Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка
Диссертация
Ных пучков (МИП) с плотностью потока энергии Ps = 10 — 10 Вт/см открыли широкие возможности для изучения новых физических явлений, происходящих при взаимодействии таких пучков с конденсированными средами, и решения многих задач, имеющих большое научно-техническое значение. В связи с возрастающим интересом к использованию тонких пленок и покрытий в науке и технике научный и практический интерес… Читать ещё >
Список литературы
- И., Гребенщиков Г. И., Нефедов A.B., Феоктистов Ю. Ф. Технологические программы, достижения и возможности микроэлектроники. //Зарубежная электронная техника, № 1, 1992, с. 3 — 17.
- Лабунов В.А., Борисенко В.Е, Воеводов Ю. Э., Грибковский В. В. Получение, свойства, применение тонких пленок керамических высокотемпературных сверхпроводников. //Зарубежная электронная техника, 1989, № 3, с. 3−57.
- Жданович C.B., Лыньков Л. И., Прищепа С. А. Селективное осаждение тонких пленок YBaCuO на различные подложки для создания высокотемпературных сверхпроводниковых микроэлементов. //Зарубежная электронная техника, 1992, № 2, с. 9 11.
- Тесленко В.В. Ионно-плазменные алмазные покрытия. //Атомная техника за рубежом, 1990, № 8, с. 14 20.
- Kumar N., Schmidt H., Xie С. Diamond-based field emission flat panel displays. //Solid State Technology, N 5, 1996, pp. 71 75
- Oh J. E., Lomb J. D. Cubic boron nitride. //Solid State Electronics, 1986, vol. 29, N9, p. 933 940.
- Ефимов И.E., Козырь И. Я., Горбунов Ю. И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М., Высшая школа, 1986, 464 с.
- Ту К., Лау С. Методы получения и исследования тонких пленок. В кн.: Тонкие пленки. Взаимная диффузия и реакции. Под ред. Дж. Поута, К. Ту, Дж. Мейера. Пер. с англ., -М.: Мир, 1982, 576 с.
- Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. -М.: Энергоатомиздат, 1989, 327 с.
- Курносов А.И., Юдин В. В. Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. М.: Высшая школа, 1986, 368 с.
- Бубнов Ю.З., Пурье М. С., Старое Ф. Г., Филаретов П. А. Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме. М.: Сов. Радио, 1975, с. 160
- Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968, 348 с.
- Плешивцев Н.В. Физические проблемы катодного распыления. Обзор. -М.: Изд-во Института атомной энергии им. И. В. Курчатова, 1979, 87 с.
- Технология тонких пленок. Справочник. Под ред. Л. Майссела, Р. Глэн-га. М.: Сов. Радио, 1977, т. 1, 662 е., т. 2, 768 с.
- Cuomo J.J., Pappas D.L., Bruley J., Doyle J.P. and Saenger K.L. Vapor3deposition processes for amorphous carbon films with sp fractions approaching diamond. //J. Appl. Phys., 1991, Vol. 70, N 3, pp. 1706 1711
- Данилин B.C., Сырчин B.K. Магнетронные распылительные системы. -M.: Радио и связь, 1982, 73 с.
- Семенов А.П. Техника нанесения тонких пленок распылением ионным пучком.//ПТЭ. № 4, 1990, с. 26 42
- Саенко В.А. Устройства термоионного осаждения. //ПТЭ, 1985, № 3, с. 9−21
- Кучеренко Е.Т., Саенко В. А. Термоионное осаждение тонких пленок. //ПТЭ, 1976, № 3, с. 261 270.
- Yamada I., Nagai I., Hozie M. Preparation of doped amorphous silicon films by ionized-cluster beam deposition. //J. Appl. Phys., 1983, vol. 54, N 3, p. 15 831 587
- Yamada I., Takagi T. Current status of ionized-cluster beam technique: a low energy ion beam deposition. //Nucl. Instrum. and Method Phys. Res., 1987, vol. B21, N 2 4, p. 120- 123.
