Неравновесная населенность мелких примесных состояний в полупроводниках и усиление излучения длинноволнового инфракрасного диапазона
Диссертация
Сложность получения инвертированной заселенности примесных уровней связана с быстрой релаксацией носителей заряда при взаимодействии с акустическими фононами, которая стремится установить равновесное распределение с температурой фо-нонной подсистемы. При больших концентрациях свободных носителей преобладают Оже переходы, которые стремятся привести распределение по примесным уровням в равновесие… Читать ещё >
Список литературы
- С. Sirtori, J. Faist, F. Capasso, D. L. Sivco, A. L. Hutchinson, and A. Y. Cho, Long wavelength infrared (X ~ 11 цт) quantum cascade lasers, Appl. Phys. Lett., 69, 2810 (1996).
- O. Gauthier-Lfaeye, P. Boucaud, F. H. Julien, S. Sauvage, S. Cabaret, J.-M. Lourtioz, V. Thierry-Mieg and R. Planel, Long wavelength (15.5 im) unipolar semiconductor laser in GaAs quantum wells, Appl. Phys. Lett., 71, 3619 (1997).
- A. A. Ignatov, K. F. Renk, and E. P. Dodin, Esaki-Tsu superlattice oscillator: Josephson-like dynamics of carriers, Phys. Rev. Lett. 70, 1996 (1993).
- A. A. Andronov, Yu. N. Nozdrin, V. N. Shastin, Tunable FIR Lasers in Semiconductors Using Hot Holes, Infrared Physics, 27, 31 (1987).
- Special Issue on Far-infrared Semiconductor Lasers, J.Opt.Quantum Electronics 23, No.2 (1991).
- M. Lax, Cascade capture in solids, Phys. Rev 119, 1502 (1960).
- G. Ascarelly and S. Rodriquez, Recombination of electrons and donors in n-type germanium, Phys.Rev. 124, 1321 (1961).
- В. H. Абакумов, В. И. Перель, И. Н. Яссиевич Захват носителейзаряда на притягивающие центры в полупроводниках ФТП 12, 3 (1978).
- С. В. Мешков, Э. И. Рашба, Вероятности безизлучателъных переходов в акцепторных центрах, ЖЭТФ 76, 2207 (1979).
- S. Т. Pantelides, The electronic structure of impurities and other point defects in semiconductors, Rev. Of Modern Phys. 50, 797 (1978).
- A. K. Ramdas amd S. Rodriguez, Spectroscopy of the solid-state analoques of the hydrogen atom: donors and acceptors in semiconductors, Rep. Prog. Phys. 44, 1297 (1981).
- W. Pickin, Impact ionization in n-germanium, 9.5 K, Phys. Rev. В 20, 2451 (1979).
- L. Reggiani and V. Mitin, Recombination and ionization processes at impurity centers in hot-electron semiconductor transport, Rivista del Nuovo Cimento 12, 1 (1989).
- Я. E. Покровский, О. И. Смирнова, Релаксация примесного возбуждения в кремнии, легированном примесями III и V групп, Письма в ЖЭТФ 516, 377 (1990).
- Е. М. Гершензон, Г. Н. Гольдман, Н. Г. Птицина, Заселенность и время жизни возбужденных состояний мелких примесей в Ge, ЖЭТФ, 76, 711 (1979).
- К. Geerinck, Doctor degree thesis, Technical University of Delft (1995).
- T. Theiler, F. Keilman and E. E. Haller, Nonlinear effects in impurity pumping and impurity ionization, Inst. Phys. Conf. ser. No95: chapter 2, 179, Third conf. on shallow impurities in semiconductors, Linkoping, Sweden (1988).
- S. Y. Demihovsky, A. Y. Murav’ev, S. G. Pavlov and V. N. Shastin, Stimulated emission using the transitions of shallow acceptor states in germanium, Semicond. Sci. Technol. 7, B622 (1991).
- Yu. A. Mityagin, V. N. Mursin, 0. N. Stepanov and S. A. Stoklitsky, Anisotropy and uniaxial effects in submillimiter stimulated emision spectra of hot holes in germanium in strong E, H fields, Semicond. Sci. Technol. 7, B641 (1991).
- И. В. Алтухов, M. С. Каган, В. П. Синие, Межзонное излучение горячих дырок в Ge при одноосном сжатии, Письма в ЖЭТФ, 47, 136, (1988).
