ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ²Ρ
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ, ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘Π-ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ². ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π»ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π½Π° 10β15%, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ± ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π‘ΠΠ‘. Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ… Π§ΠΈΡΠ°ΡΡ Π΅ΡΡ >
ΠΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΡΠΈΡΠΊΠΎΠ½Π° ΠΈ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ Π² ΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΊΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠ²Ρ (ΡΠ΅ΡΠ΅ΡΠ°Ρ, ΠΊΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ, Π΄ΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌ, ΠΊΠΎΠ½ΡΡΠΎΠ»ΡΠ½Π°Ρ)
Π‘ΠΈΠ½ΡΠ΅Π· Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Al-TiO2-C-N2. ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΎΠΊΠΈΠ½Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ Π·Π°ΠΊΠΎΠ½ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π² Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ°.
ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΠΉ ΡΠ°ΠΌΠΎΡΠ°ΡΠΏΡΠΎΡΡΡΠ°Π½ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Al-TiO2-C-N2 ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΈ Π΄Π²ΡΠΌΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π°ΠΌΠΈ:
- — Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π΄ΠΎ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ 900 ΡΠ‘, ΠΏΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ²;
- — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π»ΡΠ»ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Ρ ΠΏΠΎΠΌΠΎΡΡΡ Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠΌΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠΏΠΈΡΠ°Π»ΠΈ ΠΈ ΠΆΠ΅Π»Π΅Π·ΠΎ-Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ°.
ΠΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π²Π°ΡΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π»ΠΎΡΡ ΠΎΡ 5 Π΄ΠΎ 35 Π°ΡΠΌΠΎΡΡΠ΅Ρ. ΠΠΈΠΆΠ΅ ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π²ΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Al-MeO-N2
MeO + Al > Al2O3 + Me (9).
2Me + N2 > MeN (10).
Π³Π΄Π΅ MeO — TiO2, Cr2O3, SiO2, ZrSiO4.
ΠΠ»Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΎΠ½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΠΊΠΎΠ½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π² ΡΠΎΡΡΠ°Π² Π½Π΅ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠΏΡΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² Π²Π²ΠΎΠ΄ΠΈΠ»ΠΎΡΡ Π½Π΅Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΊΠΎΠ»ΠΈΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π° Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ Π³ΡΠ°ΡΠΈΡΠ°.
Π‘ΠΎcΡΠ°Π²Ρ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΏΡΠΈΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ Π² ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 2.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 2 — Π‘ΠΎΡΡΠ°Π²Ρ ΠΈΡΡ ΠΎΠ΄Π½ΡΡ ΡΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ².
ΠΠΎΠΌΠΏΠΎΠ½Π΅Π½Ρ. | Π‘ΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅, ΠΌΠ°ΡΡ.%. | ||||
Al. | |||||
TiO2 | |||||
C. | |||||
Si. | |||||
ΠΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ, ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΠ΅ ΡΠ°ΠΌΠΎΠ²ΠΎΡΠΏΠ»Π°ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΏΡΠΎΡ ΠΎΠΆΠ΄Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π‘Π-ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ². ΠΡΠΎΡΠ΅ΡΡ ΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠΆΠ΄Π°Π»ΡΡ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π½Π° 10−15%, ΡΡΠΎ ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎΠ± ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΈΠΉ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ² Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ Π‘ΠΠ‘. Π ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π²Π΅ΡΠΎΡΡΠ½ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠ³Π»Π΅ΡΠΎΠ΄Π°, ΡΠ°ΠΊ Π½Π°Π·ΡΠ²Π°Π΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ Π΄ΠΈΡΠΈΠ°Π½Π°.
Π‘ΠΎΠ³Π»Π°ΡΠ½ΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌ Π Π€Π Π² ΡΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΠΎΡΠΎΡΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ΅ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΡΡ Π² ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΠΎΠΌ, ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΠ΅ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ Ρ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΈΠΌΠΈ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΡΡΠΈ ΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ (ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ° 3).
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 3 — ΠΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π‘ΠΠ‘ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΠ-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2 ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ.
