ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² написании студСнчСских Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚
АнтистрСссовый сСрвис

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс

Π Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚ΠŸΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒ Π² Π½Π°ΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠΈΠ£Π·Π½Π°Ρ‚ΡŒ ΡΡ‚ΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒΠΌΠΎΠ΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Ρ‹

ЭкспСримСнты, ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ высокого давлСния с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ устойчивоС самовоспламСнСниС ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘Π’-синтСза для всСх составов. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ сопровоТдался Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ давлСния Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ Π½Π° 10βˆ’15%, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ± ΠΈΠ½Ρ‚Снсификации Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ образования Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Π‘Π’Π‘. Π’ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° систСмы… Π§ΠΈΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π΅Ρ‰Ρ‘ >

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс (Ρ€Π΅Ρ„Π΅Ρ€Π°Ρ‚, курсовая, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½Ρ‚Ρ€ΠΎΠ»ΡŒΠ½Π°Ρ)

Π‘ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π· нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ систСмы Al-TiO2-C-N2. ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ макрокинСтичСских закономСрностСй синтСза Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΠΈ ΠΎΡ‚ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°.

ИсслСдования условий ΡΠ°ΠΌΠΎΡ€Π°ΡΠΏΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€Π°Π½ΡΡŽΡ‰Π΅Π³ΠΎΡΡ высокотСмпСратурного синтСза нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Al-TiO2-C-N2 осущСствляли двумя способами:

  • — Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ высокого давлСния с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ систСмы Π΄ΠΎ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ 900 Ρ”Π‘, ΠΏΡ€ΠΈ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ происходило самовоспламСнСниС ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ²;
  • — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ постоянного давлСния, ΠΈΠ½ΠΈΡ†ΠΈΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ горСния ΠΎΡΡƒΡ‰Π΅ΡΡ‚Π²Π»ΡΠ»ΠΎΡΡŒ ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π½ΠΈΡ…Ρ€ΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠΉ спирали ΠΈ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ-алюминиСвого Ρ‚Π΅Ρ€ΠΌΠΈΡ‚Π°.

Π”Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π²Π°Ρ€ΡŒΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Π»ΠΎΡΡŒ ΠΎΡ‚ 5 Π΄ΠΎ 35 атмосфСр. НиТС ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ химичСских ΠΏΡ€Π΅Π²Ρ€Π°Ρ‰Π΅Π½ΠΈΠΉ Π₯имичСскиС прСвращСния Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Al-MeO-N2

MeO + Al > Al2O3 + Me (9).

2Me + N2 > MeN (10).

Π³Π΄Π΅ MeO — TiO2, Cr2O3, SiO2, ZrSiO4.

Для исслСдования возмоТности получСния ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΎΠ½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π² ΡΠΎΡΡ‚Π°Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΎΠΏΡ‹Ρ‚Π½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² вводилось Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ количСство ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π° Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΡ‚Π°.

Π‘ΠΎcΡ‚Π°Π²Ρ‹ ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΏΡ€ΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ Π² Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 2.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 2 — Боставы исходных ΡΠΊΡΠΏΠ΅Ρ€ΠΈΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ².

ΠšΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ‚.

Π‘ΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅, масс.%.

Al.

TiO2

C.

Si.

ЭкспСримСнты, ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ высокого давлСния с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ устойчивоС самовоспламСнСниС ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘Π’-синтСза для всСх составов. ΠŸΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡ сопровоТдался Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ давлСния Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ Π½Π° 10−15%, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΠ± ΠΈΠ½Ρ‚Снсификации Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ†ΠΈΠΉ образования Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹Ρ… ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ Π‘Π’Π‘. Π’ ΡƒΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ… ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π° систСмы Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ вСроятно ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° ΡƒΠ³Π»Π΅Ρ€ΠΎΠ΄Π°, Ρ‚Π°ΠΊ Π½Π°Π·Ρ‹Π²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡ†ΠΈΠ°Π½Π°.