- Richer A. Characteristic features of laser produced plasmas for thin film deposition. //Thin solid films, 1990, vol. 188, N 2, pp. 275−292.
- Cheung J., Horwitz J. Pulsed laser deposition history and laser-target interactions. //MRS Bulletin, 1992, Vol. XVII, N 2, pp. 30 36.
- Muller К. -H. Cluster-beam deposition of thin films: a molecular dynamics simulation. //J. Appl. Phys., vol. 61, N 7, 1987, pp. 2516 2521.
- Югай К.К., Югай К. Н., Скутин А. А., Серопян Г. М. О механизме отрыва частиц от поверхности ВТСП мишени при поглощении лазерных импульсов. // Известия вузов. Физика, 1997, № 6, с. 73 77.
- Анисимов С.И., Имас Я. И., Романов Г. С., Хадько Ю. В. Действие излучения большой мощности на металлы, М.: Наука, 1970, 272 с.
- Ахсахалян А.Д., Битюрин Ю.А, Гапонов С. В., Гудков А. А., Лучин В. И. Процессы в эрозионной плазме при лазерном вакуумном напылении пленок. //ЖТФ, т. 52, № 8, с. 1584 1589.
- Агеев В.П., Ахсахалян А.Д, Гапонов C.B., Горбунов A.A., Конов В. И., Лучин В. И. Влияние длины волны лазерного излучения на энергетический состав эрозионной плазмы. //ЖТФ, т. 58, № 5, с. 930 935.
- Быковский Ю.А., Неволин В. Н. Лазерная масс-спектрометрия. М.: Энергоатомиздат, 1985, 128 с.
- Takagi Т. Ionized cluster beam technique. //Vacuum, vol. 38, Nos. 1−3, 1986, pp. 27−31.
- Козленков В.П., Николаев И. Н., Чарышкин Е. В. Вакуумное напыление пленок с помощью частотных лазеров. //В сб. «Взаимодействие когерентного и некогерентного излучения с веществом». М., МИФИ, 1988, с. 48 -55.
- Гревцев Н.В., Кашурников Ю. М., Летягин В. А., Махорин Б. И. Некоторые особенности движения и конденсации продуктов электрического взрыва проводников. //Журнал прикладной механики и технической физики, 1974, № 2, с. 92 97.
- Гревцев Н.В., Кашурников Ю. М., Махорин Б. И., Петухов Л. П. Получение металлических пленок методом электрического взрыва. //Электронная промышленность, 1975, № 1, с. 81 84.
- Петросян В.И., Дагман Э. И. Эпитаксиальная кристаллизация в вакууме при больших пересыщениях. //В кн.: Проблемы эпитаксии полупроводниковых пленок. Новосибирск, «Наука», 1972, с. 136 193.
- Бурцев В.А., Калинин Н. В., Лучинский A.B. Электрический взрыв и его применение в электрофизических установках. М., 1990, 288 с.
- Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты. М.: Атомиздат, 1979, 264 с.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. Пер с англ., М.: Мир, 1985,496 с.
- Френкель Я.И. Кинетическая теория жидкостей. Л.: Наука, 1975, 592 с.
- Хирс Д., Паунд Г. Испарение и конденсация. Пер. с англ., М.: Металлургия, 1966, 196 с.
- Палатник Л.С., Быковский Ю. А., Панчеха П. А., Дудоладов А. Г., Вер-ченко В.И., Марунько C.B. О механизме вакуумной конденсации при высокоскоростных методах испарения. //ДАН, 1980, т. 254, № 3, с. 632 635.
- Кукушкин С.А., Осипов A.B. Процессы конденсации тонких пленок. //УФН, 1998, т. 168, № Ю, с. 1083 1116.
- Погребняк А.Д., Ремнев Г. Е., Чистяков С. А., Лигачев А. Е. Модификация свойств металлов под действием мощных ионных пучков. //Известия ВУЗов. Физика, 1987, № 1, с. 52 65.
