборы и техника эксперимента. — 1974. № 2. — С. 248- 249.
- Урывский Ю.И. Эллипсометрия. Воронеж: ВГУ. 1971. — 132 с.
- Милешко Л.П., Сорокин И. Н., Чистяков Ю. Д. Электролитическое формирование легированных оксидных плёнок на вращающихся кремниевых подложках // Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника. — 1979. Вып. 5(83). — С. 99−102.
- Милешко Л.П. Особенности кинетики анодного окисления вращающихся кремниевых пластин в легирующих электролитах // Известия вузов. Электроника. 2007. — № 6. — С. 70−71.
- Шаталов А .Я., Владимирова Л. Н. Аналогия в формально-кинетическом описании роста анодного и термического Si02 // В сб.: Полупроводниковые материалы и их применение. Воронеж: ВГУ. 1977. -С. 66−69.
- Угай Я.А., Анохин В. З., Владимирова Л. Н., Малевская Л. А. Кинетика анодного оксидирования кремния в электролитах на основе одноатомных спиртов // В сб.: Полупроводниковые материалы и их применение. Воронеж: ВГУ. 1974. — С. 179 — 201.
- Милешко Л.П. Физико-химическое моделирование процессов формирования легированных оксидных пленок // Тез. докл. Международной научной конференции «Химия твердого тела и современные микро и нанотехнологии». Кисловодск. 2002. — С.227−229.
- Милешко Л.П. Применение модели коллоидного строения АОП наалюминии для описания механизма анодного окисления Si, SiC, Si3N4 // Тез.227докл. Республ. НТС «Анод 88». — Казань: КАИ. 1988. — С. 169 — 170.
- Некрасов Б.В. Основы общей химии. Т.1. — М.: Химия, 1973. 656 с.
- Лучинин В.В., Мальцев П. П. Широкозонные материалы основа экстремальной электроники будущего // Микроэлектроника. — 1999. — Т. 28. -№ 1.-С. 21−29.
- Bhatnagar М., Baliga B.J. Comparison of 6H-SiC, 3C-SiC and Si for power devices // IEEE Trans, on Electron Devices. 1993. — V.40. — № 10. — P. 645−655.
- Alok D., Baliga B.J., McLarty P.K. Thermal oxidation of 6H-Silicon Carbide at enhanced growth rates // IEEE Trans, on Electron Device Letters. -1994.-V.15.- № 10.-P. 424−426.
- Restelli G., Ostidich A., Manara A. Anodic oxidation of silicon carbide // Thin Solid Films. 1974. — V.23. — № 1. — P. 23−29.
- Милешко Л.П., Сорокин И. Н., Чистяков Ю. Д. Кинетика электролитического оксидирования карбида и нитрида кремния // В кн. «Активируемые процессы технологии микроэлектроники». — М: МИЭТ. 1980.-С. 29−40.
- Банцер С.Г., Гецко О. М., Пасечник Ю. А., Снитко О. В. Электролюминисценция карбида кремния различных политипов при анодном окислении // Украинский физический журнал. 1980. — Т.25. — № 1. — С. 4148.
- Mileshko L.P. Anodic oxidation of silicon carbide in doping electrolytes on the basis of ethylene glycol // Abstracts V International Seminar on Silicon Carbide and Related Materials (ISSCRM-2004). Velikij Novgorod. 2004. -P.85−86.
- Белый В.И., ВасильеваЛ.Л., Грищенко B.A. и др. Нитрид кремния в электронике. Новосибирск: Наука. 1982. — 200 с.
- Schmidt P.F., Wonsidler D.R. Conversion of silicon nitride to anodic
- Si02 // J. Electrochem Soc. 1967. — V. l 14. — № 6. — P. 603−605.228
- Tripp T.V. The anodic oxidation of silicon nitride films on silicon // J. Electrochem Soc. 1970. — V. 117. — № 2. — P. 157−159.
- Dell’oca C.J. Properties of anodic oxide films formed in the anodization of silicon nitride // J. Electrochem Soc. 1973. — V.120. — № 9. — P. 1225−1230.
- Литвинович Г. В., Бондаренко В. П., Долгий Л. Н. Исследование кинетики превращений в тонких пленках нитрида кремния в процессе их анодирования // Весщ Акад. Навук БССР. Сер. Физ-мат навук. 1988. — № 6.- С. 82−86.