- М. A. Odnobliudov, I. N. Iassievich, М. S. Kagan, Yu. М. Galperin and К. A. Chao, Population inversion induced by resonant states in semiconductors, Phys. Rev. Lett. 83, 644 (1999).
- A. Onton, P. Fisher, A. K. Ramdas, Anomalous width of some photoexcitation lines of impurities in silicon, Phys. Rev. Lett. 19, 781 (1967).
- N. R. Butler, P. Fisher and A. K. Ramdas, Excitation spectrum of bismuth donors in silicon, Phys. Rev. В 12, 3200 (1975).
- S. Rodriquez and T. D. Schultz, Effects of resonant phonon interaction on shapes of impurity absorption lines, Phys. Rev. 178, 1252 (1969).
- G. J. Rees, H. G. Grimmeiss, E. Jansen and B. Skarstam, Capture, emission and recombination at a deep level via an excited state, J. Phys C: Solid St. Phys. 13, 6157 (1980).
- E. Scholl, W. Heisel and W. Prettl, Jmact ionization induced negative Far-Infrared photoconductivity in n-GaAs, Z. Phys. В Condensed Matter 47, 285 (1982).
- V. V. Mitin, A negative differential conductivity due to recombination and impact ionization in semiconductors at low tempertures, Appl. Phys. A 39, 123 (1986).
- J. Peinke, A. Muhlbach, R. P. Huebener and J. Parisi, Spontaneous oscillations and chaos in p-germanium, Phys. Lett. 108A, 407 (1985).
- W. Quade, G. Hupper, and E. Scholl, Monte-Carlo simluation of nonequilibrium phase transition in p-type Ge at impurity breakdown, Phys. Rev. В 49,13 408 (1994).
- D. Schechter, Theory of shallow acceptor states in Si and Ge J. Phys. Chem. Solids 23, 237−247 (1962).
- R. L. Jones and P. Fisher, Excitation spectra of group III impurities in germanium, J. Phys. Chem. Solids 26, 1125 (1965).
- K. S. Mendelson and H. M. James, Wave functions and energies of shallow acceptor states in germanium, J. Phys. Chem. Solids 25, 729 (1964).
- N. Binggeli and A. Baldereschi, Prediction of line intensities and interpretation of acceptor spectra in semiconductors, Solid State Communications 66, 323 (1988).
- В. H. Абакумов, Расчет вероятности захвата электрона на кулоновский центр при спонтанном излучении оптического фонона, ФТП 13, 59 (1979).
- D. J. Robbins and Р. Т. Landsberg, Impact ionization and Auger recombination involving traps in semiconductors, J. Phys. C: Solid St. Phys. 13, 2425 (1980).
- С. В. Мешков, Безызлунательные переходы в примесных центрах с участием коротковолновых фононов, ФТТ 21, 1114 (1979).
- Б. JL Гельмонт, М. И. Дьяконов, Примесные состояния в полупроводниках с нулевой запрещенной зоной, ЖЭТФ 62, 713 (1972).
- Ш. М. Коган, Р. Таскинбоев, Спектры мелких дононров в германии и кремнии, Ф.Т.П.б 17, 1583 (1983).
- A. F. Polulanov, V. I. Galiev and V. Е. Zhuravlev, Photoionization cross-section of shallow acceptors in semiconductors: effect of a change in heavy-to light-hole mass ratio, Materials Science Forum 65−66, 41 (1990).
- C. Kittel and A. Mitchell, Theory of donor and acceptor states in silicon and germanium, Phys.Rev. 96, 1488 (1954).
- W. Kohn, J. M. Luttinger, Theory of donor states in silicon, Phys.Rev. 98, 915 (1955).
- Б. Л. Гельмонт, А. В. Родина, Энергия связи дырки на многозарядном акцепторе в полупроводниках со структурой алмаза, ФТП, 25, 2189 (1991).
- A. Baldereschi, Valley-orbit interaction in semiconductors, Phys. Rev. В 1, 4673 (1970).
- П. Дирак, Принципы квантовой механики, Наука, Москва, 1979.
- А. И. Базь, Я. Б. Зельдович, А. М. Переломов, Рассеяние, реакции и распады в нерелятивистской квантовой механике, Наука, Москва, 1971.
- F. Bassani, G. Iadonisi and В. Preziosi Band structure and impurity states, Phys. Rev. 186, 735 (1969).
