Количественная катодолюминесцентная микроскопия прямозонных материалов полупроводниковой оптоэлектроники
Диссертация
Актуальность работы. Особенностью современного этапа развития оптоэлектроники является переход к промышленному использованию микроструктур с размерами элементов в десятые, а в некоторых измерениях и в сотые доли микрометра. При серийном и массовом промышленном производстве таких изделий это приводит к необходимости применения таких технологических процессов, как электронная и ионная литография… Читать ещё >
Список литературы
- Айвазян С.А., Енюков И. И., Мешалкин Л. Д. Прикладная статистика. Основы моделирования и первичная обработка данных. — М.: Финансы и статистика, 1983. — 428 с.
- Аккерман А.Ф. Моделирование траекторий заряженных частиц. — М.: Энергоатомиздат, 1991. — 200 с.
- Акрамов Х.Т., Юлдашев Б. Д. Электрические и фотоэлектрические свойства гетерофотоэлементов CusS-CdS, полученных на основе пленок CdS стехиометрического состава // Гелиотехника. — 1979. — № 5. — С.17−22.
- Алферов Ж.И. и др. Структура энергетических зон твердых растворов InixGaj.AsiyPy / Ж. И. Алферов, И. Н. Арсеньев, Д. З. Гарбузов, В. Д. Румянцев // Физ. и техн. полупроводников. — 1977. — Т.11, вып. 12. — С.2330−2338.
- Андреев В.М. и др. Фотолюминесцентные свойства и электронное строение поверхности анодно окисленного n-InP / В. М. Андреев, А. М. Аллахвердиев, О. О. Ивентьева и др. // Физ. и техн. полупроводников. — 1985. — Т. 19, вып. 1. — С.110−113.
- Андрианов М. В, Pay Э.И., Седов Н. Н. К вопросу о контрасте изображений диэлектрических структур в РЭМ // Изв. РАН. Сер. физ. — 2002. — Т. 66, № 9. — С.1324−1329.
- Антошин М.К. и др. Растровая электронная микроскопия фотоэлементов на основе сульфида кадмия / М. К. Антошин, И. В. Карпенко, М. А. Степович и др. // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1980. — Т. 44, № 6. — С.1290−1293.
- Антошин М.К., Спивак Г. В., Юнович А. Э. Исследование ка-тодолюминесценции эпитаксиальных р — п переходов в фосфиде галлия с помощью растрового электронного микроскопа // Физ. и техн. полупроводников. — 1972. — Т. 6, вып. 11. — С.2123−2128.
- Аристов В.В. и др. Наблюдение объемных микронеоднород-ностей с помощью электронного микроскопа / В. В. Аристов,
- Н.Н.Дремова, С. И. Зайцев и др. // Доклады АН СССР. — 1988. — Т. 301, № 3. — С.611−613.
- Астахов В.П. и др. О возможности применения пленок поли-п-ксилилена для защиты и пассивации поверхности планар-ных фотодиодов на основе InSb / В. П. Астахов, А. А. Виновен,
- B.В.Карпов, А. В. Пебалк // Вопросы оборонной техники. Приемники и преобразователи излучения оптического диапазона. Приборы ночного видения. — 1996. — Вып. 3(150)-4(151) —1. C.36−40.
- Астахов В.П. и др. Использование и перспективы применения различных материалов в качестве защитных покрытий охлаждаемых InSb-фотоприемников / В. П. Астахов, В. В. Карпов, А. В. Пебалк, М. А. Степович // Перспективные материалы. — 1998. — № 6. — С.21−27.
- Афонин В.П., Лебедь В. И. Метод Монте-Карло в рентгеноспектральном микроанализе. — Новосибирск: Наука. Сиб. отделение, 1989. — 110 с.
- Ахиезер Н.И. Лекции по теории аппроксимации. — М.: Наука, ГИФМЛ, 1965. — 408 с.
- Батов Д.В. Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы: Дис.. канд. техн. наук. — М.: МГИСиС, 2000. — 138 с.
- Батов Д.В. и др. Экологически безопасная технология производства и электронно-микроскопическое исследование структуры и состава толстопленочного SiC / Д. В. Батов, А. В. Елютин, М. А. Степович и др. // Изв. РАН. Сер. физ. — 1998. — Т. 62, № 3. — С.565−569.
- Батов Д.В. и др. Изучение структуры и состава толстых слоев карбида кремния, осажденного из газовой фазы / Д. В. Батов, Л. С. Иванов, М. А. Степович и др. // Изв. РАН. Сер. физ. — 1995. — Т. 59, № 2. — С.35−37.
- Бахвалов Н.С., Жидков Н. П., Кобельков Г. М. Численные методы. — М.: Наука, 1987. — 600 с.
- Белов А. А, Петров В. И., Степович М. А. Спектральный метод расчета распределения неосновных носителей заряда, генерированных электронным пучком в полупроводниковом материале // Изв. РАН. Сер. физ. — 2000. — Т. 64, № 8. — С.1646−1654.
- Белов А.А., Степович М. А. Некоторые математические проблемы идентификации элементного состава полупроводниковых четверных твердых растворов замещения // Труды МГТУ им. Н. Э. Баумана. — 1999. — № 573. — С.114−122.
- Берг А., Дин П. Светодиоды. — М.: Мир, 1979. — 686 с.
- Бонч-Бруевич B. JL, Калашников С. Г. Физика полупроводников: Учебное пособие для вузов. — М.: Наука, 1990. — 685 с.
- Бродин М.С. и др. Спектральное исследование энергетической структуры смешанных монокристаллов CdSexTeix / М. С. Бродин, Н. И. Витриховский, А. А. Кипень, И.Б.Мизец-кая // Физ. и техн. полупроводников. — 1972. — Т. 6, вып. 4. — С.698−702.
- Бронштейн Б.М., Фрайман B.C. Вторичная электронная эмиссия. — М.: Наука, 1969. — 408 с.
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. — М.: Мир, 1985. — 496 с.
- Брук А.С. и др. Роль взаимодействия дислокация-точечный дефект-легирующая примесь в процессе рекомбинации в ар-сениде галлия / А. С. Брук, А. В. Говорков, JI.И.Колесник и др. // Физ. и техн. полупроводников. — 1982. — Т. 16, вып. 8. — С.1510−1512.
- Брук А.С., Говорков А. В. Исследование дефектов структуры полупроводниковых соединении типа AniBv на РЭМ в режимах наведенного тока и микрокатодолюминесценции // Изв. РАН. Сер. физ. — 1983. — Т. 47, № 6. — С.1202−1204.
- Быстримович С. А. и др. Нелинейное поглощение света в сильно легированном n-InP вблизи края фундаментального поглощения / С. А. Быстримович, Р. Г. Запорожченко, В. Л. Малевичи др. // Физ. и техн. полупроводников. — 1994. — Т. 28, вып. 6. — С.1020−1026.
- Бюллер К. Тепло- и термостойкие полимеры. — М.: Химия, 1984. — 1056 с.
- Вавилов B.C. и др. Катодолюминесценция нелегированного нитрида галлия / В. С. Вавилов, С. И. Макаров, М. В. Чукичев, И. Ф. Четверикова // Физ. и техн. полупроводников. — 1979. — Т. 13, вып. 11. — С.2153−2159.
- Вакуленко О.В., Новиков Н. Н., Скрышевский В. А. Фотолюминесценция арсенида галлия, легированного теллуром // Физ. и техн. полупроводников. — 1981. — Т. 15, вып. 5. — С.1005−1008.
- Варга Р.С. Функциональный анализ и теория аппроксимаций в численном анализе. — М.: Мир, 1974. — 128 с.
