Помощь в написании студенческих работ
Антистрессовый сервис

Разработка и исследование планарных автоэмиссионных катодов из углеродных материалов

Диссертация: Разработка и исследование планарных автоэмиссионных катодов из углеродных материалов
ДиссертацияПомощь в написанииУзнать стоимостьмоей работы

Апробация работы. Основные положения диссертации докладывались на 21 научно-технической конференции: i. 5-я международная конференция «Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология». Москва, 2006 ii. Joint 19th International Vacuum Nanoelectronics Conference and 50th International Field Emission Symposium (Объединенные международные 19-я конференция по вауумной… Читать ещё >

Разработка и исследование планарных автоэмиссионных катодов из углеродных материалов (реферат, курсовая, диплом, контрольная)

Содержание

  • ГЛАВА 1. ПЛАНАРНЫЕ АВТОЭМИССИОННЫЕ КАТОДЫ
    • 1. 1. Материалы для автоэмиссионных катодов
      • 1. 1. 1. Электронная эмиссия
      • 1. 1. 2. Измерения и номенклатура
      • 1. 1. 3. Микроострия
      • 1. 1. 4. Композиты
      • 1. 1. 5. Тонкие пленки
      • 1. 1. 6. Алмаз и алмазоподобные пленки
      • 1. 1. 7. Графит и графитовые пасты
      • 1. 1. 8. Полимеры
      • 1. 1. 9. Углеродные волокна
      • 1. 1. 10. Углеродные нанотрубки
      • 1. 1. 11. Особые углеродные структуры и другие материалы
    • 1. 2. Технология изготовления катодов
      • 1. 2. 1. Подложка
      • 1. 2. 2. Электроды катодного контакта и затвора
      • 1. 2. 3. Резистивные слои
      • 1. 2. 4. Изолятор модулятора и соответствующие технологические процессы
      • 1. 2. 5. Альтернативные триодные и тетродные конструкции
      • 1. 2. 6. Тонкопленочные краевые эмиттеры
      • 1. 2. 7. Приборы с поверхностной эмиссией
      • 1. 2. 8. Приборы на основе поверхностной проводимости
    • 1. 3. Технологические процессы изготовления вакуумных приборов с автокатодами
      • 1. 3. 1. Очистка
      • 1. 3. 2. Спейсеры
      • 1. 3. 3. Вакуумная оболочка
      • 1. 3. 4. Поддержание вакуума в отпаянном приборе
    • 1. 4. Особенности работы приборов па основе автокатодов
      • 1. 4. 1. Типы сбоев
      • 1. 4. 2. Рабочий режим
      • 1. 4. 3. Вопросы экологии
    • 1. 5. Латеральные катоды из терморасширенного графита
      • 1. 5. 1. Преимущества латеральной конструкции катода
      • 1. 5. 2. Углеродные автокатоды и особенности их структуры
      • 1. 5. 3. Терморасширенный графит
  • Краткие
  • выводы
  • ГЛАВА 2. МЕТОДИКА И ТЕХНИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
    • 2. 1. Методика эмиссионных испытаний автокатодов
      • 2. 1. 1. Анализ вольт-амперных характеристик
      • 2. 1. 2. Анализ анодно-сеточных характеристик
      • 2. 1. 3. Проведение долговременных автоэмиссионных испытаний
      • 2. 1. 4. Измерительный стенд
    • 2. 2. Методики визуализации эмиссионных центров
      • 2. 2. 1. Анализ топографии катода с помощью растрового электронного микроскопа
      • 2. 2. 2. Анализ автоэмиссионного изображения катода
      • 2. 2. 3. Исследование распределения эмитирующих центров с помощью коронного разряда
  • Краткие
  • выводы
  • ГЛАВА 3. СПОСОБЫ ФОРМИРОВАНИЯ ЭМИССИОННОЙ ПОВЕРХНОСТИ
    • 3. 1. Исследование структуры ТРГ фольги
    • 3. 2. Эмиссионные свойства ТРГ фольги
    • 3. 3. Формирование эмиссионных центров при помощи лазера
      • 3. 3. 1. Физические предпосылки лазерного раскроя углеродных композиционных материалов
      • 3. 3. 2. Термическая обработка фольги из ТРГ лазерным излучением
      • 3. 3. 3. Установка лазерной резки
      • 3. 3. 4. ТРГ фольга после обработки импульсным лазерным излучением
      • 3. 3. 5. Испытания катода из ТРГ, изготовленного с помощью лазера
      • 3. 3. 6. Сравнение механической и лазерной обработки фольги из ТРГ
    • 3. 4. Эмиссионные характеристики автокатодов из ТРГ фольги
      • 3. 4. 1. Долговременная стабильность
      • 3. 4. 2. Сравнение автоэмиссионных катодов из ТРГ и ПАН-волокон
      • 3. 4. 3. Предельно достижимые плотности тока катодов из ТРГ
  • Краткие
  • выводы
  • ГЛАВА 4. МОДЕЛИРОВАНИЕ ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С АВТОКАТОДОМ
    • 4. 1. Применение метода конечных элементов для решения уравнения Лапласа
    • 4. 2. Математическая модель электронно-оптической системы
    • 4. 3. Элемент дисплейной матрицы на основе фольги из ТРГ
  • Краткие
  • выводы

Актуальность темы

.

Создание, исследование и применение автоэмиссионных катодов (АЭК) является одним из актуальных направлений современной науки и техники. В последнее время значительный интерес привлекают исследования автоэлектронной эмиссии из новых типов углеродных материалов. Отличительной особенностью углерода является его высокая устойчивость к воздействию разрушающих факторов эмиссионного процесса, а также возможность создания различных структур на его основе с уникальными эмиссионными свойствами.

С практической точки зрения особо актуальным является создание плоских автоэмиссионных источников света и дисплейных экранов. Для таких применений необходимо формировать большие массивы автоэмиссионных катодов (от нескольких кв. см до нескольких десятков, а то и сотен кв. см). Оптимизация параметров таких автокатодов требует понимания фундаментальных закономерностей их работы. При этом для создания катодных массивов большой площади необходимо учитывать не только параметры отдельного катода, но и взаимодействие элементов массива между собой.

Материал автокатода определяет его эмиссионные характеристики и свойства конечного прибора. В качестве АЭК были опробованы различные типы углеродных волокон, пиролитические графиты, мелкопористые графиты и другие углеродные материалы. Практически сразу с момента обнаружения нанотрубок в 1991 году было выявлено, что они обладают уникальными эмиссионными свойствами. Автокатоды на их основе получили широкое распространение. Таким образом, к настоящему времени исследован достаточно широкий спектр углеродных материалов для использования в качестве автокатодов. Однако для изготовления вакуумных приборов на их основе необходимо решить ряд задач, а именно, формирования планарного катода определенной формы и обеспечения достаточной повторяемости геометрических параметров, изготовления катодных массивов большой площади, получения развитой эмитирующей поверхности планарного катода и др.

Преодолеть вышеописанные проблемы можно, применив для изготовления АЭК материал с планарной структурированностью, способный обеспечить стабильную эмиссию с торцевой поверхности и устойчивый к воздействию остаточных газов. При этом он должен соответствовать технологическим требованиям, предъявляемым к вакуумным материалам и приборам, иметь высокую шероховатость поверхности, на которой происходило бы существенное усиление поля, а также должен существовать технологичный способ формирования из этого материала катодов большой площади с высокой повторяемостью эмиссионных свойств.

Одним из материалов, удовлетворяющих данным требованиям по структурным свойствам, является терморасширенный графит (ТРГ).

Целью работы являлось исследование возможностей применения терморасширенного графита в новом конструктивном решении — в качестве латерального автоэмиссионного катода — и изучение его эмиссионных свойств.

В работе решались следующие основные научно-технические задачи:

• определение физических особенностей процессов лазерной резки фольги из ТРГ с целью обеспечения контролируемого процесса изготовления катодов со стабильными и повторяемыми эмиссионными характеристиками;

• проведение сравнительного экспериментального исследования эмиссии электронов из автокатодов, прошедших различную предварительную обработку;

• определение предельно допустимых эмиссионных параметров катодов из ТРГ и пороговых напряженностей электрического поля, необходимых для работы катода;

• разработка катодно-модуляторных узлов с латеральным катодом из ТРГ и моделирование их электронно-оптических свойств.

Научная новизна.

В работе впервые предложен и апробирован новый метод изготовления автокатодов, а именно, — формирование катодных срезов заданной формы в планарном углеродном материале импульсным лазерным излучением. Предложенный метод обеспечивает стабилизацию эмиссионных характеристик при работе автокатода в условиях технического вакуума.

Впервые экспериментально продемонстрирована зависимость параметров автокатодов на основе фольги из ТРГ от способа предварительной обработки (механическая, лазерное излучение).

Для предварительной оценки качества изготовления автоэмиссионных катодов впервые применена визуализация областей катода с максимальным усилением электрического поля у поверхности при помощи коронного разряда на воздухе.

Разработана электронно-оптическая система и проведено компьютерное моделирование зависимости характеристик эмиссионного процесса от геометрических параметров системы. Результаты моделирования подтверждены экспериментально.

Научные результаты, выносимые на защиту:

1. Слоистая структура фольги из ТРГ с преимущественной ориентацией базисной плоскости кристаллической структуры графита параллельно плоскости прокатки обеспечивает формирование на ее срезе лезвийной структуры, обеспечивающей усиление электрического поля на микронеровностях поверхности.

2. Поверхностный характер и локальность лазерного воздействия приводят к созданию на поверхности автоэмиссионного катода слоя материала с измененным по отношению к основной массе структурно-фазовым составом (графитация) и увеличению открытой пористости, что приводит к формированию развитой эмиссионной поверхности с характерным размером шероховатости 100 нм.

3. Краевой эффект у катода в электронно-оптической системе латеральной конструкции с автоэмиссионным катодом в форме круглого отверстия и управляющим электродом, расположенным под отверстием, обеспечивает отклонение траекторий электронов к центру системы, что приводит к формированию локализованного автоэмиссионного изображения на аноде.

