Рентгеноэмиссионный анализ. 
Технические измерения и приборы

Качественный анализ. Поскольку разность энергий электронных уровней (АЕ) атома индивидуальна для любого элемента, по положению рентгеновской линии в спектре их можно идентифицировать. Положение линии в эмиссионном рентгеновском спектре легко оценить, используя закон Г. Мозли (Н. Moseley — английский физик, 1887 — 1915).

где v — частота рентгеновской линии; т_е — масса электрона; е — заряд электрона; h — постоянная Планка; Z — атомный номер элемента; ?- постоянная экранирования; я₀ ^{и п} ~ главные квантовые числа начального и конечного состояний.

Положение края поглощения также характерно для каждого элемента. Поэтому двух измерений интенсивности прошедшего излучения при длинах волн, ограничивающих край поглощения, оказывается достаточно для идентификации элемента. Предел обнаружения составляет 0,001 % мае. доли или 0,01−1 мкг/г.

Количественный анализ. Количественный РЭА проводят методом градуировочного графика. Для рентгеноэмиссионного микроанализа используют внешний стандарт. При этом достаточно лишь одного образца сравнения. Диапазон определяемых концентраций компонента 0,01 — 100% мае. доли. Относительное стандартное отклонение результатов микроанализа составляет 0,15 — 0,2.