- Васильев Ф.П. Численные методы решения экстремальных задач. — М.: Наука, 1988. — 552 с.
- Вовненко В.И., Глинчук К. Д., Прохорович А. В. Фотолюминесценция монокристаллического арсенида галлия // Физ. и техн. полупроводников. — 1976. — Т.10, вып. 3. — С.1097−1099.
- Волков В.В. и др. Синтез и люминесцентные свойства монокристаллов Bi2Ga40g / В. В. Волков, А. В. Егорышев, А. Ф. Каргин и др. // Неорганические материалы. — 1996. — Т. 32, № 4. — С.455−458.
- Гагарин Ю.Е., Петров В. И., Степович М. А. О возможности использования конфлюентного анализа в катодолюмине-сцентной микроскопии. Результаты математического моделирования // Изв. РАН. Сер. физ. — 2000. — Т. 64, № 8. — С.1624−1628.
- Гагарин Ю.Е., Петров В. И., Степович М. А. Оценка возможностей конфлюентного анализа для измерений диффузионных длин неосновных носителей заряда катодолюминесцентным методом // Изв. РАН. Сер. физ. — 2001. — Т. 65, № 9. — С.1312−1315.
- Гарбузов Д.З., Агаев В. В., Гореленок А. Т. Эффективная из-лучательная рекомбинация (77 > 80%, Т ~ 300 К) и процессы переизлучения в объемных кристаллах n-InP // Физ. и техн. полупроводников. — 1982. — Т. 16, вып. 9. — С.1538−1542.
- Гареев А.Ф. и др. Катодолюминесценция монокристаллических твердых растворов CdixTexSe и Cdi-xZnjjTei-^Sey / А. Ф. Гареев, Н. Н. Михеев, В. И. Петров, М. А. Степович // Изв. РАН. Сер. физ. — 1992. — Т. 56, № 3. — С.90−94.
- Гвоздовер Р.С. и др. Электронномикроскопические исследования локальной катодолюминесценции GaAs:(Те, Zn) в образцах с р — п переходом / Р. С. Гвоздовер, В. А. Матвеев,
- В.И.Петров, М. А. Степович // Изв. АН СССР. Сер. физ. —1980. — Т. 44, № И. — С.2145−2148.
- Гвоздовер Р.С. и др. Определение электрофизических параметров полупроводников по зависимости катодолюминесценции от ускоряющего напряжения / Р. С. Гвоздовер,
- B.И.Петров, М. А. Степович и др. // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1984. — Т. 48, № 12. — С.2378−2383.
- Гвоздовер Р.С. и др. Изучение структурных дефектов монокристаллов арсенида галлия в режиме катодолюминесценции РЭМ / Р. С. Гвоздовер, В. И. Петров, М. А. Степович и др.1.// Радиотехника и электроника. — 1984. — Т. 29, № 8. —1. C.1632−1634.
- Гвоздовер Р.С., Степович М. А. Локальная катодолюминес-ценция эпитаксиальных пленок IniIGaIPiyAsy // Поверхность. Физика, химия, механика. — 1983. — № 3. — С.115−118.
- Гетманская И.В., Степович М. А. Решение неоднородного уравнения диффузии с использованием математического пакета символьных вычислений MAPLE V // Труды МГТУ
- Гимельфарб Ф.А. Поверхностные загрязнения и методы их исследования // Методы анализа высокочистых веществ / Под ред. Ю. А. Карпова. — М.: Наука, 1987. — С.75−93.
- Гимельфарб Ф.А., Говорков А. В., Фистуль В. И. Исследование неоднородных полупроводников на растровом электронном микроскопе-микроанализаторе в режиме катодолюмине-сценции // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1974. — Т.38, № 7. — С.1409−1412.
- Глазер В. Основы электронной оптики. — М.: Гостехтеоре-тиздат, 1957. — 736 с.
- Говорков А.В., Гимельфарб Ф. А. Приставка к электроннозон-довому микроанализатору для регистрации спектров катодо-люминесценции в диапазоне 0,2−5 мкм // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. — 1974. — Т. 40, № 12. — С.1490−1491.
- Говорков А.В., Колесник Л. И. Микрокатодолюминесцентное исследование влияния дефектов структуры на излучательную рекомбинацию в арсениде галлия // Физ. и техн. полупроводников. — 1978. — Т. 12, вып. 3. — С.448−452.
- Голубев Ю.А. Исследование и управление локальными излу-чательными процессами в фосфиде галлия: Дис.. канд. физ-мат. наук. — М: МГУ им. М. В. Ломоносова, 1979. — 150 с.
- Госсорг Ж. Инфракрасная термография. Основы, техника, применение. — М.: Мир, 1988. — 416 с.
- Грешилов А.А. Анализ и синтез стохастических систем. Параметрические модели и конфлюентный анализ. — М.: Радио и связь, 1990. — 320 с.
- Грешилов А.А. Математические методы построения прогнозов. — М.: Радио и связь, 1997. — 112 с.
- Грибковский В.П. Полупроводниковые лазеры: Учебное пособие. — Минск: Университетское, 1988. — 304 с.
- Гринфельд Д.Э., Филачев A.M., Фукс Б. И. Исследование зарядки диэлектриков при их импульсной обработке электронным лучом // Прикладная физика. — 1997. — Вып. 2−3. — С.24−32.
- Деркач В.П., Кияшко Г. Ф., Кухарчук М. С. Электроннозондо-вые устройства. — Киев: Наукова думка, 1974. — 268 с.
- Джадд Д., Вышецки Г. Цвет в науке и технике. — М.: Мир, 1978. — 592 с.
- Дицман С.А. и др. Применение растрового электронного микрозондового прибора для исследования полупроводниковых гетеропереходов / С. А. Дицман, Т. А. Куприянова, О. Д. Кропотова, А. Г. Глазунов // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1968. — Т. 32, № 6. — С.953−955.
- Добеши И. Десять лекций по вейвлетам. — Ижевск: НИЦ «Регулярная и хаотическая динамика», 2001. — 464 с.
- Дюков В.Г., Непийко С. А., Седов Н. Н. Электронная микроскопия локальных потенциалов. — Киев: Наукова думка, 1991. — 200 с.
- Егупов Н.Д., Лапин С. В., Степович М. А. Некоторые методы снижения чувствительности к возмущениям в задачах идентификации // Актуальные проблемы фундаментальных наук:
- Труды II международной научно-технич. конф. — Т. VI. — М., 1994. — С. В-171-В-174.
- Егупов Н.Д. и др. О возможности использования модифицированных функций Лагерра для аппроксимации функций типа Гаусса / Н. Д. Егупов, М. А. Степович, М. М. Чайковский, Д. В. Мельников // Труды МГТУ им. Н. Э. Баумана. — 2001. — № 580. — С.46−52.
- Ермолович И.Б., Матвеевская Г. И., Шейнкман М. К. О природе центров оранжевой люминесценции в сульфиде кадмия // Физ. и техн. полупроводников. — 1975. — Т. 9, вып. 8. — С.1620−1623.
- Жданов Гл.С. О скорости углеводородного загрязнения объектов в микрозондовых системах // Поверхность. Физика, химия, механика. — 1983. — № 1. — С.65−72.
- Жданов Гл.С., Верцнер В. Н. О механизме образования углеводородных загрязнений на поверхностях, облучаемых узким электронным пучком // Доклады АН СССР. — 1967. — Т. 176, № 5. — С.1040−1043.
- Жукова В.Н. и др. Тонкопленочные солнечные элементы на основе CdTe и CdS / В. Н. Жукова, И. В. Карпенко, Ю. Н. Ксендзацкая, Р. Н. Тыквенко // Электротехн. промышленность. Хим. и физ. источники тока. — 1970. — Вып. 3. — С.21−25.