- R. Buczko and F. Bassani, Shallow acceptor bound and resonant states in Si, Inst. Phys. Conf. ser. No95: chapter 2, 107, Third conf. on shallow impurities in semiconductors, Linkoping, Sweden (1988).
- M. A. Odnobliudov, V. M. Chistyakov, I. N. Yassievich and M. S. Kagan Resonant States in Strained Semiconductors Physica Status Solidi (b) 210, 873 (1998).
- N. O. Lipari, A. Baldereschi, M. I. W. Thewalt, Central cell effects on acceptor spectra in Si and Ge, Solid State Comm. 33, 277 (1980).
- Б. И. Шкловский, A. JI. Эфрос, Электронные свойства легированных полупроводников, Наука, Москва, 1979.
- JI. Д. Ландау, Е. М. Лифшиц Квантовая механика (нерелятивистская теория), Наука, Москва, 1989.
- В. Н. Абакумов, В. И. Перель, И. Н. Яссиевич Безызлучателъная рекомбинация в полупроводниках, Петербургский институт ядерной физики им. Б. П. Константинова РАН, С.-Петербург, 1997.
- N. Sclar and Е. Burstein, Optical and impact recombination in impurity photoconductivity of germanium and silicon, Phys. Rev. 98, 1757 (1955).
- H. Gummel, М. Lax, Thermal capture of electrons in silicon, Annals of physics 2, 28 (1957).
- I. Wilke, 0. D. Dubon, J. W. Beeman, E. E. Haller, Spectroscopy of the hole population in bound excited acceptor states during recombination in p-type Ge, Solid State Commun. 93, 409 (1995).
- P. T. Landsberg, C. Rhys-Roberts and P. Lai, Auger recombination and impact ionization involving traps in semiconductors, Proc. Phys. Soc. 84, 915 (1964).
- A. Haug, Auger recombination with traps, Phys. Stat. Sol. (b) 97, 481 (1980).
- M. E. Cohen and P. T. Landsberg, Effect of compensation on breakdown fields in homogenous semiconductors, Phys. Rev. 154, 683 (1967).
- K. Omidvar, Ionization of excited atomic hydrogen by electronic collision, Phys. Rev. 140, A26 (1965).
- K. Omidvar, Excitation by electron collision of excited atomic hydrogen, Phys. Rev. 140, A38 (1965).
- B. JI. Бонч-Бруевич, Ю. В. Гуляев, К теории ударной рекомбинации в полупроводниках, ФТТ 2, 465 (1960).
- В. Ф. Банная, Е. М. Гершензон, Т. Г. Фукс, Особенности рассеяния и рекомбинации горячих носителей в Si: B, ФТП 13, 264 (1979).
- Н. Мотт, Г. Месси Теория атомных столкновений, ИЛ, Моква, 1951.
- Л. П. Питаевский, Рекомбинация электронов в одноатомном газе, ЖЭТФ, 42, 1326 (1962).
- А. В. Гуревич, Л. П. Питаевский, Коэффициент рекомбинации в плотной низкотемпературной плазме, ЖЭТФ, 46, 1281 (1964).
- В. Ф. Гантмахер, И. Б. Левинсон Рассеяние носителей тока в металлах и полупроводниках Наука, Москва, 1984.
- В. Н. Абакумов, Рекомбинация горячих электронов на примесные центры в полупроводниках, ФТП 13, 969 (1979).
- A. A. Andronov, В. А. Козлов, Л. С. Мазов, В. Н. Шасгнн, Об усилении далекого инфракрасного излучения в германии при инверсии населенностей горячих дырок, Письма в ЖЭТФ, 30, 585 (1979).
- S. Komiyama and S. Kuroda, Far-infrared laser oscillation in p-Ge Solid State Commun. 59, 167 (1986).
- F. Keilmann, V. N. Shastin and R. Till, Pulse buildup of the germanium far-infrared laser, Appl. Phys. Lett. 58(20), 2205 (1991).
- E. V. Starikov, P. N. Shiktorov, Numerical simulation of far infrared emission under population inversion of hole subbands, Opt. quantum Electronics, 23, S177 (1991).
- H. A. Bethe and E. Solpiter, Quanum mechanics of one and two electron atoms, Academic Press, N.Y. (1957).