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΠ΅. | ΠΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 5 Π°ΡΠΌ. | ΠΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 20 Π°ΡΠΌ. | ΠΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ 25 Π°ΡΠΌ. | ||||
ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ, ΠΌΠ°ΡΡ. %. | ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ, ΠΌΠ°ΡΡ. %. | ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡ ΡΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ, ΠΌΠ°ΡΡ. %. | ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ, ΠΌΠ°ΡΡ. %. | ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ, ΠΌΠ°ΡΡ. %. | ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ, ΠΌΠ°ΡΡ. %. | ||
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ. | 66,3. | 29,9. | 69,4. | 55,2. | 64,4. | 40,5. | |
Π³-ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ. | 4,5. | 31,1. | |||||
ΠΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. | 13,9. | 30,1. | 22,0. | 41,5. | 23,8. | 46,3. | |
ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. | 1,7. | 7,1. | 5,8. | ||||
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. | 1,5. | 1,8. | |||||
Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. | 6,4. | 1,1. | 8,6. | 3,3. | 7,5. | 2,3. | |
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. | 0,5. | 1,0. | |||||
ΠΠ· ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΡ 3 Π²ΠΈΠ΄Π½ΠΎ, ΡΡΠΎ Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΎΠ±ΠΎΠ³Π°ΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΡΠ΅.
Π ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ΅ 4 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ² Π‘ΠΠ‘ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ Π°Π·ΠΎΡΠ°.
Π’Π°Π±Π»ΠΈΡΠ° 4 — ΠΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π‘ΠΠ‘ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2 ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ.
Π‘ΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡ. | Π£ΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π°. | ||||
Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ°. 5 Π°ΡΠΌ. | Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ°. 20 Π°ΡΠΌ. | Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ° 5. Π°ΡΠΌ. | Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ°. 20 Π°ΡΠΌ. | ||
Al — 25%. | Al — 25%. | Al — 30%. | Al — 30%. | ||
ΠΠΊΡΠΈΠ΄ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ. | 60,3. | 25,3. | 47,2. | ||
ΠΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. | 30,5. | 34,2. | 27,2. | 23,1. | |
ΠΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ. | 2,9. | 3,3. | 5,3. | 4,1. | |
Π‘ΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. | 1,9. | 2,5. | 1,8. | 0,9. | |
ΠΠ°ΡΠ±ΠΎΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°. | 2,5. | 3,3. | 2,1. | 1,8. | |
Π Π΅Π°ΠΊΡΠΈΡ (10) ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ½Π΄ΠΎΡΠ΅ΡΠΌΠΈΡΠ½Π° ΠΈ Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡ Π΅Π΅ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 16). ΠΠ»Ρ ΡΠΎΡΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°ΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2. Π’Π΅Π½Π΄Π΅Π½ΡΠΈΡ ΠΊ ΡΠ½ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π³ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ½Π° Π΄Π»Ρ Π²ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ², ΠΏΡΠΈ ΠΌΠ°ΠΊΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π³ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ 1550 Β°C (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 16 Π°).
Π° Π±.
Π° — Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ; Π± — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 16 — ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π³ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2
Π‘Π»Π΅Π΄ΡΠ΅Ρ ΠΎΡΠΌΠ΅ΡΠΈΡΡ, ΡΡΠΎ Π² ΡΡΠΎΠΌ ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΠΠ Π² ΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠ΅ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½Π΅ ΠΏΡΠΎΠΈΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠΊΠ»ΠΎΠ½Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ Π³Π°Π·ΠΎΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π² ΡΡΠΈΡ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡΡ , Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ° Π³ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΡ (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 16 Π±) Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ, Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π°Ρ 1380 Β°C ΠΏΡΠΈ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΈ 25 Π°ΡΠΌ ΠΈ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠΈ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ 25%. Π§ΡΠΎ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ°, ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Ρ Π΅Π΅ Π² 2−2,5 ΡΠ°Π·Π°.
ΠΠ½Π΅ΡΠ½Π΅Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π·Π°ΠΌΠ΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ Π½Π° ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ Π½Π°ΡΠ°Π»Π° ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½Π΅ ΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, ΠΊΠΎΡΠΎΡΠ°Ρ Π±ΡΠ»Π° Π² ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π°Ρ 850−870 Β°Π‘. ΠΠ±ΡΠ°Π·ΡΡ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ 35% ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΡΠ»Π΅ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π° Π½Π΅ ΡΠΎΡ ΡΠ°Π½ΡΠ»ΠΈ ΡΠΎΡΠΌΡ Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ ΠΈ ΠΈΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π½Π΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ»ΠΈΡΡ. ΠΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΌ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΠ΅ΠΌ 25−30 ΠΌΠ°ΡΡ.%.
ΠΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ, ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² ΠΠΠ, ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΈ, ΡΡΠΎ ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π‘Π-ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π· ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ Π΄Π»Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ², Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΡ ΠΊ ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ 25% ΠΈ 30% Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ ΡΠΎΡΡΠ°Π²ΠΎΠ², ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 25% ΠΈ Π±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈ 30% Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΈΠ½ΠΈΡΠΈΠΈΡΠΎΠ²Π°ΡΡ Π³ΠΎΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π½Π΅ ΡΠ΄Π°Π»ΠΎΡΡ Π²ΠΎ Π²ΡΠ΅ΠΌ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅ΠΌΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ°.
ΠΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 17) ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ, ΡΡΠΎ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π·ΠΎΡΠ°, ΠΈ ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ, Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° Π΅Π³ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ½ΠΎΠ²Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΎΠ±ΡΠ°Π·Π΅Ρ Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ΅Ρ Π½Π° ΠΌΠ΅Ρ Π°Π½ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠ³ΠΎ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Π°, ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Ρ Π΅Π΅ Π² 2−2,5 ΡΠ°Π·Π°.
Π° Π±, Π° — Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ; Π± — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 17 — ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΠΈ ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΎΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ ΠΠ-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2
ΠΡΠ»ΠΈ ΠΏΡΠΎΠ²Π΅Π΄Π΅Π½Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΄Π΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ², ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠ΅ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Ρ Π½Π° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 18, Π£Π²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ ΡΠ°Π·: Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄ ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π° (ΡΠ°Π±Π»ΠΈΡΠ° 3) Π² ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°Ρ Π‘ΠΠ‘, ΡΡΠΎ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ Π² ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠΈΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ.
Π° Π±.
Π° — Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π²Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠΌ Π½Π°Π³ΡΠ΅Π²ΠΎΠΌ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ; Π± — Π² Π±ΠΎΠΌΠ±Π΅ ΠΏΠΎΡΡΠΎΡΠ½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ ΠΎΠΊΡΡΠΆΠ°ΡΡΠ΅ΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Ρ.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 18 — ΠΠ°Π²ΠΈΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2 ΠΎΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ°
Π’Π°ΠΊΠΈΠΌΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΠΌΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Ρ ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ Π²ΠΎΠ·ΡΠ°ΡΡΠ°Π΅Ρ Ρ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ°. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2 ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠΌ Π‘ΠΠ‘ Π² Π°Π·ΠΎΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅Π΄Π΅, ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠΎΠΉ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΎΠ½Π°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΎΠΉ, ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π·Π½Π°ΡΠΈΠΌΠΎΠΉ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·Π³ΠΎΡΠΎΠ²Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π°Π³ΡΠ΅Π²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ².
3.1.1 ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π½ΠΎ-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Al-TiO2-C-N2
ΠΠ·ΡΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Π½Π° ΡΠΊΠΎΠ»Π°Ρ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΡΠ΅ΠΌΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠΈ 19, 20) ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π»ΠΎ Π½Π΅ ΡΠΎΠ»ΡΠΊΠΎ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΡΠ»ΠΈΡΠΈΠ΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° ΠΎΡ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ ΡΠ΅Π½ΡΡΡ, Π½ΠΎ ΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠΈΠ΅ Π² ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌ ΠΈ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ² ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·Π°.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 19 — ΠΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ· Π² ΡΠΎΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°.
ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎ-Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠΏΠ΅ΠΊΡΡ (Π°) ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2 ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π° Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ (Π±), ΡΠ½ΡΡΠ°Ρ Π² ΠΏΠΎΠΏΠ΅ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π€ΠΈΠ»ΡΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π²Π³Π»ΡΠ±Ρ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΡΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎ Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° Π² ΡΠ΅Π°ΠΊΡΠΎΡΠ΅. ΠΠ½Π΅ΡΠ³ΠΎΠ΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠ½ΡΠΉ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·, Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΡΠΉ Π½Π° ΡΠΊΠ°Π½ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΌ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎΠΌ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠ΅ JSM 6510 LA, ΡΠ²ΠΈΠ΄Π΅ΡΠ΅Π»ΡΡΡΠ²ΡΠ΅Ρ ΠΎ Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΠΈ Π² ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠ°Ρ Π‘ΠΠ‘ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ², Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 19).
ΠΠΎΠ»Π΅Π΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ»ΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ, Π±Π»ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠ΅ ΠΊ ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠΎΠΎΡΠ²Π΅ΡΡΡΠ²ΡΡΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Π°ΠΌ ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Π°ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ², ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π±Π»ΠΈΠΆΠ΅ ΠΊ ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°Π½ΠΈΠ΅ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠΈΠ²Π°Π΅ΡΡΡ (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 20). Π ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ Π²ΠΈΠ΄ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΡΠ΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΠΎΠ²Π°Π»ΡΠ½ΡΡ Π·Π΅ΡΠ΅Π½ Π½Π΅ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΠΊΡΡΠ³Π»ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ, ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΠ΅ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΡΡ Π°Π³Π»ΠΎΠΌΠ΅ΡΠ°ΡΡ (ΠΈΠ½ΠΎΠ³Π΄Π° ΠΊΡΡΠΏΠ½ΡΠ΅). ΠΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΡΡΠΈΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Π»ΡΡΡ ΠΎΡ 1 Π΄ΠΎ 4−5 ΠΌΠΊΠΌ ΠΏΡΠΈΠ½Π°Π΄Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄Ρ Π°Π»ΡΠΌΠΈΠ½ΠΈΡ ΠΈ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄Ρ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°, ΡΡΠΎ ΠΏΠΎΠ΄ΡΠ²Π΅ΡΠΆΠ΄Π°Π΅ΡΡΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°.
Π° — ΠΎΠ±ΡΠΈΠΉ Π²ΠΈΠ΄ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΠ½Π΄ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°; Π± — ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ; Π², Π³ — ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ°.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 20 — ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΠΎΡΠΎΠ³ΡΠ°ΡΠΈΠΈ Π²Π½Π΅ΡΠ½Π΅Π³ΠΎ Π²ΠΈΠ΄Π° ΡΠΊΠΎΠ»Π° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΈ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Πl-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2
ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Π‘-Si-N2 ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 21) ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° Π² Π²ΠΈΠ΄Π΅ ΡΠ³Π»ΠΎΠ²Π°ΡΡΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΌΠ½ΡΡ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»ΠΎΠ² ΡΠ΅ΡΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ²Π΅ΡΠ° ΠΏΡΠ΅Π΄ΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ ΡΠ»ΠΎΠΆΠ½ΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΠΎΠ², ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠΎΠΌ 5−0 ΠΌΠΊΠΌ ΠΌΠ΅ΠΆΠ΄Ρ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΠΌΠΈ ΡΠ°ΡΠΏΠΎΠ»ΠΎΠΆΠ΅Π½Ρ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠ΅ (10−12 Π½ΠΌ) ΠΏΡΠΎΠ΄ΠΎΠ»Π³ΠΎΠ²Π°ΡΡΠ΅ ΠΊΡΠΈΡΡΠ°Π»Π»Ρ Π»ΠΎΠΌΠ°Π½ΠΎΠΉ ΡΠΎΡΠΌΡ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄Π° ΡΠΈΡΠ°Π½Π°.
