Разработка и анализ зондовых микромеханических устройств
Диссертация
Другой важной областью применения ЗМУ является технология записи, считывания и хранения информации. В настоящее время в этом направлении активно работают фирмы IBM, Hewlett-Packard и Samsung Electronics, которые реально планируют создание запоминающих устройств с плотностью хранения данных примерно в 100 раз выше, чем у современных жестких дисков персональных ЭВМ. Уже имеется опытной образец… Читать ещё >
Список литературы
- Быков В.А. Микромеханика для сканирующей зондовой микроскопии и нанотехнологии // Микросистемная техника. 2000. № 1. С. 21.
- Sarid D. Scanning Force Microscopy with Applications to Electric, Magnetic and Atomic Forces. New York: Oxford Univ. Press, 1991.
- Magonov S. N, Whangbo M.-H. Surface analysis with STM and AFM. VCH, Weinheim- New York- Basel Cambridge — Tokyo, 1996.
- Эдельман B.C. Развитие сканирующей туннельной и силовой микроскопии //ПТЭ. 1991. № 1.С.24−42.
- Бухараев А.А., Куповицкий Е.Ф, Бухараева А. А. Диагностика поверхности с помощью сканирующей силовой микроскопии // Заводская лаборатория. 1997. № 5. С. 10−27.
- Рехвиашвили С.Ш. Современные методы сканирующей зондовой микроскопии и спектроскопии // ПТЭ. 2002. № 5.С. 149−152.
- Коркоран Э. Новые перспективные технологии хранения данных // В мире науки. 1992. № 11−12.С. 139−141.
- Binnig G, Quate C. F, Gerber Ch. Atomic force microscope // Phys. Rev. Lett. 1986. V.56. P.930−933.
- Bryant P. J, Kim H. S, Zheng Y. C, Yang R. Technique for shaping scanning tunneling microscope tips // Rev. Sci. Instrum. 1987. V.58. N.6. P. l 15.
- Chen Yufeng, Xu Wei, Huang Jinlin. A simple new technique for preparing STM tips // J. Phys. E. 1989.V.22. N.7. P.455−457.
- Ibe J.P., Bey P.P.Jr., Brandow S.L., Brizzolara C.R.K., Colton R.J. On the electrochemical etching of tips for scanning tunneling microscopy // J. Vac. Sci. and Tech. A.1990.V.8. N.4.P.3570−3575.
- Binh Yu Thien, Marien J. Characterisation of microtips for scanning tunneling microscopy // Surface Sci. l988.V.22. N. l-2. P.539−549.
- Vasile M.J., Grigg D.A., Griffith J.E., Fitzggerald E.A., Russel P.E. Scanning probe tips formed by focused ion beams // Rev. Sci. Instrum. l991.V.62.N.9. P.2167−2171.
- Hopkins L.C., Griffith J.E., Harriot L.R., Vasile M.J. Polycrystalline tungsten and iridium probe tip preparation with a Ga+ focused ion beam // J. Vac. Sci. and Tech. B. 1995. V.13. N.2. P.335−337.
- Morishita S., Okuyama F. Sharpening of monocrystalline molybdenum tips by means of inert-gas ion sputtering // J. Vac. Sci. and Tech. A. 1991. V.9. N.l. P.167−169.
- Buser R.A., Brugger J., de Rooij N.F. Micromachined silicon cantilevers and tips for scanning probe microscopy // Microelectron. Eng. 1991. V.15. N.l. P.407−410.
- Albrecht T.R., Anamine S., Carver Т.Е., Quate C.F. Microfabrication of cantilever stili for the atomic force microscope // J. Vac. Sci. and Tech. A. 1990. V.8.N.4. P.3386−3396.
- Dai H., Hafner J.H., Rinzler A.G., Colbert D.T., Smally R.E. Nanotubes as nanoprobes in scanning probe microscopy //Nature. 1996. V.384. P.147−151.
