Разработка методов и методик проектирования многоосевых микромеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений

Микроэлектромеханические системы (МЭМС) определяют одно из перспективных направлений развития микроэлектроники XXI века, которое влечет за собой изменение промышленных и потребительских изделий с большой областью применения. Рынок МЭМС в 2006 году составил ~6,3 млрд долл., а в 2009 г. он составит ~11 млрд долл. при среднегодовых темпах прироста 20% [1−17].

Микроэлектромеханические системы — это устройства с интегрированными на поверхности или в объеме твердого тела электрическими и микромеханическими структурами. Статическая или динамическая совокупность этих структур обеспечивает реализацию процессов генерации, преобразования, передачи энергии и механического движения в интеграции с процессами восприятия, обработки, передачи и хранения информации [2,18].

В настоящее время наиболее динамично развивающимися микромеханическими компонентами являются сенсоры угловой скорости и линейного ускорения. Данные компоненты находят применения от микросистем стабилизации изображения в фотоаппаратах, видеокамерах и сотовых телефонах до инерциальных навигационных систем, используемых, как для ориентации и навигации подвижных объектов, так и для мониторинга параметров движения тела человека [7,13−17].

Лидирующими организациями на мировом рынке МЭМС являются ГУ НПК «Технологический центр» МИЭТ (ТУ) (г. Зеленоград), НИИ «Физических измерений (г. Пенза), ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор» (г. Санкт-Петербург), Центр микротехнологий и диагностики ФГОУ ВПО «Санкт-Петербургского государственного электротехнического университета (ЛЭТИ) им. В. И. Ульянова (Ленина)» (г. Санкт-Петербург), ОАО «Раменское приборостроительное конструкторское бюро» (РПКБ) (г. Москва), Bosh, Delpi, Hewlett Packard, Lionix, Akustica, Discera, Rnowles, Lightconnect, Analog.

Devices, STMicroelectronics, Freescale, Infeneon/Sensonor, DALSA Semiconductors и др. [13,15].

Из-за высокой интеграции и междисциплинарной природы МЭМС трудно отделять проектирование устройства от его изготовления. Следовательно, высокий уровень знания производства необходим для проектирования МЭМС-устройства. Кроме того, значительные время и средства затрачиваются на создание опытного образца. Поскольку успешная разработка устройства требует физического и имитационного моделирования, важно, чтобы разработчики МЭМС имели доступ к соответствующим аналитическим инструментам. Поэтому более мощные инструменты имитационного и физического моделирования необходимы для точного прогнозирования поведения МЭМС-устройства [17−20].

Преимуществом математического моделирования является возможность определения структуры, механических и физических параметров элементов МЭМС, а также возможность с помощью моделирования проанализировать функционирование любого сенсорного элемента МЕМС [18,21].

В настоящее время на рынке МЭМС преобладают одноосевые сенсоры угловых скоростей (микромеханические гироскопы) и сенсоры линейных ускорений (микромеханические акселерометры). Однако, для уменьшения массы и габаритных размеров микросистем в целом, целесообразно применение двухи трехосевых сенсоров угловых скоростей, функционально интегрированных с сенсорами линейных ускорений [4,5,22−29].

В связи с этим задача разработки и исследования сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя и тремя осями чувствительности и методик их проектирования является актуальной.

Таким образом, диссертационная работа посвящена решению актуальной проблемы — функциональной интеграции многоосевых сенсоров угловой скорости и сенсоров линейного ускорения в одном устройстве, что позволяет улучшить массогабаритные характеристики данных микросистем, а также уменьшить их себестоимость, разработке методов и методик проектирования данных сенсоров.

Целью данной диссертационной работы является разработка конструкций интегральных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки, методов и методик их проектирования.