Практическая значимость работы заключается в применимости полученных результатов при разработке приборов эмиссионной электроники. Автокатоды в виде массивов отверстий в фольге из ТРГ позволяют создать на их основе различные устройства, для которых необходимы «засветка» электронами большой площади анода и компактность — плоские источники света, матричные дисплейные экраны. Также могут быть созданы электронные пушки для различных электровакуумных приборов, в частности, для рентгеновских трубок.

В процессе формирования автоэмиссионных катодов с помощью лазерной резки эмиссионная поверхность модифицируется, в результате чего существенно повышаются эмиссионные характеристики и долговечность автокатодов, что ведет к улучшению параметров конечных приборов на их основе, а именно, снижению рабочих напряжений, увеличению максимальной мощности, долговечности.

Коронный разряд на воздухе позволяет визуализировать области автоэмиссионного катода с максимальным усилением электрического поля и проводить анализ качества автоэмиссионного катода вне вакуумных условий.

На основе разработанных катодов были созданы прототипы матричного дисплея и плоского источника света триодной конструкции.

Внедрение результатов работы: научные подходы и научные результаты диссертации могут быть использованы в ведущих российских научных организациях, занимающихся теоретическими и экспериментальными работами в области вакуумной и автоэмиссионной электроникой: Институте радиоэлектроники Российской академии наук, Научно-исследовательском институте «Платан», Научно-исследовательском институте физических проблем им. Лукина, Институте общей физики Российской академии наук им. A.M. Прохорова, Научно-исследовательском институте «Волга», Научно-исследовательском институте «Исток».

Апробация работы. Основные положения диссертации докладывались на 21 научно-технической конференции: i. 5-я международная конференция «Углерод: фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология». Москва, 2006 ii. Joint 19th International Vacuum Nanoelectronics Conference and 50th International Field Emission Symposium (Объединенные международные 19-я конференция по вауумной наноэлектронике и 50-й симпозиум по полевой эмиссии). Гуйлин, Китай, 2006 iii. 16-я -18-я Международная научно-техническая конференция «Современное телевидение», Москва, 2008;2010 iv. ICHMS'07 и '09, Судак, 2007;2009 v. International Display Research Conference (Международная конференция по исследованиям в области дисплеев), Москва, 2007 vi. 47-я — 54-я научная конференция МФТИ «Современные проблемы фундаментальных и прикладных наук». Долгопрудный, 2004 — 2009 vii. конференция «Нанотехнологии — производству 2007». Фрязино, 2007 viii. XIV научно-техническая конференция «Вакуумная наука и техника», Москва, МГИЭМ, 2007 ix. 51nd International Field Emission Symposium (50-й международный симпозиум по полевой эмиссии), 2008 x. XVIII Международное совещание «Радиационная физика твердого тела», Севастополь, 2008 xi. International Vacuum Electron Source Conference (Международная конференция по вакуумным источникам электронов), 2008.

Основные результаты опубликованы в 4 статьях в журналах, рекомендованных Высшей аттестационной комиссией, и 9 тезисах международных конференций.

Личный вклад автора.

Автором спроектирована и собрана экспериментальная установка, проведены экспериментальные исследования и численное моделирование свойств систем и их отдельных элементов, проведены расчеты и изготовление систем с автоэмиссионными катодами. Постановка задач исследований, определение методов их решения и интерпретация результатов выполнены совместно с научным руководителем и соавторами опубликованных работ при непосредственном участии соискателя.

Структура и объем диссертации

Диссертационная работа состоит из введения, четырех глав, заключения, списка литературы (из 157 наименований) и приложения. Диссертация изложена на 138 листах машинописного текста, включает 43 рисунка и 3 таблицы.

Основные результаты диссертационной работы:

1. На основе фольги из ТРГ создан автокатод, эмиссионной поверхностью которого является срез. Проведено исследование его эмиссионных свойств.

2. Разработана методика формирования эмиссионной поверхности на срезе планарных углеродных материалов с помощью лазерного излучения ИК диапазона. Аналитически рассчитан и реализован на практике режим, позволяющий формировать на срезе обрабатываемого материала эмиссионную поверхность с высоким усилением электрического поля за счет развитой микрогеометрии.

3. Реализована методика визуализация областей автоэмиссионного катода с максимальным усилением электрического поля на основе коронного разряда на воздухе.

4. Проведено компьютерное моделирование электронно-оптической системы катодолюминесцентного источника света триодной конструкции с латеральным автоэмиссионным катодом. Определены и экспериментально реализованы конфигурации электронно-оптических систем с увеличенной крутизной анодно-сеточных характеристик, пониженным токоперехватом на управляющем электроде и большей локализацией автоэмиссионного изображения катода. Результаты моделирования подтверждены экспериментально.

5. Разработана комплексная методика измерений эмиссионных характеристик электронно-оптических систем триодной конструкции, позволяющая определять эмиссионные параметры катодов при работе в триодной конструкции: форм-факторы систем катод-модулятор и катод-анод, площадь эффективной эмитирующей поверхности.

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

.