- Дедков Г. В. Фуллерены как изображающие элементы иглы атомно-силового микроскопа // Письма в ЖТФ.1997. Т.23. № 12.С.37.
- Гиваргизов Е.И., Степанова А. Н., Оболенская Л. Н., Машкова Е. С., Гивар-гизов М.Е. Вискерные зонды // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия-99».Н.Новгород, ИФМ РАН.1999.С.411−421.
- Быков В.А., Дремов В. В., Михайлов Г. М., Лосев В. В., Саунин С. А. Зонды «вискер-типа» и магнитно-силовые зонды для СЗМ // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия-2000». Н. Новгород, ИФМ РАН. 2000.С.298−302.
- Gould S.A.C., Drake В., Prater C.B., Weisenhorn A.L., Manne S., Kelderman G.L., Batt H.-J., Hansma H., Hansma P.K., Magonov S., Cantow H.J. The atomic force microscope: A toll for science and industry // Ultramicroscopy. 1990. V.33. N.2. P.93−98.
- Быков B.A., Иконников A.B., Кацур C.H., Саунин С. А. Электроника и программное обеспечение универсальных зондовых микроскопов НТ-МДТ // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия-99». Н. Новгород, ИФМ РАН. 1999.С.327−334.
- Goddenhenrich Т., Lemke H., Hartmann U., Heiden C. Force microscope with capacitive displacement detection // J. Vac. Sci. and Tech. A. 1990. V.8. N.l. P.383−387.
- Umeda N., Ishizalci S., Uwai H. Scanning attractive force microscope using photothermal vibration // J. Vac. Sci. and Tech. B.1991.V.9. N.2. Pt.2. P.1318−1322.
- Mamin H.J., Ruga D. Termomechanical writing with an atomic force microscope tip // Appl. Phys. Lett. 1992. V.61. N.8. P. 1003−1005.
- Быков B.A., Саунин С. А. Новые приборы и возможности сканирующей зондовой микроскопии // Материалы Всероссийского совещания «Зондо-вая микроскопия-99». Н. Новгород, ИФМ РАН.1999.С.132−133.
- Quate C.F. The scanning probe microscopy as a tool for nanotechnology // Preliminary Proceeding STM 99. International Conference on Scanning Tunneling Microscopy / Spectroscopy and Related Proximal Probe Microscopy. Korea, Seoul. 1999. P.l.
- Рехвиашвили С.Ш. Проводящие кронштейны для атомно-силового микроскопа // Физика и химия перспективных материалов. Сборник научных трудов. Нальчик, КБГУ. 1998. С.103−107.
- Рехвиашвили С.Ш., Дедков Г. В. Простой способ изготовления кронштейнов для атомно-силового микроскопа // Микроэлектроника. 1998. Т.27. № 2. С.158−160.
- Рехвиашвили С.Ш., Дедков Г. В. Мембранный датчик для атомно-силового микроскопа // Материалы Всероссийского совещания «Зондо-вая микроскопия-99». Н. Новгород, ИФМ РАН. 1999. С.381−383.
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е. М. Теория упругости. М.: Физматлит, 2001. -264 с.
- Работнов Ю.Н. Механика деформируемого твердого тела. М.: Наука, 1988.-744 с.
- Справочник по электротехническим материалам. В 3 т./ Под ред. Ю. В. Корицкого и др. М.: Энергоатомиздат, 1986.
- Физические величины: Справочник / А. П. Бабичев, Н. А. Бабушкина, A.M. Братковский и др. Под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова.- М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с.
- Соломатенко Р.В., Шевяков В. И. Кремниевые кантилеверы и калибровочные решетки для сканирующих зондовых микроскопов // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия-2000». Н. Новгород, ИФМ РАН. 2000. С.315−320.
- Oliver W.C., Pharr G.M. An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments // J. Mater. Res. 1992. V.7. N. 6. P.1564−1583.