- Завьялов Ю.С., Квасов Б. И., Мирошниченко B.JI. Методы сплайн-функций. — М.: Наука, 1980. — 352 с.
- Зайцев С.И. Методы зондовой диагностики микроструктур: теория, моделирование и обратные задачи: Дис. в виде на-учн. докл.. докт. физ.-мат. наук. — Черноголовка: ИПТМ РАН, 2000. — 61 с.
- Заморянская М.В., Вайншенкер И. А., Сидоров А. Ф. Спектрометр высокого разрешения к микроанализатору «КАМЕ-БАКС» для исследований спектров катодолюминесценции микрообъемов минералов // Изв. РАН. Сер. физ. — 1986. — Т. 50, № 9. — С. 1751−1752.
- Заморянская М.В., Вайншенкер И. А., Заморянский А. Н. Оптический спектрометр к электронно-зондовому микроанализатору // Приборы и техника эксперимента. — 1987. № 4. — С. 161−163.
- Захаров Б.Г. и др. Определение кристаллографической полярности CdTe методом стоячих рентгеновских волн / Б. Г. Захаров, А. Ю. Казимиров, В. Г. Кон и др. // Письма в журнал технич. физики. — 1989. — Т. 15, вып. 22. — С.31−35.
- Иванов JI.C., Батов Д. В. Термодинамический расчет получения карбида кремния // Высокочистые вещества. — 1994. — № 5. — С.29−36.
- Излучательная рекомбинация в полупроводниках / Под ред. Я. Е. Покровского. — М.: Наука, 1972. — 304 с.
- Канатников А.Н., Крищенко А. П. Линейная алгебра: Учебник для вузов / Под ред. В. С. Зарубина, А. П. Крищенко. — М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. — 336 с.
- Кейси X., Паниш И. Лазеры на гетероструктурах. — М.: Мир, 1981 — 356 с.
- Кантария Р.В., Павелец С. Ю. Электронографические исследования сульфида меди и рекомбинационные характеристики фотопреобразователей р—Cu2x-n—CdS // Физ. и техн. полупроводников. — 1979. — Т. 13, вып. 9. — С.2281−2284.
- Киреев В.А. Формирование сигнала модуляционной катодо-люминесценции в пространственно неоднородных полупроводниках: Дис.. канд. физ-мат. наук. — Черноголовка: ИПТМ РАН, 1997. — 142 с.
- Киреев П.С. Физика полупроводников: Учебное пособие для втузов. — М.: Высшая школа, 1975. — 584 с.
- Ковальчук М.В., Кон В.Г. Рентгеновские стоячие волны — новый метод исследования структуры кристаллов // Успехи физ. наук. — 1986. — Т. 149, вып. 1.— С.69−103.
- Колмогоров А.Н., Фомин С. В. Элементы теории функций ифункционального анализа. — М.: Наука, 1972. — 496 с.
- Колесник Л.И. и др. Фотолюминесцентные свойства эпитак-сиальных слоев n—GalnAsP / Л. И. Колесник, А.М.Лошин-ский, В. Ю. Рогулин и др. // Физ. и техн. полупроводников. — 1979. — Т. 13, вып. 6. — С.1151−1155.
- Комолова Л.Ф. Исследование полупроводников с повышенным разрешением в растровом электронном микроскопе: Дис.. канд. физ-мат. наук. — М.: Моск. гос. ун-т им. М. В. Ломоносова, 1977. — 185 с.
- Конников С.Г., Сидоров А. Ф. Электроннозондовые методы исследования полупроводниковых материалов и приборов. — М.: Энергия, 1978. — 136 с.
- Конников С.Г. и др. Функция генерации электронно-дырочных пар в полупроводниках AmBv при возбуждении электронным пучком / С. Г. Конников, В. А. Соловьев, В. Е. Уманский, В. М. Чистяков // Физ. и техн. полупроводников. — 1987. — Т. 21, вып. 11. — С.2028−2032.
- Конников С.Г. и др. Ток, индуцированный электронным зондом в полупроводниковых гетероструктурах / С. Г. Конников, В. А. Соловьев, В. Е. Уманский и др. // Физ. и техн. полупроводников. — 1987. — Т. 21, вып. 9. — С.1648−1653.
- Коринфский А.Д., Мусатов А. Л. Исследование скорости поверхностной рекомбинации InP и GaAs // Поверхность. Физика, химия, механика. — 1983. — № 8. — С. 136−138.
- Корнейчук Н.П. Точные константы в теории приближения. — М.: Наука, 1987 — 424 с.
- Косслет В. Поглощение энергии электронов в толстых мишенях // Физические основы рентгеноспектрального локального анализа. — М.: Наука, 1973. — С.11−27.
- Ландау Л.Д. О потерях энергии быстрыми частицами на ионизацию. — М.: Наука, 1969. — Т. 1. — С.482−490 (Собрание трудов).
- Лапин С.В. Оптимизация по емкости проекционных методов аппроксимации систем. — М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1995. — 224 с.
- Лапин С.В., Егупов Н. Д. Теория матричных операторов и ее приложение к задачам автоматического управления. — М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 1997. — 496 с.
- Лапин С.В., Степанов С. Е., Степович М. А. О возможности использования локальных сплайнов в задаче оптимизации измерений спектров электромагнитного излучения // Труды МГТУ им. Н. Э. Баумана. — 1995. — № 567. — С.84−88.
- Лапин С.В. и др. Оптимизация измерений спектров катодолюминесценции / С. В. Лапин, В. И. Петров, С. Е. Степанов, М. А. Степович // Изв. РАН. Сер. физ. — 1996. Т. 60, № 2. — С.27−31.
- Лапин С.В. и др. Оптимизация методов обработки спектров катодолюминесценции полупроводников с использованием LULU- и сплайн-сглаживания / С. В. Лапин, В. И. Петров, С. Е. Степанов, М. А. Степович // Изв. РАН. Сер. физ. — 1998. — Т. 62, № 3. — С.570−577.
- Лебедева В.В. Эспериментальная оптика. — М.: Изд-во Моск. ун-та, 1994. — 352 с.
- Лебедь В.И., Афонин В. П. Развитие методов имитации на ЭВМ поведения электронного пучка в веществе // Рентгеновекая и электронная спектроскопия. — Черноголовка: ИФТТ, * 1985, — С.29−53.
- Левич В.Г. Курс теоретической физики. Т. 1. — М.: Физмат-гиз, 1962. — 696 с.
- Левич В.Г. Курс теоретической физики. Т. 2. — М.: Физмат-гиз, 1962. — 820 с.
- Левшин В.Л. и др. Исследования катодолюминесценции цинксульфидных и некоторых других като до люминофоров / В. Л. Левшин, Э. Я. Арапова, А. И. Блажевич и др. // Труды ФИАН им. П. Н. Лебедева СССР. — 1963, Т. 23. — С.64−135.
- Ли Г., Стоффи Д., Невилл К. Новые линейные полимеры. — М.: Химия, 1972. — 280 с.
- Липчак А.И. и др. Люминесценция монокристаллов ZnSe-Mn при комнатной температуре / А. И. Липчак, С. Г. Михайлов, В. И. Соломонов и др. // Оптика и спектроскопия. — 1997. — Т. 83, № 6. — С.927−932.
- Лифшиц Е.М., Питаевский Л. П. Физическая кинетика. — М.: Наука, 1979. — 528 с.
- Лукьянчикова Н.Б. Флуктуационные явления в полупроводниках и полупроводниковых приборах. — М.: Радио и связь, 1990. — 296 с.
- Люстерник Л.А., Соболев В. И. Элементы функционального анализа. — М.: Наука, ГИФМЛ, 1965. — 520 с.
- Макаров В.В. Пространственное распределение плотности возбуждения в твердых телах, бомбардируемых электронами с энергией 0,5−500 кэВ // Журнал технич. физики. — 1978. — Т. 48, вып. 3. — С.551−555.
- Макс Ж. Методы и техника обработки сигналов при физических измерениях: В 2-х томах. — М.: Мир, 1983. — Т. 2 —
- Техника обработки сигналов. Применения. Новые методы. — 256 с.
- Марчук Г. И. Методы вычислительной математики. — М.: Наука, 1989. — 608 с.
- Матвеев Н.М. Методы интегрирования обыкновенных дифференциальных уравнений. — Минск: Вышэйшая школа, 1974. — 362 с.
- Материалы для оптоэлектроники: Сб. ст. — М.: Мир, 1976. — 405 с.
- Месяц Г. А. и др. О возможности уточнения структуры энергетических уровней в твердых телах / Г. А. Месяц, В. И. Соломонов, С. Г. Михайлов, В. В. Осипов // Доклады Академии наук. — 1994. — Т. 339, № 6. — С.757−760.
- Методы анализа поверхностей / Под ред. А.Зандерны. — М.: Мир, 1976. — 584 с.
- Методы классической и современной теории автоматического управления: Учебник в 3-х т. / Под ред. Н. Д. Егупова. — М.: Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2000. — Т.2. — Синтез регуляторов и теория оптимизации систем автоматического управления. — 736 с.
- Микроанализ и растровая электронная микроскопия / Под ред. Ф. Морис, Л. Мени, Р.Тиксье. — М.: Металлургия, 1985. — 408 с.
- Михайлов С.Г., Осипов В. В., Соломонов В. И. Импульсно-периодическая катодолюминесценция минералов // Журнал технич. физики. — 1993. — Т. 63, вып. 2. — С.52−64.
- Михеев Н.Н. Определение параметров прямозонных полупроводников на основе измерений зависимости интенсивности ка-тодолюминесценции от ускоряющего напряжения электронов зонда РЭМ // Физ. и техн. полупроводников. — 1987. — Т. 21, вып. 2. — С.370−372.
- Михеев Н.Н., Захаров Б. Г. Распределение наведенного электронным зондом тока в диодах на основе широкозонных AmBv // Электронная техника. Материалы. — 1982. — Вып. 2. — С.55−59.
- Михеев Н.Н., Дорогова Ю. Г. Измерение диффузионной длины неосновных носителей заряда и скорости поверхностной рекомбинации в арсениде галлия катодолюминесцентным методом // Электронная техника. Материалы. — 1988. — Вып. 4. — С.44.
- Михеев Н.Н. и др. Катодолюминесценция полупроводников в условиях высокого уровня возбуждения / Н. Н. Михеев, И. М. Никоноров, М. А. Степович и др. // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1990. — Т. 54, № 2. — С.267−270.
- Михеев Н.Н. и др. Катодолюминесценция монокристаллического теллурида кадмия / Н. Н. Михеев, И. М. Никоноров, В. И. Петров, М. А. Степович // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1990. — Т. 54, № 2. — С.332−335.
- Михеев Н.Н. и др. Катодолюминесценция арсенида индия, легированного теллуром / Н. Н. Михеев, И. М. Никоноров, М. А. Степович М.А. и др. // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1990. — Т. 54, № 2. — С.362−365.
- Михеев Н.Н. и др. Определение электрофизических параметров полупроводников в РЭМ методами катодолюминесценции и наведенного тока / Н. Н. Михеев, И. М. Никоноров,
- В.И.Петров, М. А. Степович // Тез. докл. VI Всесоюзн. сим-^ поз. по растровой электронной микроскопии и аналитическимметодам исследования твердых тел. — М., 1989. — С. 104.
- Михеев Н.Н., Петров В. И., Степович М. А. Вероятные потери энергии киловольтными электронами при прохождении ими пленочных мишеней произвольной толщины // Изв. РАН. Сер. физ. — 1993. — Т. 57, № 8. — С.56−58.
- Михеев Н.Н., Петров В. И., Степович М. А. Количественный анализ материалов полупроводниковой оптоэлектрони-ки методами растровой электронной микроскопии // Изв. ф, АН СССР. Сер. физ. — 1991. — Т. 55, № 8. — С.1474−1482.
- Михеев Н.Н. и др. Определение некоторых электрофизических параметров монокристаллических твердых растворов Cdi-zZn^Tei-ySey по спектрам катодолюминесценции
- Н.Н.Михеев, В. И. Петров, М. А. Степович, В. Аль Шаер // Вестник МГТУ им. Н. Э. Баумана. Машиностроение. — 1993. — № 2. — С.3−8.
- Михеев Н.Н., Степович М. А. Распределение энергетических потерь при взаимодействии электронного зонда с веществом // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. — 1996. — Т. 62, № 4. — С.20−25.
- Михеев Н.Н., Степович М. А., Петров В. И. Моделирование процессов обратного рассеяния электронов от мишени заданной толщины при нормальном падении первичного пучка // Изв. РАН. Сер. физ. — 1995. — Т. 59, № 2. — С.144−151.
- Михеев Н.Н. и др. Катодолюминесценция монокристаллического фосфида индия п—типа проводимости / Н. Н. Михеев, М. А. Степович, В. И. Петров, Е. В. Невструева // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2000. — № 2. — С.75−79.
- Молекулярно — лучевая эпитаксия и гетероструктуры / Под ред. Л. Ченга, К. Плога. — М.: Мир, 1989. — 584 с.
- Мосс Т., Баррел Г., Эллис Б. Полупроводниковая оптоэлек-троника. — М.: Мир, 1976. — 431 с.
- Науменко Н.В. Разработка и исследование гетероструктур t InP/InGaAsP для систем волоконно-оптических линий связии промышленной технологии их производства: Дис.. канд. техн. наук. — М.: МГИСиС, 2001. — 114 с.
- Нахмансон М.С., Фекличев В. Г. Диагностика состава материалов рентгенодифракционными и спектральными методами. — JL: Машиностроение, Ленинградское отделение, 1990. —357 с.
- Новиков Ю.А., Раков А. В. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа // Труды ИОФАН. — 1995. — Т. 49. — С.66−80.
- Новиков Ю.А., Раков А. В. Вторичная электронная эмиссияhрельефной поверхности твердого тела // Труды ИОФАН. — 1998. — Т. 55. — С.3−99.
- Новицкий П.В., Зограф И. А. Оценка погрешностей результатов измерений. — Л.: Энергоатомиздат, 1991. — 304 с.
- Обыден С.К. и др. Исследования люминесцирующих материалов с большим временем релаксации в цветном растровом электронном микроскопе / С. К. Обыден, Г. В. Сапарин, Г. В. Спивак и др. // Изв. РАН. Сер. физ. — 1980. — Т. 44, № 6. — С.1142−1148.
- Окунев В.Д., Захаров Б. Г., Гаман В. И. О контрасте изображения диодов из арсенида галлия в лучах катодолюминесценции // Радиотехника и электроника. — 1973. —Т. 18, № 10. — С.2133−2135.
- Панков Ж. Оптические процессы в полупроводниках. — М.: Мир, 1973. — 384 с.
- Патент 2 026 589, CI, 6H01L 21/66 (РФ-RU). Способ изготовления планарных р — тг переходов на антимониде индия / В. П. Астахов, Ю. Н. Бойков, В. Ф. Дудкин и др. // Б.И. — 1995. — № 1.
- Патент 2 056 671, CI, 6H01L 21/265 (РФ-RU). Способ изготовления р—п переходов на кристаллах антимонида индия п—типа проводимости / В. П. Астахов, В. Е. Барбой, В. В. Карпов и др. // Б.И. — 1996. — № 8.
- Пека Г. П. Физика поверхности полупроводников. — Киев: На-укова думка, 1967. — 187 с.
- Пека Г. П. Физические явления на поверхности полупроводников: Учебное пособие для физ. и радиофиз. спец. вузов. — Киев: Вища школа, 1984. — 214 с.
- Пека Г. П., Коваленко В. Ф., Куценко В. Н. Люминесцентные методы контроля параметров полупроводниковых материалов и приборов. — Киев: Техшка, 1986. — 151 с.
- Петров В.И. Катодолюминесцентная микроскопия // Успехи физ. наук. — 1996. — Т. 166, вып. 8. — С.859−871.
- Пинскер З.Г. Рентгеновская кристаллооптика. — М.: Наука, 1982. — 342 с.
- Пономаренко В.П. Теллурид кадмия-ртути и новое поколение приборов инфракрасной фотоэлектроники // Успехи физ. наук. — 2003. — Т. 173, № 6. — С.649−665.
- Практическая растровая электронная микроскопия / Под ред. Дж. Гоулдстейна, X. Яковица. — М.: Мир, 1978. — 656 с.
- Преобразование солнечной энергии. Вопросы физики твердого тела / Под ред. Б.Серафина. — М.: Энергоиздат, 1982. — 320 с.
- Разыков Т.М., Разыкова М. А. Электронно-зондовый анализ и } деградация фотопреобразователей Cu2xS-CdS // Гелиотехника. — 1981. — № 2. — С.29−31.
- Румшинский JI.3. Математическая обработка результатов измерений. — М.: Наука, 1971. — 256 с.
- Рязанов М.И., Тилинин И. С. Исследование поверхности по обратному рассеянию частиц. — М.: Энергоатомиздат, 1985. — 152 с.
- Самарский А.А., Гулин А. В. Численные методы. — М.: Наука. — 1989. — 432 с.
- Селезнева М.А., Филиппов С. С. Решение стационарного уравнения диффузии с точечным источником для электронно-зондового метода. — М., 1975. — 59 с. (Препринт Ин-та прикладной математики- N- 38).
- Селезнева М.А., Филиппов С. С. Вычисление диффузионных ^ токов через р — п переход. — М., 1975. — 63 с. (Препринт
- Ин-та прикладной математики- № 60).
- Слуев В.И. Развитие локального катодолюминесцентного анализа в растровой электронной микроскопии: Дис.. канд. физ-мат. наук. — М.: МГУ им. М. В. Ломоносова, 1997. — 164 с.
- Смирнова Г. Ф. Зонная структура твердых растворов GaP-InAs // Физ. и техн. полупроводников. — 1977. — Т. 11, вып. 8. — С.1550−1554.
- Смит Р. Полупроводники. — М.: Мир, 1982. — 560 с. ф 191. Солимар Л., Уолш Д. Лекции по электронным свойствам материалов. — М.: Мир, 1991. — 504 с.
- Солнечная энергетика / Под ред. Ю. Н. Малевского и М. М. Колтуна. — М.: Мир, 1979. — 247 с.
- Соловьев В.А., Соловьев С. А., Уманский В. Е. Определение геометрических параметров субмикронных полупроводниковых структур в режиме отраженных электронов в РЭМ // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1990. — Т. 54, № 2. — С.232−236.
- Солодовников В.В., Дмитриев А. Н., Егупов Н. Д. Спектральные методы расчета и проектирования систем управления. — М.: Машиностроение, 1986. — 346 с.
- Соломонов В.И. и др. Особенности импульсной катодолюми-несценции Hgl2 / В. И. Соломонов, Б. В. Шульгин, В. В. Осипов и др. // Письма в журнал технич. физики. — 1995. — Т. 21, вып. 10. — С.29−35.
- Спивак Г. В. и др. Растровая электронная микроскопия электрических неоднородностей в полупроводниках / Г. В. Спивак, А. Г. Алексеенко, Э. И. Рау и др. // Физ. и техн. полупроводников. — 1980. — Т.14, вып. 12. — С.1934−1940.
- Спивак Г. В., Петров В. И., Антошин М. К. Локальная като-долюминесценция и ее возможности для исследования зонной структуры твердых тел // Успехи физ. наук. — 1986. — Т. 148, вып. 4. — С.689−717.
- Спивак Г. В., Сапарин Г. В., Антошин М. К. Цветной контраст в растровой электронной микроскопии // Успехи физ. наук. — 1974. — Т. 113, вып. 4. — С.695−699.
- Степанов В.В. Курс дифференциальных уравнений. — М.: ГИТТЛ, 1952. — 280 с.
- Степанов С.Е. Разработка оптимального по порядку емкости метода измерения и обработки данных: Дис.. канд. физмат. наук. — Обнинск: ОИАтЭ, 2000. — 117 с.
- Степанов С.Е., Степович М. А. Корректность применения детерминированных аппроксимационных методов // Труды МГТУ им. Н. Э. Баумана. — 1998. — № 571. — С.60−69.
- Степанов С.Е., Степович М. А. Оптимизация измерений и обработки зашумленных данных при неполной статистической информации // Изв. Тульского гос. ун-та. Математика, механика, информатика. — 1998. — Т. 4, Вып. 1. — С.127−131.
- Степович М.А. Катодолюминесценция четверных твердых растворов с координатно-зависимым градиентом ширины запрещенной зоны // Исследования в области теоретической электротехники и инженерной электрофизики. — Иваново: ИЭИ им. В. И. Ленина, 1982. — С.51−53.
- Степович М.А. К оптимизации измерений диффузионной длины прямозонных полупроводниковых материалов катодолю-минесцентным методом // Поверхность. Рентгеновские, син-хротнонные и нейтронные исследования. — 2000. — № 5. — С.69−74.
- Степович М.А. Расширение возможностей катодолюминесце-нтной микроскопии при изучении поверхностных свойств прямозонных полупроводников // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. — 2002. — № 7. — С.97−103.
- Степович М.А. Оценка точности расчетов распределений неосновных носителей заряда, генерированных в полупроводниковом материале электронным пучком // Изв. РАН. Сер. физ. — 2003. — Т. 67, № 4. — С.588−592.
- Степович М.А., Петров В. И. Экспериментальное изучение структуры зависимостей интенсивности катодолюминесценции монокристаллических полупроводников от энергии электронов пучка // Труды МГТУ им. Н. Э. Баумана. — 1993. — № 564. — С.45−53.
- Суетин П.К. Классические ортогональные многочлены. — М.: Наука, 1976. — 328 с.
- Таблицы физических величин: Справочник / Под ред. И. К. Кикоина. — М.: Атомиздат, 1976. — 1008 с.
- Тилинин И.С. Отражение быстрых электронов при нормальном падении на поверхность вещества // Журнал экспериментальной и теоретич. физики. — 1982. — Т. 82, Вып. 4. — С.1291−1305.
- Трауб Дж., Вожьняковский X. Общая теория оптимальных алгоритмов. — М.: Мир, 1983. — 382 с.
- Уханов Ю.И. Оптические свойства полупроводников. — М.: Наука, 1977. — 368 с.
- Федоренко Р.П. Введение в вычислительную физику. — М.: Изд-во Моск. физико-технич. ин-та, 1994. — 528 с.
- Физика и химия соединений AIIBVI / Под ред. С. А. Медведева. — М.: Мир, 1970. — 642 с.
- Физика соединений AnBVI / Под ред. А. Н. Георгобиани и М. К. Шейнкмана. — М.: Наука, 1986. — 320 с.
- Физические основы рентгеноспектрального локального анализа / Перев. с англ., под ред. И. Б. Боровского. — М.: Наука, Гл. ред. физ.-мат. лит-ры, 1973. — 312 с.
- Филачев A.M., Фукс Б. И. Проблемы электронно-лучевой обработки диэлектриков // Прикладная физика. — 1996. — Вып. 3. — С.39−46.
- Фистуль. Сильно легированные полупроводники. — М.: Наука, 1967. — 415 с.
- Фрумкин В.Д., Рубичев Н. А. Теория вероятностей и статистика в метрологии и измерительной технике. — М.: Машиностроение, 1987. — 168 с.
- Химмельблау Д.М. Прикладное нелинейное программирование. — М.: Мир, 1975. — 536 с.
- Шейнкман М.К., Ермолович И. Б., Беленький Г. Л. Механизмы оранжевой, красной и инфракрасной фотолюминесценции в монокристаллах CdS и параметры соответствующих центровсвечения // Физ. твердого тела. — 1968. — Т. 10, вып. 9. — С.2628−2638.
- Шифрин С.С. и др. Природа мелких ямок травления в легированных теллуром монокристаллах GaAs / С. С. Шифрин,
- B.Б.Освенский, М. Г. Мильвидский и др. // Кристаллография. — 1978. — Т. 18, вып. 6. — С.1299−1302.
- Шкловский В.И., Эфрос A.JI. Электронные свойства легированных полупроводников. — М.: Наука, 1979. — 416 с.
- Эльтеков В.А., Гвоздовер Р. С., Петров В. И. применение метода Монте Карло для расчета предельного пространственного разрешения в режиме локальной катодолюминесценции // Изв. АН СССР. Сер. физ. — 1988. — Т. 52, № 7. —1. C.1376−1379.
- Akamatsu В., Henok J., Henok P. Electron beam-induced current in direct-gap semiconductors // J. Appl. Phys. — 1981. — Vol. 52, No. 12. — P.7245−7250.
- Al-Achkar M., Scott C.G. The use of cathodoluminescence in studies of CuxS-CdS solar cells // Solar Energy Materials and Solar Cells. — 1992. — Vol. 27, No. 3. — P.253−263.
- Archard G.D. Backscattering of electrons // J.Appl. Phys. — 1961. — Vol. 32, No. 6. — P.1505−1514.
- Balk L.J., Kubalek E. Use of phase sensitive-(look-in)-amplica-tion with scanning electron microscope // Beitr. Elektronenmik-roskop. Direktabb. Oberfl. — 1974. — B. 6, Nr. 3. — S.551−558.
- Balk L.J., Kubalek E, Menzel E. Investigation of as-grown dislocation in GaAs single csystals in the SEM // Scanning Electron Microscopy. — 1976. — Part 1. — P.257−264.
- Balk L.J., Maywald M. Scanning force microscopy of semiconductor materials and devices / / Mater Sci. and Engineering. — 1994. — Vol. B24, No. 1. — P.203−208.
- Bolognesi C.R. How good can the Group-Ill nitrides get? // Compound Semiconductor. — 1998. — Vol. 4, No. 9. — P.19−21.
- Bragagnolo J.A. et al. The design and fabrication of thin-film CdS/Cu2S cells of 9,15 percent conversion efficiency / J.A.Bragagnolo, A.M.Barnett, J.E.Phyllips et al. // IEEE Transactions on Electron Devices. — 1980. — Vol. ED-27., No. 4. — P.645−651.
- Bresse J.F. A new analytical model for cathodoluminescence emission as a function of the beam energy in GaAs and InP materials // Materials Sci. and Engineering. —1996. — Vol. B24, No. 1. — P.199−203.
- Bresse J.F., Perotin M., Bougnot J. Characterisation of photo-piles CujS/CdS using ТЕМ, X-ray spectrometry and SEM by EBIC mode // Proc. 7th Europ. Congr. Electron Microscopy. — Hague, 1980. — Vol. 1. — P.358−359.
- Brown D.B., Ogilvie R.E. An evaluation of the Archard electron diffusion model // J. Appl. Phys. — 1964. — Vol. 35, No. 10. — P.2793−2795.
- Carlsson L., Van Esse C.G. An efficient apparatus for stu-ding cathodoluminescence in the scanning electron microscope // J. Phys. D. — 1974. — Vol. 7, No. 1. — P.98−108.
- Casey H.C., Buchler E. Radiative recombination in AmBv // Appl. Phys. Lett. — 1977. -— Vol. 30, No. 5. — P.247−254.
- Cosslett V.E., Thomas P.N. Multiple scattering of 5 30 keV electrons in evaporated metal films. III. Backscattering and absorption // Brit. J. Appl. Phys. — 1965. — Vol. 16, No. 7. — P.779−784.
- Christen J. Characterisation of semiconductor interfaces with atomic scale resolution by luminescence // Festkorperprobleme 30. Advanced in Solid State Phys. (Reprint) — Braunschweig: Vieweg, 1990. — P.239−268.
- Christen J. Cathodoluminescence imaging of semiconductor interfaces // JEOL News. — 1964. — Vol. 26E, No. 1. — P.12−17.
- Cusano D.A. Radiative recombination from GaAs excited by electron beams // Solid State Commun. — 1964. — Vol. 2, No. 2. — P.353−358.
- De Boor C. A practical guide to splines. — Bonn: Springer Verlag, 1978. — 392 p.
- Dmitruk N.L., Litovchenko V.G., Talat G.N. The effect of the surface space charge region on the cathodoluminescence of semiconductors // Surf. Sci. — 1978. — Vol. 72. — P.321−341.
- Donolato C. A Note on the spatial resolution of cathodoluminescence images // Phys. Stat. Sol. (A). — 1994. — Vol. 141, No. 2. — P. K131-K132.
- Everhart Т.Е. Kilovolt electron energy dissipation in solids // J. Appl. Phys. — 1960. — Vol. 31, No. 10. — P.1483−1492.
- Everhart Т.Е., Hoff P.H. Determination of kilovolt electron energy dissipation versus penetration distance in solid materials // J. Appl. Phys. — 1971. — Vol. 42, No. 13. — P.5837−5846.
- Freitas J.A. et al. Optical characterization of lateral epitaxial overgrown GaN layers / J.A.Freitas, O.-H.Nam, R.F.Davis et al. // Appl. Phys. Let. — 1998. — Vol. 72., No. 23. — P.2990−2992.
- Grundmann M., Christen J., Bimberg D. Electronic and optical properties of quasi-one-dimensional carriers in quantum wires
- J. Nonlinear Optical Physics and Materials. — 1995. — Vol. 4, No. 1. — P.99−140.
- Grundmann M. et al. Ultranarrow luminescwnce lines from single quantum dots / M. Grundmann, J. Christen, N.N.Ledentsov et al. // Phys. Rev. Letters. — 1995. — Vol. 74, No. 20. — P.4043−4046.
- Guergouri K. et al. Growth and investigations of monocrystalline GaAs and solid solutions / K. Guergouri, R. Triboulet, A. Tromsourcorli, Y.Marfaing. //J. Cryst. Growth — 1988. — Vol. 86, No. 1. —P.61−77.
- A.Gustafsson et al. Lokal probe techniques for luminescence studies of low-dimensional semiconductor structures / A. Gustafsson A., M.-E.Pistol, L.Montelius., L. Samuelson // J. Appl. Phys. — 1998. — Vol. 84, No. 4. — P.1715−1734.
- Haga T. et al. Specific lattice location of Zn in CdTe determined by ion-channeling methods / T. Haga, H. Suzuki, M.H.Rashid et al. // Appl. Phys. Lett. — 1988. — Vol. 52, No. 3. — P.200−202.
