ΠΡΡΠ³ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π±ΠΎΡΡ
Π‘ΠΎΠΊΡΠ°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠΈΠΊΠ»Π° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΠΈΡ ΠΊ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½ΠΈ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠ³ΠΎ ΠΎΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠ° ΠΈ, ΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΡΠ΄ΠΎΠ΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡ ΡΠ΅Π±Π΅ΡΡΠΎΠΈΠΌΠΎΡΡΡ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ. Π ΡΡΠΎΠΌ ΡΠΎΡΡΠΎΠΈΡ Π³Π»Π°Π²Π½ΠΎΠ΅ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·Π°ΡΠΈΠΈ. ΠΡΠΎΠΌΠ΅ ΡΠΎΠ³ΠΎ, Π² Π°Π²ΡΠΎΠΌΠ°ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½Π½ΠΎΠΌ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²Π΅ ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΠΈΠ·ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΡ ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²ΠΎ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°Π΅ΠΌΠΎΠΉ ΠΏΡΠΎΠ΄ΡΠΊΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΡΠΈΡΠΌΠΈΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π΅Π΅ Π²ΡΠΏΡΡΠΊΠ°, ΡΠ°ΠΊ ΠΊΠ°ΠΊ ΡΠΌΠ΅Π½ΡΡΠ°Π΅ΡΡΡ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΡΡΠ²ΠΎ ΡΡΠ±ΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
…
ΠΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°Ρ Π ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Ρ
, ΠΏΠΎΡΠ²ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Ρ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² Π-ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΡΡ ΡΡΠ°ΡΠΈΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ²Π° ΠΈΡ
ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΉ Π²Π·Π°ΠΈΠΌΠ½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΡΡΠ΅Π»ΡΡΠΈΠΈ: ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠ΅ ΠΎΠΆΠΈΠ΄Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΡΠ»Ρ Π±ΠΎΠΊΠΎΠ²ΡΡ
ΠΏΠΈΠΊΠΎΠ², ΠΈΡ
Π΄ΠΈΡΠΏΠ΅ΡΡΠΈΠΈ, ΠΈ Ρ. ΠΏ. ΠΡΠΈ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ ΡΠΎΠ±ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΠΎ Π΄Π»Ρ ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, Π½ΠΎ Π½Π΅ ΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΠΎΠ² Π½Π° ΠΈΡ
ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅. ΠΠΎΠΏΡΠΎΡΡ ΠΎ Π½Π°ΠΈΠ»ΡΡΡΠΈΡ
(Π½Π°ΠΈΡ
ΡΠ΄ΡΠΈΡ
) ΠΏΠ°ΡΠ°Ρ
Π-ΠΏΠΎΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠ΅ΠΉ, ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΠΌΡΡ
Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΡΠΈΠ½Ρ
ΡΠΎΡΠΈΠ³Π½Π°Π»Π°…
ΠΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°Ρ ΠΠ»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΡΠ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ»ΠΈΡΠ° ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ «Mycom CLM 152» ΠΠ°Π½Π½ΡΠΉ ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄Π½Π°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ Π΄Π»Ρ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ ΠΈΠ»ΠΈ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π° ΡΠ΅Π΄ΠΎΠΊΡ (ΠΎΠΊΠΈΡΠ»ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎ-Π²ΠΎΡΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΏΠΎΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ°Π»Π°) Π² ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡΡ
ΠΏΡΠΎΠΌΡΡΠ»Π΅Π½Π½ΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ΄ΡΠ»ΡΠ½Π°Ρ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΡ ΠΈ ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠΈΠΌΠΎΡΡΡ Ρ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΡΠΈΠΏΠ°ΠΌΠΈ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ² ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°ΡΡ ΠΎΠΏΡΠΈΠΌΠ°Π»ΡΠ½ΡΡ Π°Π΄Π°ΠΏΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΊ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΠΌ Π·Π°Π΄Π°ΡΠ°ΠΌ ΠΈΠ·ΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΠΈ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ»Ρ…
Π£ΡΠ΅Π±Π½ΠΈΠΊ ΠΠ°Π±Π°ΡΠΈΡΠ½ΡΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΡ ΡΠ°ΡΡΡΠΈΡΡΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΏΠΎ ΡΠΎΡΠΌΡΠ»Π°ΠΌ. ΠΡΠ±ΠΎΡ ΠΈ ΠΎΠ±ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ Π±Π»ΠΎΠΊΠ°. Π Π°ΡΡΠ΅Ρ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠ΅ΠΆΠΈΠΌΠ° ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ. ΠΠ°Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°ΡΡΡ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ΄Π΅ Π0 — Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΠΌΠΌ; L0 — ΠΌΠ΅Π½ΡΡΠΈΠΉ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅Ρ ΠΏΠ»Π°ΡΡ, ΠΌΠΌ. ΠΠ΄Π΅ L1 — ΡΠΈΡΠΈΠ½Π° Π±Π»ΠΎΠΊΠ°, ΠΌΠΌ; Π’ΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΡ ΠΠ’357Π 12 0,07. ΠΠΈΠΊΡΠΎΡΡ
Π΅ΠΌΡ Π155ΠΠ3 10 0,125. Π1 — Π³Π»ΡΠ±ΠΈΠ½Π° Π±Π»ΠΎΠΊΠ°, ΠΌΠΌ. Π1 — Π²ΡΡΠΎΡΠ° Π±Π»ΠΎΠΊΠ°, ΠΌΠΌ; ΠΠΎΠ½Π΄Π΅Π½ΡΠ°ΡΠΎΡΡ ΠΠΠ‘ 12; H1=98+40*1=138ΠΌΠΌ=0,138 ΠΌ.