Богласно Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ РЀА Π² ΡƒΡΡ€Π΅Π΄Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡ€ΠΎΡˆΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π΅ содСрТатся Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ, Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠ΅ соСдинСния с Π²Ρ‹ΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ значСниями микротвСрдости ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ плавлСния (Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 3).

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 3 — ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ Π‘Π’Π‘ систСмС АІ-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2 ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… давлСниях Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ высокого давлСния с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ.

Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅.

Π”Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5 Π°Ρ‚ΠΌ.

Π”Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 20 Π°Ρ‚ΠΌ.

Π”Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 25 Π°Ρ‚ΠΌ.

повСрхностная ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, масс. %.

Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ ая ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, масс. %.

повСрхнос тная ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, масс. %.

Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, масс. %.

повСрхностная ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, масс. %.

Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡ‚ΡŒ, масс. %.

Оксид алюминия.

66,3.

29,9.

69,4.

55,2.

64,4.

40,5.

г-оксид алюминия.

4,5.

31,1.

Нитрид Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

13,9.

30,1.

22,0.

41,5.

23,8.

46,3.

ΠšΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния.

1,7.

7,1.

5,8.

Оксид Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

1,5.

1,8.

Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡ†ΠΈΠ΄Ρ‹ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

6,4.

1,1.

8,6.

3,3.

7,5.

2,3.

Оксид крСмния.

0,5.

1,0.

Из Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Ρ‹ 3 Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ давлСния Π°Π·ΠΎΡ‚Π° возрастаСт содСрТаниС Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π° Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, ΠΏΡ€ΠΈ этом Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ области ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°Ρ‰Π΅Π½Ρ‹ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠΌ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ‡Π΅ΠΌ повСрхностныС.

Π’ Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π΅ 4 прСдставлСны Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ Ρ€Π΅Π½Ρ‚Π³Π΅Π½ΠΎΡ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π‘Π’Π‘ систСмС Аl-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ высокого давлСния ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… давлСниях Π°Π·ΠΎΡ‚Π°.

Π’Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 4 — ΠŸΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ Π‘Π’Π‘ систСмС Аl-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2 ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… давлСниях Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ постоянного давлСния ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды.

БоСдинСния.

Условия провСдСния синтСза.

Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°.

5 Π°Ρ‚ΠΌ.

Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°.

20 Π°Ρ‚ΠΌ.

Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° 5.

Π°Ρ‚ΠΌ.

Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°.

20 Π°Ρ‚ΠΌ.

Al — 25%.

Al — 25%.

Al — 30%.

Al — 30%.

Оксид алюминия.

60,3.

25,3.

47,2.

Нитрид Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

30,5.

34,2.

27,2.

23,1.

ΠšΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния.

2,9.

3,3.

5,3.

4,1.

Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡ†ΠΈΠ΄Ρ‹ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

1,9.

2,5.

1,8.

0,9.

ΠšΠ°Ρ€Π±ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡ†ΠΈΠ΄ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

2,5.

3,3.

2,1.

1,8.

РСакция (10) сильно эндотСрмична ΠΈ Ρ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ давлСния ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ Π΅Π΅ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°Π΅Ρ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ синтСза (рисунок 16). Для формирования ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΠ³ΠΎ каркаса ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° структуры Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2. ВСндСнция ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡŽ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ горСния Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π½Π° для всСх составов, ΠΏΡ€ΠΈ максимальной Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ горСния 1550 Β°C (рисунок 16 Π°).

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° Π±.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° — Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ высокого давлСния с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ систСмы; Π± — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ постоянного давлСния ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды.