- Рехвиашвили С.Ш., Гаев Д. С. Конструкция активного тензорезистивного датчика для атомно-силового микроскопа // Микросистемная техника. 2001. № 3. С.11−12.
- Рехвиашвили С.Ш., Гаев Д. С. Активный тензорезистивный датчик для атомно-силового микроскопа// Доклады АМАН. 2001.Т.5. № 2.С.102−107.
- Ваганов В.И. Интегральные тензопреобразователи. -М.: Энергоатомиз-дат, 1983. 137 с.
- Разевнг В.Д. Применение программ P-CAD и PSpice для схемотехнического моделирования на ПЭВМ: В 4 выпусках. Вып.З.-М.: Радио и связь, 1992.- 120 с.
- Автоматизация проектирования БИС. В 6 кн. Кн. 5. Кремлев В. Я. Физико-топологическое моделирование структур элементов БИС. / Под ред. Г. Г. Казеннова. М.: Высш. шк., 1990. — 144 с.
- Тилл У., Лаксон Дж. Интегральные схемы: Материалы, приборы, изготовление. -М.: Мир, 1985. 501 с.
- Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств: Справочник. -М.: Радио и связь, 1991. 528 с.
- Фолкенберри Л. Применения операционных усилителей и линейных ИС. М.: Мир, 1985.-572 с.
- Пакет прикладных программ моделирования и анализа технологических процессов формирования структуры элементов СБИС STAMP. Описание применения. М.: АТН РФ, МНПП «Конверсия», 1992.
- Пакет прикладных программ моделирования и анализа технологических процессов формирования структуры элементов СБИС STAMP. Руководство пользователя. М.: АТН РФ, МНПП «Конверсия», 1992.
- Мазилова Т.И. Радиационно-стимулированное формирование микрозондов сканирующих туннельных микроскопов // ЖТФ. 2000. Т.70. № 2. С.102−105.
- Ивановский Г. Ф, Петров В. В. Ионно-плазменная обработка материалов. -М.: Радио и связь, 1986. 230 с.
- Фундаментальные и прикладные аспекты распыления.: Сб. статей 19 861 987 г. / Под ред. Е. С. Машковой. М.: Мир, 1989. — 126 с.
- Дедков Г. В, Рехвиашвили C.III. Модификация формы иглы сканирующего зондового микроскопа с помощью ионного распыления // Письма в ЖТФ. 1998. Т.24. № 2. С.61−68.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Выпуск I. Пер. с англ. / Под ред. Р. Бериша.- М.: Мир, 1984. 336 с.
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Выпуск II. Пер. с англ. / Под ред. Р. Бериша.- М.: Мир, 1986. 488 с.
- Torii A, Sasaki М, Напе К, Okuma S. A method for determining the spring constant of cantilever for atomic-force microscopy // Meas.(Sci. and Tech. 1995. V.7. N.2. P. 179−184.
- Bykov V, Golovanov A, Shevyakov V. Test structure for SPM tip shape de-convolution // Appl. Phys. A. 1998. V.66. P. 499−502.
- Дедков Г. В, Рехвиашвили C.III. Метод контроля формы иглы атомно-силового (туннельного) микроскопа с помощью спектрометрии обратного рассеяния // Письма в ЖТФ. 1997. Т.23. № 11. С.83−88.
- Рехвиашвили С. Ш, Гаев Д. С. К теории модуляционной атомно-силовой микроскопии // Известия вузов. Электроника. 2001. № 2. С. 101−106.
- Рехвиашвили С.Ш. Сканирующий атомно-силовой микроскоп // Математическое моделирование. 2003.Т.15. № 2. С.62−68.
- Дедков Г. В. Межатомные потенциалы взаимодействия в радиационной физике // УФН. 1995. Т.165. № 8. С.919−953.
- Дедков Г. В. Таблицы электронных распределений атомов и ионов при 2
- Бронштейн И.Н., Семендяев К. А. Справочник по математике для инженеров и учащихся втузов. -М.: Наука, 1986. 544 с.
