Математическое моделирование системы формирования электронного пучка на основе полевого катода
Диссертация
Поэтому задача разработки новой физической модели электронно-оптической системы с полевым электронным катодом и создание на ее основе универсальной математической модели электронио-оптической системы, а также создание реализации соответствующих алгоритмов в виде комплекса проблемно—ориентированных программ для проведения вычислительного эксперимента являются, несомненно, актуальными. Цель работы… Читать ещё >
Список литературы
- V.T. Binh, S.T. Purcell. Field emission from nanotips. Volume 111, pages 157−164, 1997
- E.G. Borgonjen, G.P. van Bakel, C.W. Hagen, P. Kruit. A novel vacuum electron source based on ballistic electron emission. Volume 111, pages 165−179, 1997.
- E.C. Boswell, S.E.Hug, M. Huang. Poly cry stallic silicon field emitters. Journal of Vacuum Science, Technology, 14(3): 1910−1913, 1996.
- L. Chen, M.M. El-Gomati. Stabilized emission from microfield emitter for electron microscopy. Microelectronics Reliability, 46:1209−1213, 2006.
- W.P. Dyke, J.K. Trolan, W.W. Dolan, G.Bernes. The field emission: fabrication, electron microscopy, electric field calculation. Journal of Applied Physics, 24(2):305−316, 1953.
- C.J. Edgcombe, U.Valdre. The enhancement factor, the characterization of amorphous carbon field emitters. Solid-State Elecrtonics, 45(6):857 863, June 2001.
- C.J. Edgcombe, U. Valdre. Microscopy, computational modeling to elucidate the enhancement factor for field electron emitters. Journal of Microscopy, 203(2): 188 194, 2001.
- C.J. Edgcombe, U. Valdrè- Experimental, computational study of field emission characteristics from amorphous carbon single nanotips grown by carbon contamination i. experiments, computation. Philosophical Magazine Part B, 82(9):987 1007, 2002.
- N.V. Egorov, E.M. Vinogradova. Mathematical model of electron gun on the field emission electron cathode basis. Vacuum, 57:267 281, 2000.
- N.V. Egorov, E.M. Vinogradova. Mathematical modeling of electron beam formatting systems on the basis of field emission cathodes with various shapes. Vacuum, 72:103 —111, 2004.
- Y. Feng, J.P. Verboncoeur. A model for elective field enhancement for fowler nordheim field emission. Physics of Plasmas, 12(10): 103 301, 2005.
- V. Filip, D. Nicolaescu, F. Oknyama. Analysis of microwave generation by field emitter electrons moving in crossed electric, magnetic field. Volume 111, pages 185 193, 1997.
- Richard G. Forbes, C.J. Edgcombe, U. Valdre. Some comments on models for field enhancement. Ultramicroscopy, 95:57 65, 2003.
- R.H. Fowler, L. Nordheim. Electron emission in intense electric fields. Proceedings of the Royal Society of London. Series A, Containing Papers of a Mathematical, Physical Character (19 051 934), 119(781): 173 181, May 1928.
- Y. Hirata, K. Ozaki, U. Ikeda, M. Mizoshiri. Field emission current, vacuum breakdown by a pointed cathode. Thin Solid Films, 515(9):4247 4250, 2007.
- J. Itoh. Development, applications of field emitter arrays in Japan. Volume 111, pages 204 212, 1997.
- K.L. Jensen, E.G. Zaidman. Analytic expressions for emission in sharp field emitter diodes. Journal of Applied Physics, 77(7):3569 3571, 1995.
- E. Kasper. Field’electron emission systems. In Advances in optical, electron microscopy, pages 207 260. London: Academic Press, 1982.
- H. Ogawa, N. Arai, K. Nagaoka. Energy spectra of field emission elwctrons from a w (310). Surface Science, 357:371−375, 1996.
- T. Ohshima, T. Mishima, M. Okamoto, IC. Kuroga. Resonant tunneling electron beam source using gaas/alas/gaas field emitter. Volume 111, pages 170−173, 1997.
- A.G.J. Oostrom. Validity of fowler-nordheim model for field electron emission. Philips Research Reports Supplement, (1): 1−162, 1966.
- Kazuyuki Ozaki, Toshimi Ohye, Nobuaki Tamura, Yoshiki Uchikawa. Computation of field distribution on the emitter tip using the surface charge metod. Journal of Electron Microscopy, 30(4):281−291, 1981.
- Li-Hong Pan, Thomas E. Sullivan, Vallorie J. Peridier, Paul H. Cutler, Nicholas M. Miskovsky. Three-dimensional electrostatic potential, potential-energy barrier, near a tip-base junction. Applied- Physics Letters, 65(17):2151−2153, 1994.
- C. Park, H. Park, Y.K. Hong, J.S. Kim, J.K. Kim. Electron emission characteristics of diamond like carbon films deposites by laser ablation technique. Volume 111, pages 140−141, 1997.
- William H. Press, Saul A. Teukolsky, William T. Vetterling, Brian P. Flannery. Numerical Recipes in C. CUP, 1992.