- Зверев Б.П., Симахин Ю. Ф., Усманова М. М. Изучение пространственного распределения бора в карбиде кремния с помощью твердотельных детекторов // В сб.: Активационный анализ в народном хозяйстве. — Ташкент: «ФАН». 1972. С. 54−60.
- Зверев Б.П., Красивина Л. Е., Усманова М. М., Симахин Ю. Ф. Исследование концентрационных профилей сурьмы и фосфора в подложках и эпитаксиальных плёнках кремния // В сб.: Структура и свойства облучённых материалов. Ташкент: «ФАН». 1975. -С. 76−81.
- Марунина Н.И., Чернова А. И., Богатиков Б. Ф. Внутренний стандарт в нейтронно-активационном анализе кремния и веществ на его основе // Журнал аналитической химии. 1976.Т. — XXXI. — Вып. 6. — С. 1146- 1152.
- Чистяков Ю.Д., Райнова Ю. П. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. М: Металлургия. 1979. — 408 с.
- Милешко Л.П. Совместное легирование фосфором и мышьякоманодных оксидных пленок кремния // Неорганические материалы. 2009. —2291. Т.45.-№ 3.-С. 300−301.
- Методы анализа поверхностей / Под ред. А.Зандерны. Пер. с англ. -М.: «Мир». 1979. 582с.
- Бобрицкий И.А., Милешко Л. П., Срывкин Ю. М. Состав и троение легированных анодных оксидных пленок кремния // Тез. докл. II Всесоюзной научной конф. «Физика окисых пленок». — Петрозаводск: ПТУ. 1987. Ч. 1.— С. 18.
- Милешко Л.П., Авдеев С. П., Нестюрина Е. Е. Состав, строение и свойства легированных анодных окисных пленок кремния // ФХОМ. 2003. -№ 3. — С. 47−52.
- Карлсон Т.А. Фотоэлектронная и Оже-спектроскопия / Пер. с англ. И. А. Брытова, Н. И. Комяка, В. В. Кораблева — Л.: Машиностроение. 1981. — 431 с.
- Милешко Л.П. Влияние режима формирования анодных оксидных пленк в гальваностатическом режиме на содержание в них фосфора // Известия вузов. Электроника. —2008. № 4, — С. 68−69.
- Милешко Л.П. Анодное электролитическое легирование термических оксидных пленок // ФХОМ. 2002. — № 6. — С. 55−59.
- Борисенко А.И., Новиков В. В., Приходько Н. В., Митникова И. М., Чепик Л. Ф. Тонкие неорганические пленки в микроэлектронике. Л.: «Наука». 1972. — 114 с.
- Благих В.П. Распределение концентрации легирующего элемента в анодном окисле Si02 // В сб.: «Твердотельная электроника». — Воронеж: ВГУ. 1973.-С. 33−36.
- Интегральные схемы, принципы конструирования и производства / Пер. с англ., под ред. A.A. Колосова. М.: Советское радио. 1968. — 264 с.
- Румак Н.В. Система кремний-двуокись кремния в МОП-структурах. Минск: Наука и техника. 1986. — 240 с.
- Милешко Л.П., Авдеев С. П. Реанодирование анодных оксидныхпленок в легирующих электролитах // ФХОМ. 2004. — № 4. — С.61 -63.230
- Дель’Ока С. Дж., Пулфри Д. Л., Янг Л. Анодные окисные пленки. Физика тонких пленок / Пер. с англ. под ред. В. Б. Сандомирского и А. Г. Ждана: Под общей ред. М. Х. Франкомба и Р. У. Гофмана. — М.: Мир. 1973. — T. VI.-С. 7−96.
- Игнатьев В.В., Трунов C.B. Влияние условий формирования на электрофизические свойства сверхтонких слоев Si02 // Электронная техника. Сер. 3. Микроэлектроника. 1988. — Вып. 3(127). — С. 58 -60.
- Vertesy M. Instabilitaten in anodishen Siliziumoxidschichten // Krist. und Techn. 1974. — B. 9. — N 1. — P. 45−50.
- Милешко Л.П. Слоистое строение анодных пленок Si02, легированных фосфором или бором // Известия вузов. Электроника. — 2009. — № 1. —С. 12−15.
