Исследование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями на пространственной трассе для процесса производства электронной техники
Диссертация
Использование межоперационных транспортирующих агрегатов с колесными носителями при геометро-силовом замыкании с пространственной направляющей на современных предприятиях микроэлектроники ограничивает отсутствие широких исследований таких сложных технических систем, а также необходимых для их проектирования и эксплуатации научно-обоснованных технических норм и методик, основанных не только… Читать ещё >
Список литературы
- Баранов Ю.Л. Автоматизация производства полупроводниковых приборов. Обзоры по электронной технике. Серия 2. Полупроводниковые приборы. М.: ЦНИИ Электроника, 1990. Вып. 4 (1556). 48 с.
- Назаров Г. В., Сатаров Г. Х. Транспортные и загрузочные системы микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1991. 67 с.
- Стасова О.М., Гузенкова Н. Д., Симонова A.M. и др. Основные этапы создания свободного от загрязнений полупроводникового производства. Зарубежная электронная техника, 1997. № 1. С. 15−39.
- Основные направления совершенствования контроля за загрязнениями. Экспресс-информация по зарубежной электронной технике, 2000. № 11. С. 1−3.
- Большаков Н.А., Литвинов Ю. М., Раскин А. А. и др. Новое в технологии обработке пластин кремния большого диаметра для изготовления СБИС. Зарубежная электронная техника, 2000. № 4. С. 17−20.
- Ясунага К. Чистые комнаты по производству полупроводниковых пластин. Денси дзайре, 1987. т. 26. № 8. С. 49−61 (Яп).
- Мацумото Г. Чистые системы транспортирования. Денси дзайре, 1987. т. 26. № 8. С. 62−68 (Яп).
- Блинов И.Г., Кожитов Л. В. Оборудование полупроводникового производства. М.: Машиностроение, 1986. 264 с.
- Блинов И.Г., Кожевников А. П. Основы комплексной механизации и автоматизации производственных процессов микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1977.
- Александрова А.Т., Ермаков Е. С. Гибкие производственные системы электронной техники. М.: Высшая школа, 1989.
- Егоров В.А. Транспортно-накопительные системы для ГПС. Л.: Машиностроение, 1989.-293 с.
- Сотников М.И. Выбор типа транспортно-накопительной системы ГПС для обработки корпусных деталей по безлюдной технологии. Дисс.. к-та техн. наук. М.: 1991.
- Иванов А.А. ГПС в приборостроении. М.: Машиностроение, 1988.
- Гибкая производственно-транспортная система на предприятии электронной промышленности. Реферативный журнал «Промышленный транспорт» (сводный том), 2001. № 4. С. 11.
- Мазеин П.Г., Сайфутдинов С. Р. Автоматизированные транспортно-накопительные системы машиностроительных производств: Текст лекций. В 2-частях. Часть 1. Челябинск: ЧГТУ, 1996. -54 с.
- Мазеин П.Г., Сайфутдинов С. Р. Автоматизированные транспортно-накопительные системы машиностроительных производств: Текст лекций. В 2-частях. Часть 1. Челябинск: ЧГТУ, 1998. -74 с.
- Сухихаре С. Классификация и выбор элементов м/о транспортировки и складирования. Отомэсён, 1985. т. 30. № 8. С. 137−148 (Яп).
- Nuberg S., Schardi W. Transport in flexiblen Fertigungssystemen. Werkstattstechnik, 1985. 75, № 8. P. 473−476.
- Кожевников А.П. Устройства автоматизации технологического оборудования микроэлектроники. М.: МИЭТ, 1985.
- Пертен Ю.А., Богуславский И. Н. Зарубежные конструкции напольных тележечных конвейеров. М., 1969. 38 с.
- Левинсон В.И. Транспортные устройства непрерывного действия. М.: Машгиз, 1960.
- Бондаренко Г. К. Разработка и исследование автоматизированных транспортно-конвейерных систем. Дисс.. к-та техн. наук. Львов, 1984.
- Power & Free-Systeme. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. № 11. P. 793−794 (Нем).
- Спиваковский A.O., Бржезовский С. И., Дьячков В. К. Транспортирующие машины. Атлас конструкций. М.: Машиностроение, 1969. 115 с.
- Подвесной конвейер с тремя рельсами. Реферативный журнал «Промышленный транспорт» (сводный том), 2002. № 5. С. 8.
- Разработка и исследование конвейерно-адресного комплекса и системы разгрузочно-погрузочных устройств и роботов-манипуляторов для АПЛ эпитаксии. Технический отчет по теме «Оборудование-7». Руководитель Лобиков Л. В. М., 1977. 41 с.
- Гребенкин В.З., Громов В. В., Осипова С. Д. и др. Транспортирующие устройства для межоперационного перемещения полупроводниковых пластин при производстве СБИС. Электронная промышленность, 1988. № 10. С. 24−26.