- J.C. She, N.S.Xu, S.Z. Deng, Jun Chen. Vacuum breakdown of carbon-nanotube field emitters on a silicon tip. Applied Physics Letters, 83(13):2671−2673, 2003.
- E.D. Williams, R.Q. Hwang, R.L. Park. Summary abstract: Electron gun, detector for high resolution low energy electron diffraction. Journal of Vacuum Science, Technology, 2(2): 1004−1005, 1984.
- Y. Xuebiao, X. Zhangcheheng, H. Guoguang, Z. Qingxue. Y. Ping, Emission characteristics of the molybdenum-coated silicon field emitter array. Journal of Physics, 29(3):506−510, 1996.
- M.I. Yavor, E.V. Strigova. Field distribution, electrical properties of electrostatic conical slit lenses. Nuclear Instruments, Methods in Physical Research, 363(l):445−450, 1995.
- Guang Yuan, Hang Song, Yixin Jin, Hidenori Mimura, Kuniyoshi Yokoo. Effect of distribution of field enhancement factor on fieldemission from cathode with a large number of emission sites. Thin Solid Films, 484(l-2):379−381, July 2005.
- E.G. Zaidman. Simulation of field emission microtriodes. Electron Devices, IEEE Transactions on, 40(5): 1009−1016, 1993.
- Z. Znamirowski, W. Czarczynski, J. Sobanski. An adge-type field emission cathode with ion trap. Volume 111, pages 233−236, 1997.
- J.D. Zuber, K.L. Jensen, Т.Е. Sullivan. An analytical solution for microtip field emission current, effective emission area. Journal of Applied Physics, 91(11):9379−9384, 2002.
- А.А. Алмазов, H.B. Егоров. К методике расчета характеристик автоэмиссионных систем. Радиотехника и электроника, 31(12):2452−2458, 1986.
- А.А. Алмазов, Н. В. Егоров. Оптимизация многоострийных эмиссионных систем. Радиотехника и электроника, 40(4):638−643, 1995.
- A.M. Бродский, Ю. Я. Гуревич. Теория электронной эмиссии из металлов. М.:Наука, 1973.
- И. Броудай, Дж. Мерей. Физические основы микротехнологии. М.: Мир, 1985.
- Дж.Р. Брюэр, Д. С. Гринич, Д. Р. Херриот. Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов. М.:Радио и связь, 1984.
- JI.A. Баранова, С. Я. Явор. Электростатические электронные линзы. М.:Наука. Гл.ред.физ.-мат.лит., 1986.
- С.П. Бугаев, Е.А., Литвинов, Г. А. Месяц, Д. И. Проскуровский. Взрывная эмиссия электронов. УФН, 115(2): 101−120,1975.
- В.А. Васин, В. А. Невровский. Исследование распределения электрического поля в диоде с острийным катодом. Журнал технической физики, 49(1): 110−116, 1979.
- B.JI. Васкевич, A.B. Тыщенко. Приближенное решение задачи Дирихле в областях типа микроканала, с. 111−122. Новосибирск. Наука. Сиб. отд-ние, 1990.
- А.Г. Власов, Ю. А. Шапиро. Методы расчета эмиссионных электронно-оптических систем. Л.: Машиностроение, 1974.
- С.К. Годунов, Е. И. Роменский, Г. А. Чумаков. Построение разностных сеток в сложных областях с помощью квазиконформных отображений, с. 75−83. Новосибирск. Наука. Сиб. отд-ние, 1990.
- А.О. Голубок, Д. Н. Давыдов, В. А. Тимофеев, С. Я. Тинисеев. Сканирующий туннельный микроскоп при этмосферпом давлении. Научное приборостроение. Электронно-ионная оптика, с.111−116. Л.: Наука, 1989.
- И.М. Гордион, И. Д. Токман. Задача электростатики для сжатого сфероида в ионе точечного заряда. Журнал технической физики, 67(2):121−122, 1997.
- Ю.Ф. Гупько, А. Л. Сафронов. Расчет эмиссионных характеристик для острийных автокатодов на вертикальной подложке. Импульсные лазеры и их применение, с. 133−138. М.: Изд-во МФТИ, 1988.
- Н.Д. Девятков, ред. Методы расчета электронно-оптических систем: Сб. науч. трудов. М.: Наука, 1977.
- В. Л. Егоров, Ю. В. Ченцев. Автоэлектронные катоды в современных электронных микроскопах. Труды гос. опт. инст-та., 58:68−87, 1985.
- М.И. Елинсон, Г. Ф. Васильев. Автоэлектронная эмиссия. М.: Физматгиз, 1958.
- М.И. Елинсон, Т. А. Кудинцева, Ю. А. Кулюнин. Ненакаливаемые катоды. М.: Советское радио, 1974.
- В.И. Зубов. Динамика управляемых систем. Учеб. пособие для вузов. М.: Вычш. школа, 1982.
- В.И. Зубов. Колебания и волны. Учеб. пособие для вузов. Л.: Изд-во ЛГУ, 1989.