Рисунок 16 — Зависимости Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρ‹ горСния ΠΎΡ‚ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2

Π‘Π»Π΅Π΄ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎΡ‚ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΈΡ‚ΡŒ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² ΡΡ‚ΠΎΠΌ случаС ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ давлСния Π² Π‘ΠŸΠ” Π² ΠΏΡ€ΠΎΡ†Π΅ΡΡΠ΅ синтСза Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΠΈΡΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚, ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡŽΡ‚ склонности ΠΊ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡŽ Π² ΡΡ‚ΠΈΡ… условиях, Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π° горСния (рисунок 16 Π±) Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎ возрастаСт с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ давлСния, достигая 1380 Β°C ΠΏΡ€ΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 25 Π°Ρ‚ΠΌ ΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅Ρ€ΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ алюминия 25%. Π§Ρ‚ΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ внСшнСС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°, ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствСнно, Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° Π΅Π³ΠΎ проникновСния Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ влияСт Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ синтСзируСмого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, увСличивая Π΅Π΅ Π² 2−2,5 Ρ€Π°Π·Π°.

Π’Π½Π΅ΡˆΠ½Π΅Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π·Π°ΠΌΠ΅Ρ‚Π½ΠΎΠ³ΠΎ влияния Π½Π° Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Ρƒ Π½Π°Ρ‡Π°Π»Π° синтСза Π½Π΅ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, которая Π±Ρ‹Π»Π° Π² ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ… 850−870 Β°Π‘. ΠžΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Ρ‹, содСрТащиС 35% ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ алюминия, послС синтСза Π½Π΅ ΡΠΎΡ…раняли Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Π² Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΈΡ… Ρ‚СплофизичСскиС характСристики Π½Π΅ ΠΎΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΠΈΡΡŒ. ΠžΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ содСрТаниСм алюминиСм 25−30 масс.%.

ИсслСдования, ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Π² Π‘ΠŸΠ”, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΈΠ½ΠΈΡ†ΠΈΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π‘Π’-синтСз ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ для составов, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ… ΠΊ ΡΡ‚Π΅Ρ…ΠΈΠΎΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ восстановлСния Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, содСрТащих 25% ΠΈ 30% алюминия. Для составов, содСрТащих ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 25% ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈ 30% алюминия ΠΈΠ½ΠΈΡ†ΠΈΠΈΡ€ΠΎΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π³ΠΎΡ€Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΡƒΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡŒ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ исслСдуСмом ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Ρ€Π²Π°Π»Π΅ давлСния Π°Π·ΠΎΡ‚Π°.

ΠžΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠ² прочности Π½Π° ΡΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΠ΅ (рисунок 17) ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, Ρ‡Ρ‚ΠΎ внСшнСС Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°, ΠΈ ΡΠΎΠΎΡ‚вСтствСнно, Π³Π»ΡƒΠ±ΠΈΠ½Π° Π΅Π³ΠΎ проникновСния Π² ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Π΅Ρ† Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ влияСт Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ…Π°Π½ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΏΡ€ΠΎΡ‡Π½ΠΎΡΡ‚ΡŒ синтСзируСмого ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Π°, увСличивая Π΅Π΅ Π² 2−2,5 Ρ€Π°Π·Π°.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.
ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° Π±, Π° — Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ высокого давлСния с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ систСмы; Π± — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ постоянного давлСния ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды.

Рисунок 17 — Зависимости прочности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΎΡ‚ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ АІ-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2

Π‘Ρ‹Π»ΠΈ ΠΏΡ€ΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ‹ измСрСния ΡƒΠ΄Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ³ΠΎ элСктричСского сопротивлСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² синтСзированных ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ², ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Π΅ прСдставлСны Π½Π° Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 18, Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ давлСния Π°Π·ΠΎΡ‚Π° ΠΏΡ€ΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ ΠΊ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΡŽ содСрТания элСктропроводящих Ρ„Π°Π·: Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, ΠΊΠ°Ρ€Π±ΠΈΠ΄ крСмния, силицид Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π° (Ρ‚Π°Π±Π»ΠΈΡ†Π° 3) Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Π°Ρ… Π‘Π’Π‘, Ρ‡Ρ‚ΠΎ проявляСтся Π² ΡƒΠΌΠ΅Π½ΡŒΡˆΠ΅Π½ΠΈΠΈ элСктросопротивлСния.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° Π±.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° — Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅ высокого давлСния с ΠΏΡ€Π΅Π΄Π²Π°Ρ€ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π½Π°Π³Ρ€Π΅Π²ΠΎΠΌ систСмы; Π± — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ постоянного давлСния ΠΏΡ€ΠΈ Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€Π΅ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠΆΠ°ΡŽΡ‰Π΅ΠΉ срСды.