Π° — ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 5000 ΡΠ°Π·; Π± — ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 10 000 ΡΠ°Π·; Π² — ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 20 000 ΡΠ°Π·; Π³ — ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 40 000 ΡΠ°Π·.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 21 — ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2 ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° ΠΏΠΎΠ²Π΅ΡΡ Π½ΠΎΡΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ
ΠΠ° ΡΠΈΡΡΠ½ΠΊΠ΅ 22 ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»Π΅Π½Π° ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠ° ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ ΡΠ»ΠΎΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Πl-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2. ΠΠΎ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ°ΠΌ Π Π€Π ΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ΅ (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 22) ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΡΠ΄Π΅Π»Π°ΡΡ Π²ΡΠ²ΠΎΠ΄, ΡΡΠΎ Π² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΡΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ ΡΠΈΡΠ°Π½Π°.
Π° — ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 10 000 ΡΠ°Π·; Π± — ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π² 50 000 ΡΠ°Π·.
Π ΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 22 — ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡΡΡΠΊΡΡΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ° Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2 ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡΠΊΠΎΠ² ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°ΡΡΠΈ ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠ° ΠΏΡΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠΌ ΡΠ²Π΅Π»ΠΈΡΠ΅Π½ΠΈΠΈ
ΠΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½Π½ΠΎ-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΡ Al-TiO2-C-N2 ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ²Π΅ΡΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ°ΡΠΊΠ°ΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Ρ ΡΡΠ±ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠ½Π½ΡΠΌΠΈ ΠΈ Π½Π°Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ½ΡΠΌΠΈ Π²ΠΊΠ»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ. ΠΡΠΈ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΎΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΈ Π² Ρ Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠ΅ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ ΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ Π½Π° ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΎΠ² Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2 (ΡΠΈΡΡΠ½ΠΎΠΊ 22).
ΠΡΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΡ Π‘ΠΠ‘ Π² ΡΠΈΡΡΠ΅ΠΌΠ΅ Πl-Π’ΡΠ2-Si-Π‘-N2 ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΎΠ³Π½Π΅ΡΠΏΠΎΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΎΠ΅Π΄ΠΈΠ½Π΅Π½ΠΈΡΠΌΠΈ Ρ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ ΠΏΠ»Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΡΠ΅ 1900 Β°C. Π₯ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠ°Ρ ΡΡΠΎΠΉΠΊΠΎΡΡΡ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΡΠΎΠ² ΠΊ Π°Π³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΠΌ ΡΡΠ΅Π΄Π°ΠΌ Π²ΡΡΠΎΠΊΠ°Ρ. ΠΠΎ ΡΠ²ΠΎΠ΅ΠΌΡ Ρ ΠΈΠΌΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΌΡ ΠΈ ΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΠΎΠΌΡ ΡΠΎΡΡΠ°Π²Ρ ΡΠΈΠ½ΡΠ΅Π·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΡΠΉ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΉ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π» ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎ ΠΎΡΠ½Π΅ΡΡΠΈ ΠΊ ΡΡΠ΅Π·Π²ΡΡΠ°ΠΉΠ½ΠΎ Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠ°ΠΌ. Π’Π°ΠΊΠΈΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ, ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΠΎ-ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠΊΠΎΠΏΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ ΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠ³Π΅Π½ΠΎΡΠ°Π·ΠΎΠ²ΡΡ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΎΠ² Π‘ΠΠ‘ ΠΏΡΠΈ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡΡ Π°Π·ΠΎΡΠ° ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡ, ΡΡΠΎ ΠΊΠΎΠΌΠΏΠΎΠ·ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠ΅ ΠΌΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠ°ΠΊΠΈΠΌ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±ΠΎΠΌ, ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΈΠΌΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π½ΠΈΡΡΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠΌΠΈ Ρ ΠΏΡΠΈΡΡΡΡΡΠ²ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΡΠ³ΠΎΠΏΠ»Π°Π²ΠΊΠΈΡ ΠΎΠΊΡΠΈΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΈΡΠΈΠ΄ΠΎΠ².