- Gould S.A.C., Buke К., Hansma Р.К. Simple theory for the atomic-force microscope with a comparison of theoretical and experimental images of graphite // Phys. Rev. B. 1989. V.40. N.8. P.5363−5366.
- Ciraci S., Tekman E., Baratoff A., Batra I.P. Theoretical study of short- and long-range forces and atom transfer in scanning force microscopy // Phys. Rev. B. 1992. V.46. N.16. P.10 411−10 422.
- Tekman E., Ciraci S. Tip-structure effects on atomic force microscopy images //J.Phys.: Condens. Mater. 1991.V.3. N.6. P.2613−2619.
- Overhey G., Tomanek D., Zhong W., Sun Z., Miyazaki H., Mahanti S.D., Gun-therodt H.-J. Theory for the atomic force microscopy of layered elastic surfaces // J. Phys.: Condens. Materr. 1992. V.4. N.17. P.4233 4249.
- Благов E.B., Климчицкая Г. Л., Лобашев A.A., Мостепаненко В. М. О моделировании атомной структуры острия атомно-силового микроскопа при сканировании в режиме сил отталкивания // Письма в ЖТФ. 1995. Т.21. № 3.C.73−80.
- Мостепаненко В.М., Панов В. И., Соколов И. Ю. Явление нарушения линий постоянной силы над поверхностью с перепадом рельефа и разрешение атомно-силового микроскопа //Письма в ЖТФ. 1993.Т. 19.№ 8.С.65−72.
- Sasaki Naruo, Tsukada Masuro. Effect of the tip structure on atomic-force microscopy//Phys. Rev. B. 1995. V.52. N.ll. P.8471−8482.
- Hartmann U. Theory of Van der Waals microscopy // J. Vac. Sci. and Tech. B. 1991. V.9. N.2. Pt.2. P.465−469.
- Hartmann U. Manifestation of zeropoint quantum fluctuation in atomic force microscopy // Phys. Rev. В. 1990. V.42. N.20. P. 1541 -1546.
- Моисеев Ю.Н., Мостепаненко B.M., Панов В. И., Соколов И. Ю. Экспериментальное и теоретическое исследование сил и пространственного разрешения в атомно-силовом микроскопе // ЖТФ. 1990. Т.60. №.1. С. 141 148.
- Rekhviasvili S. The some theory question in atomic-force microscopy // Proceeding of the All-Russia Conference «Scanning probe microscopy 2001», N. Novgorod, IPMRAS. 2001. P.217−220.
- Рехвиашвили С.Ш. О силовых взаимодействиях в зондовых микромеханических системах // Микросистемная техника. 2003. № 2. С.33−37.
- Рехвиашвили С.Ш. Силы Ван-дер-Ваальса в атомно-силовой микроскопии // Тезисы XV Международной конференции «Уравнения состояния вещества». Терскол. 2000. С.51−53.
- Touhari F., Bouju X., Girard Ch., Devel M., Gohel-Solal G. Scanning force microscopy simulations of well-characterized nanostructures on dielectric an semiconducting substrate // Appl. Surf. Sci. 1998. V.125. P.351−359.
- Дерягин Б.В., Кротова H.A., Смилга В. П. Адгезия твердых тел.- М.: Наука, 1973.
- Бараш Ю.С. Силы Ван-дер-Ваальса. М.: Наука, 1988. — 344 с.
- Лифшиц Е. М, Питаевский Л. П. Статистическая физика. М.: Физматлит, 2002. — 496 с.
- Butter Н., Gerlach Е. Van Der Waals-Interaction of ionic and covalent crystals // Chem. Phys. Lett. 1970. V.5. N.2. P.91−92.
- Erlandsson R., Yakimov V. Force interaction between a W tip and Si (l 11) investigated under ultrahigh vacuum conditions // Phys. Rev. B. 2000. V.62. N.20. P.13 680.
