ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ
Π ΡΠ²Π΅ΡΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΠ΄ΠΈΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΡΡ ΡΠΎΡ ΡΠ°ΠΊΡ, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡΡΠ΅Π΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΡ
ΠΌΠΎΠ»Π΅ΠΊΡΠ» ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΏΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠΏΠ΅Π²Π°ΡΡΠΈΡ
Π΄ΠΈΡΡΠΎΡΠΈΠ°ΡΠΈΡ ΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΡΠΎΠΉΠΊΡ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠ²Π°Π»ΠΈ ΠΈΠΎΠ½Ρ Ρ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΎ ΠΎΠ±ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΠΎ ΠΌΠΎΠ³Π»ΠΎ Π±ΡΡΡ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ ΡΠ΅ΠΌ, ΡΡΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ°ΡΠΎΠΌΠ½ΡΠ΅ ΠΈΠΎΠ½Ρ Π½Π° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΎΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΆΠΈΠ·Π½ΠΈ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΠ³ΠΎ, ΡΡΠΎΠ±Ρ Π½Π΅ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠ²Π΅ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π‘ΠΎΡΡΠ°Π² ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΡΠ΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π² ΠΎΡΠΈΡΠ΅, ΡΡΠ΅Π±Π½ΠΎΠΌ Π·Π°Π²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΠΈ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π΅Π½ ΠΈ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ°ΠΌΠΈ, ΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄ ΡΠΎΡΡΡΠ΄Π½ΠΈΠΊΠ°ΠΌΠΈ. Π‘ΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΉ Π±ΠΈΠ·Π½Π΅Ρ, ΡΡΠ΅Π±Π° ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅Ρ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ Π±ΡΡ
Π³Π°Π»ΡΠ΅ΡΡΠΊΠΎΠΉ Π΄Π΅ΡΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ΅ΡΠ°, Π²ΡΠΏΠΈΡΠΊΠΈ ΡΡΠ΅ΡΠΎΠ² ΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ (ΠΎΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ) ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ ΠΈ Π·Π°ΠΊΠ°Π·ΡΠΈΠΊΠ°ΠΌ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π±Π°Π· Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
, ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΠ°Π·Ρ…
ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΠ΅Π΄ΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ ΡΡΠ΅Π΄ΡΡΠ² Π²ΡΡΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΈΠΊΠΈ ΠΎΠ΄Π½ΠΎ ΠΈΠ· Π²Π°ΠΆΠ½Π΅ΠΉΡΠΈΡ
ΠΌΠ΅ΡΡ Π·Π°Π½ΠΈΠΌΠ°ΡΡ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ² (Π¦ΠΠ‘), Π½Π°ΡΠ΅Π΄ΡΠΈΠ΅ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ΅ Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
Π΄ΠΈΡΡΠ°Π½ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π·ΠΎΠ½Π΄ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΠΊΠΎΠ±ΠΈΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ, ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ Π·Π°Π΄Π°Ρ Π½Π°Π²ΠΈΠ³Π°ΡΠΈΠΈ Π°ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΈ ΠΌΠΎΡΡΠΊΠΈΡ
ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΎΠ², ΡΠ²ΡΠ·ΠΈ, ΡΠ°Π΄ΠΈΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΈΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΎΠΏΡΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π² ΡΡΠ΄Π΅ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ
ΠΏΡΠΈΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π¦ΠΈΡΡΠΎΠ²Π°Ρ ΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ°…
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ Π¦Π΅Π»ΡΡ Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ Π±ΡΠ»ΠΎ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ
ΠΏΡΠΈ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠΎΠ΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΈ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠ·Π°ΡΡΠ΄Π½ΡΡ
ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Ρ Π»Π΅Π³ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠΈΡΠ΅Π½ΡΠΌΠΈ. ΠΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»Π°Π³Π°Π»ΠΎΡΡ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ°ΡΠ½ΡΡ
ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π·Π°ΡΡΠ΄ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ — ΠΏΠ°ΡΡΠ½Π΅ΡΠΎΠ² ΡΡΠΎΠ»ΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ ΠΈΡ
ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π΄Π»Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌ, ΡΠ°Π½Π΅Π΅ Π½Π΅ ΠΈΠ·ΡΡΠ°Π²ΡΠΈΡ
ΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡΠΈΡ
ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈΠΊΠ»Π°Π΄Π½ΡΡ
Π·Π°Π΄Π°Ρ. ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
Π΄Π°Π½Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΠΈΠ»ΠΎ Π±Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π΄Π»Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΡΡ
ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ Π² ΠΈΠ½ΡΡΠ°ΠΊΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠΌ (ΠΠ) ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄ΠΎΡΡΠ°ΡΠΎΡΠ½ΠΎ ΡΠΈΡΠΎΠΊΠΎΠ΅ — ΡΡΠΎ Π°ΡΡΡΠΎΠ½ΠΎΠΌΠΈΡ, ΠΌΠ΅Π΄ΠΈΡΠΈΠ½Π°, Π½Π°ΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠ»Π΅ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π·Π° Π½Π°Π·Π΅ΠΌΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΈ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠ΅Π»ΡΠΌΠΈ. ΠΠ΄Π½ΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
ΡΠ·Π»ΠΎΠ² ΡΠΎΠ²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΈΡΠΌΠ½ΠΎΠ΅ ΡΡΡΡΠΎΠΉΡΡΠ²ΠΎ (Π€ΠΠ£), ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠ΅ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ΅Ρ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·ΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Π° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π’ΠΠ Π^/ΠΎΡ^/Π«Πͺ11, Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΡ ΡΠ°Π·Π΄Π΅Π»Π° ΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ ΡΠΎΡΡΠ°Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π°Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Π°ΠΌΠΈ. ΠΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠΈΠ»ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π°, ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² Π΄ΠΆΠΎΠ·Π΅ΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ NbVa-Si/Nbn Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ΅Π·Π΅ΡΡΠΎΡΠ΄ΠΎΠ²ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ½ΠΈΡ (POP) ΠΈ ΠΎΠΆΠ΅-ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΠΈ (ΠΠΠ‘), ΠΏΡΠΎΡΠ²Π΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π’ΠΈΠΏΠΈΡΠ½ΡΠΉ ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΏΠΎΡΡΡΠ΅Ρ Π½Π΅Π»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Ρ Π΄ΠΈΡΡΠΈΠΏΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ, ΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ Ρ
Π°ΠΎΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΠΌ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, ΡΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΠΌ ΠΈΠ· ΡΠ°ΠΌΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ
Π°ΡΡΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² (ΡΠ΅ΠΏΠ΅Π»Π»Π΅ΡΠΎΠ²), ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ
ΠΈ Π½Π΅ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΡΡ
ΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
(ΠΊΠ²Π°Π·ΠΈΠΏΠ΅ΡΠΈΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
) ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΠΉ ΠΈ Π΄ΡΡΠ³ΠΈΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ². ΠΠ°Π»ΡΠ΅ ΡΠ»ΡΠΊΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ°ΡΡ Π΄Π΅ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡ Π² ΡΠ»ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΡΠΉ ΠΈ «ΡΠ°Π·ΠΌΡΠ²Π°ΡΡ» ΡΠΎΠ½ΠΊΡΡ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΡΠ°ΠΌΠΎΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΡΡ
…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΎΠ½Π½Π°Ρ Π±ΠΎΠΌΠ±Π°ΡΠ΄ΠΈΡΠΎΠ²ΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΡ ΡΠ΅Π»ΡΠ΅ΡΠ°, ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΈ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠΈΡΠ΅Π½Π΅ΠΉ. Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠ΅ΡΠ²ΠΈΡΠ½ΡΡ
Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π°ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΈΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ»ΠΎΠ΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ
ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΉ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠΎΠ΄ΠΈΡΠΈΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ
ΡΠ»ΠΎΠ΅Π² ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅Π»Π°. Π ΡΠ°ΡΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈ ΡΠ΅ΠΎΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ Π·Π°Π΄Π°ΡΠΈ Π±ΡΠ» ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠ½ΡΠΉ ΠΏΠΎΠ΄Ρ
ΠΎΠ΄ ΠΊ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ°ΡΡΠΈΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· ΠΈΡ
ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ²: ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
, ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΈ ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
(ΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ-Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ
) Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ («10 Π½Π΅). ΠΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ² Π½Π° ΡΡΡΠΈΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΠΈ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΎΡΠΈΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°Π±ΠΎΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΡΡ ΠΠ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π½Π΅ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· Π½ΠΈΡ
ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΡΠ΅ΠΌ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ², Π² ΡΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ»Π΅ ΠΈ ΠΠ, Π·Π°Π²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡ ΠΈΡ
ΡΠΎΡΠΌΡ. ΠΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΡ, ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΡΡΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ ΡΠ°ΡΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΠΈΠ· ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Π°, ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΠΊΠ°ΡΡ Π½Π° ΡΡΡΠΊΠ΅ ΡΡΠ΅Ρ
ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ
Π½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ: ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»-Π³Π°Π·, ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡ-Π³Π°Π· ΠΈ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»-ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΠ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π Π°ΡΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΠΎΡΠ° ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ Π΄Π²ΡΠΌΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ΄Π°Π»Π΅Π½Π½ΡΠΌΠΈ Π΄ΡΡΠ³ ΠΎΡ Π΄ΡΡΠ³Π° ΡΡΠ°Π½ΡΠΈΡΠΌΠΈ Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΈ (L=500 ΠΌ). Π‘ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° Π² Π»ΠΈΠ½ΠΈΠΈ ΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ ΡΠ°Π²Π½ΠΎΠΉ 200 ΡΡΡ. ΠΊΠΌ/Ρ. ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΈΡΡ ΠΌΠΈΠ½ΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π΄Π»ΠΈΠ½Ρ ΠΊΠ°Π΄ΡΠ° Π² Π±ΠΈΡΠ°Ρ
ΠΈ Π±Π°ΠΉΡΠ°Ρ
ΡΠ°Π²Π½ΡΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ Π΄Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΠΎΡΠΎΡΠ° ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π° ΠΏΡΠΈ ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ 10 ΠΠ±ΠΈΡ/Ρ. Π Π°ΡΡΡΠΈΡΠ°ΡΡ Π½Π°Π³ΡΡΠ·ΠΊΡ N (Π² ΠΊΠ°Π΄ΡΠ°Ρ
Π² ΡΠ΅ΠΊΡΠ½Π΄Ρ ΠΈ ΠΊΠ±ΠΈΡ/Ρ) Π½Π° Π»ΠΎΠΊΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ΅ΡΡ Ethernet…
ΠΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ Π ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ°Π½Π΅Π΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡΡ
Π±ΡΠ»Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° ΠΏΡΠΈΠ½ΡΠΈΠΏΠΈΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠ° Π»Π΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΡΠΊΠ° ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½ΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π² ΡΠΎΡ-Π²Π°ΠΊΡΡΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ (1β15 ΠΠ°). ΠΡΠ»ΠΎ ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π² ΡΡΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΡ Π»Π΅Π½ΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΡΡΠΊΠ°, ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΎΠ², ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠΌΠΈΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΅ΡΠΌΠΎΡΡΡ Π½Π° ΡΠΎ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡΠ½ΡΠ΅ ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅ΡΠ°Π³Π΅ΡΡΠΎΠ²ΠΎΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ ΡΠ°ΡΡΠΎΡ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡΠΈΡ
Π΄Π»ΠΈΠ½Π°ΠΌ Π²ΠΎΠ»Π½ ΠΎΡ 300 ΠΌΠΊΠΌ Π΄ΠΎ 10 ΠΌΠΊΠΌ, Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π²ΠΎΡΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½Ρ Π΄Π»Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠΉ, ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ² ΠΌΠ°Π»ΠΎ. ΠΡΠ²ΠΎΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΡΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π°, Π½Π°Ρ
ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ Π½Π° ΡΡΡΠΊΠ΅ Π‘ΠΠ§ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠΈ ΠΈ Π»Π°Π·Π΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠΈΠ·ΠΈΠΊΠΈ, ΡΠΎΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΎ Ρ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΠΌΠΈ. ΠΠΎ ΡΠ°Π·Π½ΡΠΌ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½Π°ΠΌ Π·Π΄Π΅ΡΡ Π½Π΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ Π½ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π§Π°ΡΡΠΎΡΠ° ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²ΡΡ
ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ² Π§Π°ΡΡΠΎΡΠ° ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΈ ΠΠΎΠ½Π΅ΡΠ½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠΊΠ°Π»Ρ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ° Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π½Π° ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ:(5.2)ΠΠ±ΡΠΎΠ»ΡΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ, Π²ΡΠ·Π²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΎΡΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΡΠ΅ΡΠ΅ Π½Π° ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠΎΠ² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΎΡΡ:(5.3)ΠΠΎΠ΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌ (5.2) ΠΈ (5.3) Π² (5.1):ΠΠ»Π°ΡΡ ΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΠΎΠ±ΡΠ°ΠΆΠ°Π΅Ρ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΡΡ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠ°, Π²ΡΡΠ°ΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ…
ΠΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΡΠ»ΠΈ Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄ D ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌΡ 7474 ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ, ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅ Q Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ, Π° Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅ Q — Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ. ΠΠΎΠ³Π΄Π° Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄ D ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌΡ 7474 ΠΏΠΎΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ, ΡΠΎ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΠ²ΡΠΉ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡ ΡΡΡΠ°Π½Π°Π²Π»ΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅ Q Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΎΠ³ΠΎ, Π° Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π΅ Q — Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΡΠΎΠ²Π½Ρ. ΠΠΎΡΡΡΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ΅ Π½Π° Π²Ρ
ΠΎΠ΄ D ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌΡ 7474 Π΄Π°Π½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΡΡΡ…
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