ΠΡΡΡΠΎΠ²Π°Ρ Π Π΅Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΈΡ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° Π£Π Ρ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠΎΠΌ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°ΡΠΎΡΠ° ΠΊΠΎΠΌΠ°Π½Π΄ Π£Π, Π½Π΅ ΡΡΠ΅Π±ΡΡΡΠΈΠΌ Π²ΡΡΠΈΡΠ»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠΈΡΠ»Π° ΡΠ»Π΅Π½ΠΎΠ² ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΡΠΈΠΈ Π½Π° ΠΊΠ°ΠΆΠ΄ΠΎΠΌ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ²Π°Π»Π΅ Π£Π, ΡΠ½ΠΈΠΆΠ°Π΅Ρ ΡΡΠ΅Π±ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠΎ ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΏΡΠΎΠΈΠ·Π²ΠΎΠ΄ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΠ Π΄ΠΎ 0,54 MIPS ΠΈ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΠ, ΠΏΡΠ°ΠΊΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈ Π½Π΅ ΡΡ
ΡΠ΄ΡΠ°Ρ ΠΏΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ ΡΡΡΠ΅ΠΊΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΠΈ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° Π£Π. ΠΡΠΎ ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΠ΅Ρ ΡΠ΅Π°Π»ΠΈΠ·ΠΎΠ²Π°ΡΡ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΡΠ΅ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΡ Π£Π ΠΏΡΡΠ΅ΠΌ ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈΠΌΠ΅ΡΡΠ΅Π³ΠΎΡΡ Π² ΠΠ‘ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΏΡΠΎΡΠ΅ΡΡΠΎΡΠ°, Π² ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠ΅…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΡΠ³ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π½ΠΎΠ²ΠΈΠ΄Π½ΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ»ΡΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄Π½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΡΡ
Π³Π°Π·ΠΎΠ²ΡΡ
ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ²Π»ΡΡΡΡΡ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΠΠΠ-ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ. Π Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅Π΅ Π²ΡΠ΅ΠΌΡ Π½Π°ΠΈΠ±ΠΎΠ»Π΅Π΅ ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½Ρ ΡΠ΅Π½ΡΠΎΡΡ Π½Π° ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π΅ ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ Pd (Pt)/Si02(Si3N4)/Si (SiC). ΠΠ½ΠΈ ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡ ΠΎΡΠ΅Π½Ρ Π½ΠΈΠ·ΠΊΠΈΠΌ ΠΏΠΎΡΠΎΠ³ΠΎΠΌ ΡΡΠ²ΡΡΠ²ΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ ΠΊ Π²ΠΎΠ΄ΠΎΡΠΎΠ΄Ρ (ΠΌΠ΅Π½Π΅Π΅ 1 ΡΡΡ). Π ΡΠ»ΡΡΠ°Π΅ ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΡ Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΏΠΎΠ΄Π»ΠΎΠΆΠΊΠΈ ΠΊΠ°ΡΠ±ΠΈΠ΄Π° ΠΊΡΠ΅ΠΌΠ½ΠΈΡ, ΠΏΠΎΠ·Π²ΠΎΠ»ΡΡΡΠ΅Π³ΠΎ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠ΅ Π΄ΠΎ 500 Β°C, ΠΎΠ½ΠΈ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ Π±ΡΡΡ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΏΡΠΎΠ±Π°ΡΠΈΡ ΡΠ΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΠΎΠ² ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΏΡΠ±Π»ΠΈΠΊΠ°ΡΠΈΠΈ. ΠΠ°ΡΠ΅ΡΠΈΠ°Π»Ρ, ΡΠΎΠ΄Π΅ΡΠΆΠ°ΡΠΈΠ΅ΡΡ Π² Π½Π°ΡΡΠΎΡΡΠ΅ΠΉ Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅, Π΄ΠΎΠΊΠ»Π°Π΄ΡΠ²Π°Π»ΠΈΡΡ Π½Π° Π΅ΠΆΠ΅Π³ΠΎΠ΄Π½ΡΡ
Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ
ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΡΡ
Π€Π€ ΠΠΠ£, Π½Π° Y ΠΡΠ΅ΡΠΎΡΡΠΈΠΉΡΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½ΠΈΠΊΠ΅ (ΠΠ°Ρ
Π°ΡΠΊΠ°Π»Π°, 2008), Π½Π° VIII ΠΠ΅ΠΆΠ΄ΡΠ½Π°ΡΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠΈ ΠΏΠΎ ΠΠΎΠ»Π½ΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ³ΠΈΠ΄ΡΠΎΠ΄ΠΈΠ½Π°ΠΌΠΈΠΊΠ΅ ΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΆΠΈΠ΄ΠΊΠΎΡΡΠΈ. ΠΠΎΠ»Π³ΠΎΠΆΠΈΠ²ΡΡΠΈΠ΅ ΠΏΠ»Π°Π·ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΈ ΠΌΠ°Π»ΠΎΠΈΠ·ΡΡΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ ΡΠΎΡΠΌΡ Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΡ
…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠΎΠ΄Π°Π²Π»ΡΡΡΠ΅Π΅ Π±ΠΎΠ»ΡΡΠΈΠ½ΡΡΠ²ΠΎ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌ ΠΊΠ²Π°Π½ΡΠΎΠ²ΠΎΠΉ ΠΌΠ΅Ρ
Π°Π½ΠΈΠΊΠΈ, ΠΊΠ°ΠΊ ΠΏΡΠ°Π²ΠΈΠ»ΠΎ, Π½Π΅ ΠΈΠΌΠ΅Π΅Ρ ΡΠΎΡΠ½ΡΡ
Π°Π½Π°Π»ΠΈΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π§Π°ΡΡΡ ΡΠ°ΠΊΠΈΡ
Π·Π°Π΄Π°Ρ ΡΠ΅ΡΠ°Π΅ΡΡΡ ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΡΠΏΡΠΎΡΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΠΌΠ°ΡΠ΅ΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ, Π½Π΅ ΠΎΡΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΠΈΡ
Π²ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡ ΠΏΡΠΎΠ±Π»Π΅ΠΌΡ, ΠΈΠ»ΠΈ Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅Π΄Π»Π΅Π½Π½ΠΎ ΡΡ
ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ
ΡΡ ΡΡΠ΄ΠΎΠ² ΡΠ΅ΠΎΡΠΈΠΈ Π²ΠΎΠ·ΠΌΡΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ. Π‘ ΡΠ°Π·Π²ΠΈΡΠΈΠ΅ΠΌ ΠΊΠΎΠΌΠΏΡΡΡΠ΅ΡΠ½ΡΡ
ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΎΠ² Π½Π°ΡΡΠ½ΡΡ
ΠΈΡΡΠ»Π΅Π΄ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΉ ΡΡΠ°Π½ΠΎΠ²ΠΈΡΡΡ ΠΎΡΠ΅Π²ΠΈΠ΄Π½ΡΠΌ, ΡΡΠΎ, ΠΏΡΠΈΠΌΠ΅Π½ΡΡ ΠΠΠ, ΠΌΡ ΡΠΏΠΎΡΠΎΠ±Π½Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠΈ ΠΏΡΠΎΠ΅ΠΊΡΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠΈ ΠΌΠΎΡΠ½ΡΡ
ΠΠ§ ΠΈ Π‘ΠΠ§ ΠΠΠ ΡΡΠ°Π½Π·ΠΈΡΡΠΎΡΠ½ΡΡ
ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, Π° ΠΈΠΌΠ΅Π½Π½ΠΎ, ΠΏΡΠΈ Π²ΡΠ±ΠΎΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ½ΡΡΡΡΠΊΡΠΈΠΈ ΠΈ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ΅ ΡΠΎΠΏΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ, ΠΈΡΡ
ΠΎΠ΄ΡΡ, ΠΏΡΠ΅ΠΆΠ΄Π΅ Π²ΡΠ΅Π³ΠΎ, ΠΈΠ· ΡΡΠ΅Π±ΡΠ΅ΠΌΡΡ
Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ²Π Π²ΡΡ
, ΠΠ£Π , Π³|Ρ. ΠΠ½Π΅ΡΠ³Π΅ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΡ, Π² ΡΠ²ΠΎΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ, Π² Π·Π½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ ΡΡΠ΅ΠΏΠ΅Π½ΠΈ ΠΎΠ³ΡΠ°Π½ΠΈΡΠΈΠ²Π°ΡΡΡΡ ΠΌΠ°Π»ΠΎΡΠΈΠ³Π½Π°Π»ΡΠ½ΡΠΌΠΈ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠ°ΠΌΠΈ — Π²Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ — Π‘Π²Ρ
= Π‘ΡΠ, Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ — Π‘Π²ΡΡ
== Π‘22 ΠΈ? ΠΏΡΠΎΡ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΉ — Π‘ΠΏΡΠΎΡ
= Π‘ (2ΠΈ Π΅ΠΌΠΊΠΎΡΡΡΠΌΠΈ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΡΠΈΠΌΠ΅Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ Π°Π»Π³ΠΎΡΠΈΡΠΌΠ° ΠΊΠΎΠΌΠΌΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠΈΠ»ΠΎΠ²ΡΡ
ΠΊΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΠΠΠ§, Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ· Π΄Π²ΡΡ
ΠΊΠΎΠΌΠΏΠ»Π΅ΠΊΡΠΎΠ² ΠΊΠ»ΡΡΠ΅ΠΉ ΠΏΠΎ ΡΡΠ°Π΄ΠΈΡΠΈΠΎΠ½Π½ΡΠΌ ΠΌΠΎΡΡΠΎΠ²ΡΠΌ ΡΡ
Π΅ΠΌΠ°ΠΌ Π½Π° ΠΏΠΎΠ»Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠΏΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅ΠΌΡΡ
ΠΊΠ»ΡΡΠ°Ρ
, ΠΎΠ±Π΅ΡΠΏΠ΅ΡΠΈΠ²Π°Π΅Ρ ΡΠΈΠ½ΡΡΠΎΠΈΠ΄Π°Π»ΡΠ½ΠΎΡΡΡ ΠΊΡΠΈΠ²ΡΡ
Π²Ρ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈ Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠΊΠΎΠ² ΠΏΡΠ΅ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠ²Π°ΡΠ΅Π»Ρ ΠΏΠΎ ΡΡΠ΅Π΄Π½ΠΈΠΌ Π·Π½Π°ΡΠ΅Π½ΠΈΡΠΌ, ΡΠ΅Π³ΡΠ»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ΅ΡΠ΅Π²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½ΡΠ° ΠΌΠΎΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½ΠΎΡΡΡ ΡΠ΅ΠΊΡΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΠΈΠΈ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΎΠΉ ΡΠ½Π΅ΡΠ³ΠΈΠΈ Π² ΠΏΠΈΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΠ΅ΡΡ, Π° ΡΠ°ΠΊΠΆΠ΅ ΡΠΎΠ·Π΄Π°Π΅Ρ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ Π Π΅Π·ΡΠ»ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΡΠΌ ΠΈ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»ΠΈΡΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΠΠ, ΠΠ ΠΠ°Π½Π³Π΅, Π€Π’Π GaAs ΠΠ’Π¨ ΠΈ ΠΌΠ΅ΡΠΎΠ΄ΠΈΠΊΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΡ ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΡΠΈΠ·ΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΡΡΡΡΠΊΡΡΡ, ΠΈΠ·Π»ΠΎΠΆΠ΅Π½Π½ΡΠ΅ Π² Π΄ΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ, ΠΏΠΎΠ»ΡΡΠ΅Π½Ρ Π»ΠΈΡΠ½ΠΎ Π°Π²ΡΠΎΡΠΎΠΌ. ΠΠ²ΡΠΎΡΠΎΠΌ Π±ΡΠ»Π° ΡΠ°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ°Π½Π° ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌΠ° «WAXNEW». Π Π°Π·ΡΠ°Π±ΠΎΡΠΊΠ° ΠΏΡΠΎΠ³ΡΠ°ΠΌΠΌ ΡΠ°ΡΡΠ΅ΡΠ° Π‘ΠΠ§ ΠΌΠΎΠ½ΠΎΠ»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΡ
Π΅ΠΌ «ΠΠΠ‘ΠΠΠ -2» ΠΈ «SAPR» Π²ΡΠΏΠΎΠ»Π½Π΅Π½Π° Π°Π²ΡΠΎΡΠΎΠΌ (Π² ΡΠ°ΡΡΠΈ ΠΌΠΎΠ΄Π΅Π»Π΅ΠΉ ΠΏΠ°ΡΡΠΈΠ²Π½ΡΡ
ΡΠ»Π΅ΠΌΠ΅Π½ΡΠΎΠ²) ΡΠΎΠ²ΠΌΠ΅ΡΡΠ½ΠΎ Ρ Π. Π. ΠΡΠ»ΡΠ΅Π²ΡΠΌ ΠΈ Π. Π€. Π‘ΠΊΡΠΈΠΏΠ½ΠΈΠΊΠΎΠ²ΠΎΠΉ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΄Π΅ΠΊΠ²Π°ΡΠ½ΠΎΠ΅ ΠΎΠΏΠΈΡΠ°Π½ΠΈΠ΅ ΠΊΠΎΡΠΏΡΡΠΊΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎ-ΠΎΠΏΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΡΠ²ΠΎΠΉΡΡΠ² ΡΠ°ΠΌΡΡ
ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΡΠΈΠΏΠΎΠ² ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΡ
ΠΈ ΠΌΠ°Π³Π½ΠΈΡΠ½ΡΡ
ΠΏΠΎΠ»Π΅ΠΉ, ΠΎΠ±Π»Π°Π΄Π°ΡΡΠΈΡ
ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΡΡ, Π΄ΠΎΡΡΠΈΠ³Π½ΠΈΡΠΎ Π·Π° ΡΡΠ΅Ρ ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΠΎΠ²Π°Π½ΠΈΡ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΡΡ
ΠΊΠΎΠΎΡΠ΄ΠΈΠ½Π°Ρ, Π² ΠΊΠ°ΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅ ΠΊΡΠΈΠ²ΠΎΠ»ΠΈΠ½Π΅ΠΉΠ½ΠΎΠΉ ΠΎΡΠΈ ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
ΠΈΡΠΏΠΎΠ»ΡΠ·ΡΠ΅ΡΡΡ Π»Π΅ΠΆΠ°ΡΠ°Ρ Π² ΡΡΠ΅Π΄Π½Π΅ΠΉ ΠΏΠ»ΠΎΡΠΊΠΎΡΡΠΈ ΠΎΡΠ΅Π²Π°Ρ ΡΡΠ°Π΅ΠΊΡΠΎΡΠΈΡ ΠΏΡΡΠΊΠ° Π·Π°ΡΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ
ΡΠ°ΡΡΠΈΡ. ΠΡΠΈ ΡΡΠΎΠΌ Π΅ΡΡΠ΅ΡΡΠ²Π΅Π½Π½ΡΠΌ ΠΎΠ±ΡΠ°Π·ΠΎΠΌ ΡΠ°Π·ΡΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΡ ΡΡΡΠ΄Π½ΠΎΡΡΠΈ, ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½Π½ΡΠ΅ Ρ ΠΎΡΠΊΠ°Π·ΠΎΠΌ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ΅ΡΠ²ΠΎΠ½Π°ΡΠ°Π»ΡΠ½ΡΠΉ ΠΈΠ½ΡΠ΅ΡΠ΅Ρ ΠΊ ΠΠΠ ΡΠ΅Ρ
Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΠΈ Π±ΡΠ» Π²ΡΠ·Π²Π°Π½ Π½Π΅ΠΎΠ±Ρ
ΠΎΠ΄ΠΈΠΌΠΎΡΡΡΡ ΠΏΠΎΠ²ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΡΡΠΎΠΉΡΠΈΠ²ΠΎΡΡΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² ΠΊ ΠΈΠΌΠΏΡΠ»ΡΡΠ½ΠΎΠΌΡ ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·ΠΈΡΡΡΡΠ΅ΠΌΡ Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΡ, ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠΌΡ ΠΈΠ· ΠΎΡΠ½ΠΎΠ²Π½ΡΡ
ΠΏΠΎΡΠ°ΠΆΠ°ΡΡΠΈΡ
ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ² ΡΠ΄Π΅ΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ Π²Π·ΡΡΠ²Π°. ΠΠ·Π²Π΅ΡΡΠ½ΠΎ, ΡΡΠΎ Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ ΠΏΠΎΠ΄ΠΎΠ±Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ Π½Π° ΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΡΠ»Π΅ΠΊΡΡΠΎΠ½Π½ΡΡ
ΠΏΡΠΈΠ±ΠΎΡΠΎΠ² Π² ΠΏΠ΅ΡΠ²ΡΡ ΠΎΡΠ΅ΡΠ΅Π΄Ρ ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ Ρ Π³Π΅Π½Π΅ΡΠ°ΡΠΈΠ΅ΠΉ Π² ΡΠΎΠΊΠΎΠΏΡΠΎΠ²ΠΎΠ΄ΡΡΠΈΡ
ΠΊΠ°Π½Π°Π»Π°Ρ
Π²ΡΡΠΎΠΊΠΎΠΉ ΠΊΠΎΠ½ΡΠ΅Π½ΡΡΠ°ΡΠΈΠΈ…
ΠΠΈΡΡΠ΅ΡΡΠ°ΡΠΈΡ ΠΠ½ΡΡΡΡΠΌΠ΅Π½ΡΠ°Π»ΡΠ½Π°Ρ ΠΏΠΎΠ³ΡΠ΅ΡΠ½ΠΎΡΡΡ Π°ΠΊΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΡΠ²ΡΠ·Π°Π½ΠΎ ΡΠΎ ΠΌΠ½ΠΎΠΆΠ΅ΡΡΠ²ΠΎΠΌ ΡΠ°ΠΊΡΠΎΡΠΎΠ², ΠΏΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΠΈΡ
Π² ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΎΡΠ½ΡΠ΅ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠΈ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΠΎΠ³ΠΎ ΡΠΎΠ΄Π° Π½Π΅ΡΡΠ°Π±ΠΈΠ»ΡΠ½ΠΎΡΡΠΈ, ΠΈ, Ρ.ΠΎ., ΠΎΠΊΠ°Π·ΡΠ²Π°ΡΡΠΈΡ
Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΠ΅ Π½Π° Π²ΡΡ
ΠΎΠ΄Π½ΡΠ΅ Ρ
Π°ΡΠ°ΠΊΡΠ΅ΡΠΈΡΡΠΈΠΊΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ°. ΠΠΎΡΡΡΠΈΡΠΈΠ΅Π½Ρ ΠΏΠ΅ΡΠ΅Π΄Π°ΡΠΈ Π°ΠΊΡΠ΅Π»Π΅ΡΠΎΠΌΠ΅ΡΡΠ° ΡΠ²Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΡΠ½ΠΊΡΠΈΠ΅ΠΉ ΠΌΠ½ΠΎΠ³ΠΈΡ
ΠΏΠ΅ΡΠ΅ΠΌΠ΅Π½Π½ΡΡ
, ΠΊΠ°ΠΆΠ΄Π°Ρ ΠΈΠ· ΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡ
Π·Π°Π²ΠΈΡΠΈΡ ΠΎΡ ΡΠ²ΠΎΠΈΡ
ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ², ΠΏΠΎΠ΄Π²Π΅ΡΠΆΠ΅Π½Π½ΡΡ
Π²Π»ΠΈΡΠ½ΠΈΡ Π²Π½Π΅ΡΠ½ΠΈΡ
Π²ΠΎΠ·Π΄Π΅ΠΉΡΡΠ²ΠΈΠΉ. ΠΡΠ»ΠΈ Π·Π°ΠΏΠΈΡΠ°ΡΡ ΠΏΠΎΠ»Π½ΡΠΉ…
ΠΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°Ρ 03. ΠΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠ»ΠΈΠΌΠ°Ρ Π½Π° ΡΠ°Π±ΠΎΡΠ΅ΠΌ ΠΌΠ΅ΡΡΠ΅ ΠΎΠΏΡΠ΅Π΄Π΅Π»ΡΠ΅ΡΡΡ ΡΠ΅ΠΌΠΏΠ΅ΡΠ°ΡΡΡΠΎΠΉ, ΠΎΡΠ½ΠΎΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΠΎΠΉ Π²Π»Π°ΠΆΠ½ΠΎΡΡΡΡ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ
Π°, ΡΠΊΠΎΡΠΎΡΡΡΡ Π΄Π²ΠΈΠΆΠ΅Π½ΠΈΡ Π²ΠΎΠ·Π΄ΡΡ
Π° ΠΈ ΠΈΠ½ΡΠ΅Π½ΡΠΈΠ²Π½ΠΎΡΡΡΡ ΡΠ΅ΠΏΠ»ΠΎΠ²ΠΎΠ³ΠΎ ΠΈΠ·Π»ΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ. ΠΠ½Π°ΡΠΈΡΠ΅Π»ΡΠ½ΡΠ΅ ΠΊΠΎΠ»Π΅Π±Π°Π½ΠΈΡ ΠΏΠ°ΡΠ°ΠΌΠ΅ΡΡΠΎΠ² ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠ»ΠΈΠΌΠ°ΡΠ° ΠΏΡΠΈΠ²ΠΎΠ΄ΡΡ ΠΊ Π½Π°ΡΡΡΠ΅Π½ΠΈΡ ΡΠ΅ΡΠΌΠΎΡΠ΅Π³ΡΠ»ΡΡΠΈΠΈ ΠΎΡΠ³Π°Π½ΠΈΠ·ΠΌΠ°. ΠΠ΅Π±Π»Π°Π³ΠΎΠΏΡΠΈΡΡΠ½ΡΠ΅ ΠΌΠΈΠΊΡΠΎΠΊΠ»ΠΈΠΌΠ°ΡΠΈΡΠ΅ΡΠΊΠΈΠ΅ ΡΡΠ»ΠΎΠ²ΠΈΡ ΠΌΠΎΠ³ΡΡ ΡΡΠ°ΡΡ ΠΏΡΠΈΡΠΈΠ½ΠΎΠΉ ΡΠ°Π·Π»ΠΈΡΠ½ΡΡ
Π·Π°Π±ΠΎΠ»Π΅Π²Π°Π½ΠΈΠΉ. ΠΡΠΎΡΠ΅Π΄ΡΡΠ½ΡΠΉ ΠΊΠ°Π±ΠΈΠ½Π΅Ρ ΠΏΡΠ΅Π΄ΡΡΠ°Π²Π»ΡΠ΅Ρ ΡΠΎΠ±ΠΎΠΉ ΠΏΠΎΠΌΠ΅ΡΠ΅Π½ΠΈΠ΅ ΡΠ°Π·ΠΌΠ΅ΡΠ°ΠΌΠΈ…
ΠΠΈΠΏΠ»ΠΎΠΌΠ½Π°Ρ