- Erik Brundermann, Danielle R. Chamberlin, and Eugene E. Haller, High duty cycle and continuous terahertz emission from germanium, Appl. Phys. Lett. 76, 2991 (2000).
- E. Brundermann, A. M. Linhart, R. L. Reichertz, H. P. Roeser, O. D. Dubon, W. L. Hansen, G. Simain, E. E. Haller, Double acceptor doped Ge: A new medium for inter-valence-band lasers, Appl. Phys. Lett. 68, 3075 (1996).
- J. N. Hovenier, R. M. de Klein, Т. O. Klaassen, and W. Th. Wenckebach, D. R. Chamberlain, E. Brundermann, and E. E. Haller, Mode locked operation of the copper-doped germanium terahertz laser, Appl. Phys. Lett. 77, 3155 (2000).
- С. Erginsoy, Neutral impurity scattering in semiconductors, Phys.Rev. 79, 1013 (1950).
- Субмиллиметровые лазеры на горячих дырках в полупроводниках, под ред. Андронова, ИПФ АН СССР, Горький, 1986.
- W. Heiss, К. Unterrainer, Е. Gornik, W. L. Honsen, Е. Е. Haller, Influence of impurity absorption on germanium hot hole laser, Semicond. Sci. Technol. 7, 638 (1994).
- A. Dargys, S. Zurauskas, and N. Zurauskiene, Lifetime of excited states of a phosphorous atom in silicon single crystal, Lietuvos fizikos zurnalas 34, 483, (1994).
- Ya. E. Pokrovskii, О. I. Smirnova, N. A. Khvalkovskii, Longliving excited states of impurities in Si, Solid State Commun. 93, 405 (1995).
- T. G. Castner, Raman spin-lattice relaxation of shallow donors in silicon, Phys. Rev. 130, 58 (1963)
- A. Griffin, P. Karruthers, Thermal conductivity of solids IV: Resonance fluorescence scattering of phonons by donor electrons in germanium, Phys. Rev. 131, 1976 (1963).
- C. Iacoboni and L. Reggiani, The Monte Carlo method for the solution of charge transport in semiconductors with application to covalent materials, Rev. Of Modern Phys. 55, 645 (1983).
- A. Dargys, J. Kundrotas Handbook on physical properties of Ge, Si, GaAs and InP, Science and Encyclopedia Publishers, Vilnius, 1994.
- R. Barrie and K. Nishikawa, Phonon broadening of impurity spectral lines, Can. J. Phys. 41, 1135- 1823 (1963).
- M. Аше, О. Г. Сарбей, О роли междолинного рассеяния в рекомбинации электронов в кремнии Письма в ЖЭТФ, 28, 625 (1978).
- Е. М. Gershenzon, А. P. Melnikov and R. I. Rabinovich, H~-like impurity centers, Molecular complexes and electron delocalization in semiconductors, Electron-electron interactions in disodered systems, ed. by A.L. Efros and M. Pollak, Elsevier, 1985.
- A. J. Mayur, M. Dean Sciaca, A. K. Ramdas, and S. Rodriquez, Redetermination of the valley-orbit (chemical) splitting of Is ground state of group-V donors in silicon, Phys. Rev. В 48, 10 983 (1993).
- К. Colbow, Infrared absorption lines in boron doped silicon, Can. J. of Phys. 41, 1801 (1963).
- P. Bruesch, Phonons: Theory and experiment. Part II, Springer-Verlag, Berlin, 1986.
- А1. А. В. Муравьев, С. Г. Павлов, Е. Е. Орлова, В. Н. Шастин, Инверсия населенностей мелких акцепторных уровней в лазере на горячих дырках германия, Тезисы докладов на I Российской конференции по физике полупроводников, Нижний Новгород, 2, 272 (1993).
- А2. V. N. Shastin, А. V. Muravjov, Е. Е. Orlova, S. G. Pavlov, Far-infrared active medium on shallow acceptor states in semiconductors, Proceedings of SPIE 2104, 198 (1993).
- A3. А. В. Муравьев, С. Г. Павлов, Е. Е. Орлова, В. Н. Шастин, Эффекты мелких акцепторов в лазере на горячих дырках германия, Письма в ЖЭТФ, 59(2), 86−91 (1994).
- А4. А. В. Муравьев, С. Г. Павлов, Е. Е. Орлова, В. Н. Шастин, Б. А. Андреев, Конденсация спектра вблизи линии примесного поглощения в лазере на горячих дырках германия, Письма в ЖЭТФ, 61(3), 182−186 (1995).
