Математическое моделирование и оптимизация тепловых процессов в микроэлектронных структурах
Диссертация
Разработаны общая методика и алгоритмы численного моделирования процессов теплообмена в микроэлектронных структурах, обеспечивающие высокую точность расчетов температурных полей в кусочно-неоднородных и кусочно-однородных расчетных многослойных объемных областях со сложной конфигурацией границ, при смешанных граничных условиях, произвольном расположении источников тепловыделений в областях такого… Читать ещё >
Список литературы
- Алферов Ж.И. О состоянии и перспективах развития полупроводниковой электроники в России//Нано и микросистемная техника. 2005. — № 8. — С. 2−19.
- Бубенников А.Н. Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем: Учеб. Пособие для спец. «Физика и технология материалов и компонентов электронной техники». М.: Высш. шк., 1989.-320 с.
- Вернер В.Д., Мальцев П. П., Чаплыгин Ю. А. Синергетика миниатюризации: микроэлектроника, микросистемная техника, наноэлектроника//Нано и микросистемная техника. 2004. — № 7. -С. 23−29.
- Роткоп Л. Л., Спокойный Ю. Е. Обеспечение тепловых режимов при конструировании РЭА. М.: Сов. радио, 1976. — 232 с.
- Алифанов О.М. Обратные задачи теплообмена. М.: Машиностроение, 1988. -280 с.
- Бек Дж., Блакуэлл Б., Сент-Клэр Ч., мл. Некорректные обратные задачи теплопроводности: Пер. с англ. М.: Мир, 1989. — 312 с.
- Дульнев Г. Н., Семяшкин Э. М. Теплообмен в радиоэлектронных аппаратах. Л.: Энергия, 1968.- 360 с.
- Дульнев Г. Н., Тарновский Н. Н. Тепловые режимы электронной аппаратуры. Учебное пособие для студентов высших технических заведений. Л.: Энергия, 1971. — 248 с.
- Боскис И. А. О выборе тепловой модели для расчета температурного поля гибридной интегральной микросхемы //Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1974. — Вып. 1. — С.74−79.
- Гурьянова Ф. А., Никитин С. А. Приближенный метод расчета температуры в микросхеме //Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1970. -Вып. З.-С. 14−18.
- П.Боскис И. А., Гидалевич Л. Б. К расчету стационарных температурных полей в элементах и узлах микроминиатюрной РЭА// Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1973. — Вып. 3. — С. 89−102.
- Боскис И. А., Гидалевич JI. Б. К расчету нестационарных температурных полей в элементах и узлах микроминиатюрной РЭА// Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1974. — Вып. 1. — С. 88−96.
- Боскис И. А., Мошура А. И., Гевондова Л. П., Сунцова В. И. Учет неизотермичности корпусов микросборок//Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1979.-Вып. 1.-С. 21−26.
- Коздоба Л. А. Математическое моделирование тепловых режимов интегральных полупроводниковых микросхем//Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1982. — Вып. 1. — С. 3−16.
- Antonetti Vincent W., Simons Robert W. Bibliography of Heat Transfer in Electronic Equipment// IEEE Trans. Components, Hybrids and Manuf. Technol. 1985. — CHMT-8, № 2. — P. 289−296.
- Nakayama W. T. Thermal management of electronic equipment: A review of technology and research topics//Appl. Mech. Rev. 1986. — 39, № 12. — P. 1847−1866.
- Боскис И. А. Определение эффективного коэффициента теплоотдачи с поверхности элементов и узлов РЭА при решении обратной задачи теплопроводности// Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1983.-Вып. 2-С. 117.
- Гидалевич В. Б., Давыдов В. Ф., Мешков В. Н. и др. Теплоотдача корпусов микросхем при естественном охлаждении// Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1979. — Вып. 3. — С. 20−23.
- Самарский А. А. Математическое моделирование и вычислительный эксперимент//Вестн. АН СССР 1979. -№ 5. — С. 38−49.
- Самарский А. А., Михайлов А. П. Математическое моделирование: Идеи. Методы. Примеры М.: ФИЗМАТ ЛИТ, 2005. -320с.
- Avula X.J.R. Mathematical Modeling // Encyclopedia of Physical Science. 1987. — V. 7. — P. 719−728.
- Cross M., Moscardini A.O. Learning the Art of Mathematical Modelling.-N.Y.: Wiley, 1985.- 154 p.
- Dym C.L., Ivey E.S. Principles of Mathematical Modelling. N.Y.: Academic Press, 1980. — 256 p.
- Jacoby S.L.S, Kowalik J.S. Mathematical Modelling with Computers. Englewood Cliffs, N.J.: Prentice Hall, Inc., 1980. — 292 p.
- Коздоба JT.A., Мудриков B.H. Определение тепловых режимов радиоэлектронной аппаратуры. //Пром. теплотехника. 1988. -10, № 6. -С. 23−37.
- Захаров А.Л., Асвадурова Е. И. Метод расчета тепловых сопротивлений многослойных структур. Полупроводниковые приборы и их применение/ Под ред. Я. А. Федотова. — М.: Сов. радио, 1969, вып. 21, с. 84- 98.
- Захаров А.Л., Асвадурова Е. И. Расчет тепловых сопротивлений многослойных структур при наличии контактного сопротивления между слоями. Полупроводниковые приборы и их применение/ Под ред. Я. А. Федотова. — М.: Сов. радио, 1974, вып. 26, с. 48 — 50.
- Melnikov A.A., Sigov A.S. and Vorotilov K.A. Modeling of thermal fields in multilayer semiconductor structures. Materials Research Society (Spring Meetings, 8−12 April, San Francisco, USA), 1996, p. 196.
- Мельников А.А. Расчет электромагнитных и температурных полей методом конечных элементов: Учебное пособие / Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет) М., 2000. — 76 с.
- Мельников А.А. Численное моделирование тепловых режимов многослойных полупроводниковых структур. Микро- и нано-электроника 2001: Тез. докл. Всерос. научно-технической конференции, 1−5 октября 2001 г, Звенигород. -М, 2001.-Том 2, РЗ-22.
- Лыков А.В. Теория теплопроводности. М.: Высш. школа, 1967.-600 с.
- Лыков А. В. Тепломассообмен. Справ. М.: Энергия, 1972.560 с.
- Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964.-488 с.
- Теория тепломассообмена: Учебник для вузов/ С. И. Исаев, И. А. Кожинов, В. И. Кофанов и др.- Под ред. А. И. Леонтьева. М.: Высш. школа, 1979.-495 с.
- Кутателадзе С.С. Основы теории теплообмена. М.: Атомиздат, 1979. — 416 с.
- Полянин А.Д., Вязьмин А. В., Журов А. И., Казенин Д. А. Справочник по точным решениям уравнений тепло- и массопереноса. -М.: Факториал, 1998. 368 с.
- Дульнев Г. Н., Полыциков Б. В. Температурное поле пластины с дискретным источником энергии//Инж.-физ. журн. 1975. -29, № 4.-С. 8−14.
- Дульнев Г. Н., Полыциков Б. В., Левбарг Е. С. Температурноеполе пластины с локальным источником тепла и теплообменом на торцах//Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1976. -Вып. 1. — С. 98−102.
- Боскис И. А., Спокойный Ю. Е., Гришин С. И. К расчету стационарных температурных полей в элементах и узлах микроминиатюрной РЭА при неравномерных поверхностных тепловыделениях//Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1975. -Вып. З.-С. 117−123.
- Боскис И. Л., Гришин С. И. К расчету температурных полей в элементах и узлах микроминиатюрной РЭА при нестационарных неравномерных тепловыделениях //Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1977.-Вып. З.-С. 13−15.
- Давыдов В. Ф., Мироненко Ю. П. О теплопроводности многослойных печатных плат//Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. -1972.-Вып. 1.-С. 7−10.
- Дульнев Г. Н., Еремеев М. А., Заричняк Ю. П., Колтунова Е. Н. Комбинированный численный метод определения проводимости составных тел//Инж.-физ. журн. 1977. -32, № 2. — С. 284−291.
- Дульнев Г. Н., Заричняк Ю. П. Теплопроводность смесей и композиционных материалов. Л.: Энергия, 1974. — 264 с.
- Дульнев Г. Н., Сигалов А. В. Температуропроводность неоднородных систем. II. Экспериментальное определение температуропроводности//Инж. физ. журн. — 1980. — 39, № 5. -С. 859−861.
- Коздоба Л. А., Черный Н. Д. Эквивалентность тепловых режимов и эффективные характеристики однородных и многослойных оболочек//Пром. теплотехника. 1984. — 6, № 2. — С. 14−21.