- Зиновьев Б.К., Ивацевич А. П., Ржанов В. Г. и др. Автоматический транспортный робот. Электронная промышленность, 1981. № 10. С. 102−103.
- Kobayashi Т. AGV system in FMS. Pobotto, Robot, 1984. № 44. P. 43−47.
- Козьмин П.С. Элеваторы, транспортеры и конвейеры. 4.1. Транспортные устройства с тяговым органом. Л. М.: ГНТИ по машиностроению, металлообработке и черной металлургии, 1932. — 428 с.
- Сперанский Б.А. Индустриальные конструкции транспортерных эстакад. Дисс.. к-татехн. наук. Свердловск, 1952.
- Никонов И.Я. Анализ средств механизации транспорта, трудоемких и тяжелых работ в текстильной промышленности. Дисс.. к-та техн. наук. М.: 1953.
- Багдасарян P.M., Никонов И. Я. О монорельсовом транспорте. Известия вузов. Машиностроение, 1976. № 10. С. 103−109.
- Багдасарян P.M. Исследование механизма передвижения пространственной монорельсовой дороги. Дисс.. к-татехн. наук. М.: 1982.
- Лейкехмахер Б.Я. Зарубежные конструкции монорельсовых дорог с закрытым профилем. М.: НИИинформтяжмаш, 1975. 34 с.
- Новые функции электрических подвесных дорог. Реферативный журнал «Промышленный транспорт» (сводный том), 2002. № 9. С. 15.
- Hangebahntradition mit Zukunft. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. № 11. P. 784−785 (Нем).
- Богачек A.3., Глухи Н. И. Однорельсовая подвесная дорога с автоматическим адресованием. Механизация и автоматизация производства, 1985. № 8. С. 8−9.
- Автоматизация транспортных систем с монорельсовыми подвесными трассами. Реферат. Исп. Моторный П. И. М.: МИЭТ, 1986. 33 с.
- Elektrohangebahnen. F+H: Fordern und Heben. 2000. 50. № 11. P. 786−789 (Нем).
- Подвесная монорельсовая дорога на предприятии электронной промышленности. Реферативный журнал «Промышленный транспорт» (сводный том), 2001. № 7. С. 17.
- Подвесная электрическая дорога с вертикальными участками трассы. Реферативный журнал «Промышленный транспорт» (сводный том), 2001. № 3.
- Гольцова М.В. Пути сокращения затрат на освоение производства новых поколений ИС. Зарубежная электронная техника, 1995. № 2−3. С. 63−80.
- Harada Н., Suzuki Y. SMIF system perfomance at 0.22 цш particle size. Solid State Technology, 1986. т. 29. № 12. P. 61−65.
- Панфилов Ю.В. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. М.: Радио и связь, 1988. 320 с.
- Макушин М.В. Заводы по обработке пластин диаметром 300 миллиметров: переход от опытного к массовому производству. Зарубежная электронная техника, 2000. № 4. С. 3−16.
- Булынко Б.И., Лобиков Л. В., Ращинский В. П. и др. Автоматизированная транспортная система. Электронная промышленность, 1981. № 10. С. 41−43.
- Иванов В.И., Лобиков Л. В., Савин А. И. и др. Автоматическая поточная линия диффузии. Электронная промышленность, 1981. № 10. С. 39−40.
- Разработка, изготовление, монтаж, наладка и производственные испытания транспортной системы применительно к условиям ЛПК. Технический отчет по теме «БОЛТ-ТЛ-О». Руководитель Булынко Б. И. М&bdquo- 1982.-40 с.
- Исследование транспортирующего устройства АПЛ с дискретным носителем изделий на пространственной трассе. Отчет о НИР «67-ТМ». Руководитель Гребенкин В.З.- отв. исп. Редин В. М. № Гос. per. 1 820 092 634. М: МИЭТ, 1985. -76 с.
- Пронин Б.А., Ревков Г. А. Бесступенчатые клиноременные и фрикционные передачи (вариаторы). М.: Машиностроение, 1980. 320 с.
- Решетов Д.Н. Исследование и расчет деталей станков на основе контактных условий. Дисс.. к-татехн. наук. М.: 1946.
- Михайлова В.А. Исследование фрикционных вариаторов. Исследование потерь на трение на площадке контакта тел качения вариатора- исследование шаровых вариаторов- установление типажа вариаторов для станкостроения. Дисс.. к-татехн. наук. М.: 1955.
- Щетников В.А. Динамическая точность фрикционных механизмов. Дисс.. к-татехн. наук. М.: 1953.
- Решетов JI.H. Самоустанавливающиеся механизмы: Справочник. М.: Машиностроение, 1979. 334 с.
- Баранов Г. Г. Курс теории механизмов и машин. М.: Машиностроение, 1967. 508 с.
- Теория механизмов и машин. Под ред. Фролова К. В. М.: Высшая школа, 1987.-496 с.
- Машины непрерывного транспорта. Под ред. Плавинского В. И. М.: Машиностроение, 1969. 719 с.