Для достижения поставленной цели в работе решались следующие основные задачи:

1. Разработка конструкций интегральных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя осями чувствительности, изготавливаемых по технологии поверхностной микрообработки;

2. Разработка конструкции интегрального сенсора угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности, изготавливаемого по технологии поверхностной микрообработки;

3. Разработка и исследование электромеханических моделей интегральных двухосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

4. Разработка и исследование электромеханических моделей интегральных трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

5. Разработка методов и методик проектирования интегральных двухосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

6. Разработка методов и методик проектирования интегральных трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений;

Научная новизна диссертационной работы выражается в следующем:

1. Предложен метод построения сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений на основе принципов функциональной интеграции;

2. Разработаны и исследованы электромеханические модели одномассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с двумя осями чувствительности, выполненных по технологии поверхностной микрообработки;

3. Разработаны и исследованы электромеханические модели двухмассовых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений с тремя осями чувствительности, выполненных по технологии поверхностной микрообработки;

Предложенные интегральные конструкции и технологические маршруты изготовления, методы и методики проектирования двухи трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений разработаны при выполнении НИР и внедрены в учебный процесс Технологического института ФГАОУ ВПО «Южный федеральный университет» в г. Таганроге.

Основные результаты работы докладывались на: I, III Ежегодных научных конференциях студентов и аспирантов базовых кафедр Южного научного центра РАН (г. Ростов-на-Дону, 2005 г., 2007 г.) — VIII-IX Всероссийских научных конференциях студентов и аспирантов «Техническая кибернетика, радиоэлектроника и системы управления» (г. Таганрог, 2006, 2008гг.) — Международной научно-технической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения» (г. Москва, 2006;2010 гг.) — XIX Всероссийской научно-технической конференции студентов, молодых ученых и специалистов «Биотехнические, медицинские и экологические системы и комплексы» (г. Рязань, 2006 г.) — 14-ой Всероссийской межвузовской научно-практической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика — 2007» (г. Москва, 2007 г.) — IX-X Международных конференциях «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы» (г. Ульяновск, 2007;2010 гг.) — VII Международной конференции «Химия твердого тела и современные микрои нанотехнологии» (г. Кисловодск-г.Ставрополь, 2007 г.) — XI Научной молодёжной школе по твердотельной электронике «Нанотехнологии, наноматериалы, нанодиагностика» (г. Санкт-Петербург, 2008 г.) — X Конференции молодых ученых «Навигация и управление движением» (г.

Санкт-Петербург, 2008;2009 гг.) — Международной научно-технической школе-конференции «Молодые ученые — науке, технологиям и профессиональному образованию» (г. Москва, 2008 г.) — Международной научно-технической конференции «Микроэлектроника и наноинженерия -2008» (г. Москва, 2008 г.) — Молодёжной школе по твердотельной электронике «Физика и технология микрои наносистем» (г. Санкт-Петербург, 2009 г.) — Всероссийской молодежной школе-семинаре «НАнотехнологии и инНОвации» (г. Таганрог, 2009 г.) — Международной научно-технической конференции и молодежной школе-семинаре «Нанотехнологии — 2010» (г. Таганрог, 2010 г.) — Ежегодных конференциях профессорско-преподавательского состава ТТИ ЮФУ (г. Таганрог, 2006;2009 гг.) и научных семинарах кафедры КЭС.

По теме исследований опубликовано 31 печатных работ, в том числе 2 научные публикации в изданиях, рекомендованных ВАК, получено 3 патента РФ на изобретение. В ВНИИТЦ зарегистрировано 10 отчетов по НИР, выполненных при участии автора.

Основные положения и результаты, выносимые на защиту:

— интегральные конструкции двухосевых и трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.

— электромеханические модели двухосевых и трехосевых сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.

— методы и методики проектирования интегральных сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений.

1. Бочаров Л. Ю., Мальцев П. П. Состояние и перспективы развития микроэлектромеханических систем за рубежом // Микросистемная техника. -1999. -№ 1,-С. 41−46.

2. Климов Д. М., Васильев A.A., Лучинин В. В., Мальцев П. П. Перспективы развития микросистемной техники в XXI веке // Микросистемная техника. -1999.-№ 1.-С. 3−6.

3. Васенко А., Епифанов В., Юдинцев В. Микроэлектромеханические системы. Настало время выходить в свет. ЭЛЕКТРОНИКА: Наука, Технология, Бизнес- 1998, № 5−6, с. 55−59.

4. Вернер В. Д., Мальцев П. П., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А. Синергетика миниатюризации: микроэлектроника, микросистемная техника, наноэлектроника // Микросистемная техника. 2004. — № 7. — С. 23−29.

5. ПогаловА.И., Тимошенков В. П., Тимошенков С. П., Чаплыгин Ю. А. Разработка микрогироскопов на основе многослойных структур кремния и стекла // Микросистемная техника. 1999. — № 1. — С. 36−41.

6. Michalicek М.А. Introduction to micromechanical systems. URL: http://mems.colorado.edu.

7. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. Учебное пособиеТул. Гос. университет: Тула 2002.-392 с.

8. Мартыненко Ю. Г. Тенденции развития современной гироскопии // Соросовский образовательный журнал 1997 — № 11- С. 120−127.

9. Picraux S.T., McWhorter P.J. The broad sweep of integrated Microsystems // IEEE Spectrum.-december 1998.-pp.24−33.

10. Гольцова M.M., Юдинцев B.A. МЭМС: Большие рынки малых устройств // Нанои Микросистемная техника. 2008. — № 4. — С. 9−13.

11. Вернер В. Д., Мальцев П. П., Резнев А. А., Сауров А. Н., Чаплыгин Ю. А. Современные тенденции развития микросистемной техники // Нанои Микросистемная техника. 2008. — № 8. — С. 2−6.

12. Горнев Е. С., Зайцев Н. А., Равилов М. Ф., Романов И. М., Ранчин С. О., Былинкин Д. А. Анализ разработанных зарубежных изделий микросистемной техники // Микросистемная техника. 2002. — № 7. — С. 6−11.

13. Мальцев П. П. Перспективы разработки микросистемной техники в России // Микросистемная техника 2002 — № 8 — С.7−11.

14. Распопов В. Я. Микромеханические приборы. М.: Машиностроение — 2007. — 400 с.

15. Лысенко И. Е. Проектирование сенсорных и актюаторных элементов микросистемной техники. Таганрог: Изд-во ТРТУ.- 2005. — 103 с.

16. Z. Mrcarica, V.B.Litovski, H.Detter. Modeling and simulation of microsystems using hardware description language // Microsystem Tehnologies 1997 — pp.8085.

17. Бубенников A.H. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. Пособие по спец. «Физика и технология материалов и компонентов электронной техники». М.: Высшая школа, 1989. — 320.:ил.

18. Коноплев Б. Г., Лысенко И. Е. Моделирование интегрального микромеханического гироскопа с тремя осями чувствительности // Микросистемная техника. 2006. — № 7. — С. 49−53.

19. Корляков А. В., Лучинин В. В. Перспективная элементная база микросистемной техники // Микросистемная техника. 1999. — № 1. — С. 1215.

20. Соколов Л. В., Твердотельные микроприборы и микросистемы с интегрированными микромеханическими структурами // Зарубежная электронная техника 1998. № 2 — С.62−79.

21. Будкин В. Л., Паршин В. А., Прозоров C.B., Саломатин А. К., Соловьев В. М. Инерциальные датчики для систем навигации и ориентации. // Микросистемная техника 2000 — № 2 — С. 31−34.

22. Daniel J.H., Igbal S., Milington R.B. Sensors and Actuators. // A Physical. 1998. -V71. -P.81−88.

23. Шелепин H.A. Кремниевые микросенсоры и микросистемы: от бытовой техники до авиационных приборов // Микросистемная техника 2000 — № 1.-С.40−43.

24. Шелепин H.A. Кремниевые преобразователи физических величин и компоненты датчиков // Микросистемная техника 2002 — № 9 — С.2−10.

25. Вернер В. Д. Пурцхванидзе И.А. Микросистемы: проблемы и решения // Микросистемная техника- 2002 № 10 — С.13−18.

26. Пешехонов В. Г. Ключевые задачи современной автономной навигации // Гироскопия и навигация 1996 — № 1 (12).- С. 48−55.

27. Мальцев П. П., Телец В. А., Никифоров А. Ю. Технологии и изделия микроэлектромеханики // Микросистемная техника 2001. № 10 — С. 18−24.

28. Лучинин В. В., Таиров Ю. М., Васильев A.A. Особенности материаловедческого и технологического базиса микросистем // Микросистемная техника. 1999. — № 1. — С. 7−11.

29. Цветков Ю. Б. Анализ совмещаемости слоев в производстве изделий микросистемной техники // Микросистемная техника. 2004. — № 8. — С. 3337.

30. Михайлов П. Г. Микроэлектронные датчики: вопросы разработки // Микросистемная техника. 2003. — № 1. — С. 4−7.

31. Козин С. А. Технология МЭМС в разработках интегральных датчиков механических параметров // Микросистемная техника 2003 — № 11- С.10−14.

32. Holmes A.S. and Saidam S.M. Sacrificial Layer Process with Laser-driven Release for Batch Assembly Operations // Journal of Microelectromechanical Systems-Vol. 7. No. 4.-December 1998.

33. Колясников B.A., Рахимбабаев Т. Я. Микрожидкостные системы и их реализация с использованием LIGA-технологии // Микросистемная техника. 1999. -№ 1. — С. 15−21.

34. Колясников В. А., Рахимбабаев Т. Я. Синхротронное излучение в микротехнологии // Микросистемная техника. 2000. — № 1. — С. 9−13.

35. Koester D.A., Mahadevan R, Hardy В., Markus K.W. MUMPs design handbook. Revision 5.0. URL: http://www.memsrus.com.

36. W. Sun, W.J.Li, Y.Xu. A MUMPs angular-position and angular-speed sensor with off-chip wireless transmission // Microsystem Technologies 2001; pp.63−70.

37. R.A.Lawes. Fabrication technology for microengineering // Sensor Review-1996;vol. 16,#2.-pp. 16−22.

38. Мальцев П. П., Телец B.A., Никифоров А. Ю. Интегрированные технологии микросистемной техники // Микросистемная техника- 2001; № 11- С.22−24.

39. Willke T.L., Onggosanusi Е. and Gearhart S.S. Micromachined Thick-metal Coplanar Coupled-line Filters and Couplers. // IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest- 1998;Vol. l.-P. 115−118.

40. Sun Y., H. van Zeijl, Tauritz J.L. and Baets R.G.F. Suspended Membrane Inductors and Capacitors for Application in Silicon MMIC’s // Microwave and Millimeter-wave Monolithic Circuits Symposium Digest of Papers. IEEE 1996;P. 99−102.

41. Miller D.C., Zhang W. and Bright V.M. Microrelay Packaging Technology Using Flip-chip Assembly. The Thirteenth Annual International // Conference on Micro Electro Mechanical Systems 2000. P. 265−270.

42. Robertson S.V., Katehi L.P.B. and Rebeiz G.M. Micromachined Self-packaged W-band Bandpass Filters. // IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest. -1995.-Vol.3.-P. 1543−1546.

43. Катыс П. Г., Катыс Г. П. Микродатчики, реализованные на основе МЭМС и МОЭМС // Микросистемная техника 2001. № 11- С.3−7.

44. Королев М. А., Чаплыгин Ю. А., Тихонов Р. Д. Интегрированные микросистемы перспективные элементы микросистемной техники // Микросистемная техника — 2003; № 7- С.6−7.

45. Hocker G.B. MEMS-based sensors. URL: http://bsac.eecs.berkeley.edu.

46. Дж. Фрайден. Современные датчики. Справочник. М.: Техносфера, 2005. -592 с.

47. В. Варадан, К. Виной, К. Джозе ВЧ МЭМС и их применение. Москва: Техносфера, — 2004. — 528с.

48. Muller R.S. Microactuators. URL: http://bsac.eecs.berkeley.edu.

49. Navid Yazdi, Farrokh Ayazi, Khalil Najafi. Micromachined Inertial Sensors // Proceedings of the IEEE.-August 1998.-vol. 86, no. 8,-pp. 1640−1659.

50. Будкин B.JI., Паршин B.A., Прозоров C.B., Саломатин А. К., Соловьев В. М. Инерциальные датчики для систем навигации и ориентации // Микросистемная техника 2000 — № 2 — С.31−34.

51. Мокров Е. А., Папко А. А. Акселерометры НИИ физических измеренийэлементы микросистемотехники // Микросистемная техника- 2002 № 1-С.3−9.

52. Былинкин С. Ф., Вавилов В. Д., Вавилов И. В., Китаев И. В. Разработка и исследование микросистемных акселерометров // Микросистемная техника — 2003,-№ 6. С.2−5.

53. Лестев A.M., Попова И. В., Евстифеев М. И., Пятышев Е. Н., Лурье М. С., Семенов А. А. Особенности микромеханических гироскопов // Микросистемная техника- 2000 — № 4 С.16−18.