- Ройзен Л. И. Приближенный метод решения задач теплопроводности многослойных тел//Теплофизика высок, температур. -1981.- 19, № 4.-С. 821−831.
- Шиммел М. М., Бек, Доналдсон. Эффективный коэффициент температуропроводности многослойного композиционного материала/ЛГеплопередача. 1977. — № 3. — С. 130−136.
- Zienkiewicz О. С, Cheung Y. К., Finite Elements in the Solution of Field Problems// The Engineer. 1965. — P. 507−510.
- Winslow A. M., Numerical Solution of the Quasi-Linear Poisson Equation in a Non-Uniform Triangle Mesh//J. Computational Physics. 1966. — l.-P. 149−172.
- Бреббия H., Уокер С. Применение метода граничных элементов в технике/Пер. с англ. Под ред. Э. И. Григолюка. М.: Мир, 1982. — 248 с.
- Галлагер Р. Метод конечных элементов, основы. М.: Мир, 1984.-428 с.
- Зенкевич О. Метод конечных элементов в технике /Пер. с англ. Под ред. Б. Е. Победри. М.: Мир, 1975. — 544 с.
- Сегерлинд Л. Применение метода конечных элементов. М.: Мир, 1979.-392 с.
- Стренг Г., Фикс Дж. Теория метода конечных элементов. М.: Мир, 1977.-347 с.
- Съярле Ф. Метод конечных элементов для эллиптических задач,-М.: Мир, 1980.- 512 с.
- МОП-СБИС. Моделирование элементов и технологических процессов/Под ред. П. Антонетти, Д. Антониадиса, Р. Даттона, У. Оулдхема. М.: Радио и связь, 1988. — 496 с.
- Моделирование полупроводниковых приборов и технологических процессов. Последние достижения/Под ред. Д. Миллера. М.: Радио и связь, 1989. — 280 с.
- Мельников А.А. Расчет электромагнитных и температурных полей методом конечных элементов: Учебное пособие. Изд. 2-е. перераб. и доп. М.: МИРЭА, 2001. 76 с.
- Вазов В., Форсайт Д. Разностные методы решения дифференциальных уравнений в частных производных. М.: Изд-во иностр. лит., 1963. — 488 с.
- Годунов С. К., Рябенький В. С. Разностные схемы. М.: Наука, 1973.-400 с.
- Марчук Г. И. Методы вычислительной математики. М.: Наука, 1977.-456 с.
- Самарский А. А., Николаев Е. С. Методы решения сеточных уравнений. М.: Наука, 1978. — 592 с.
- Саульев В. К. Интегрирование уравнений параболического типа методом сеток. М.: Физматгиз, I960. — 324 с.
- Самарский А.А., Вабищевич П. Н. Вычислительная теплопередача. М.: Едиториал УРСС, 2003. — 784 с.
- Рихтмайер Р., Мортон К. Разностные методы решения краевых задач. М.: Мир, 1972. — 420 с.
- Самарский А. А. Введение в теорию разностных схем. М.: Наука, 1971.- 552 с.
- Буковская О. И., Коздоба JI. А. Электрическое моделирование тепловых режимов гибридной интегральной схемы// Вопр. радиоэлектроники. Сер. ТРТО. 1975. — Вып. 3. — С. 99−106.
- Буковская О. И., Коздоба Л. А. Результаты исследования температурных полей гибридной интегральной микросхемы// Теплофизика и теплотехника. 1977. — Вып. 32. — С. 43−47.
- Буренко В. И., Коздоба JI. А. Тепловые режимы СВЧ-элемента с источником, подвешенным к плате //Теплопроводность и конвективный теплообмен. Киев: Наук, думка, 1980. — С. 10−14.
- Бузанева Е.В. Микроструктуры интегральной электроники. -М.: Радио и связь, 1990. 304 с.
- Захаров Н.П., Багдасарян А. В. Механические явления винтегральных структурах. М.: Радио и связь, 1992. — 144 с.
- Рогальский А. Инфракрасные детекторы: Пер. с англ./ Под ред. А. В. Войцеховского. Новосибирск: Наука, 2003. — 636с.
- Фотоприемники видимого и ИК диапазонов/ Под. ред. Р. Дж. Киеса. М: Радио и связь, 1985. — 328 с.
- Войцеховский А.В., Давыдов В. Н. Фотоэлектрические МДП-структуры. Томск: Радио и связь, 1990. — 328 с.
- Овсюк В.Н., Курышев Г. Л., Сидоров Ю. Г. и др. Матричные фотоприемные устройства инфракрасного диапазона. Новосибирск: Наука, 2001.-376 с.
- Курбатов Л.Н. Оптоэлектроника видимого и инфракрасного диапазонов спектра. -М.: Изд-во МФТИ, 1999. 320 с.
- Кульчицкий Н.А., Мельников А. А., Войцеховский А. В. Полупроводниковые сверхрешетки: свойства, применение: Учебное пособие/ Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет) М., 2000. — 80 с.
- Нано- и микросистемная техника. От исследований к разработкам. Сб. статей под ред. П. П. Мальцева. М: Техносфера, 2005. -592 с.
- Кульчицкий Н.А., Мельников А. А., Войцеховский А. В. Полупроводниковые сверхрешетки: свойства, применение: Учебное пособие. Изд. 2-е. перераб. М.: МИРЭА, 2001. 80 с.
- Теплообмен излучением: Справочник/ А. Г. Блох, Ю. А. Журавлев, JI.H. Рыжков. М: Энергоатомиздат, 1991. — 432 с.
- Понтрягин Л. С, Болтянский В. Г., Гамкрелидзе Р. В., Мищенко Е. Ф., Математическая теория оптимальных процессов. М: Наука, 1969.
- Беллман Р., Динамическое программирование. М: ИЛ, 1960.
- Лионе Ж. -Л. Оптимальное управление системами, описываемыми уравнениями с частными производными. М.: Мир, 1972. — 414 с.
- Лурье К. А. Оптимальное управление в задачах математической физики. М.: Наука, 1975. — 480 с.
- Бутковский А. Г. Методы управления системами с распределенными параметрами. М.: Наука, 1975. — 568 с.
- Крылов Н. В. Управляемые процессы диффузионного типа. М.: Наука, 1977.-400 с.
- Егоров А. И. Оптимальное управление тепловыми и диффузионными процессами. М.: Наука, 1978. — 464 с.
- Мельников А.А. Математическое моделирование тепловых режимов многослойных фотоприемных структур// Прикладная физика. -2000.-№ 5.-С. 14−20.
- Мельников А.А. Расчет температурных полей в многослойных фотоприемных структурах// Микросистемная техника. 2000. — № 2. -С. 21−26.
- Melnikov A. A. Mathematical modeling of thermal modes of multilayer photodetector structures// Proc. SPIE. 2000. — V. 4340. — P. 325−330.
- Марчук Г. И., Кузнецов Ю. А. К вопросу об оптимальных итерационных процессах. Докл АН СССР, 1968, 181, № 6, 1331−1334.
- Марчук Г. И., Кузнецов Ю. А. Некоторые вопросы теории многошаговых итерационных процессов. В кн.: Вычисл. методы линейн. алгебры. Новосибирск, 1969, 16−22.
- Молчанов И. Н., Яковлев М. Ф. Условия окончания итерационных процессов, гарантирующие заданную точность. Докл. АН УССР, Сер. А., 1980, № 6, 21−23.
- Воеводин В. В. О методах сопряженных направлений. Ж. вычисл. мат и мат. физ., 1979, 19, № 5, 1313−1317.
- Ильин В. П. О некоторых оценках для методов сопряженных градиентов. Ж. вычисл. мат. и мат. физ., 1976, 16, № 4, 847−855.
- Марчук Г. И., Кузнецов Ю. А. Теория и применение обобщенного метода сопряженных градиентов. АН СССР. СО ВЦ. Препринт № 72. -Новосибирск, 24 с.
- Кузнецов Ю. А. Метод сопряженных градиентов, его обобщения и применения.- В сб.: Вычислительные процессы и системы. Вып. 1. М., Наука, 1983,267−301.
- Самарский А. А., Капорин И. Е., Кучеров А. Б., Николаев Е. С. Некоторые современные методы решения сеточных уравнений. Изв. вузов. Математика, 1983, № 7 (254), с. 3−12.
- Хейгман Л., Янг Д. Прикладные итерационные методы: Пер. с англ. М.: Мир, 1986. — 448 с.