Показать весь текст

Список литературы

  1. А.А. Talin, К.A. Dean, J.E. Jaskie Field emission displays: a critical review
  2. Solid state electronics. 2001. № 45. p. 963−976
  3. Е.П., Структура поверхности и автоэмиссионные свойства углеродных материалов. —М.: Издательствао МФТИ, 2001. — 288 с.
  4. Н. Абаньшин, Н. Жуков, А. Кузнечихин Дисплеи с наноразмерными структурами: начало положено // Электроника: наука, технология, бизнес. 2007. № 5. стр. 32−38.
  5. .В., Шешин Е. П., Щука А. А., Приборы и устройства электронной техники на основе автокатодов. — В кн.: Зарубежная электронная техника. — М.: ЦНИИ «Электроника», 1979, № 2, с. 3 47
  6. .В., Рыбаков Ю. Л., Шешин Е. П., Щука А. А., Автоэлектронные катоды и приборы на их основе. — Обзоры по электронной технике, сер. 4, «Электронные и газоразрядные приборы». —М.: ЦНИИ «Электроника», 1981, вып. 4,.58 с.
  7. Spencer P.L., Electron device with a sharp edged cathode // Pat. 3 109 123 (USA), 29.10.63
  8. Crandall W.E., Traveling wave tube amplifier employing field emission cathodes // Pat. 4 091 332 (USA), 23.05.78
  9. Improvements in field emission guns // Pat. 1 426 509 (England), 3.03.78
  10. Electron-beam microanalyses apparatus // Pat. 1 389 119 (England), 03.04.75
  11. Christov A., Comparison of electron sources high-resolution Auger spectroscopy in an SEM // J.Appl.Phys., 1979, vol. 47, № 12, p. 5464 5466
  12. Crewe A.V., Scanning electron microscope // Pat. 3 191 028 (USA), 22.06.65
  13. Crewe A.V., Electron microscope using field emission source // Surf.Sci., 1975, vol. 48, № 1, p. 152 160
  14. M. Tanaka, Y. Nohara, K. Tamaura et.al. // Tech. Digest of Society for Information Display (SID)'99, 818 821,199 914.. J. OUELLETTE: The Industrial Physicist, 1997, Dec., 10−13.
  15. A.P. BURDEN: Materials World, 2000, 8, no.7, 22−25
  16. S.W. DEPP and W.E. HOWARD: Scientific American, 1993, Mar., 40−45
  17. S.M. KELLY: 'Flat Panel Displays Advanced Organic Materials', RSC Materials Monographs, Royal Society of Chemistry 2000
  18. P.D. RACK, A. NAMAN, P.H. HOLLO WAY, S.-S. SUN, and R.T. TUENGE: MRS Bulletin, 1996, Mar., 49−58.
  19. O. PRACHE: Displays, 2001, 22, 49−56.
  20. J.A. CASTELLANO: 'Handbook of display technology', 1 st edn- 1992, San Diego, Academic Press
  21. R.W. WOOD: Phys. Rev., 1897, 5, 1−10
  22. E.L. MURPHEY and R.H. GOOD: Phys. Rev., 1956, 102, 1464−1473
  23. R.H. FOWLER and L. NORDHEIM: Proc. Roy. Soc. Ser A, 1928, 119,173−181
  24. R. FORBES: Solid State Elec., 2001, 45, 779−808
  25. C. WANG, A. GARCIA, D.C. INGRAM, M. LAKE, and M.E. KORDESCH: Electronic Letters, 1991, 27, 1459−1461
  26. D. TEMPLE: Mater. Sei. & Eng., 1999, R24, 185−239
  27. B.C. DJUBUA and N.N. CHUBUN: IEEE Trans. Elec. Dev., 1991, 38, 2314−2316
  28. W.D. GOODHUE, P.M. NITISHIN, C.T. HARRIS, C.O. BOZLER, D.D. RATHMAN, G.D. JOHNSON, and M.A. HOLLIS: J. Vac. Sei. Technol. B, 1994, 12, 693−696
  29. P.I. BIRADAR and P.A. CHATTERTON: J. Phys. D, 1970, 3, 16 531 662
  30. B.M. COX: J. Phys. D, 1975, 8, 2065−2073
  31. W.A. MACKIE, T. XIE, and P.R. DAVIS: J. Vac. Sei. Technol. B, 1995, 13,2459−2463
  32. V.V. ZHIRNOV, O.M. KUTTEL, O. GRONING, A.N. ALIMOVA, P.Y. DETKOV, P.I. BELOBROV, E. MAILLARD-SCHALLER, and L. SCHLAPBACH: J. Vac. Sei. Technol. B, 1999, 17, 666−669