- Александров М.П. Подъемно-транспортные машины. М: Высшая школа, 1972.-504 с.
- Гребенкин В.З., Андренюк В. А. Параметры силового взаимодействия колес носителя с пространственной направляющей. Межотраслевой научно-технический сборник «Оборонный комплекс научно-техническому прогрессу России». 2001. № 2. С. 3−7.
- Бать М.И., Джанелидзе Г. Ю., Кельзон А. С. Теоретическая механика в примерах и задачах: Учебное пособие для втузов. Том 2. М.: Наука, 1975.
- Потемкин В.Г. Введение в MATLAB. М.: Диалог-МИФИ, 2000.
- Дьяконов В.П. MATLAB: Современное средство мат. моделирования процессов. Учебный курс. СПб. и др.: Питер, 2001. 553 с.
- Дьяконов В.П. MATLAB 6: Универсальная интегрированная система компьютерной математики. Учебный курс. СПб. и др.: Питер, 2001. 592 с.
- Артоболевский И.И. Теория механизмов. М.: Наука, 1967. 719 с.
- Комаров М.С. Динамика грузоподъемных машин. М.: Машгиз, 1962. 267с.
- Зиновьев В.А., Бессонов А. П. Основы динамики машинных агрегатов. М.: Машиностроение, 1964. 239 с.
- Микроэлектродвигатели для систем автоматики: Справочник. — М.: Энергия, 1969.-272 с.
- Расчет и конструирование точных механизмов. Лабораторные работы. Под ред. Середы В. Т. Киев Донецк, изд. объединение «Вища школа», 1978. — 248 с.
- Василенко Н.В., Ивашов Е. Н., Ковалев Л. К. и др. Вакуумное оборудование тонкопленочной технологии производства электронной техники. В 2-х томах. Том 2. Красноярск: Кн. изд-во Сиб. аэрокосм, акад, 1996. 416 с.
- Методика определения параметров пылегенерации подвижными соединениями транспортных систем ТАЛ микроэлектроники. М.: МИЭТ, рукопись для ведомственного пользования, 1988.-39с.
- Крагельский И.В., Добычин М. Н., Комбалов B.C. Основы расчетов на трение и износ. М.: Машиностроение, 1977. 526 с.
- Демкин Н.В. Фактическая площадь касания твердых поверхностей. М.: АН СССР, 1962.- 111 с.
- Крагельский И.В., Непомнящий Е. Ф., Харач Г. М. Усталостный механизм и краткая методика аналитической оценки величины износа поверхностей трения при скольжении (исходя из свойств материалов и условий их работы). М.: АН СССР, 1967.-19с.
- Прочность. Устойчивость. Колебания. Справочник в 3-х томах. Том 2. Под ред. Биргера И. А. и ПановкоЯ.Г. М.: Машиностроение, 1968. 465 с.
- Дмитриев В.А. Детали машин. Л.: Судостроение, 1970. 792 с.
- Спиваковский А.О., Дьячков В. К. Транспортирующие машины. М.: Машиностроение, 1968.-503 с.
- Спиваковский А.О., Дьячков В. К. Транспортирующие машины. Справочник проектировщика. М.: Машиностроение, 1983. 487 с.
- Промышленный транспорт. Под ред. Гельман А. С., Чубарова С. Д. М.: Стройиздат, 1984. 415 с.205
- Черпаков Б.И. Загрузочные и транспортные устройства в автоматизированном производстве. М.: Высшая школа, 1977. 55 с.
- Элементы приборных устройств. Курсовое проектирование в 2-х частях. 4.2. Под ред. Тищенко О. Ф. М.: Высшая школа, 1978. 232 с.
- Нестеренко А.Д., Орнатский ПЛ. Детали и узлы приборов. Киев, 1963. -428 с.
- Дубина В.В., Чикунов Н. П. Аккумуляторные батареи: устройство, обслуживание, ремонт. Учебное пособие. Саранск: Изд-во Мордов. ун-та, 2001. -188 с.
- Бирюков Ю. Секреты правильного питания. Stereo&Video, 2001. № 12. С. 122−126.
- Норох А.А., Андренюк В. А. Оптические средства контроля и управления транспортной системой кристального производства микроэлектроники. М.: МИЭТ-ТУ. Известия вузов. Электроника, 2000. № 2. С. 45−52.
- Тимошенко С.П. Сопротивление материалов. В 2-х томах. Том 1. М.: Наука, 1965. 364 с.
- Борисов С.И., Комаров В. Ф., Токарев B.JI. Теория механизмов и детали точных приборов. М.: Машиностроение, 1966. -408 с.
- Добровольский В.А. и др. Детали машин. Учебник для машиностроительных вузов. Издание 7-е. М.: Машиностроение, 1972. 503 с.
- Пронин Б.А. Клиноременные и фрикционные передачи и вариаторы. М.: Машгиз, 1960. 334 с.206