Рисунок 18 — Π—Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ элСктропроводности ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2 ΠΎΡ‚ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡ‚Π°

Π’Π°ΠΊΠΈΠΌΠΈ элСктропроводящими соСдинСниями ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Ρ‹ ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡ†ΠΈΠ΄Ρ‹ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, содСрТаниС ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… возрастаСт с ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ давлСния Π°Π·ΠΎΡ‚Π°. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2 ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠΏΡ€ΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡ‚ΡŒ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘Π’Π‘ Π² Π°Π·ΠΎΡ‚Π½ΠΎΠΉ срСдС, являСтся Ρ€Π΅Π³ΡƒΠ»ΠΈΡ€ΡƒΠ΅ΠΌΠΎΠΉ Ρ„ΡƒΠ½ΠΊΡ†ΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ характСристикой, практичСски Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΠΌΠΎΠΉ для изготовлСния ΡΠ»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π°Π³Ρ€Π΅Π²Π°Ρ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… элСмСнтов.

3.1.1 Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Π½ΠΎ-микроскопичСскиС исслСдования нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ систСмы Al-TiO2-C-N2

Π˜Π·ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ микроструктур Π½Π° ΡΠΊΠΎΠ»Π°Ρ… исслСдуСмых ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² (рисунки 19, 20) ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ морфологичСскоС ΠΎΡ‚Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ структуры ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° ΠΎΡ‚ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности ΠΊ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Ρƒ, Π½ΠΎ ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ΅ Π² Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΈ Ρ…имичСском составС ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² синтСза.

Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π² Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ области повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°.

Рисунок 19 — Π­Π»Π΅ΠΌΠ΅Π½Ρ‚Π½Ρ‹ΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π² Ρ‚ΠΎΡ‡Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΉ области повСрхности ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°.

Π­Π½Π΅Ρ€Π³ΠΎ-диспСрсионный спСктр (Π°) ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ„отография ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2 оксида алюминия (Π±), снятая Π² ΠΏΠΎΠΏΠ΅Ρ€Π΅Ρ‡Π½ΠΎΠΌ сСчСнии ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π€ΠΈΠ»ΡŒΡ‚Ρ€Π°Ρ†ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π²Π³Π»ΡƒΠ±ΡŒ цилиндричСского ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° сильно зависит ΠΎΡ‚ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡ‚Π° Π² Ρ€Π΅Π°ΠΊΡ‚ΠΎΡ€Π΅. ЭнСргодиспСрсионный элСмСнтный Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·, Π²Ρ‹ΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½Ρ‹ΠΉ Π½Π° ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡ€ΡƒΡŽΡ‰Π΅ΠΌ элСктронном микроскопС JSM 6510 LA, ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅Ρ‚Π΅Π»ΡŒΡΡ‚Π²ΡƒΠ΅Ρ‚ ΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠΈ Π² ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Π°Ρ… Π‘Π’Π‘ оксидов, Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡ†ΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ² (рисунок 19).

