ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ
Π.- Π ΡΠ·Π°Π½Ρ, 1996 Π³. ΠΈ 1998 Π³.) — V ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΡΠΊΠΎΠ»Π΅ ΠΏΠΎ Ρ
Π°ΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡΠΌ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ (Π‘Π°ΡΠ°ΡΠΎΠ², 1998 Π³.) — ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ²Π΅ΡΠ°Π½ΠΈΠΈ «ΠΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΠΊΠ° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΡΡΠΈΡ
ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄ΠΎΠ²» (Π‘.-ΠΠ΅ΡΠ΅ΡΠ±ΡΡΠ³, 1997 Π³.) — XXII ΠΈ XXIII ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ
ΠΏΠΎ ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡΠΌ Π² ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ
Π³Π°Π·Π°Ρ
(Π₯ΠΎΠ±ΠΎΠΊΠ΅Π½, Π‘Π¨Π, 1995 Π³.- Π’ΡΠ»ΡΠ·Π°, Π€ΡΠ°Π½ΡΠΈΡ, 1997 Π³.) — XII ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΡΡΠ΄Π°ΠΌ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½Π°Ρ — ΠΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ — ΠΠΎΠ΄ (Π΄Π»Ρ Π¦ΠΠ) ΠΠ΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½Π°Ρ — ΠΠ½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Π°Ρ — ΠΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ — ΠΠΎΠ΄ (Π΄Π»Ρ ΠΠΠ£) Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ «ΠΠ΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½Π°Ρ — ΠΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π°Ρ — ΠΠΎΠ΄» Π΅ΡΡΡ Π΅Π΄ΠΈΠ½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΉ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΈΠ·Π½Π°ΠΊ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΡ
ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ². ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ Π² ΡΠ΅Π±Ρ Π΄ΠΈΡΠΊΡΠ΅ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ, ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΊΠΎΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ΠΏΡΠ΅ΡΡΠ²Π½ΠΎΠΉ Π²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ½Ρ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΡΡΡ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²ΠΎ-ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. ΠΠ»Ρ Π¦ΠΠ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ Π Π ΠΎΡΡΠΈΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ ΠΈΠ·ΠΎΡΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈΡΡΠΊΠΈ ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠ° ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎ-Π°Π»ΡΡΠ°Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ½ΡΠ° Π±ΡΠ»ΠΈ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»Π΅Π½Ρ ΠΠΠ «Π§ΠΈΡΡΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ» (Π΄ΠΎ 2005 Π³ΠΎΠ΄Π° — «ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ») (Π³. ΠΠΆΠ΅Π²ΡΠΊ) Π² 1998 Π³ΠΎΠ΄Ρ. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΠΠ «Π§ΠΈΡΡΡΠ΅ Π’Π΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ» ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π»ΠΈΠ΄Π΅ΡΠΎΠΌ Π² ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΠΈ Π³Π»Π°Π²Π½ΡΠΌ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠΎΠΌ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ°Π»ΡΡΠ°Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
(0,02 — 0,01 Π°/(ΡΠ°Ρ-ΡΠΌ)), ΡΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
(0,005 — 0,002…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ 89Π£Π₯Π1, Π’1 Π ΠΎΠ·'ΡΠ΄Π½ΡΠ²Π°ΡΡ Π²ΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ²ΠΎΠ»ΡΡΠ½Ρ ΡΠΈΠΏΡ Π Π3β110/1000 Π£Π₯Π1, Π Π3β2-Π‘Π-110/1000 Π£Π₯Π1, Π Π3β110Π/1000 Π£Π₯Π1, Π Π3β110/2000 Π£Π₯Π1, Π Π3β110Π/2000 Π£Π₯Π1, Π Π3β110/3150 Π£Π₯Π1, Π Π3β110Π/1250 Π’1. 90. Π£Π₯Π4 Π’pΠ°Π½ΡΡΠΎpΠΌΠ°ΡΠΎpΡ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²Ρ ΡpΠ΅Ρ
ΡΠ°Π·Π½ΡΠ΅ ΡΡΡ
Ρ ΡΠΈΠΏΡΠ² Π’Π‘ΠΠ£-1000/10-Π£Π₯Π4, Π’Π‘ΠΠ£-1600/10-Π£Π₯Π4, Π’Π‘ΠΠ‘Π£-1000/10-Π£Π₯Π4 ΠΏΡΠΈΠ·Π½Π°ΡΠ΅Π½Π½Ρ Π·Π° Π»ΠΈΡΠΎΡ ΡΠ·ΠΎΠ»ΡΡΡΡΡ ΡΠΈΠΏΡ Π’Π‘ΠΠ. ΠΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½Ρ ΡΡΡpΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π΄Π»Ρ pΠ°ΡΠΏpΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡpΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅pΠ³ΠΈΠΈ…
Π Π΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ 74 ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»ΡΡΡΡΡ Π½Π° ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅, Π±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΈΡ
ΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅. Π ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠ°ΠΌ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΎΠΊ, ΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΡΡΠΈΡ
ΡΡ ΠΌΠ°ΡΠΈΠ½ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΈΡ
ΡΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ Π³Π°Π·ΠΎΠ² Π² ΡΠΎΡΡΠ΄Π°Ρ
, Π½Π΅Π΄ΠΎΠΏΡΡΡΠΈΠΌΡΠ΅ ΡΡΠΎΠ²Π½ΠΈ ΡΡΠΌΠ°, Π²ΠΈΠ±ΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΈ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π·Π²ΡΠΊΠ°, Π½Π΅Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΡ ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ»Ρ, ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ Π΄Ρ. Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅…
ΠΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΠ΅ΡΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π°Π½ΡΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΡΠΎΠ²ΠΎΠΊΡΠΏΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π°Π±ΠΎΠ½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΠ΅Π»Ρ (Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π°). Π€ΠΎΡΠΌΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π° Π²ΡΠ±ΠΈΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΎΠΉ, ΡΡΠΎΠ±Ρ ΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ, ΠΏΠ°Π΄Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΎΡ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ Π½Π° Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»ΠΎ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Π»ΡΡ Π² ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΈΠΉ ΡΡΠΎΠ½Ρ Π²ΠΎΠ»Π½Ρ. Π‘ ΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΉ Π³Π΅ΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ Π»ΡΡΠΈ, ΡΠ°ΡΡ
ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠ΅ΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±Π»ΡΡΠ°ΡΠ΅Π»Ρ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ Π·Π΅ΡΠΊΠ°Π»Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ ΠΏΠ°ΡΠ°Π»Π»Π΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΡΠΎΠΊ…
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΠ»Ρ Π΄ΠΎΡΡΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Π»ΠΈ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎ Π±ΡΠ»ΠΎ ΡΠ΅ΡΠΈΡΡ ΡΠ»Π΅Π΄ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ: ΠΎ ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² Ρ ΡΠ΅Π»ΡΡ Π²ΡΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΡ
ΡΠΎΠ»ΡΠΈΠ½Ρ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ, Π΅Π΅ Π½Π΅ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ
ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΎΠΊ. ΠΎ ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠ°ΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠΎΠ² Π΄ΠΈΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΊΡΠΈΠ΄Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΡΡΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ
ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ: Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½Π°Ρ ΡΠ²Π΅ΡΡ
ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ, ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»-ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊ (Π€ΠΠΠ), ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ
ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠΉ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡ, ΠΊΠΎΠ»ΠΎΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΌΠ°Π³Π½Π΅ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ Ρ. Π΄. ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΏΠ΅ΡΡΠΏΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»ΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
, ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΡ. ΠΠΎΠ»ΠΈΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π΅Π½ΠΊΠΈ ΠΏΠ΅Π½ΡΠ°ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π²Π°Π½Π°Π΄ΠΈΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π-ΡΠ΅ΡΠ²Π΅ΡΡΡΡ
, Π½Π° Π ΠΠ Π²Π»ΠΈΡΡΡ Π½Π΅ΡΠΎΠ²Π΅ΡΡΠ΅Π½ΡΡΠ²Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°, Π²ΠΎΠ·Π½ΠΈΠΊΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π΅Π³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ° ΠΈΠ»ΠΈ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ: Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ, Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ, ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΡ, ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΡΠ΅Π΄Π½ΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π° ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² w ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠΎΠΊΠΎΠΌ ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ Π½Π° 0,05 ΡΠ. ΠΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ, ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°ΡΡΠ°ΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΈΡΠ»ΠΎΠΊΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ
Π΄Π΅ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ ΡΠ°ΡΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Π½Ρ ΡΠ΅Π½Π·ΠΎΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΡΠ½ΡΠ΅ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠΈ ΡΠΈΠ»Ρ ΠΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏ Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ°: ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ (ΡΠ°ΡΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅/ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅) Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π». Π Π°ΡΡΡΠΈΡΠ°Π½Π° ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΡΠΏΡΡΠ³ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ° Π΄Π°ΡΡΠΈΠΊΠ° (Π²ΡΡΠΎΡΠ° h, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½Π°Ρ Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ, ΡΠΈΠ»Π° F). ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»Π΅Π½Ρ ΡΠ°ΡΡΡΡΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΏΠΈ, ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
ΠΊΠ°ΠΊ:.Π ΡΠ°ΠΌΠΊΠ°Ρ
Π΄Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΡΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° ΡΡ
Π΅ΠΌΠ°, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠ°Ρ…
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ Π Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ°Ρ