- Landman U., Luedtke W.D., Nitzan A. Dynamics of tip-substrate interactions in atomic-force microscopy // Surf. Science. 1989. V.210. P. 177−184.
- Моисеев Ю.Н., Мостеиаиенко B.M., Панов В. И., Соколов И. Ю. Ограничения на параметры дальнодействия юкавского типа из атомно-силовой микроскопии // ДАН СССР. 1989.Т.304. № 5.С.1127−1130.
- Дедков Г. В., Рехвиашвили С. Ш. Силовые взаимодействия и нанотрубки в атомно-силовом микроскопе //ЖТФ. 1999. Т.69. № 8. С.124−127.
- Treacy М. М. J., Ebbesen Т. W., Gibson J. М. Exceptionally High Young’s Modulus Observed for Individual Carbon Nanotubes // Nature. 1996. V.381. P.678.
- Ruoff R.S., Lorents D.C. Mechanical and Thermal Properties of Carbon Nanotubes // Carbon. 1995. V.33. N.7. P.925−930.
- Nikolaev P, Thess A, Rinzler A.G., Colbert D. Т., Smalley R. E. Diameter doubling of single-wall nanotubules // Chem. Phys. Lett. 1997. V.266. P.422−426.
- Van der Werf К.О., Putman C.A.J., de Grooth B.G., Greve J. Adhesion force imaging in air and liquid by adhesion mode atomic-force microscopy // Appl. Phys. Lett. 1994. V.65. N.9. P. l 195−1197.
- Рехвиашвили С.Ш. Некоторые вопросы термодинамики контактного взаимодействия в атомно-силовом микроскопе // ЖТФ. 2001. Т.71. № 10. С.131−134.
- Рехвиашвили С.Ш. Расчет термодинамики контактного взаимодействия в атомно-силовом микроскопе // Микросистемная техника. 2001. № 2. С.28−31.
- Дерягин Б.В., Чураев Н. В., Муллер В. М. Поверхностные силы. -М.: Наука, 1985.
- Oliva A.I., Sosa V., De Coss R., Sosa R., Lopez S. Vibration isolation analyses for scanning tunneling microscope // Rev. Sci. Instrum. 1992. V.63. N.6. P.3326−3329.
- Oliva А.1., Anguiano E., Denisenko N., Aguilar M., Pena J.L. Analysis of scanning tunneling microscopy feedback system // Rev. Sci. Instrum. 1995. V.66. N.5.P.3196−3203.
- Butt H.-J., Jaschke M. Calculation of thermal noise in atomic force microscopy // Nanotechnology. 1995. V.6. N.l. P. 1−7.
- Cleveland J.P., Schaffer Т.Е., Hansma P.K. Probing oscillatory hydration potential using thermal-mechanical noise in atomic-force microscope // Phys. Rev. B. 1995. V.52. N.12. P.8692−8695.
- Дедков Г. В. Нанотрибология: экспериментальные факты и теоретические модели // УФН. 2000. Т. 170. № 6. С.585−618.
- Боуден Ф.П., Тейбор Д. Трение и смазка. М.: Машгиз., 1960. — 151 с.
- Крагельский И.В., Добычин М. Н., Комбалов B.C. Основы расчета на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. — 526 с.
- Контактное взаимодействие твердых тел и расчет сил трения и износа. Под ред. А. Ю. Ишлинского, Н. Б. Демина. М.: Наука. 1971. — 245 с.
- Рехвиашвили С.Ш. Дислокационный механизм трения при взаимодействии нанозонда с поверхностью твердого тела // ЖТФ. 2002. Т.12. № 2. С.140−142.
- Покропивный В.В., Скороход В. В. Атомный механизм когезионного трения в компьютерном эксперименте // Письма в ЖТФ. 1996. Т.22. № 9. С.70−77.
- Good B.S., Banerjea A. Simulation of tip-sample interaction in the atomic-force microscope // J. Phys.: Condens. Matter. 1996. V.8. N.10. P.1325−1333.
- Нацик В.Д., Чишко K.A. Звуковое излучение при аннигиляции дислокаций // ФТТ. 1972. Т. 14. № 11. С.3126−3122.
- Рехвиашвили С.Ш. Дислокационный механизм трения в наноконтактах // Поверхность. 2002. № 12. С.48−50.
- Фрид ель Ж. Дислокации. М.: Мир, 1967. — 584 с.
- Регель А.Р., Глазов В. М. Периодический закон и физические свойства электронных расплавов. М.: Наука, 1978. — 309 с.
- Рехвиашвили С.Ш. Статистическая теория трения при взаимодействии нанозонда с поверхностью твердого тела // ИФЖ. 2003. Т.76. № 4. С. 168 170.
- Фракталы в физике: Труды VI Международного симпозиума по фракталам в физике (МЦТФ, Триест, Италия, 9−12 июля 1985) / Под ред. JI. Пье-тронеро, Э. Тозатти. М.: Мир, 1988. — 672 с.
- Кронвер P.M. Фракталы и хаос в динамических системах. Основы теории. М.: Постмаркет, 2000. — 352 с.
- Дедков Г. В., Рехвиашвили С. Ш. Адгезионное трение при контакте на-нотрубок с поверхностью твердого тела // «Зондовая микроскопия-99». Материалы Всероссийского совещания. Н. Новгород, ИФМ РАН. 1999. С.152−155.
- Тарасов С. Ю, Колубаев А. В, Липницкий А. Г. Применение фракталов к анализу процессов трения // Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. № 3. С.82−88.
- Нахушев A.M. Элементы дробного исчисления и их применение. -Нальчик: Издательство КБНЦ РАН, 2000. 299 с.
- Самко С. Г, Килбас А. А, Маричев О. И. Интегралы и производные дробного порядка и некоторые их приложения. Минск, 1987.
- Дедков Г. В, Кясов А. А. Флуктуационно-электромагнитное взаимодействие зонда сканирующего микроскопа с поверхностью твердого тела // Письма в ЖТФ. 1999. Т.25. № 12. С.10−16.
- Дедков Г. В, Кясов А. А Электромагнитные флуктуационно-диссипативные силы между нанозондом и поверхностью // ФТТ. 2001. Т.43. № 3. С.536−542.
- Tersoff J, Hamann D.R. Theory and application for the scanning tunneling microscope // Phys. Rev Lett. 1983. V.50. P. 1998−2001.
- Watanaba S, Aono M, Tsukada M. Theoretical calculations of the scanning tunneling microscopy images of the Si (lll) ^3x3 -Ag surface // Phys. Rev. B. 1991. V.44. N.15. P.8330−8333.
- ITashizume T, Kamiya I, Hasegawa Y, et al. A role of a tip geometry on STM images // J. Microsc. 1988. V.152. N2. P.347−354.
- Туннельные явления в твердых телах. Под ред. Э. Бурштейна, С. Лундк-виста. М.: Мир, 1973. — 424 с.
- Боголюбов Н. Н, Боголюбов Н. Н. Введение в квантовую статистическую механику. М.: Наука, 1984. — 384 с.
- Брагинский Л. С, Баскин Э. М. Неупругое резонансное туннелирование // ФТТ. 1998. Т.40. № 6. С.1151−1155.
- Lang N.D. Theory of single-atom imaging in the scanning tunneling microscope // Phys. Rev. Lett. 1986. V.56. N. 11. P. 1164−1167.
- Васильев С.Ю., Денисов А. В. Особенности туннельно-спектроскопических измерений в конфигурации воздушного сканирующего туннельного микроскопа // ЖТФ. 2000. Т.70. № 1. С. 100−107.
- Baskin L.M., Drozdov A.V., Vladimirov G.G.The thermal expansion as a possible mechanism of nanofabrication // Surf. Sci. 1996. V.369. P.385−392.