Π‘ΠΎΠ»Π΅Π΅ свСтлыС кристаллы, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅Ρ€Ρ…ности, ΡΠΎΠΎΡ‚Π²Π΅Ρ‚ΡΡ‚Π²ΡƒΡŽΡ‚ оксидам ΠΈ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Π°ΠΌ ΠΌΠ΅Ρ‚Π°Π»Π»ΠΎΠ², ΠΏΡ€ΠΈ этом Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΊ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ области ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° содСрТаниС Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠ² увСличиваСтся (рисунок 20). Π’ Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° микроструктура ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ‚ Π²ΠΈΠ΄ прСимущСствСнно сфСричСских ΠΈ ΠΎΠ²Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹Ρ… Π·Π΅Ρ€Π΅Π½ Π½Π΅ΠΏΡ€Π°Π²ΠΈΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΡ€ΡƒΠ³Π»ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹, ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹Ρ… ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΡŽΡ‚ Π°Π³Π»ΠΎΠΌΠ΅Ρ€Π°Ρ‚Ρ‹ (ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΡ€ΡƒΠΏΠ½Ρ‹Π΅). Π›ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ частиц ΡΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΡŽΡ‚ ΠΎΡ‚ 1 Π΄ΠΎ 4−5 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡ€ΠΈΠ½Π°Π΄Π»Π΅ΠΆΠ°Ρ‰ΠΈΡ… оксиду алюминия ΠΈ Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄Ρƒ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ‡Ρ‚ΠΎ подтвСрТдаСтся Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌΠΈ Ρ€Π΅Π½Ρ‚Π³Π΅Π½ΠΎΡ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° — ΠΎΠ±Ρ‰ΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ сСчСния цилиндричСского ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°; Π± — микроструктура повСрхностного слоя; Π², Π³ — структура Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части сСчСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π°.

Рисунок 20 — ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡ„ΠΎΡ‚ΠΎΠ³Ρ€Π°Ρ„ΠΈΠΈ внСшнСго Π²ΠΈΠ΄Π° скола ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΈ ΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° систСмы Аl-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2

ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Π‘-Si-N2 повСрхностного слоя (рисунок 21) прСдставлСна Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡƒΠ³Π»ΠΎΠ²Π°Ρ‚Ρ‹Ρ… ΠΈ ΠΎΠ±ΡŠΠ΅ΠΌΠ½Ρ‹Ρ… кристаллов сСрого Ρ†Π²Π΅Ρ‚Π° ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½ΠΎ слоТных Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ΠΎΠ², Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΌ 5−0 ΠΌΠΊΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρƒ ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€Ρ‹ΠΌΠΈ располоТСны Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹Π΅ (10−12 Π½ΠΌ) ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π°Ρ‚Ρ‹Π΅ кристаллы Π»ΠΎΠΌΠ°Π½ΠΎΠΉ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡ‹ силицида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 5000 Ρ€Π°Π·; Π± — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 10 000 Ρ€Π°Π·; Π² — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 20 000 Ρ€Π°Π·; Π³ — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 40 000 Ρ€Π°Π·.

Рисунок 21 — ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2 участка повСрхностного слоя ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ

На Ρ€ΠΈΡΡƒΠ½ΠΊΠ΅ 22 прСдставлСна микроструктура участка Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части сСчСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ слоя ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ систСмы Аl-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2. По Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Π°ΠΌ РЀА ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π΅ (рисунок 22) ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°Ρ‚ΡŒ Π²Ρ‹Π²ΠΎΠ΄, Ρ‡Ρ‚ΠΎ Π² Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° образуСтся Π½ΠΈΡ‚Ρ€ΠΈΠ΄ Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°.

ΠŸΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° основС оксида Ρ‚ΠΈΡ‚Π°Π½Π°, Ρ†ΠΈΡ€ΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ оксида крСмния Π² установкС высокого давлСния ΠΌΠ΅Ρ‚ΠΎΠ΄ΠΎΠΌ свс.

Π° — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 10 000 Ρ€Π°Π·; Π± — ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 50 000 Ρ€Π°Π·.