Ge/GeSi II ΡΠΈΠΏΠ° Ρ ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Π»ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠΌΠΈ (ΠΊΠ°ΠΊ Π°ΠΊΡΠ΅ΠΏΡΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ, ΡΠ°ΠΊ ΠΈ Π΄ΠΎΠ½ΠΎΡΠ°ΠΌΠΈ) ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Π° ΡΠ΅Π»Π°ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° Π¦Π 1L ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² (ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΌΡ GeSi) ΠΈ Π΄ΡΡΠΎΠΊ (ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ ΡΠΌΡ Ge) Π² ΡΠ΅ΡΠ°Π³Π΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΠΏΡΠΈ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ Π²ΠΎΠ·Π±ΡΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΠΏΡΠΈ Π’- 4.2 Π. ΠΠ±Π½Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π² ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΎΡ Π¦Π Π΄ΡΡΠΎΠΊ, ΡΠ΅Π»Π°ΠΊΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΠΎ Π²ΡΠ΅Π³Π΄Π° ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ Ρ Π΄Π²ΡΠΌΡ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π°ΠΌΠΈ (Π±ΡΡΡΡΡΠΌ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π‘ΠΏΠ΅ΠΊΡΡ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°. Π ΠΠ‘Π§ΠΠ’ ΠΠΠ€ΠΠ ΠΠΠ¦ΠΠΠΠΠ«Π₯ Π₯ΠΠ ΠΠΠ’ΠΠ ΠΠ‘Π’ΠΠ ΠΠΠΠΠΠΠΠ°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΉ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π» Π±ΡΠ» ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ, ΠΈΠ΄ΡΡΠΈΠΌΠΈ Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»ΠΎΠΌ. Π’Π°ΠΊΠ°Ρ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠΊΠ° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠΈΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΡ ΠΎ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠΌ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π΅ ΠΈ ΡΠ°ΠΌΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊ ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΡΡΠ΅ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΎ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠΎΠΊ Π΄Π»Ρ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ². Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, Π²ΡΠ±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΡΠΎ Π°Π»ΡΠ°Π²ΠΈΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° ΠΈΠ½ΡΠΎΡΠΌΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π±ΡΠΊΠ² ΡΡΠΎΠ³ΠΎ…
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΡ
Π°Π²ΡΠΎΡΠΎΠΌ Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ
ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΎΠΊ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² Π‘ΠΠ§ Π’ΠΠ Π½Π° Π²Π°Π ΠΈ 8'1Π‘Π΅ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π° ΠΏΡΠΈΠ΅ΠΌΠ° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ
ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ² Π² Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π½Π°ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ ΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅ΡΠΈΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° Π‘ΠΠ§ Π’ΠΠ Π½Π° Π²Π°Π ΠΈ 81Π‘Π΅ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π³ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΡΡ
Π΅ΠΌΠ°Ρ
, ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠ°ΠΏ Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡ ΠΠΎΠ»Π²ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈ-ΡΠ΅Π»Π΅ΠΉ ΠΠΎΠ»ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»ΠΆΠΈ-ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΠΎΠ΄Π³ΠΎΡΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΠ·Π½Π°ΠΊΠΎΠΌΠ»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Ρ Π·Π°Π΄Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ 4 ΠΠ΅Π΄ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ, ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡ 1ΠΊ, ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡ 2ΠΊ, Π’Π΅Ρ
Π½ΠΈΠΊ 1 ΠΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ 2 ΠΠ΅Π΄ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ, ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡ 1ΠΊ 8 ΠΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ² 2 ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡ 2ΠΊ, Π’Π΅Ρ
Π½ΠΈΠΊ 5 Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° Π’Π Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ 2 ΠΠ΅Π΄ΡΡΠΈΠΉ ΠΈΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅Ρ, ΠΠ½ΠΆΠ΅Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΎΡ 2ΠΊ 2…
ΠΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ΅Ρ
Π½Π°ΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΠ½Π΄Π°ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π½Π°ΡΠΊΠΈ, ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° Π²Π΅ΡΡ Ρ
ΠΎΠ΄ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΡΠ°. Π Π΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ Π² ΡΡΠΈΡ
ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΡ
ΠΈΠ³ΡΠ°ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ ΡΠ΅Π»ΡΠΉ Π°ΡΡΠ΅Π½Π°Π» ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ². ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, ΡΠΆΠ΅ Π½Π° ΠΏΡΠΎΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ
Π»Π΅Ρ ΡΡΠΏΠ΅ΡΠ½ΠΎ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΡΡΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ Π΄ΠΈΡΡΠ°ΠΊΡΠΈΠΈ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