  33. A.F. MYERS, S.M. CAMPHAUSEN, J.J. CUOMO, J.J. HREN, J. LIU, and J. BRULEY: J. Vac. Sei. Technol. B, 1996, 14, 2024−2029
  34. T. SUGINO, S. KAWASAKI, K. TANIOKA, and J. SHIRAFUJI: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 2704−2706
  35. E.C. BOSWELL, M. HUANG, G.D.W. SMITH, and P.R. WILSHAW: J. Vac. Sei. Technol. B, 14, 1996, 1895−1898
  36. M.S. MOUSA, C.E. HOLLAND, I. BRODIE, and C.A. SPINDT: Appl. Surf. Sei., 1993, 67, 218−221
  37. JESSING J.R., PARKER D.L., and WEICHOLD M.H.: J. Vac. Sei. Technol. B, 14, 1996, 1899−1901
  38. A.N. ALIMOVA, N.N. CHUBUN, P.I. BELOBROV, P. YA DETKOV, V.V. ZHIRNOV: J. Vac. Sei. Technol. B, 17, 715−718
  39. A.O. CHRISTENSEN: US Patent 4 663 559, 1985
  40. R.V. LATHAM: Phys. Technol., 1978, 9, 20−25
  41. A.E.D. HEYLEN, A.E. GUILE, and D.V. MORGAN: IEE Proc., 1984, 131, 111−117
  42. K.H. BAYLISS and R.V. LATHAM: Proc. R. Soc. Lond. A, 1986, 403,285−311
  43. N.S. XU and R.V. LATHAM: J. Phys. D: Appl. Phys., 1986,19, 477 482
  44. C.S. ATHWAL and R.V. LATHAM: Physica, 1981, 104C, 46−49
  45. R.J. NOER, Ph. NIEDERMANN, N. SANKARRAMAN and O. FISCHER: J. Appl. Phys., 1986, 59, 3851−3860
  46. M. JIMENEZ, R.J. NOER, G. JOUVE, C. ANTOINE, J. JODET, and B. BONIN: J. Phys. D: Appl. Phys., 1993, 26, 1503−1509
  47. A.N. OBRAZTSOV, A.P. VOLKOV, and I.Y. PAVLOVSKII: JETP Letters, 1998, 68, 59−63
  48. S. BAJIC and R.V. LATHAM: J. Phys. D: Appl. Phys., 1988,21, 200 204
  49. A.P. BURDEN, H.E. BISHOP, M. BRIERLEY, J.M. FRIDAY, C. HOOD, P.G.A. JONES, A.Y. KHAZOV, W. LEE, RJ. RIGGS, V.L. SHAW, W. TAYLOR, and R.A. TUCK: Solid State Electronics, 2001,45, 987−996
  50. M.I. ELINSON and D.V. ZERNOV: Radio Eng. & Elec. Phys., 1957, 2, 112−126
  51. J. ROBERTSON: Thin Solid Films, 1997, 296, 61−65
  52. A.T. SOWERS, J.A. CHRISTMAN, M.D. BREMSER, B.L.WARD, R.F. DAVIS, and R.J. NEMANICH: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 2289−2291
  53. S.R.P. SILVA, R.D. FORREST, J.M. SHANNON, and B.J. SEALY: J. Vac. Sci. Technol. B, 1999, 17, 596−600
  54. J. ROBERTSON, Pure & Appl. Chem., 1994, 66, 1789−1796
  55. S.R.P. SILVA, R.D. FORREST, D.A. MUNINDRADASA, and G.A.J. AMARATUNGA: Diamond and Rel. Mater., 1998, 7, 645−650
  56. B.S. SATYANARAYANA, A. HART, W.I. MILNE, and J. ROBERTSON: Appl. Phys. Lett., 1997, 71, 1430−1432
  57. G.A.J. AMARATUNGA, M. BAXENDALE, N. RUPESINGHE, I. ALEXANDROU, M. CHHOWALLA, T. BUTLER, A. MUNINDRADASA, C.J. KILEY, L. ZHANG, and T. SAKAI: New Diam. Front. Carbon Tech., 1999, 9, 3151
  58. I. ALEXANDROU, M. BAXENDALE, N.L. RUPESINGHE, G.A.J. AMARATUNGA, and C.J. KIELY: J. Vac. Sci. Technol. B, 2000, 18, 2698−2703
  59. R.L. FINK, Z.L. TOLT, L.H. THEUSEN, Z. YANIV, K. KASANO, and K. TATSUDA: Proc. Int. Displays Workshop, 1999, FED 1−5, 911−912
  60. M. WERNER and R. LOCHER: Rep. Prog. Phys., 1998, 61, 16 651 710
  61. M.W. GEIS, J.C. TWICHELL, N.N. EFREMOW, K. KROHN, and T.M. LYSZCZARZ: Appl. Phys. Lett., 1996, 68, 2294−2296
  62. K. OKANO, S. KOIZUMI, S.R.P. SILVA, and G.A.J. AMARATUNGA: Nature, 1996, 381, 140−141
  63. J.E. JASKIE: MRS Bulletin, 1996, June, 59−64
  64. V.V. ZHIRNOV and J J. HREN: MRS Bulletin, 1998, Sep., 42−47
  65. M.W. GEIS, J.C. TWICHELL, and T.M. LYSZCZARZ: J. Vac. Sei. Technol. B, 1996, 14, 2060−2067
  66. P.W. MAY, S. HOHN, W.N. WANG, and N.A. FOX: Appl. Phys. Lett., 1998,72,2182−2184
  67. N.S. XU, Y. TZENG, and R.V. LATHAM: J. Phys. D: Appl. Phys., 1993, 26, 1776−1780
  68. M.W. GEIS, J.C. TWICHELL, J. MACAULAY and K. OKANO: Appl. Phys. Lett., 1995, 67, 1328−1330
  69. A.S. KUPRYASHKIN, V.A. SELIVERSTOV, A.G. SHAKHOVSKOY, and E.P. SHESHIN: Proc. 4th Int. Vac. Micro. Conf., 1991, 124
  70. A.Y. TCHEREPANOV, A.G. CHAKHOVSKOI, and V.B. SHAROV: J. Vac. Sei. Technol. B 1995, 13, 482−486
  71. T. ASANO, E. SHIBATA, D. SASAGURI, K., MAKIHIRA, and K. HIGA: Jpn. J. Appl. Phys., 1997, 36, L818-L820
  72. I. MUSA, D.A.I. MUNINDRASDASA, G.A.J. AMARATUNGA, and W. ECCLESTON: Nature, 1998, 395, 362−365
  73. Z. SUN, S.M. HUANG, Y.F. LU, J.S. CHEN, Y.J. LI, B.K. TAY, S.P. LAU, G.Y. CHEN, and Y. SUN: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 2009−2011
  74. F.S. Baker, A.R. Osborn, J. Williams, Field emission from carbon fibers: A new electron source. // Nature, 1972, vol. 239, p. 96
  75. M. ENDO: Chemtech, 1988, Sep, 568−576
  76. F.S. BAKER, A.R. OSBORN, and J. WILLIAMS: Nature, 1972, 239, 96−97
  77. E. BRAUN, J.F. SMITH, and D.E. SYKES: Vaccum, 1975, 25, 425 426
  78. R.V. LATHAM and D.A. WILSON: J. Phys. D: Appl. Phys., 1981, 14,2139−2145
  79. R.V. LATHAM and D.A. WILSON: J. Phys. D: Appl. Phys., 1983, 16, 455−463
  80. B.V. BONDARENKO, V.A. SELIVERSTOV, A.G. SHAKHOVSKOY, and E.P. SHESHIN: Soviet J. Comm. Technol. Electron., 1987, 32, 91−94
  81. V.A. KSENOFONTOV, A.S. KUPRYASHKIN, A.G. SHAKHOVSKOI, and E.P. SHESHIN: Sov. Phys. Tech. Phys., 1991, 36, 687−689
  82. A.G. CHAKHOVSKOI, E.P. SHESHIN, A.S. KUPRYASHKIN, and V.A. SELIVERSTOV: J. Vac. Sei. Technol. B., 1993, 11, 511−513
  83. E.P. SHESHIN: Ultramicroscopy, 1999, 79, 101−108
  84. N.M. RODRIGUEZ: J. Mater. Res., 1993, 8, 3233−3250
  85. K.C. WALTER, H.H. KUNG, and C.J. MAGGIORE: Appl. Phys. Lett, 1997, 71, 1320−1322
  86. A.G. RINZLER, J.H. HAFNER, P. NIKOLAEV, L. LOU, S.G. KIM, D. TOMANEK, P. NORDLANDER, D.T. COLBERT, and R.E. SMALLEY: Science, 1995, 269, 1550−1553
  87. W.A. DE HEER, A. CHATELAIN, and D. UGARTE: Science, 1995, 270, 1179−1180
  88. Y. SAITO, K. HAMAGUCHI, S. UEMURA, K. UCHIDA, Y. TASAKA, F. IKAZAKI, M. YUMURA, A. KASUYA, and Y. NISHINA: Appl. Phys. A, 1998, 67, 95−100
  89. O. GRONING, O.M. KUTTEL, C. EMMENEGGER, P. GRONING, and L. SCHLAPBACH: J. Vac. Sei. Technol. B., 2000, 18, 665−678
  90. Y. CHEN, S. PATEL, Y. YE, D.T. SHAW, and L. GUO: Appl. Phys. Lett.
  91. O.M. KUTTEL, O. GRONING, C. EMMENEGGER, and L. SCHLAPBACH: Appl. Phys. Lett, 1998, 73, 2113−2115
  92. A.M. RAO, D. JACQUES, R.C. HADDON, W. ZHU, C. BOWER and S. JIN: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 3813−3815
  93. S. FAN, M.G. CHAPLINE, N.R. FRANKLIN, T.W. TOMBLER, A.M. CASSELL, andH. DAI: Science, 1999, 283, 512−514
  94. J. LI, C. PAPADOPOULOS, J.M. XU, and M. MOSKOVITS: Appl. Phys. Lett., 1999, 75, 367−369
  95. Z.F. REN, Z.P. HUANG, D.Z. WANG, J.G. WEN, J.W. XU, J.H. WANG, L.E. CALVERT, J. CHEN, J.F. KLEMIC, and M.A. REED: Appl. Phys. Lett., 1999,75, 1086−1088
  96. J. HAN, W.-S. YANG, J.-B. YOO, and C.-Y. PARK: J. Appl. Phys., 2000, 88, 7363−7365
  97. H. MURAKAMI, M. HIRAKAWA, C. TANAKA, and H. YAMAKAWA: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 1776−1778
  98. S.-H. JEONG, H.-Y. HWANG, K.-H. LEE, and Y. JEONG: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 2052−2054
  99. W.B. CHOI, D.S. CHUNG, J.H. KANG, H.Y. KIM, Y.W. JIN, I.T. HAN, Y.H. LEE, J.E. JUNG, N.S. LEE, G.S. PARK, and J.M. KIM: Appl. Phys. Lett., 1999, 75,3129−3131
  100. Q.H. WANG, A.A. SETLUR, J.M. LAUERHAAS, J.Y. DAI, E.W. SEELIG and R.P.H. CHANG: Appl. Phys. Lett., 1998, 72,2912−2913
  101. Y. NAKAYAMA and S. AKITA: Synthetic Metals, 2001, 117, 207 210
  102. Y. CHEN, D.T. SHAW, and L. GUO: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 2469−2471
  103. P.G. COLLINS, K. BRADLEY. M. ISHIGAMI, and A. ZETTL: Science, 2000, 287, 1801−1804
  104. K.A. DEAN and B.R. CHALAMALA: J. Appl. Phys., 1999, 85, 38 323 836
  105. K.A. DEAN, P. VON ALLMEN, and B.R. CHALAMALA: J. Vac. Sci. Technol. B, 1999, 17, 1959−1969
  106. K.A. DEAN and B.R. CHALAMALA: Appl. Phys. Lett., 2000, 76, 375−377
  107. L.A. CHERNOZATONSKII, Y.V. GULYAEV, Z J. KOSAKOVSKAJA, N.I. SINITSYN, G.V. TORGASHOV, Y.F. ZAKHARCHENKO, E.A. FEDOROV and V.P. VAL’CHUK: Chem. Phys. Lett., 1995, 233, 63−68
  108. B.F. COLL, J.E. JASKIE, J.L. MARKHAM, E.P. MENU, A.A. TALIN, and P. VON ALLMEN: MRS Symp. Proc., 1998, 498, 185−196
  109. F.C.K. AU, K.W. WONG, Y.H. TANG, Y.F. ZHANG, I. BELLO, and S.T. LEE: Appl. Phys. Lett., 1999, 75, 1700−1702
  110. J.D. CAREY and S.R.P. SILVA: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 347−349
  111. L.S. PAM, T.E. FELTER, A. TALIN, D. OHLBERG, C. FOX, and S. HAN: US Patent 5,857,882 (filed 1996)
  112. J.A. CASTELLANO: 'Handbook of display technology', 1st edn, 294- 1992, San Diego, Academic Press
  113. H.K. PULKER: 'Coatings on glass', 2nd edn, 174−317- 1999, Amsterdam, Elsevier
  114. S. ONOZUMI and K. NAITO: Proc. Int. Displays Workshop, 1998, 495−498
  115. C. PY and R. BAPTIST: J. Vac. Sci. Technol. B, 1994, 12, 685−688
  116. R.H. TAYLOR and J.D. LEVINE: US Patent 5,552,751
  117. R.S. NOWICKI, H.H. BUSTA, J.E. POGEMILLER, A.R. FOROUHI, I. BLOOMER, W.M. CLIFT, J.L. YIO, and T. FELTER: SID 96 Digest, 1996, P-16, 456−458
  118. A.F. JANKOWSKI and A.P. SCHMID: US Patent 6,154,119
  119. J.C. HUANG: US Patent 5,578,896
  120. J.B. CUI, J. ROBERTSON, and W.I. MILNE: J. Appl. Phys., 2001, 89, 3490−3493
  121. T. HIRANO, S. KANEMARU, H. TANOUE, and J. ITOH: Jpn. J. Appl. Phys., 1995, 34, 6907−6911
  122. C.-C. LEE, Y.-Y. CHANG, J.-R. SHEU, J.-C. HO, J.-H. LIAO, H.-C. CHENG, M.-C. HSIAO, C.-X. HAN, S.-M HUANG, and W.-C. WANG: SID 01 Digest, 2001,20.4,316−319
  123. A.F. BERNHARDT, R.J. CONTOLINI, A.F. JANKOWSKI, V. LIBERMAN, J.D. MORSE, R.G. MUSKET, R. BARTON, J. MACAULAY, and
  124. C. SPINDT: J. Vac. Sei. Technol. B, 2000, 18, 1212−1215
  125. W.B. CHOI, Y.W. JIN, H.Y. KIM, S.J. LEE, M.J. YUN, J.H. KANG, Y.S. CHOI, N.S. PARK, N.S. LEE, and J.M. KIM: Appl. Phys. Lett., 2001, 78, 1547−1549
  126. J.M. KIM, N.S. LEE, D.S. CHUNG, S.H. PARK, Y.W. JIN, J.H. KANG, Y.S. CHOI, H.Y. KIM, M.J. YUN, N.S. PARK, I.T. HAN, J.W. KIM, J.E. JUNG, J.H. YOU, C.G. LEE, S.H. JO, K.S. CHOI, E.J. CHI, S.J. LEE, AND H.G. PARK: SID 01 Digest, 2001, 20.1, 304−307
  127. D.C. CHANG, A.J. LEARN, B.L. MACKEY, P.M. DRUMM, and
  128. D.L. MORRIS: US Patent 6,176,754
  129. B.R. JOHNSON, A.I. AIKINWANDE, and D. MURPHEY: J. Vac. Sei. Technol. B, 1997, 15, 535−538
  130. H.P. KUO, S.F. BURRIESCI, J. LIN, and D.J. MILLER: J. Vac. Sei. Technol. B, 1997,15, 2782−2785
  131. A. KASTALSKY, S. SHOKHOR, J. HOU, S. NAAR, N. ABANSHIN, and B. GORFINKEL: SID 01 Digest, 2001,14.4L, 201−203
  132. M. SAGAWA, T. KUSUNOKI, M. SUZUKI, and K. TSUJI: SID 01 Digest, 2001, 14.2, 193−195
  133. T. KOMODA, X. SHENG, and N. KOSHIDA: J. Vac. Sei. Technol. B, 1999,17, 1076−1079
  134. K. SAKAI, I. NOMURA, E. YAMAGUCHI, M. YAMANOBE, S. IKEDA, T. HARA, K. HATANAKA, Y. OSADA, H. YAMAMOTO and T. NAKAGIRI: Proc. Euro Display, 1996,18.3L, 569−572
  135. C.J. SPINDT, D.L. MORRIS, T.S. FAHLEN, A.P. SCHMID, and P.A. LOVOI: US Patent 5,746,635
  136. К. TAMAI, N. ISHIMARU, Y. HIRAI, and T. KAMIHORI: Proc. Asia Display, 1998, 203−206
  137. S.J. KWON, K.J. HONG, J.D. LEE, C.W. OH, J.S.YOO, and Y.B. KWON: J. Vac. Sci. Technol. B, 2000, 18,1227−1231
  138. T.S. FAHLEN, R.M. DUBOC, and P.A. LOVOI: US Patent 5,667,418
  139. D.-J. LEE, N.-Y. LEE, S.-J. JUNG, K.-S. KIM, Y.-H. LEE, J. JANG and B.-K. JU: J. Electrochem. Soc., 2000, 147, 2385−2388
  140. J.-H. HAN, M.-G. KWAK, Y.-K. PARK, S.-C. LIM, I.-K. LEE, K.-I. CHO, and H.-J. YOO: J. Vacuum Sci. & Technol. B, 1998, 16,1236−1238
  141. M. AMIOTTI and S. TOMINETTI: Vacuum Solutions, 1999, July/Aug, 25−28
  142. Y. WEI, B.R. CHALAMALA, B.G. SMITH, and C.W. PENN: J. Vac. Sci. Technol. B, 1999, 17, 233−236
  143. Y.-S. FRAN and T.-Y. TSENG: Mater. Chem. and Phys., 1999, 61, 166−168 142. US Patent 7,129,626 143. US Patent 5,818,166 144. US Patent 6,023,126 145. US Patent 7,088,49 146. US Patent 7,067,971
  144. Chung D.D.L., II J. Mater. Sci., 1987 Г89), vol. 22, p. 4190 4198
  145. R. S., Bahl D. P., Nagpal K. S., // in 4th Baden-Baden Carbon Conferens, Ext. Abstr. Program, 1986, p. 499 501
  146. А. С., Малей JI. С., Некоторые аспекты технологии изготовления расширенного графита // в сб. Электроугольные и металлокерамические изделия для электротехники, М., Энерго’атомиздат, 1985, с. 65—72 (Научные труды ВНИИЭИ)
  147. A. F. Bobkov, Е. V. Davidov, S. V. Zaitsev, А. V. Karpov,
  148. Townsend J.S. The potentials required to maintain current between coaxial cylinders. Phil. Mag., v. 28, 1914, p. 83−87
  149. Jones J.E., Davies M., Goldman A., Goldman M. A simple analytic alternative to Warburg’s law. J. Phys. D: Appl. Phys., v. 23, 1990, p. 542−552
  150. П.В., Юшманов Б. А., Чёсов Р. Г. Исследование автоэмиссионного катода из терморасширенного графита// Тезисы докладов XLIV конференции МФТИ, 2001, часть V, стр. 6
  151. Д.М., Кузнецов С. И., Петров A.JI. Лазерный раскрой углеродных композиционных материалов// Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 1999. № 2. С.255−264
  152. С.И., Петров А. Л. Применение лазерного излучения для модификации поверхности и раскроя углеродных композиционных материалов и углеродных тканей// Известия Самарского научного центра Российской академии наук. 2003. Т5, № 1. С.46−54
  153. А.С., Купряшкин А. С., Никольский К. Н., Чесов Р. Г. и др. «Эффект кольца» при интенсивной автоэлектронной эмиссии // Нано- и микросистемная техника. 2003. № 7. стр. 8−10
Заполнить форму текущей работой

Сессия? Спокойно!