Рисунок 22 — ΠœΠΈΠΊΡ€ΠΎΡΡ‚Ρ€ΡƒΠΊΡ‚ΡƒΡ€Π° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π° Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2 Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½Ρ‹Ρ… участков Ρ†Π΅Π½Ρ‚Ρ€Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части сСчСния ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†Π° ΠΏΡ€ΠΈ Ρ€Π°Π·Π»ΠΈΡ‡Π½ΠΎΠΌ ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡Π΅Π½ΠΈΠΈ

Π­Π»Π΅ΠΊΡ‚Ρ€ΠΎΠ½Π½Π½ΠΎ-микроскопичСскиС исслСдования нитридсодСрТащих ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ систСмы Al-TiO2-C-N2 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Ρ‚Π²Π΅Ρ€Π΄ΠΎΠ³ΠΎ каркаса ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² с ΡΡƒΠ±ΠΌΠΈΠΊΡ€ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Π½Ρ‹ΠΌΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡŽΡ‡Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ. Π­Ρ‚ΠΈ Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ ΠΏΡ€ΠΎΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ ΠΈ Π² Ρ…Π°Ρ€Π°ΠΊΡ‚Π΅Ρ€Π΅ измСнСния ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠ² прочности Π½Π° ΡΠΆΠ°Ρ‚ΠΈΠ΅, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚ΠΎΠ² Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2 (рисунок 22).

ВсС ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚Ρ‹ Π‘Π’Π‘ Π² ΡΠΈΡΡ‚Π΅ΠΌΠ΅ Аl-Π’Ρ–Πž2-Si-Π‘-N2 ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ высокоогнСупорными соСдинСниями с Ρ‚Π΅ΠΌΠΏΠ΅Ρ€Π°Ρ‚ΡƒΡ€ΠΎΠΉ плавлСния Π²Ρ‹ΡˆΠ΅ 1900 Β°C. Π₯имичСская ΡΡ‚ΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·Ρ†ΠΎΠ² ΠΊ Π°Π³Ρ€Π΅ΡΡΠΈΠ²Π½Ρ‹ΠΌ срСдам высокая. По ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΌΡƒ химичСскому ΠΈ Ρ„Π°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡƒ составу синтСзированный ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π» ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ отнСсти ΠΊ Ρ‡Ρ€Π΅Π·Π²Ρ‹Ρ‡Π°ΠΉΠ½ΠΎ высококачСствСнным ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ‚Π°ΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΎΠΌ, Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚Ρ‹ элСктронно-микроскопичСских ΠΈ Ρ€Π΅Π½Ρ‚Π³Π΅Π½ΠΎΡ„Π°Π·ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… исслСдований ΠΏΡ€ΠΎΠ΄ΡƒΠΊΡ‚ΠΎΠ² Π‘Π’Π‘ ΠΏΡ€ΠΈ ΠΏΠΎΠ²Ρ‹ΡˆΠ΅Π½Π½Ρ‹Ρ… давлСниях Π°Π·ΠΎΡ‚Π° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Ρ‹Π²Π°ΡŽΡ‚, Ρ‡Ρ‚ΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡ†ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹Π΅ ΠΌΠ°Ρ‚Π΅Ρ€ΠΈΠ°Π»Ρ‹, ΠΏΠΎΠ»ΡƒΡ‡Π΅Π½Π½Ρ‹Π΅ Ρ‚Π°ΠΊΠΈΠΌ способом, ΡΠ²Π»ΡΡŽΡ‚ΡΡ прСимущСствСнно нитридсодСрТащими с ΠΏΡ€ΠΈΡΡƒΡ‚ствиСм Ρ‚ΡƒΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ… оксидов ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡ†ΠΈΠ΄ΠΎΠ².

ΠŸΠΎΠΊΠ°Π·Π°Ρ‚ΡŒ вСсь тСкст
Π—Π°ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΈΡ‚ΡŒ Ρ„ΠΎΡ€ΠΌΡƒ Ρ‚Π΅ΠΊΡƒΡ‰Π΅ΠΉ Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚ΠΎΠΉ