При объединении двух /7-л-переходов (ТУ = 2) а1 и а2 и одного изолирующего перехода р-Ох (N = 2) а3 с функциональными частями, указанными в уравнении (5.7) [115]:
или при объединении транзистора л-р-л-типа (N = 3) а1а2 и одного изолирующего перехода р-Ох (N = 2) а3 с функциональными частями, указанными в уравнении:
получается модель МОП-транзистора размерностью N = 4 (рис. 5.11).
Рис. 5.11. Представление модели МОП-транзистора размерностью N = 4: а) в виде графа, б) в виде формулы.
Генерация наноструктур МОП-транзистора (N = 4) как схем переходной наносхемотехники (этапы 2 и 3).
Для генерации наноструктур МОП-транзистора на основе его общей модели воспользуемся числовым алгоритмом, использованным при генерации структур биполярного транзистора (разд. 5.1.2, табл. 5.1).
При кодировании типов переходов а, (/ = 1, …Я, где R — число переходов в структуре), введем следующую цифровую кодировку:
Структурные формулы общих моделей элементов будут соответствовать Я-разрядным числам в системе счисления с основанием 4.
Тип перехода (N = 2; R = 1; N — число вершин в модели, то есть физических областей в структуре; R — количество ребер в модели, то есть число переходов в структуре) будет кодироваться числом (табл. 5.5). При R = 1 оно принимает значения от 1 до 4 .
Генерация кодов для модели перехода {N = 2, R = 1). Общий алгоритм Таблица 5.5.
*1. | а1. | а1. | а1. |
1(->). | *. | 3 (=>). | 4 (<=). |
Пусть ах = р 1 — п2. Тогда по только что описанным правилам:
- 1) код 1 соответствует структурной формуле рх -> п2 и означает, что область рх содержит область п2 (внутренний переход);
- 2) код 2 соответствует структурной формуле рг-> п2и означает, что область п2 содержит область рх (внутренний переход);
- 3) код 3 соответствует структурной формуле рх => п2 и означает, что область п2 расположена на области рх (поверхностный переход);
- 4) код 4 соответствует структурной формуле рх <= п2 и означает, что область рх расположена на области п2 (поверхностный переход).
Типы биполярных транзисторов (N = 3, R = 2) описываются числами аха2 (табл. 5.6). Несложные вычисления дают 16 чисел, структурных формул и соответствующих им 16 моделей структур биполярного транзистора. Структуры, соответствующие этим кодам при генерации структур биполярного транзистора, см. в таблице 5.1.
Генерация кодов для модели биполярного транзистора (Л/ = 3, R = 2). Общий алгоритм Таблица 5.6.
Типы МОП-транзисторов (N = 4, R = 3) описываются числами °1°2аз (табл. 5.7).
Для R = 3 количество структурных формул и соответствующих им структур равно 64.
Генерация кодов для модели МОП-транзистора {N = 4, R = 3). Общий алгоритм Таблица 5.7.
а1а2а3. | а1а2а3. | а1а2а3. | а, а2а3 |
| | | |
| | | |
| | | |
| Ох" . ft. п°* <- р1 -? п™ | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
| | | |
Если.
a, =np ;
. 1 Grid.
a2=P ~ n; a3 = p1 — Ox‘n,
то коду 214 (табл. 5.7) соответствует структурная формула:
которая, в свою очередь, является моделью классической интегральной структуры МОП-транзистора.
Промоделируем структуру МОП-транзистора в нанодиапазоне и определим ее технические параметры.