- В.Г. Иванов, В. Л. Данильчук. Полевая эмиссия из ge и si лезвийных катодов. Известия АН СССР. Серия физика, 52(8):1522−1525, 1988.
- В.П. Ильин. Численные методы решения задач электронооптики. Новосибирск: Наука, 1974.
- В.И. Ильин, ред. Методы расчета электронно-оптических систем. Труды 4 Всесоюз. Сем. Новосибирск, 1982.
- В.П. Ильин, ред. Алгоритмы и методы расчета электронно-оптических систем: Сб. науч. трудов. Новосибирск, 1983.
- И.М. Канчинский. Теория линейных резонансных ускорителей: Динамика частиц. М.: Энергоиздат, 1982.
- Г. В. Лебедев, H.A. Тимченко. Комплекс программ автоматического проектирования электронно-оптических систем «Зонд». Научное приборостроение. Электронно-ионная оптика, с. 111−116. Л.:Наука, 1989.
- И.Н. Миролюбов, М. В. Костенко, М. Л. Левинштейн, H.H. Тиходеев. Методы расчета электростатических полей. М.: «высшая школа», 1963.
- Э. Мюллер, Т. Цопь. Автоионная микроскопия. Металлургия, 1972.
- Л. А. Неганов, В. А. Сыровой, В. Н. Цхай. Расчет и экспериментальное исследование электронной пушки технологического назначения. Радиотехника и электроника, 35(10):2146−2155, 1990.
- Д.А. Овсянников. Моделирование и оптимизация динамики пучков заряженных частиц. Л.:Изд-во ЛГУ, 1990.
- А.К. Огородников. Комплекс программ «Дельта» для расчета транспортирующих систем заряженных частиц. Научное приборостроение. Электронно-ионная оптика, с. 107−111. Л.:Наука, 1989.
- Б.И. Орлов, И. П. Шахматова. О расчете электростатических полей с особенностью вблизи электродов. Методы расчета электронно-оптических систем, с. 162−168. М.:Наука, 1977.
- Дж.Р. Пирс. Теория и расчет электронных пучков. М.: Советское радио, 1956.
- В.В. Плохов, В. А. Сыровой. О расчете многолучевого инжектора с релятивистским электронным пучком. Радиотехника и электроника, 35(12):2582−2593, 1990.
- В.В. Рассадин. Расчет электрического поля в периодических структурах линейных ускорителей ионов. Система линейных ускорителей и испрользование пучков заряженных частиц. С. 4145. М.: Изд-во МИФИ, 1987.
- А.Д. Селидовкин. Модель острия автоэмиссионного катода. Радиотехника и электроника. 28(7): 1371−1377, 1983.
- В.А. Сыровой. О геометрии пространственных электронных потоков в окрестности произвольного гладкого эмиттера. Известия вузов. Радиофизика, 31(8):984−994, 1988.
- В.А. Сыровой. Расчет формирующих электродов в оптике осесимметричных электронных пучков. Радиотехника и электроника, 39(4):6 660 687, 1994.
- В.А. Сыровой. Расчет формирующих электродов в оптике плоских электронных пучков. Радиотехника электроника, 39(3):481−502, 1994.
- В.А. Сыровой. О синтезе непараксиальных релятивистских электронных пучков при эмиссии, ограниченной температурой, ипри иижекции с ненулевой скоростью. Радиотехника и электроника, 42(3):348−360, 1997.
- А.Н. Тихонов, В. Я. Арсенин. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1979.
- Я.С. Уфлянд. Метод парных уравнений в задачах математической физики. JL: Наука, 1977.
- И.С. Градштейн, И. М. Рыжик И.М. Таблицы интегралов сумм, рядов и произведений. М.: Наука, 1971.
- Ю.Н. Кузьмин. Некоторые задачи математической физики и теории упругости, разрешимые с помощью парных интегральных уравнений. Журнал технической физики, 40(11):2276−2282, 1970.
- Л.Э. Цырлин. Избранные задачи расчета электрических и магнитных полей. М.: сов. радио, 1977.
- С.И. Шкуратов, С. Н. Иванов, С. И. Шилиманов. Автоэлектронная лаборатория полевой электронный спектрометр, совмещенный с полевым ионным/электронным микроскопом. Приборы и техн. Эксперимента, (4): 126−134, 1996.
- Г. Ч. Шушкевич. Электростатическая задача для тора и диска. Журнал технической физики, 67(4): 123−126, 1997.
- В.М. Юркевич. Численный расчет электрического поля методом сферических сегментов. Электричество, (7)-40−46, 1995.
- В.М. Юркевич. Расчет источников и напряженности электрического поля в методе сферических сегментов. Электротехника, (10):49−54, 1996.
- Е.М. Якушев, A.A. Сапаргалиев, А. К. Еленгеев. Общая теория пространственной и времяпролегной фокусировки заряженных частиц в стационарных электромагнитных полях. Журнал технической физики, 55(7): 1291−1299, 1985.