Селективное определение газов полупроводниковыми сенсорами
Диссертация
Получены и проанализированы данные по спектральному составу и статистическим характеристикам низкочастотного шума металлоксидных сенсоров при разных температурах и концентрациях детектируемых газов. Показано, что мощность шума определяется различными составляющими — собственным шумом полупроводника, имеющим фликкерный характер, шумом, связанным с процессами хемосорбции и шумом, вызванным… Читать ещё >
Список литературы
- Мясников И.А. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях / И. А. Мясников, В. Я. Сухарев, Л. Ю. Куприянов, С. А. Завьялов -М.: Наука, -1991. -327 с.
- Васильев Р.Б. Неорганические структуры как материалы для газовых сенсоров / Р. Б. Васильев, Л. И. Рябова, М. Н. Румянцева, A.M. Гаськов / Успехи химии.-2004.-Т. 73, # 10.-С. 1019−1038.
- Каттралл Р. Химические сенсоры / Р. Каттралл. М.: Научный мир, 2000.- 144 с.
- Бутурлин А.И. Полупроводниковые датчики на основе металлоксидных полупроводниковых сенсоров / А. И. Бутурлин, Г. А. Габузян, Н. А. Голованов и др. // Зарубежная электронная техника. 1983. — № 10. — С. 318.
- Крылов О.В. Гетерогенный катализ / О. В. Крылов М.: «Академкнига», 2004. — 679 с.
- Becker Th. Air pollution monitoring using tin-oxide-based microreactor systems / Th. Becker, St. Muhlberger, C.B. Braumuhl / Sensors and Actuators. -2000. V. В 69. — P. 108−119.
- Волькенштейн Ф.Ф. Физико-химия поверхности полупроводников / Ф. Ф. Волькенштейн М.: «Наука», 1973. — 400 с.
- Волькенштейн Ф.Ф. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции / Ф. Ф. Волькенштейн М.: «Наука», 1987, -432 с.
- Киселев В.Ф. Электронные явления в адсорбции и катализе на полупроводниках и диэлектриках / В. Ф. Киселев, О. В. Крылов М.: «Наука», 1979, — 253 с.
- Хи С. Grain size effects on gas sensetivity of porous Sn02 based elements / C. Xu, J. Tamaki, N. Miura, N. Yamazoe // Sensors and Actuators. — 1991. — V. В, # 3. — P.147−155.
- Yamazoe N. Effects of additivies on semiconductor gas sensors / N. Yamazoe, Y. Kurokawa, T. Seiyama // Sensors and Actuators. 1983. — V. B4. -P. 283−289.
- Matsushima S. Electronic interaction between metal additivies and tin dioxide in tin dioxide based gas sensors / S. Matsushima, Y. Teraoka, N. Yamazoe // Japan J. Appl. Phys. — 1988. -V. 27, # 3. — P. 1798−1802.
- Рябцев C.B. Исследование механизмов сенсибилизации допированных газовых сенсоров / С. В. Рябцев, Е. А. Тутов, А. Н. Лукин, А. В. Шапошник // Сенсор. 2001. — № 1. — С. 26−30.
- Рябцев С.В. Взаимодействие металлических наночастиц с полупроводником в поверхностно-легированных газовых сенсорах / С. В. Рябцев, Е. А. Тутов, Е. Н. Бормонтов, А. В. Шапошник // Физика и техника полупроводников. 2001. — Т. 35, № 7. — С. 869−873.
- Barsan N. Conduction model in gas-sensing SnC>2 layers: grain-size effects and ambient atmosphere influence / N. Barsan // Sensors and Actuators. 1994. -V.B 17.-P. 241−246.
- Ogawa H. Hall measurement studies and electrical conduction model of tin dioxide ultrafine particle films / H. Ogawa, M. Nishikawa, A. Abe // J. Appl. Phis. 1982. — V. 53, # 6. — P. 4448−4456.
- Morrison S. Selectivity in semiconductor gas sensors / S. Morrison // Sensors and Actuators. 1987. — V. В 12. — P. 425−440.
- Ozaki Y. Enhanced long-term stability of Sn02-based CO gas sensors modified by sulfuric acid treatment / Y. Ozaki, S. Suzuki, M. Morimitsu // Sensors and Actuators. 2000. — V. B62. — P. 220−225.
- Yamaura H. Mechanism of sensetivity promotion in CO sensor using indium oxide and cobalt oxide / H. Yamaura, K. Moriya, N. Miura // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 65. — P. 39−41.
- Yamaura H. Indium oxide-based gas sensor for selective detection of CO / H. Yamaura, T. Jinkawa, J. Tamaki // Sensors and Actuators. 1996. — V. В 35−36.-P. 325−332.
- Yoon D. CO gas sensing properties of ZnO-CuO composite / D. Yoon, J. Yu, G. Choi // Sensors and Actuators. 1998. — V. В 46. — P. 15−23.
- Comini E. Carbon monoxide responce of molybdenum oxide thin films deposited by different techniques / E. Comini, G. Faglia, G. Sberveglieri // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 68. — P. 168−174.
- Comini E. CO sensing properties of titanium and iron nanosized thin films / E/ Comini, V. Giudi, C. Frigeri // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 77. — P. 16−21.
- Yu J. Selective gas detection of CuO- and ZnO-doped Sn02 gas sensor / J. Yu, G. Choi // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 75. — P. 56−61.
- Ivanovskaya M. The features of thin film and ceramic sensors at the detection of CO and N02 // M. Ivanovskaya, P. Bogdanov, G. Faglia, G. Sbeveglieri // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 68. P. 344−350.
- Lee H.-J. Enhancement of CO sensitivity of indium oxide-based semiconductor gas sensor through ultro-thin cobalt adsorption / H.-J. Lee, J.-H. Song, Y.-S. Yoon // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 79. — P. 200−205.
- Moon W. Selective gas detection of Sn02-Zn2Sn04 composite gas sensor / W. Moon, J. Yu, G. Choi // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 80. — P. 2127.
- Schweizer-Berberich M. The effect of Pt and Pd surface doping on the responce of nanocrystalline tin dioxide gas sensors to CO / M. Schweizer-Berberich, J.G. Zheng, U. Weimar // Sensors and Actuators. 1996. — V. В 31. -P. 71−75.
- Cirera A. CO-CH4 selectivity enhancement by in situ Pd-catalysed microwave Sn02 nanoperticles for gas detectors using active filter / A. Cirera, A. Cabot, A. Comet // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 78. — P. 151 -160.
- Рембеза С.И. Влияние примеси палладия на газочувствительные свойства пленок диоксида олова / С. И. Рембеза, Т. В. Свистова, О. И. Борсякова, Е. С. Рембеза // Сенсор. 2001. — № 2. — С. 11−20.
- Yamada Y. Zn-Sn-Sb-0 thin film sensor for ppm-level N02 detection / Y. Yamada, K. Yamashita, Y. Masuoka // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 77.-P. 12−15.
- Steffes H. Fabrication parameters and N02 sensitivity of reactively PF-sputtered 1П2О3 thin film / H. Steffes, C. Imawan, F. Solzbacher // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 68. — P. 249−253.
- Curio А. 1п20з and М0О3−1П2О3 thin film semiconductor sensors: interaction with N02 and 03 / A. Curio, N. Barsan, M. Ivanovskaya // Sensors and Actuators. 1998. — V. В 47. — P. 92−99.
- Kudo M. Sensing functions to NO and O2 of №>205- or Ta205-loaded ТЮ2 and ZnO / M. Kudo, T. Kosaka, Y. Takahashi // Sensors and Actuators. 2000. -V.B69.-P. 10−15.
- Kim T. Sensing characteristics of dc reactive sputtered W03 thin film as an NOx gas sensor / T.S. Kim, Y.B. Kim, K.S. Yoo // Sensors and Actuators. -2000.-V. В 62.-P. 102−108.
- Penza M. Tungsten trioxide (W03) sputtered thin films for a NOx gas sensor / M. Penza, M. Tagliente, L. Mirenghi // Sensors and Actuators. 1998. — V. В 50.-P. 9−18.
- Penza M. NOx gas sensing characteristics of WO3 thin films activated by noble metals (Pd, Pt, Au) layers / M. Penza, C. Martucci, G. Caccano // Sensors and Actuators. 1998. V. В 50. — P. 52−59.
- Bittencourt C. Influence of the doping method on the sensitivity of Pt-doped screen-printed Sn02 sensors / C. Bittencourt, E. Llobet, P. Ivanov // Sensors and Actuators. 2004. — V. В 97. — P. 67−73.
- Jinkawa T. Relationship between ethanol gas sensitivity and surface catalitic property of tin oxide sensors modified with acidic or basic oxides / T. Jinkawa,
- G. Sakai, J. Tamaki // Journal of Molecular Catalysis. 2000. — V. A 155. — P. 193−200.
- Liu X. A novel high perfomance ethanol gas sensor based on CdO-Fe2C>3 semiconductor materials / X. Liy, Z. Xu, Y. Liu // Sensors and Actuators. V. В 52.-P. 270−273.
- Varghese O. High ethanol sensetivity in sol-gel derived Sn02 thin films // O. Varghese, L. Malhotra, G. Sharma // Sensors and actuators. 1999. — V. В 55. -P. 161−165.
- Ryzhikov A. Hydrogen sensitivity of Sn02 thin films doped with Pt by laser ablation / A. Ryzhikov, A. Shatokhin, F. Putilin, M. Rumyantseva, A. Gaskov // Sensors and Actuators. 2004. — V. B. — P.
- Zhao S. Enhancement of trimethilamine sensitivity of M0CVD-Sn02 thin film gas sensor by thorium / S. Zhao, P. Wei, S. Chen // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 62. — P. 117−120.
- Imawan C. TiOx-modified NiO thin films for H2 gas sensors: effect of TiOx-overlayer sputtering parameters / C. Imawan, F. Solzbacher, H. Steffes // Sensor and Actuators. 2000. — V. В 68. — P. 184−188.
- Dirksen J. NiO thin-film formaldehyde gas sensor / J. Dirksen, K. Duval, T. Ring // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 80. — P. 106−115.
- Kanazawa E. Metal oxide semiconductor N20 sensor for medical use / E. Kanazawa, G. Sakai, K. Shimanoe // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 77. -P. 72−77.
- Акимов Б.А. Сенсорные свойства по отношению к сероводороду и электропроводность поликристаллических пленок Sn02 (Си) / Акимов
- Б.А., Албул А. В., Гаськов A.M. // Физика и техника полупроводников. -1997. Т. 31, № 4. — С. 400−404.
- Yuanda W. Thin film sensors of Sn02-Cu0-Sn02 sandwich structure to H2S / W. Yuanda, T. Maosong, H. Xiuli // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 79. -P. 187−191.
- Jianping L. H2S sensing properties of Sn02-based thin film / L. Jianping, W. Yue, G. Xiaoguang // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 65. — P. 111−113.
- Rumyantseva M. Nanocomposites Sn02/Fe203: Wet chemical synthesis and nanostructure characterisation / M. Rumyantseva, V. Kovalenko, A. Gaskov // Sensors and Actuators. 2005. — V. B. — P.
- Рембеза С.И. Особенности конструкции и технологии изготовления тонкопленочных металлоксидных интегральных сенсоров газов / С. И. Рембеза, Д. Б. Просвирин, О. Г. Викин, Г. А. Викин, В. А. Буслов, Д. Ю. Куликов // Сенсор. 2004. — № 1. — С. 21−28.
- Рембеза С.И. Микроструктура и физические свойства тонких пленок Sn02 / С. И. Рембеза, Т. В. Свистова, Е. С. Рембеза, О. И. Борсякова // Физика и техника полупроводников. 2001. — Т. 35, № 7. — С. 796−799.
- Рембеза С.И. Исследование свойств пленок диоксида олова, полученных методами магнетронного напыления / С. И. Рембеза, Т. В. Свистова, О. И. Подкопаева, Е. С. Рембеза // Известия ВУЗов. Электроника. 1999.-№ 1−2.-С. 23−26.
- Румянцева М.Н. Легирующие примеси в нанокристаллическом диоксиде олова / М. Н. Румянцева, О. В. Сафонова, М. Н. Булова, Л. И. Рябова, A.M. Гаськов // Известия академии наук. Серия химическая. -2003.- № 6. -С. 1−21.
- Румянцева М.Н. Газочувствительные материалы на основе диоксида олова / М. Н. Румянцева, О. В. Сафонова, М. Н. Булова, Л. И. Рябова, A.M. Гаськов // Сенсор. 2003. — № 2. — С. 21 -29.
- Васильев Р.Б. Гетероструктуры на основе нанокристаллических оксидов металлов для газовых сенсоров // Р. Б. Васильев, Л. И. Рябова, М. Н. Румянцева, A.M. Гаськов // Сенсор. 2001. — № 2. — С. 18−26.
- Акимов Б.А. Проводимость структур на основе легированных нанокристаллических пленок Sn02 с золотыми контактами / Б. А. Акимов, A.M. Гаськов, М. Лабо // Физика и техника полупроводников. 1999. -Т. 33,№ 2.-С. 205−207.
- Гаськов A.M. Выбор материалов для твердотельных газовых сенсоров / A.M. Гаськов, М. Н. Румянцева // Неорганические материалы. 2000. — № 3. -С. 369−378.
- Рембеза С.И. