ΠΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡΡΡΠ΅ Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡΡ, ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΡΡΠ°Π΄ΠΊΡ, ΠΌΠ°Π»ΡΡ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΡ ΠΊ Π΄Π΅Π½Π΄ΡΠΈΡΠ½ΠΎΠΉ Π»ΠΈΠΊΠ²Π°ΡΠΈΠΈ ΠΈ ΠΎΡΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ ΡΡΠ°Π΄ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΡΠΈΡΡΠΎΡΡΠΈ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡΡΡΠ΅ Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°Ρ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π²Π½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΡΠ½ΠΈΡΡΡΠΌΠΈ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊΠ°ΠΊ Π·Π°ΠΌΠ΅Π½ΠΈΡΠ΅Π»ΠΈ Π΄ΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΡΡΠΎΡΡΠΈΡ
Π΄Π΅ΡΠΈΡΠΈΡΠ½ΡΡ
ΠΎΠ»ΠΎΠ²ΡΠ½ΠΈΡΡΡΡ
Π±ΡΠΎΠ½Π· Π² Ρ
ΡΠ΄ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ Π»ΠΈΡΡΠ΅.
ΠΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Π‘ΠΈ—Si ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 8.5.
Π ΠΈΡ. 8.5. ΠΠΈΠ°Π³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΡ Π‘ΠΈ—Si.
ΠΡΠΎΠ½Π·Ρ, ΠΈΠΌΠ΅Ρ Π² ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΌ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ 3% ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π°-ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ°. ΠΠ΄Π½Π°ΠΊΠΎ Π² ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ
Π΄Π»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³Π° Π³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠ° Π°-ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΡΠ΄Π²ΠΈΠ³Π°Π΅ΡΡΡ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΉ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π² Π±ΠΎΠ³Π°ΡΡΡ
ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΏΠ»Π°Π²Π°Ρ
Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π³Π΅ΡΠ΅ΡΠΎΠ³Π΅Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΡΠΈ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΅Π³ΠΎ Π΄ΠΎ 3,5% ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ»Π°ΡΡΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π½Π΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°ΡΡ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ. Π‘ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π΄ΠΎ 5% ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π» ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ, Π° ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅ΡΡΡ. ΠΠ΅Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ΅ Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½ΡΠ° ΠΈ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ, Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΡΠ΅ Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ (ΠΡΠΠΡ 3,5−1 ΠΈ ΠΡΠΠ 1−3), Π²Ρ
ΠΎΠ΄ΡΡ Π² ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΡΠΉ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡ, ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π²Π°Ρ Π΅ΠΌΡ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°. ΠΠ°ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Ρ, Π΄ΠΎΠ±Π°Π²ΠΊΠ° 1% ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½ΡΠ° Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡΡΠΎΠΉ Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΏΠ»ΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ. ΠΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΉ ΡΠ»ΡΡΡΠ°Π΅Ρ Π΄Π΅ΠΊΠΎΡΠ°ΡΠΈΠ²Π½ΡΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ, ΠΏΡΠΈΠ΄Π°Π²Π°Ρ Π΅ΠΉ ΠΊΡΠ°ΡΠΈΠ²ΡΠΉ ΡΠ΅ΡΠ΅Π±ΡΠΈΡΡΡΠΉ ΡΠ²Π΅Ρ, ΡΠ°ΠΊ ΠΆΠ΅ ΠΊΠ°ΠΊ ΠΈ ΠΌΠ°ΡΠ³Π°Π½Π΅Ρ, ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΡΡΡΡ Π² ΠΌΠ΅Π΄ΠΈ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΡ, ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΈ ΠΊΠΎΡΡΠΎΠ·ΠΈΠΎΠ½Π½ΡΡ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ, Π½ΠΎ ΡΡ
ΡΠ΄ΡΠ°Π΅Ρ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΠ΅ΠΊΡΡΠ΅ΡΡΡ, ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ Π³Π°Π·ΠΎΠ½Π°ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΎΡΡΡ ΡΠ°ΡΠΏΠ»Π°Π²Π° ΠΈ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π»ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ Π»Π΅Π³ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Π΅ΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΡΡ
Π΄Π΅ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡΡ
Π±ΡΠΎΠ½Π· (ΠΡΠΠ1−3, ΠΡΠΠ0,5−2). ΠΡΠΈ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡΡΡΡ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ Π·Π°ΠΊΠ°Π»ΠΊΠΈ ΠΎΡ 850 Β°C ΠΈ ΡΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ 450 Β°C Π² ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ 1 Ρ. Π ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΡΠΊΠ°Π·Π°Π½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠΈ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎΠ΅ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΡΠ²Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ 700 ΠΠΠ° ΠΏΡΠΈ ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΄Π»ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠΈ 8%.
ΠΠ°ΠΊ ΡΠ°Π½Π΅Π΅ ΡΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π»ΠΎΡΡ, Π±ΠΈΠ½Π°ΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠΏΠ»Π°Π²Ρ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π‘ΠΈ—Si Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ Π² ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ a-ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° (Π·Π°ΡΡΡΠΈΡ
ΠΎΠ²Π°Π½Π½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ) ΠΈ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΡΠΏΡΠΎΡΠ½ΡΡΡΡΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠ½ΡΡΠΈΡ Π²Π½ΡΡΡΠ΅Π½Π½ΠΈΡ
Π½Π°ΠΏΡΡΠΆΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΎΡΠΆΠΈΠ³ ΠΏΡΠΈ 800 Β°C. ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ Π² Π»ΠΈΡΠΎΠΌ ΠΎΡΠΎΠΆΠΆΠ΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΡΠ½ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½Π° Π½Π° ΡΠΈΡ. 8.6.
Π ΠΈΡ. 8.6. ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° Π½ΠΈΠΊΠ΅Π»Ρ-ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡΡΠΎΠΉ Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ ΠΡΠΠ1−3 (Ρ
75).
ΠΠ΅Π½Π΄ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ Π·Π΅ΡΠ½Π° a-ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ°ΡΡΠ²ΠΎΡΠ° ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π° ΠΡΠΈ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ Π·Π°ΠΌΠΊΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠ΅ΠΆΠ΅ΠΊ ΠΈ ΠΊΠ»ΠΈΠΏΡΠΎΠ², ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ
ΠΎΠ±ΡΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ
ΠΊΠΎΠ»Π΅Ρ Ρ Π°ΠΆΡΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΊΠ°ΡΡΠ°ΠΌΠΈ ΠΊΡΠ°ΠΏΠ°Π½Ρ Π΄ΠΎΠ»ΠΆΠ½Ρ Π±ΡΡΡ Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Ρ ΠΈΠ· Π»ΠΈΡΠ΅ΠΉΠ½ΡΡ
ΡΠΏΠ»Π°Π²ΠΎΠ², ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ
ΠΏΡΡΠΆΠΈΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π°ΠΌΠΈ. ΠΠΎΡΡΠΎΠΌΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΡΡΠ° Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½ΡΡΡΡΡ ΠΈΠ· Π±Π΅ΡΠΈΠ»Π»ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠΉ Π±ΡΠΎΠ½Π·Ρ.