- Комаров Ф.Ф., Новиков А. П. Новые методы ионно-лучевой обработки полупроводниковых кристаллов. //Итоги науки и техники. Сер. Физические основы лазерной и пучковой технологии. Т. 5, М., ВИНИТИ, 1989, с. 113−161.
- Ремнев Г. Е. Получение мощных ионных пучков для технологических целей. Автореферат дисс. докт. тех. наук, Томск, 1994, 67 с.
- Isakov I.F., Kolodii V.N., Opekunov M.S., Matvienko V.M., Pechenkin S.A., Remnev G.E. and Usov Yu.P. Sources of high power ion beams for technological applications. //Vacuum, 1991, v. 42, N ½/, pp. 159 162.
- Remnev G.E. and Shulov V.A. Application of high-power ion beams for technology. //Laser and Particle Beams, 1993, v. 11, N 4, pp. 707 731.
- Логачев Е.И., Ремнев Г. Е., Усов Ю. П. Ускорение ионов из взрывоэмис-сионной плазмы. //Письма в ЖТФ, 1980, т. 6, в. 22, с. 1404 1406.
- Быстрицкий B.M., Красик Я. Е., Матвиенко B.M. Получение однородного ионного пучка большой площади в магнитно-изолированном диоде. //ЖТФ, 1987, т. 57, вып. 3, с. 463 468.
- Акерман Д.Р., Арбузов А. И., Матвиенко В. М. и др. Измерение параметров мощных ионных пучков. //Ред. Журнала «Известия вузов «Физика», Томск, 1994, 23с. Деп. в ВИНИТИ 4.12.1984г., № 7708−84.
- Дейчули П.П., Федоров В. М. Измерение больших импульсных напряжений и токов наносекундной длительности.//Вопросы атомной науки и техники, серия «Термоядерный синтез», 1984, в. 3 (16), с. 22 30.
- Оптико-физические средства измерения параметров процессов. Каталог. //ВНИИОФИ, М., 1983, т. 1, 210 с.
- Быстрицкий В.М., Диденко А. Н. Мощные ионные пучки. М.: Энерго-атомиздат, 1984, 152 с.
- Пападичев В.А. Получение, транспортировка и фокусировка ионных19пучков мощностью 10 Вт. //Атомная техника за рубежом, 1978, № 12, с. 3 -13.
- Prono D.S., Shearer J.W., Briggs R.J. Pulsed Ion Diode Experiment. //Phys. Rev. Lett., 1976, v. 37, N 1, p. 21 25.
- Габович М.Д. Физика и техника плазменных источников ионов. М.: Атомиздат, 1972, 304с.
- Янг Ф., Гольден Д, Копетанакос К. Диагностика интенсивных импульсов ионных пучков. //Приборы для научных исследований, 1977, т. 48, № 4, с. 54 68.
- Матвиенко В.М. Экспериментальное исследование генерации ленточных мощных ионных пучков в магнитно-изолированных диодах. Дисс. канд. физ.-мат. наук., Томск, 1987, 124 с.
- Миллер Р.Б. Введение в физику сильноточных пучков заряженных частиц. М., «Мир», 1984, 432 с.
- Утевский JI.M. Дифракционная электронная микроскопия в металловедении. М., Металлургия, 1973, 584 с.
- Чернявский К.С. Стереология в металловедении. М., Металлургия, 1977, 208 с.
- Эндрюс К., Дайсон Д., Киоун С. Электроннограммы и их интерпретация. М., Мир, 1971,286 с.
- Китайгородский А.И. Теория структурного анализа. М., Наука, 1957, 284 с.
- Кривоглаз М.А. Теория рассеяния рентгеновских лучей и тепловых нейтронов реальными кристаллами. М., Наука, 1967. 337 с.
- Ковалев В.П. Ускорители в неразрушающем контроле. М., Энергоатом-издат, 1983, 104 с.
- Perriere Т. Rutherford baekscattering spectrometry. //Vacuum, 1987, vol. 37, N5−6, pp. 429−432.
- Методы анализа поверхностей. Под ред. А. Зандерны. Пер. с англ., М., Мир, 1979, 582 с.
- Электронная и ионная спектроскопия твердых тел. Под ред. Л. Фирмэн-са и др. Пер. с англ., М., Мир, 1981, 467 с.
- Нефедов В Н., Черепин В. Т. Физические методы исследования поверхности твердых тел. М., Наука, 1983, 296 с.
- Карсон Т.А. Фотоэлектронная и оже-спектроскопия. Пер. с англ., Л., Машиностроение, 1981,431 с.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 1 Под ред. Р. Бериша, Пер. с англ., М., Мир, 1984, 336 с.
- Применение электронной спектроскопии для анализа поверхности. Под ред. X. Ибаха. Пр. совр. физики. Рига, Зинатне, 1980, 315 с.
- Кузнецов P.A. Активационный анализ. М., 1967, Атомиздат, 343 с.
- Вандекастеле К. Активационный анализ с использованием заряженных частиц. М., Мир, 1991, 208 с.
- Плотников Р.И., Пшеничный Г. А. Флуоресцентный рентгенорадиомет-рический анализ. М., Атомиздат, 1973, 264 с.
- Жуковский А.Н., Пшеничный Г. А., Мейер A.B. Высокочувствительный рентгенофлуоресцентный анализ с полупроводниковыми детекторами. М., Энергоатом из дат, 1991,159 с.
- Закутаев А.Н., Исаков И. Ф., Ремнев Г. Е. «Способ вакуумного нанесения тонких пленок», A.c. № 1 708 919, Бюл. № 4, 1992. Приоритет от 07.09.1989 г.
- Диденко А.Н., Асаинов О. Х., Кривобоков В. П., Логачев Е. И., Ремнев Г. Е. Аморфизация поверхности сплавов при облучении импульсными на-носекундными пучками ионов. //Поверхность: физика, химия, механика, 1985, № 1, с. 150−154
- Диденко А.Н., Лигачев А. Е., Куракин И. Б. «Воздействие пуков заряженных частиц на поверхность металлов и сплавов». М., «Атомиздат», 1987, 184 с.
- Анисимов С.И., Имас П. А., Романов Г. С., Ходыко Ю. В. «Действие излучения большой мощности на металлы». М., «Наука», 1970, 272 с.
- Батанов В.А., Бункин Ф. В., Прохоров A.M., Федоров В. Б. Испарение металлических мишеней мощным оптическим излучением. //ЖТФ, 1967, т. 37, № 12, с. 2206 2208
- The Stopping and Range of Ions in Matter, http://www.research.ibm.com/ ionbeams/SRIM/SRIMINTR. HTM
- Мартыненко Ю.В., Явлинский Ю. Н. Охлаждение электронного газа при высокой температуре. //ДАН СССР, Сер. физ&bdquo- 1983, т. 270, № 1, с. 88 91.
- Баранов И.А., Мартыненко Ю. В., Цепелевич С. О., Явлинский Ю. Н. Неупругое распыление твердых тел ионами. //УФН, 1988, т. 156, вып. 3, с. 477 -511.
- Катин В.В., Мартыненко Ю. В., Явлинский Ю. Н. Низкотемпературная волна ионизации. //Письма в ЖТФ, 1987, т. 13, вып. 11, с. 665 668.
- Буренков А.Ф., Комаров Ф. Ф., Кумахов М. А., Темкин М. М. «Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах». М., «Энергоатомиздат», 1985, 248 с.
- Фриш С.Э. Определение концентрации нормальных и возбужденных атомов и сил осцилляторов методами испускания и поглощения света. //Сб. «Спектроскопия газоразрядной плазмы», JI., Наука, 1970, с. 7 62
- Гречихин Л.И., Ельяшевич М. А., Киселевский Л. И. Применение спектроскопических методов диагностики низкотемпературной плазмы. //Сб. «Низкотемпературная плазма», М., Мир, 1967, с. 287 294
- Касабов Г. А., Елисеев В. В. Спектроскопические таблицы для низкотемпературной плазмы. М., Атомиздат, 1973, 160 с.
- Радциг A.A., Смирнов Б. М. Параметры атомов и ионов. М., Энерго-атомиздат, 1986, 343 с.
- Смирнов Б.М. Процессы в расширяющемся и конденсированном газе. //УФН, 1994, т. 164, № 7, с. 665 703
- Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968, 348 с.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Вып. 1. Под ред. Р. Бериша, М., Мир, 1984, 336 с.
- Hansen S.G. and Robitaille Т.Е. Arrival time measurements of films formed by pulsed laser evaporation of polycarbonate and selenium. //J. Appl. Phys., 1988, Vol. 64, N 4, pp. 2122 2129.
- Kang X., Masugata K. and Yatsui K. Characteristics of ablation plasma by intense, pulsed, ion beam. //Jpn. J. Appl. Phys., 1994, Vol. 33, Part 1, N 2, pp. 1155 1160.
- Ремнев Г. Е., Закутаев A.H., Иванов Ю. Ф., Матвиенко В. М., Потемкин A.B. Пространственное распределение распыленного материала и микрокапельной фракции при воздействии мощного ионного пучка на металлическую мишень. //Письма в ЖТФ, 1999 (в печати).
- Ремнев Г. Е., Закутаев А. Н., Иванов Ю. Ф., Матвиенко В. М., Потемкин A.B. Осаждение тонких пленок при воздействии мощных ионных пучков на металлы //Письма в ЖТФ, 1996, т. 22, в. 8, с. 68 72.
- Статистические методы обработки эмпирических данных. М., Изд-во стандартов, 1978, 232 с.
- Isakov I.F., Remnev G.E., Zakoutaev A.N. High-rate deposition of thin films by high-power ion beam. //Beams '92: Proceedings of the 9th International
- Conference on High-Power Particle Beams, edited by D. Mosher and G. Coop-erstein (NTIS, Springfield, VA, 1992), pp. 1966 1970.
- Кофстад П, Отклонение от стехиометрии, диффузия и электропроводность в простых окислах металлов. М., Мир, 1975, 396 с.
- Томас Г., Гориндис M., Дис П. Просвечивающая электронная микроскопия кристаллов. М., Наука, 1983, 320 с.
- Иванов Ю.Ф., Пауль А. В., Конева Н. А., Козлов Э. В. Электронно-микроскопический анализ нанокристаллических материалов. //ФММ, 1991, № 7, с. 206−208.
- Новиков И.И. Теория термической обработки металлов. М., «Металлургия», 1978, 392 с.
- Ремнев Г. Е., Погребняк А. Д. Применение мощных ионных пучков для технологических целей. //Новости науки и техники. Серия: Новые материалы, технологии их производства и обработки. М., ВИНИТИ, 1990, вып. 2, 30 с.
- Двойные и многокомпонентные системы на основе меди. Справочник. М., «Наука», 1979, 248 с.
- Станишевский А.В. «Кристаллизация пленок /-углерода при отжиге». //Письма в ЖТФ, 1989, т. 15, вып. 12, с. 27 32.
- Матюшенко Н.Н., Стрельницкий В. Е., Гусев В. А. «Новая плотная модификация кристаллического углерода Cg». //Письма в ЖЭТФ, 1979, т. 30, вып. 4, с. 218−221.
- Анисимов С.И., Сухоруков В. В., Тетельбаум Д. И., Зорин Е. И. «Формирование высокоомной твердой модификации углерода при ионной бомбардировке пленок графита». //Письма в ЖТФ, 1981, т. 7, вып. 2, с. 115 -118.
- Палатник JI.С., Гусева М. Б., Бабаев В. Г., Савченко Н. Ф., Фалько И. И. «О у-углероде». //ЖЭТФ, 1994, т. 87, вып. 3, с. 914 917.124 «Алмаз». Под ред. Федосеева Д. В., Новикова Н. В., Вишневского А. С., Теремецкой И. Г. Киев, Наукова думка, 1981, 78 с.
- Shimotori Y., Yokoyama M., Harada S., Masugata K. and Yatsui K. Quick deposition of ZnS: Mn electroluminescent thin films by intense, pulsed, ion beam evaporation. //Jpn. J. Appl. Phys., 1989, Vol. 28, N 3, p. 468 472.
- Рыжков В.А., Обливанцев A.H., Рыбасов А. Г. Унификация методик ак-тивационного анализа на заряженных частицах при определении следов газообразующих элементов в поверхностных высокочистых материалах. //Высокочистые вещества, 1995, № 6, с. 49- 53.
- Курносов А.И., Юдин В. В. «Технология производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем», М., «Высшая школа», 1986, 368 с.
- Rej D.J., Barsch R.R., Davis H.A., Faehl R.T., Greenly T.B. and Waganaar W.J. Microsecond pulsed width, intense, light-ion beam accelerator. //Rev. Sci. Instr., 1993, Vol. 64, N 10, pp. 2753 2623.
- Лыков A.B. Теория теплопроводности. M., Высшая школа, 1967, 599 с.
- Кукушкин С.А., Слезов В. В. Рост островоквых пленок на поверхности реальных кристаллов при наличии стоков и истоков вещества и тепла. //Поверхнсность. Физика, химия, механика, 1990, № 11, с. 22 26.
- Бахвалов Н.С., Жидков Н. П., Кобельокв Г. М. Численные методы. М., Наука, 1987, 600 с.
- Физические величины. Справочник. /Под ред. Григорьева И. С., Мешкова Е. З., М., Энегоатомиздат, 1991, 1232 с.
- Tallant D.R., Parmeter J.E., Siegal М.Р., Simpson R.L. The thermal stability of diamond-like carbon. //Diamond and Related Materials, 1995, Vol. 4, N 3, pp. 191−199.
- Brunco D.P., Kittl J.A., Otis C.E., Goodwin P.M., Thompson M.O., Aziz M.T. Time-resolved temperature measurements during pulsed laser irradiation using thin film metal thermometer. //Rev. Sci. Instr., 1993, Vol. 64, N 9, pp. 2615−2623.
- Дедков B.C., Иванов Ю. Ф., Лопатин В В., Шарупин Б. Н. Особенности строения пиролитического нитрида бора. //Кристаллография, 1993, т. 38, № 2, с. 217−222.
- Шарупин Б.Н., Кравчик А. Е., Ефременко М. М., Маметьев Р. Ю., Тупи-цына Е.В., Осмаков А. С. Анализ структуры пиролитического нитрида бора. //ЖПХ, 1990, № 8, с. 1698 1701.
- Арефьев К.П., Боев О.В., Воробьев С.А., Дергалева Г. А., В.В. Лопатин, В.Э. Приб, Суров Ю. П. Исследование дефектов структуры пиронитрида бора методами аннигиляции позитронов и рентгеноструктурного анализа. //ФТТ, 1984, т. 26, № 10, с. 3179−3183
- Pease R.S. X-ray study of boron nitride. //Acta Cryst., 1952, Vol. 5, N 3, p. 356 -361.
- Голубев A.C., Курдюмов A.B., Пилянкевич A.H. Нитрид бора. Структура, свойства, получение. Киев, «Наукова думка», 1987, 200 с.
- Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет. Москва, Мир, 1981,583 с.
- Bystritskii V.M., Volkov S.N., Mytnikov A.V. and Sinebryukhov A.A. A thin film preparation using focused high-power ion beam. //Beams '96: Abstracts of 11th International Conference on High Power Particle Beams, Prague, June 10−14, 1996, P-3−43.
- Бутенко В.А., Кабышев A.B., Касенов Ф. К. Установка для электрофизических исследований диэлектриков. //ПТЭ, 1987, № 3,с.216−218.