- Young D. М., Jea К. С. Generalized Conjugate Gradient Acceleration of Nonsymmetrizable Iterative Methods// Linear Algebra and Appl. 1980 — 34. -P. 159−194.
- Мельников А.А., Васичев Б. Н. Расчет и проектирование магнитных фокусирующих систем: Учебное пособие. М.:МИРЭА, 1989.-48 с.
- Мельников А.А., Кузнецов В. В. Погрешности эквивалентирования при расчетах температурных полей// Тр. Моск. энерг. ин-та. 1993. Вып. 665. — С. 91 — 98.
- Мельников А.А. Расчет температурных полей в многослойных фотоприемных структурах//В кн. Нано и микросистемная техника. От исследований к разработкам. М.: Техносфера, 2005. — С. 406−415.
- Берченко Н.Н., Кревс В. Е., Средин В. Г. Полупроводниковые твердые растворы и их применение. М.: Воениздат, 1982. — 320 с.
- Properties of Narrow Gap Cadmium-based Compounds/ Ed. by Peter Capper.- London: INSPEC, 1994. 618p.
- Справочник по физико-техническим основам криогеники/ М. П. Малков, И. Б. Данилов, А. Г. Зельдович, А. Б. Фрадков. Под ред. М. П. Малкова. М.: Энергоатомиздат, 1985 — 432 с.
- Бутурлин А. И., Габузян Г. А., Голованов Н. А., Бараненков И. В., Евдокимов А. В. и др. Полупроводниковые датчики на основе металлооксидных полупроводников// Зарубежная электронная техника. -1983.-№ 10.-С. 3−38.
- Matsushima S., Teraoka Y., Yamazoe N. Electronic interaction between metal additives and tin dioxide in tin dioxide based gas sensors// Jap. J. Appl. Phys. — 1988. — 27, № 3. — P. 1798−1802.
- Патент РФ 2 137 199 МКИ G 08 В 17/10 Детекторное устройство для извещателей пожарных газовых/ Мельников А. А., Смирнов Ю. С., Маслов Л. И., Карат К. Опубл. В БИ — 1999. — № 25.
- Melnikov A.A., Davydov A.A., Topalova L.I., Zhavoronkov N.V. and Vorotilov K.A. Room-temperature CdZnTe gamma-ray detectors. Materials Research Society (Fall Meetings, 1−5 December, Boston, USA), 1997, p. 224.
- Melnikov A.A., Davydov A.A., Topalova L.I., Zhavoronkov N.V. and Sigov A.S. New techniques of CdZnTe monocrystals growing for romm -temperature gamma-ray detectors. Materials Research Society (Fall Meetings, 1−5 December, Boston, USA), 1997, p. 227.
- Melnikov A.A., Sigov A.S., Vorotilov K.A., Davydov A.A., Topalova L.I. and Zhavoronkov N.V. Growth of CdZnTe monocrystals for radiation detectors. European Materials Research Society (Spring Meetings, 16−19 June, Strasbourge, France), 1998, p. C-16.
- Melnikov A.A., Sigov A.S., Vorotilov K.A. and Manokhine A.Yu. CdZnTe radiation detectors. European Materials Research Society (Spring Meetings, 16−19 June, Strasbourge, France), 1998, p. C-16.
- Melnikov A.A., Sigov A.S., Vorotilov K.A., Davydov A.A., Topalova L.I., Zhavoronkov N.V. Growth of CdZnTe monocrystals for radiation detectors// J. Crysatal Growth. 1999. V. 197. — P. 666−669.
- Melnikov A.A. CdZnTe radiation detectors// J. Crysatal Growth. -1999. V. 197.-P. 663−665.
- Мельников А.А. Неохлаждаемые детекторы ионизирующих излучений на основе монокристаллов квазибинарных соединений CdZnTe// Микроэлектроника. 1999. — Т. 28, № 3. — С. 234−236.
- Залетин В.М., Мельников А. А., Ножкина И. М., Фомин В. И. Неохлаждаемые полупроводниковые детекторы на основе кристаллов широкозонных соединений, выращенных из газовой фазы// Атомная энергия. 1999. — Т.86, вып.5. — С. 391−397.
- Мельников А.А. Детекторы рентгеновского и гамма-излучения на основе кристаллов твердых растворов CdixZnxTe //Тез. докл. Всерос. научнотехнической дистанционной (электронной) конференции «Электроника», 19−23 ноября 2001 г., Москва. М, 2001.
- Поисковые исследования в обеспечение создания нового типа средств измерений ионизирующих излучений общевойскового применения. Отчет о НИР (Заключительный). Шифр «Албанец», М.: МИРЭА, 2001. -103 с.
- Полупроводниковые детекторы в экспериментальной физике/ Ю. К. Акимов, О. В. Игнатьев, А. И. Калинин, В. Ф. Кушнирук. М.: Энергоатомиздат, 1989. — 344с.
- Залётин В.М. Эпитаксиальный арсенид галлия из газовой фазы для детекторов ядерного излучения//Препринт 62−81. Новосибирск.: ИФП СО АН СССР, 1981. -40с.
- Залетин В.М., Фомин В. И., Кочеванов В.А Детекторы рентгеновского и гамма-излучения на основе дииодида ртути. //Препринт 2−34.-Новосибирск.: ИФП СО АН СССР, 1984. -46с.
- Белоглазов В.И., Суховеев СП., Суетин Н. В. Создание микронных и субмикронных трехмерных структур с использованием стекловолоконных технологий// Микросистемная техника. 2000. — № 1. -С. 6−9.
- Суховеев С.П. Объемные электромагнитные микродвигатели с субмикронными микроструктурами// Петербургский журнал электроники.-2000.-№ 3−4. С. 102−108.
- Beloglazov V.I., Souchoveev S. P, Suetin N.V. Three-dimensional micron and submicron structures based on fiber-glass technologies // Indo-Russian Workshop on Micromechanical Systems, 2−4 Feb., 1999, New-Dehli, India,
- V.I.Pustovoy, V.K.Jain Editors in Proceedings of SPIE. 1999. -V. 3903. -P. 134−140.
- Суховеев С.П. Волоконные МЭМС и НЭМС//В кн. Нано и микросистемная техника. От исследований к разработкам. М.: Техносфера, 2005,-С. 540−553.
- Исследование и разработка микродвигателей для микроминиатюрных приводов специального применения. Отчет о НИР (Заключительный). Шифр «Наноэлектроника-21-МСТ», М.: МИРЭА, 2004. -119 с.
- Casting R. Adv. In Electronics and Electron Physics. Acad. Press, N.Y.- 1960.-V. 13.-P. 317
- Филиппов M.H. Оценка теплового воздействия электронного зонда в растровой электронной микроскопии и рентгеноспектральном микроанализе//Известия РАН. Сер. Физическая. 1993. — Т. 57, № 8. -С.165−170.
- Бакалейников JI.A., Галактионов Е. В., Третьяков В. В., Троп Э. А. Расчет теплового воздействия электронного зонда на образец нитрида галлия//ФТТ 2001. — Т. 43, вып. 5. — С. 779−785.
- Мельников А.А., Потапкин О. Д. Тепловые задачи в электроннолучевой технологии //Проблемы теоретической и прикладной электронной и ионной оптики: Тез. докл. пятого Всерос. семинара, 14−15 ноября 2001 г., Москва.-М., 2001.- С. 97.
- Мельников А.А., Кульчицкий Н. А., Хряпов В. Т. Методы оптимизации в технологии полупроводниковых материалов//Деп. рукопись. М.: НТЦ «ИНФОРМТЕХНИКА», 1995. — Деп. № 2/164. — 48 с. (Реферат опубликован в Сб. реф. деп. рук. — М.: ВИМИ, 1995. -№ Д8 635)
- Медведев С.А. Введение в технологию полупроводниковых материалов. М.: Высш. шк., 1970. 504 с.
- Пфан В. Зонная плавка. -М.: Мир, 1970. 366 с.
- Мельников А.А., Васичев Б. Н. Численный расчет магнитного поля в аксиально-симметричных фокусирующих системах с учетом реальных характеристик ферромагнетиков// Известия РАН. Сер. Физическая.-2003.-Т. 67, № 4. С. 534−538.
- Акчурин Р.Х., Берлинер Л. Б., Тураева С. В. Компьютерное моделирование геометрических параметров свободной поверхности расплавленной зоны на примере бестигельной зонной плавки//Материалы электронной техники. 2001. — № 1. — С. 44−49.