- А5. Е. Е. Orlova, A far infrared active medium based on shallow acceptor states in semiconductors, Conf. Digest of European Conference for PhD students in Physical Sciences PeH'94, Montpellier, France, SC18, (1994).
- A6. E. E. Orlova, V. N. Shastin, Inverse Population of Shallow Donor Excited States in Silicon Under Optical Pumping, Conf. Digest of European Conference for PhD students in Physical Sciences PeH'95, Nice, France, SN9/P (1995).
- А7. V. N. Shastin, E. E. Orlova, A. V. Muravjov, S. G. Pavlov, R. H. Zhukavin, Influence of shallow acceptor states on the operation of the FIR hot hole p-Ge laser, Infrared and Millimeter Waves, 17, 359−363 (1996).
- А12. Е. Е. Orlova, R. Kh. Zhukavin, S. G. Pavlov, Y. N. Shastin, Far infrared active media based on the shallow impurity states transitions in silicon, Physica Status Solidi (b), 210, 859−863 (1998).
- A 14. H. W. Huebers, K. Auen, S. G. Pavlov, E. E. Orlova, R. Kh. Zhukavin and V. N. Shastin, Population inversion and far-infrared emission from optically pumped silicon, Applied Physics Letters, 74(18), 2655−2657 (1999).
- A15. V. N. Shastin, R. Kh. Zhukavin, A. V. Muravjov, E. E. Orlova, S. G. Pavlov, THz oscillators based on intraband transitions in bulk semiconductors, Proceedings of SPIE 3828, 40−51 (1999).
- A 16. H.-W. Huebers, K. Auen, S. G. Pavlov, E. E. Orlova, R. Kh. Zhukavin, V. N. Shastin, Investigations of phosphorus doped silicon as a possible far-infrared laser material, Proceedings of SPIE 3828, 52−57 (1999).
- A17. В. H. Шастин, P. X. Жукавин, E. E. Орлова, С. Г. Павлов, Инверсная заселенность состояний мелких примесных центров в гетероструктурах с квантовыми ямами, Известия Академии наук, сер. физич. 64(2), 245−248 (2000).
- А18. S. G. Pavlov, R. Kh. Zhukavin, Е. Е. Orlova, V. N. Shastin, А. V. Kirsanov, Н,-W. Huebers, К. Auen, H. Riemann, Stimulated emission from donor transitions in silicon, Phys.Rev.Lett. 84, 5220−5223 (2000).
- А20. Е. Е. Орлова, Д. И. Кулагин, Времена жизни квазистационарных состояний кулоновских центров в гетероструктурах с дельта-легированными барьерами, Материалы совещания «Нанофотоника», Н. Новгород, март 2000, 126−128 (2000).
- А21. R. Kh. Zhukavin, S. G. Pavlov, E. E. Orlova, V. N. Shastin, THz lasers based on optically pumped silicon, Proceedings of International Terahertz Workshop 2000 (ITW2000), Sanbjerg Estate, Denmark, 17−19 September 2000, p.40. (2000).
- А22. V. N. Shastin, R. Kh. Zhukavin, E. E. Orlova, S. G. Pavlov, A. V. Kirsanov, H.-W. Huebers, K. Auen, Si based jar-infrared lasers, Proceedings of One day meeting on Si-based optoelectronics, University of Leeds, 18 April, 2000, p 7 (2000).
- A24. K. Auen, H.-W. Hubers, A. V. Muravjov, E. E. Orlova, S. G. Pavlov, V. N. Shastin R. Kh. Zhukavin, Influence of group II and III shallow acceptors on gain of p-Ge lasers, Physica В 302−303, 334−341 (2001).
- A25. E. E. Orlova, S. G. Pavlov, R. Kh. Zhukavin, Y. N. Shastin, A. V. Kirsanov, H.-W. Huebers, K. Auen, M. Rummeli, H. P. Roeser, and H. Riemann, FIR basing Based on Group V Donor Transitions in Silicon, Physica В 302−303, 342−348 (2001).
- A28. H. W. Hubers, S. G. Pavlov, M. H. Rummeli, R. Kh. Zhukavin, E. E. Orlova, H. Riemann, V. N. Shastin, Terahertz emission from silicon doped by shallow impurities, Physica В 308−310, 232−235 (2001).