- Милешко Л.П., Авдеев С. П. Влияние процесса анодного окисления кремния на параметры диффузии примесей бора и фосфора из легированных оксидных пленок // Известия вузов. Электроника. 2004. -№ 5. — С. 25−32.
- Милешко Л.П. Диффузия As из анодных арсенатных оксидных пленок в Si // Неорганические материалы. 2008. — Т.44. — № 2. — С. 135−136
- Бакун A.B., Щеглова В. В. Легированные пленки двуокиси кремния в производстве полупроводниковых приборов // Обзоры по электроннойтехнике. Сер. «Полупроводниковые приборы». М.: ЦНИИ «Электроника».2 311 974.4.2. Вып.5.(203). — 67 с.
- Милешко Л.П., Авдеев С. П. Диффузия фосфора и бора в кремний из анодных оксидных пленок // ФХОМ. -2003. -№ 6. -С. 67−72.
- Милешко Л.П., Авдеев С. П. Совместная диффузия мышьяка с фосфором или бором из анодных окидых пленок в кремний // ФХОМ. -2004.-№ 2.-С. 84т86.
- W.Zagozdon-Wosik, P.B.Grabiec, G.Lux. Fabrication of Submicron Junctions Proximity Rapid Thermal Diffusion of Phoshorus, Boron and Arsenic //IEEE Trans. Electron Devices. — 1994. — V.41. — № 12. — P. 2281−2290.
- Сеченов Д.А., Варзарев .Н., Милешко Л. П. Особенности диффузии232фосфора из анодной оксидной пленки в условиях быстрой термической обработки // Изв. вузов. Электроника. 1997. — № 5. — С. 48−50.
- Милешко Л.П., Варзарев Ю. Н., Авдеев С. П. Особенности распределения электрически активного фосфора в кремнии придиффузии из анодной оксидной пленки в условиях быстрой термической обработки // Известия вузов. Электроника. — 2004. № 6. — С. 90−91.
- Owen А.Е., Schmidt P.F. Diffusion from a plane, finit source into a second phase with special reference to oxide-film diffusion sources on silicon // J. Electrochem. Soc. 1968. — V. l 15. — № 5. — P. 548−552.
- Борисенко B.E. Твердофазные процессы в полупроводниках при импульсном нагреве / Под. ред. В. А. Лабунова. Мн.: Навука i тэхшка. 1992. — 248 с.
- Технология СБИС. Кн.1. Пер. с англ./ Под ред. С.Зи. М.: Мир. 1986.-404 с.
- Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. -М.: Радио и связь, 1991.-528 с.
- Шишияну С.Т., Шишияну Т. С., Райлян С. К. Мелкие р п переходы в Si, изготовленные методом импульсного отжига // Физика и техника полупроводников. — 2002. — Т. 36. — Вып. 5.-С. 611−617.
- Бредихин И.С., Копылов В. П., Милешко Л. П., Срывкин Ю. М., Чистяков Ю. Д. Установка для электрохимических процессов с многопозиционным вращающимся токоподводом. Инфор- мационный листок № 241−78. Ростов — на-Дону: ЦНТИ. 1978. — 3 с.
- Милешко Л.П. Формирование п± слоя на светоприемной сторонекремникона диффузией фосфора из анодной оксидной пленки // Электронная233промышленность. 2006. — № 4. — С. 85.
- Милешко Л.П., Авдеев С. П. Формирование эмиттерных и базовых областей п- р-п-транзисторов диффузией фосфора и бора из анодных оксидных пленок кремния // Электронная промышленность. — 2002. № 1. — С.67−68.
- Милешко Л.П., Авдеев С. П. Применение диффузии бора из анодных оксидных пленок в технологии кремниевых ИС // Электронная промышленность. 2004. — № 1. — С. 61−62.
- Милешко Л.П. Анодные пленки легированного диоксида кремния как диффузант в микроэлектронной технологии. Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии. ГУ Международная конференция. Кисловодск-Ставрополь: СевКавГТУ. 2004. — С. 99 — 102.
- Милешко Л.П. Применение легированных анодных оксидных пленок в технологии кремниевых приборов и интегральных микросхем // Электронная промышленность. 2004. — № 4. — С. 160−161.