Турбомолекулярные насосы.
Технология обработки материалов.
Оборудование электронно-лучевых комплексов
Рис. 5.18. Схемы турбомолекулярных насосов с горизонтальным (а) и вертикальным (6) расположением вала ротора и их характеристики (в) (стрелками показано направление прохождения газового потока при откачке): Турбомолекулярный вакуумный насос — молекулярный вакуумный насос, на валу ротора которого закреплены диски с прорезями или лопатками, которые вращаются между соответствующими дисками статора… Читать ещё >
Турбомолекулярные насосы. Технология обработки материалов. Оборудование электронно-лучевых комплексов (реферат, курсовая, диплом, контрольная)
Турбомолекулярный вакуумный насос — молекулярный вакуумный насос, на валу ротора которого закреплены диски с прорезями или лопатками, которые вращаются между соответствующими дисками статора.
Схемы турбомолекулярных насосов с горизонтальным и вертикальным расположением вала ротора приведены на рисунке 5.18.
В цилиндрическом корпусе насоса 1 установлены неподвижные статорные кольца 2, между которыми вращаются закрепленные на валу ротора диски 3 с симметричными прорезями 4.
В насосе с горизонтальным расположением вала ротора входящий поток газа разделяется на два параллельных потока, которые соединяются в выходном патрубке.
Вращающиеся роторные диски передают количество движения молекулам газа, и последние постепенно перемещаются от секции к секции, двигаясь от входного патрубка к выходному. Зазор между роторными и статорными кольцами может составлять 1,0—1,2 мм, что обеспечивает необходимую надежность работы турбомолекулярного вакуумного насоса.
Рис. 5.18. Схемы турбомолекулярных насосов с горизонтальным (а) и вертикальным (6) расположением вала ротора и их характеристики (в) (стрелками показано направление прохождения газового потока при откачке):
1 — цилиндрический корпус насоса; 2 — статорные кольца; 3 — закрепленные на валу ротора диски; 4 — симметричные прорези на дисках
Опоры вала ротора выполняются в виде подшипников качения на магнитных подвесах или газовой подушке.
К достоинствам турбомолекулярных насосов относятся практически полное отсутствие загрязнения вакуумной камеры парами и продуктами крекинга масла, широкий диапазон рабочих давлений. Так как давление запуска турбомолскулярного насоса меньше атмосферного, требуется установка вспомогательного насоса. Технические характеристики турбомолекулярных насосов приведены в таблице 5.5.
Таблица 5.5
Технические характеристики турбомолекулярных насосов.
XapaicrepMciHKM. | Марки насосов. | ||||
ТМН-100. | ТВН-200. | ТМН-200. | ТВН-500. | TMH-5000. | |
Рабочий диапазон давлений, Па | 6,5−10-7— 1,3 10-2 | 1,3 Кг6— 1,3 102 |
| 1,3-Ю-6— 1,3102 | 6,5−107— 1,3−10'2 |
Производительность в рабочем диапазоне давлений, 10″ 5 м3/с | |||||
Предельное давление, Па | 1,310-7 | 6,5−10-7 | 1,зю-7 | 6,5−10'7 | 1,3−10^ |
Диаметр патрубка, мм: впускного выпускного |
|
|
|
|
|
Габаритные размеры, мм | — | 920*400*510 | 675*310*385 | — | — |