- Федер Е. Фракталы М.: Мир. 1991.-254 с.
- Рехвиашвили С.Ш. К вопросу о распределении сил в атомно-силовом микроскопе // Вестник Кабардино-Балкарского отделения академии технологических наук РФ. 1997. В.1. Серия технология. С.4−11.
- Дремов В.В., Молчанов С. П. Альтернативный метод работы SXM при исследовании поверхности // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия -99». Н. Новгород, ИФМ РАН. 1999. С.404−410.
- Рехвиашвили C.LII. Теоретический анализ модуляционного и фрикционного режимов атомно-силового микроскопа // Микросистемная техника. 2001. № 12. С.25−30.
- Gotsmann В, Anczykowski В., Seidel С., Fuchs Н. Determination of tip-sample interaction forces from measured dynamic force spectroscopy curves // Appl. Surf. Sci. 1999. V.140. P.314−319.
- Рехвиашвили С.Ш. Особенности силовых взаимодействий в бесконтактном режиме атомно-силового микроскопа // Письма в ЖТФ. 2000. Т.26. № 12. С.46−50.
- Mate С.М., McClalland G.M., Erlandsson R., Chiang S. Atomic-scale friction of a tungsten tip on a graphite surface // Phys. Rev. Lett. 1987. V.59. N. l7. P. l942−1945.
- Holscher H., Schwarz U.D., Weisendanger R. Modeling of the scan process in lateral force microscopy // Surf. Sci. 1997. V.375. N.2/3. P.395−402.
- Труэлл P., Эльбаум Ч., Чик Б. Ультразвуковые методы в физике твердого тела. М.: Мир, 1972. — 308 с.
- Грешников В.А., Дработ Ю. Б. Акустическая эмиссия. Применение для испытаний материалов и изделий. М.: Стандартиздат, 1976. -272 с.
- Kolosov О., Yamanaka К. Nonlinear detection of ultrasonic vibrations in an atomic force microscope // Jap. J. Appl. Phys. 1993. Pt.2. V.32. N.8A. P.1095−1098.
- Rabe, U., Arnold, W. Acoustic Microscopy by Atomic Force Microscopy // Appl. Phys. Lett. 1994. V.64. N.12. P. 1493−1495.
- Rabe, U., Dvorak, M., Arnold, W. The Atomic Force Microscope as a Near-field Probe for Ultrasound // Thin Solid Films. 1995. V.264. P. 165.
- Efimov A.E., Saunin S.A. Atomic Force Acoustic Microscopy as a tool for polymer elasticity analysis // Proceeding of the All-Russia Conference «Scanning probe microscopy-2002», N. Novgorod, IPM RAS. 2002. P.79−81.
- В urn ham N. A., Kulik A. J. Surface Forces and Adhesion. Handbook of Micro and Nanotribology. CRC Press, Boca Raton, 1997. P.21.
- Быков В.А., Медведев Б. К., Соколов Д. Ю. Мультимодовый сверхвысо-ковакуумный СЗМ SOLVER-UHM // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия-99». И. Новгород, ИФМ РАН. 1999. С.320−326.
- Влах И., Сингхал К. Машинные методы анализа и проектирования электронных схем. М.: Радио и связь, 1988. — 560 с.
- Букингем М. Шумы в электронных приборах и системах.-М.: Мир, 1986. -399 с.
- Марчук Г. И. Методы вычислительной математики,— М.: Наука, 1989. -608 с.
- Покропивный А.В., Покропивный В. В., Скороход В. В. Моделирование влияния радиуса кривизны на чувствительность атомно-силового микроскопа//ЖТФ. 1997. Т.67. № 12.С. 70−75.
- Davies J.H., Hyldgaard P., Hershfield S., Wilkins J.W. Classical theory of shot noise in resonant tunneling //Phys.Rev.B. 1992.V.46. N.15.P.9620−9633.