- Hakimzadeh R., Bailey S.G. Minority carrier diffusion length and edge surface-recombination velocity in InP //J Appl. Phys. — 1993. — Vol. 74, No. 2. — P.1118−1123.
- Hergert W., Hildebrandt S., Pasemann L. Theoretical investigations of combined EBIC, LBIC, CL and PL experiments // Phys. Stat. Sol. (A). — 1987. — Vol. 102, No. 3. — P.819−828.
- Hergert W. et al. Cathodoluminescence measurements using the scanning electron microscope for the determination of semiconductor parameters / W. Hergert, P. Reck, L. Pasemann, J. Schreiber // Phys. Stat. Sol. A. — 1987. — Vol. 101, No. 2. — P.611−618.
- Hildebrandt S. Cathodoluminescence microscopy of direct — gap semiconductors // Scanning Microscopy 1996 Meeting. Scanning Microscopy and Semiconductors (Summaries). — Chicago, 1996. — P.2.
- Hoffman C.A., Gerritsen H.J., Nurmikko A.N. Study of surface recombination in GaAs and InP by picosecond optical techniques // J. Appl. Phys. — 1980. — Vol. 51, No 3. — P.1603−1604.
- Hohn F.J. Angular dependence of electron intensities backscat-tered by carbon films // Optik. — 1977. — B. 47, Heft 4. — S.491−494.
- Holt D.B. New directions in scanning electron microscopy cathodoluminescence microcharacterization // Scanning Microscopy. — 1992. — Vol. 6, No. 1. — P. 1−21.
- Horl E., Miigschl E. Scanning electron microscopy of metals using ligtht emission // Proc. 5th Europ. Conf. El. Micr. — London-Bristol, 1972. — P.502−503.
- Hwang C.J. Quantum efficiency and the radiative lifetime of the «band-to-band» recombination in heavily-doped p-type GaAs // Phys. Rew. — 1979. — Vol. B6, No. 4. — P.1355−1364.
- Jones G.A.C., Nag B.R., Gopinath A. Temperature variation of cathodoluminescence in direct gap semiconductrs // Scanning Electron Microscopy. — 1973. — Part 1. — P.308−316.
- Joy D.C. Monte Carlo modeling for electron microscopy and microanalysis. — New York-Oxford: Oxford Univ. Press, 1995. — 452 p.
- Kanaya K., Okayama S. Penetration and energy-loss theory ofelectrons in solid targets //J. Phys. D. — 1972. — Vol. 5, No. 1. — P.43−58.
- Kanaya K., Ono S. The energy dependence of diffusion model for an electron probe into solid targets // J. Phys. D. — 1978. — Vol. 11, No. 10. — P.1495−1508.
- Kazumi W. et al. A high resolution cathodoluminescence microscopy utilizing magnetic field / W. Kazumi, A. Kozen, H. Fushimi, N. Inoue // Japanese J. Appl. Phys. —1988. — Vol. 27, No. 10. — P. L1952-L1954.
- Klein C.A. Spontaneous radiative recombination in semiconductors // IEEE J. Quantum Electronics. — 1968. — Vol. QE-4, No. 1. — 186−194.
- Knauer U., Wolfgang E. Cathodoluminescence spectrometry for the inspection of Si-doped GaAs diodes // Siemens-Forsch.-u. Entwikl. Ber. Bd. — 1977. — B. 6, Nr. 4. — S.236−241.
- Koch F. et al. Cathodoluminescence method of n- and p-GaAs investigations / F. Koch, W. Hergert, G. Oelgart, N.Puhlmann. // Phys. Stat. Sol.(A), 1988. — Vol. 109, No. 1. — P.261−272.
- Kulp B.A., Kelley R.H. Displacement of the sulfur atom in CdS by electron bombardment //J. Appl. Phys. — 1960. — Vol. 31, No. 6. — P.1057−1061.
- Kyser D.F., Wittry D.B. Spatial distribution of excess carriers in electron-beam excited semiconductors // Proc. IEEE. — 1967. — Vol. 55, No. 3. — P.733−734.
- Lohnert K. Untersuchungen zur Alterung griin Emittierender
- Mikkelsen J.C., Boyce J.B. Cathodoluminescence of inorganic chemicals // Phys. Rev. — 1983. — Vol. B28, No. 7. — P.7130−7142.
- Mallows C.L. Some theory of nonlinear smoothers // Annals Sta-tistica. — 1980. — Vol. 8, No. 4. — P.695−715.
- Matsukawa Т., Murata K., Shimizu R. Backscattering of kilovolt electrons // Phys. Stat. Sol.(A). — 1973. — Vol. 55, No 8. — P.3671−3679.
- Michall J. et al. STEM and CTEM studies of the CdS layers of thin-film solar cells / J. Michall, K.H.Norian, D.B.Williams, J.W.Edington // Proc. 7th Europ. Congr. Electron Microscopy. — Hague: 1980. — Vol. 1. — P.352−353.
- Mikheev N.N., Petrov V.I., Stepovich M.A. Spatial kilovolt electron energy loss distribution in solids // Актуальные проблемы электронного приборостроения: Труды международной научно-технич. конф. — Новосибирск, 1992. — Т. 2. — С.21−24.
- Mikheev N.N. et al. Investigations of Cdi-zZn^Tei-ySey Solid solutions by cathodoluminescence and X-ray standing wave methods / N.N.Mikheev, E.A.Sozontov, M.A.Stepovich,
- V.I.Petrov // Microscopy of Semicond. Materials. Inst. Phys. Conf. Ser. — London-Bristol, 1995. — No. 146. — P.443−446.
- Mikheev N.N., Stepovich M.A. The energy spectrum of electrons passing through film targets and some of its applications to electron beam engineering // Materials Sci. and Engineering. — 1995. — Vol. B32, Nos. 1−4. — P. ll-16.
- Moison J.M., Van Rompay М., Bensoussan М. Influence of the near-band-edge surface states on the luminescence efficiency of InP // Appl. Phys. Lett. — 1986. — Vol. 48, No. 20. — P. 1362−1364.
- Motta N. et al. Cathodoluminescence and impurity variations in doped semiconductors / N. Motta, A.Balzarotti., P. Letardi et al. // J. Cryst. Growth. — 1985. — Vol. 72, No. 2. — P.205−215.
- Monch W. Analysis of n—type semiconductors with electron beam excited radiative recombination // Surf. Sci. — 1983. — Vol. 132, Nos. 1−3. — P.92−121.
- Murata K. Spatial distribution of backscattered electrons in the scanning electron microscope and electron microprobe // J. Appl. Phys. — 1974. — Vol. 45, No. 9. — P.4110−4117.
- Murata K., Kyser D.B. Monte Carlo methods and microlitho-graphy simulation for electron and X-ray beams // Advanced in Electronics and Electron Physics. — (San Diego). — 1987. — Vol. 69. — P.175−259.
- Niedrig H. Electron backscattering from thin films // J. Appl. Phys. — 1982. — Vol. 53, No. 4. — P. R15-R49.
- Norris C.B., Barnes C.E., Beezhold W. Depth-resolved cathodoluminescence in indamaged and ion-implanted GaAs, ZnS and CdS // J. Appl. Phys. —1973. — Vol. 44, No. 7. — P.3209−3221.
- Nosker R.W. Scattering of highly focused kilovolt electron beams by solids // J. Appl. Phys. — 1969. — Vol. 40, No. 8. — P.1872−1882.
- Oakes J.J., Greenfield I.G., Partain L.D. Diffusion length determination in thin-film CuzS/CdS solar cells by scanning electron microscopy // J. Appl. Phys. — 1977. — V. 48, No. 6. — P.2548−2555.
- Oelgart G., Werner U. Kilovolt electron energy loss distribution in GaAsP // Phys. stat. sol. A. — 1984. — Vol. 85, No. 1. — P.205−213.
- Oelgart G., Fiddicke J., Reulke R. Investigation of minority-carrier diffusion lengths by scanning electron microscopy // Phys. stat. sol. A. — 1987. — Vol. 66, No. 1. — P.283−297.
- Pease R.F., Kwon O.-K. Physical limits to the useful packaging density of electronic systems // IBM J. Research and Development. — 1988. — Vol. 32, No. 5. — P.636−646.
- Powel M.J.D. Approximation theory and methods. — Cambrige: Cambrige University Press, 1981. — 339 p.
- Puhlmann N., Oelgart G. Semiconductor characterization by means of EBIC, cathodo- and photoluminescence // Phys. Stat. Sol. A. — 1990. — Vol. 122, No. 3. — P.705−713.
- Rao-Sahib T.S., Wittry D.B. Measurements of diffusion lengthsin p-type gallium arsenide by electron beam excitation ^ 11 J. Appl. Phys. — 1969. — Vol. 40., No. 9 — P.3745−3750.
- Reimer L. Monte Carlo simulation techniques for quantitative X-ray microanalysis // Proc. 4th European Workshop on Modern Developments and Applications in Microbeam Analysis. — St. Malo (France), 1995. — P. 31−45.
- Reimer L. Monte Carlo simulation of electron diffusion. Introduction and manual to the software package. — Miinster: Munster Universitat, 1997. — 115 p.
- Reynolds D.C., Antes L.L., Marburger R.E. Photovoltaic effect in cadmium sulfide // Phys. Prev. — 1954. — V. 96, No. 2. —ф P.533−534.
- Rohwer C.H. Fast one-sided approximation with spline functions //J. Comput. Appl. Math. — 1987. — No. 18. — P.93−105.
- Rohwer C.H. Idempotent one-sided approximation of median smoothers //J. Approximation Theory. — 1989. — No. 58. — P.161−163.
- Rohwer C.H. Locally monotone robust approximation of sequences // J. Comput. Appl. Math. — 1991. — No. 36. — P.399−408.
- Rohwer C.H. One — sided quadratic spline approximation Ф // Rendiconti del circolo matematico di Palermo, Serie II. —1998. — Suppl. 52. — P.759−764.
- Saparin G.V. et al. Three-dimentional studies of SiC polytype i transformations / G.V.Saparin, S.K.Obyden, P.V.Ivannikov etal. // Scanning. — 1997. — Vol. 19. — P.269−274.
- Schreiber J., Hergert W., Hildebrandt S. Combined application of SEM-CL and SEM-EBIC for the investigation of compound semiconductors // Appl. Surf. Sci. — 1991. — Vol. 50, No. ?. — P.181−185.
- SEM Microcharacterization of Semiconductors / Ed. by D.B.Holt, D.C.Joy. — London: Academic Press, 1989. — 452 p.
- Spicer W.E. et al. New and unified model for Schottky barrier and III-V insulator interface states formation / W.E.Spicer, P.W.Chye, P.R.Skeath et al. // J. Vac. Sci. Technol. — 1979. — Vol. 16, No. 5. — P.1422−1433.
- Steyn J.B., Giles P., Holt D.B. An afficient spectroscopic detection system for cathodoluminescence mode scanning electron microscopy //J. Microscopy. — 1976. — Vol. 107, No. 1. — P.107−128.
- Sze S.M. Physics of semiconductor devices. — New York: Wil-ley-Interscience, 1969. — 764 p.
- Tanaka A. et al. Zinc and selenium co-doped CdTe substrates lattice matched to HgCdTe / A. Tanaka, Y. Masa, S. Seto, T. Kavasaky // J. Cryst. Growth. — 1989. — Vol. 94, No. 1. — P.166−170.
- Thobel J.L. et al. Recent advanced in electron probe analysis / J.L.Thobel, L. Baudry, P. Bourel et al. // J. Appl. Phys. — 1993. — Vol. 74, No. 10. — P.6274−6287.
- Van Roosbroeck W. Injected current transport in semi-infinite semiconductor and determination of lifetimes and surface recombination velocities //J. Appl. Phys. — 1955. —Vol. 26, No. 1. — P.380−387.
- Van Roosbroeck W., Shockley W. Photon-radiative recombination of electrons and holes in germanium // Phys. Rew. — 1954. — Vol. 94, No. 6. — P.1558−1570.
- Waldrop J.R., Kowalczyk S.P., Grant R.W. Correlation of Fermi-level energy and chemistry at InP (lOO) interfaces // Appl. Phys. Lett. — 1983. — Vol. 42, No. 5. — P.454−456.
- Wittry D.B., Kyser D.F. Measurements of diffusion lengthsin direct — gap semiconductors by electron beam excitation // J. Appl. Phys. — 1967. — Vol. 38, No. 1. — P.375−382.
- Wu K.F., Czekaj J., Shaw M.P. Study of submicron InP transferred electron devices //J. Appl. Phys. — 1993. — Vol. 74, No. 1. —p.315−326.
- Wu C.J., Wittry D.B. Investigation of minority-carrier diffusion lengths by electron bombardment of Shottky barriers //J. Appl. Phys. — 1978. — Vol. 49, No. 5. — P.2827−2836.
- Yacobi B.G., Holt D.B. Cathodoluminescence microscopy of inorganic solids. — New York: Plenum Press, 1990. — 354 p.
- Yakimov Eu. Electron beam induced current investigations of electrical inhomogeneities with high spatial resolution // Scanning Microscopy. — 1992. — Vol. 6, No. 1. — P.81−96.
- Заведующий лабораторией доктор технических наук1. Л.С.Иваноь1. РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ
- ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МАТЕРИАЛОВ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ1. RUSSIAN FEDERATION
- Об использовании результатов диссертационной работы Степовича М. А. «Количественная катодолюминесцентная микроскопия прямозонных материалов полупроводниковой оптоэлектроники», представленной на соискание ученой степени доктора физико-математических наук
- Проведенные работы показали высокую эффективность использования электронно-зондовых методов анализа при разработке в промышленном производстве отоэлектрон-ных приборов.1. Начальник ЦКБ
- Главный конструктор, кандидат физ.-мат. наук1. В.В. Карпов
- Зам. начальника ЦКБ, доктор техн. наук1. В.П. Астахов1. Главный технолог1. А.В. Пашко"
- ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ1. ПРЕДПРИЯТИЕ
- Научно-производственное предприятие &bdquo-Квант129 626, Москва, 3 Мытищинская, 16 E-mail: kvanleko @mail.cnt.ru Факс/тел. 287−18−71Г1. УТВЕРЖДАЮ"11. АКТ
- Настоящий акт состоит в том, что результаты диссертационной работы Степовича М. А. были использованы при разработке усовершенствованной технологии: производства тонкоплёночных фотоэлементов на основе поликристаллического сульфида кадмия.
- Показано, что возможности исследования локальных характеристик и диагностики фотоэлементов существенно расширяются при использовании цветной катодолкхминесценции и цветокодировании сигнала отражённых электронов.
- Результаты работы были использованы в отчетах лаборатории за 1979 г (Т.О. 17.79), за 1981 г.(Т.О. 53.81). и за 1998 г.(Т.О. 75.98).
- По результатам проведенных исследований сотрудниками предприятия совместно со Степовичем М. А. подана заявка на патент РФ (заявка № 2 002 100 104, приоритет от 9 января 2002 г.).
- Зам. главного конструктора