54. Шахнович И. МЭМС-гироскопы единство выбора // Электроника: Наука, Технология, Бизнес. — 2007. — № 1. — С.76−85.

55. Сафронов А. и др. Малогабаритные пьезоэлектрические вибрационные гироскопы: особенности и области их применения // Электроника: НТБ-2006. № 8. — С.62−64.

56. Geen J., Krakauer D. New iMEMS Angular-Rate-Sensing Gyroscope // Analog Dialogue 37−03(2003). URL: http://www.analog.com.61 .Ишлинский А. Ю., Борзов В. И., Степаненко Н. П. Лекции по теории гироскопов М.: Изд-во МГУ — 1983 — 248 с.

57. Шестов С. А. Гироскоп на земле, в небесах и на море М.: Знание — 1 989 188 с.

58. Lestev A.M., Popova I.V. Micromechanical Gyroscopes Present State in Theory and Practice // 5-th St. Petersburg International conf. on integrated navigation systems. 1998. — P. 173−182.

59. Лестев A.M., Попова И. В. Современное состояние теории и практических разработок микромеханических гироскопов // Микросистемная техника.-2000. № 4. С.81−94.

60. Магнус К. Гироскоп: Теория и применение М.: Мир — 1974 — 526 с.

61. Ачильдиев В. М., Дрофа В. Н., Рублев В. М. Микромеханический вибрационный гироскоп-акселерометр // Микросистемная техника- 2001— № 5, — С.8−10.

62. Горнев Е. С., Зайцев H.A., Равилов М. Ф., Романов И. М., Ранчин С. О. Обзор микрогироскопов,. сформированных по технологии объемной микрообработки // Микросистемная техника 2002 — № 8 — С.2−6.

63. Тимошенков С. П., Зотов С. А., Морозова Е. С., Балычев В. Н., Прокопьев Е. П. Передаточные функции чувствительного элемента микромеханического вибрационного гироскопа LL-типа // Нанои Микросистемная техника-2007; № 9 С.32−34.

64. Джашитов В. Э., Панкратов В. М., Лестев A.M., Попова И. В. Расчет температурных и технологических погрешностей микромеханических гироскопов // Микросистемная техника- 2001; № 3 С.2−10.

65. Селезнев В. П. Навигационные устройства: Учебное пособие. М.: Машиностроение, 1974. — 600 с.

66. Броксмейер Ч. Ф. Системы инерциальной навигации. / Пер. с англ. М. И. Малтинского, И. М. Окона, Д. С. Никитина и др.- Под ред. С. С. Ривкина. Л.: Судостроение, 1967. — 279 с.

67. Ривкин С. С. Теория гироскопических устройств. Ч. 1. Л.: Судпромшз, 1962.-507 с.

68. Ривкин С. С. Теория гироскопических устройств. Ч. 2. Л.: Судостроение, 1964.

69. Полищук Е.В.* Моделирование микромеханического гироскопа-акселерометра // Тезисы докладов 14-ой Всероссийской межвузовской научно-практической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика 2007». — М.: МИЭТ, 2007. — С. 116.

70. Е. Б. Механцев, И. Е. Лысенко. Физические основы микросистемной техники: Учеб. пособие Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2004; 54с.

71. A.B.Александров, В. Д. Потяпов, Б. П. Державин. Сопротивление материалов: Учеб. Для вузов-М.: Высшая школа, 1995; 560 с.

72. В. И. Бутенко, А. Д. Захарченко, И. В. Косов, Д. Л. Ретивова, А. А. Сущенко. Механика машин, механизмов и приборов. Информационно-справочное пособие. Таганрог: Изд-во ТРТУ, 2000. 248 с.

73. Х.Кухлинг. Справочник по физике: Пер. с нем.-М.: Мир 1982; 520с.

74. И. В. Савельев. Курс общей физики: Учеб. пособие. В 3-х т. Т.1. Механика. Молекулярная физика- 3-е изд., испр М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит., 1986.-432 с.

75. Шерова Е. В., Лысенко И. Е. Моделирование упругого подвеса многоосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Известия вузов. Электроника. № 4, 2009. С.48−55.эфе.

76. M.A.Michalicek. Introduction to micromechanical systems. URL: http ://mems. Colorado, eduФ.

77. Шерова Е. В. Модель упругого подвеса микромеханического гироскопа-акселерометра // Тезисы докладов XI научной молодёжной школы по твердотельной электронике «Нанотехнологии, наноматериалы, нанодиагностика» .- СПб: Изд-во СПбГЭТУ (ЛЭТИ), 2008. С.64−65.

78. Лысенко И. Е., Полищук Е.В.* Моделирование микромеханического гироскопа-акселерометра на основе углеродных нанотрубок // Труды IX Международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». Ульяновск: УлГУ, 2007. — С. 27.

79. Шерова Е. В., Приступчик Н. К. Моделирование многоосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Труды X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008. С. 100.

80. Шерова Е. В., Приступчик Н. К. Методика моделирования многоосевого автоэмиссионного акселерометра // Труды X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением».- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2008;С. 102.

81. Шерова Е. В., Приступчик Н. К. Методика моделирования многоосевого автоэмиссионного акселерометра // Материалы докладов X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением» .- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2009. С. 329−335.

82. Шерова Е. В., Приступчик Н. К. Моделирование многоосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Материалы докладов X конференции молодых ученых «Навигация и управление движением» .- СПб.: ГНЦ РФ ЦНИИ «Электроприбор», 2009. С. 375−382.

83. Хемди A. Taxa Глава 18. Имитационное моделирование // Введение в исследование операций = Operations Research: An Introduction. — 7-е изд. — M.: «Вильяме», 2007. — С. 697−737. — ISBN 0−13−32 374−8.

84. Строгалев В. П., Толкачева И. О. Имитационное моделирование. — МГТУ им. Баумана, 2008. — С. 697−737. — ISBN 978−5-7038−3021−5.

85. Zhang W.-M., Meng G., Chen Di. Stability, Nonlinearity and Reliability of Electrostatically Actuated MEMS Devices // Sensors. 2007. V. 7. P. 760−796.

86. Ривкин C.C. Статистический анализ гироскопических устройств. JI.: Судостроение, 1970, 424с.

87. Евсеев, М. И. Требования к точности изготовления упругого подвеса микромеханического гироскопа Текст. / М. И. Евсеев, A.A. Унтилов // Гироскопия и навигация № 2- 2003 — С.24−31.

88. Челпанов И. Б. Оптимальная обработка сигналов в навигационных системах. М.: Наука, 1967. 392 с.

89. Michael Kranz. Design, Simulation, and Implementation of Two Novel Micromechanical Vibratory-Rate GyroscopesM.D.Thesis.- Carnegie Mellon University, May, 1998;p.41.

90. Справочник начинающего радиолюбителя / Под ред. Малинина P.M. М. -JI.: Госэнергоиздат, 1961. — 624с.

91. Стрелков С. П., Введение в теорию колебаний, 2 изд., М., 1964.

92. Горелик Г. С., Колебания и волны, 2 изд., М., 1959.

93. Сивухин Д. В., Общий курс физики, т. 3 — Электричество, М., 1977.

94. Шерова Е. В. Аналитическая модель упругого подвеса микромеханического гироскопа-акселерометра // Труды X Международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». -Ульяновск: УлГУ, 2008. С. 100.

95. Шерова Е. В. Микромеханический сенсор угловых скоростей и линейных ускорений // Труды X Международной конференции «Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы». Ульяновск: УлГУ, 2008.-С. 106.

96. Шерова Е. В. Модель упругого подвеса трехосевого ММГА // МатериалыМеждународной научно-технической школы-конференции «Молодые ученые науке, технологиям и профессиональному образованию» (Молодые ученые — 2008).- М.: МИРЭА, 2008. Ч.1. С. 179−182.

97. Шерова Е. В. Модель микроподвеса трехосевого микромеханического гироскопа-акселерометра // Тезисы докладов XII научной молодёжной школы по твердотельной электронике «Физика и технология микрои наносистем» .- СПб: Изд-во СПбГЭТУ (ЛЭТИ), 2009. С.79−80.

98. Шерова Е. В. Микромеханический сенсор угловых скоростей и линейных ускорений на основе углеродных нанотрубок // Тезисы докладов всероссийской молодежной школы-семинара «НАнотехнологии и инНОвации» (НАНО-2009). Таганрог: ТТИ ЮФУ, 2009. С.42−43.