- Mizes H.A., Park S., Harrison W.A. Multiple-tip interpretation of anomalous scanning-tunneling-microscopy images of layered materials // Phys. Rev. B. 1987. V.36. N.8. P.4491−4494.
- Flatte M.E., Byers J.M. Theory of a scanning tunneling microscope with a two-protrusion tip //Phys. Rev. B. 1996. V.53. N.16. P. 10 536−10 539.
- Прохоров B.B., Клинов Д. В., Демин B.B. Методологические особенности наблюдения ДНК в атомно-силовой микроскопии // Биоорганическая химия. 1999. Т.25. № 3. С.234−237.
- Рехвиашвили С.Ш. Применение вейвлет-преобразования для обработки изображений в атомно-силовом микроскопе // Письма в ЖТФ. 2002. Т.28. № 6. С.46−50.
- Астафьева Н.М. Вейвлет-анализ: основы теории и примеры применения //УФН. 1996. Т.166. № 11. С.1145−1170.
- Дремин И.М., Иванов О. В., Нечитайло В. А. Вейвлеты и их применение //УФК 2001. Т. 171. № 5. С.465−501.
- Goodman F.O., Garcia N. Roles of the attractive an repulsive forces in atomic-force microscopy // Phys. Rev. B. 1991. V.43. N.6. P.4728−4731.
- Burnham N.A., Colton R.J., Pollock H.M. Interpretation of force curves in force microscopy // Nanotechnology. 1993. V.4. N.2. P.64−80.
- Епифанов Г. И. Физика твердого тела. М.: Высш. шк., 1977. 288 с.
- Schwartz U.D., Allers W., Gensterblum G., Pireaux J.-J., Wiesendanger R. Growth of Сбо thin films oil GeS (OOl) stadied by scanning force microscopy //Phys. Rev. B. 1995. V.52. N.8. P.5967−5976.
- Адамсон А. Физическая химия поверхностей. M.: Мир, 1979. — 568 с.
- Быков В.А., Лосев В. В., Саунин С. А. Емкостная методика сканирующей силовой микроскопии в исследовании распределения легирующей примеси // Материалы Всероссийского совещания «Зондовая микроскопия -99». Н. Новгород, ИФМ РАН. 1999. С.134−140.
- Иоссель Ю.Я., Коганов Э. С., Струнский М. Г. Расчет электрической емкости. Л.: Энергоиздат. 1981. — 287 с.
- Ringger М., Hidber H.R., Schlogl R., Oelhafen P., Gunterodt H.-J. Nanometer lithography with the scanning tunneling microscope // Appl. Phys. Lett. 1985. V.46. N.9. P.832−834.
- Неволин B.K. Физические основы туннельно-зондовой нанотехнологии // Электронная промышленность. 1993. № 10. С. 20.
- Dagata J.A., Schnier J., Harary H.H., Evans C.J., Postek M.T., Bennett J. Modification of hydrogen-passivated silicon by a scanning tunneling microscope operating in air // Appl. Phys. Lett. 1990. V.56. N.20. P.2001−2003.
- Nagahara L.A., Thundat Т., Lindsay S.M. Nanolithography on semiconductor surface under an etching solution // Appl. Phys. Lett. 1990. V.57. N3. P.270−272.
- Thundat Т., Nagahara L.A. Oden P. L, Lindsay S.M., George M.A., Glaunsinger W.S. Modification of tantalum surface by scanning tunneling microscopy in an electrochemical cell // J. Vac. Sci. Tech. A. 1990. V.8. N.4. P.3537−3541.
- Голов Е.Ф., Михайлов Г. М., Редькин A.H., Фиошко A.M. Зондовая на-нолитография на пленках аморфного гидрогенизированного углерода // Микроэлектроника. 1998. Т.27. № 2. С.97−102.
- Гудман Ф., Фахмаи Г. Динамика рассеяния газа поверхностью. М.: Мир, 1980.-423 с.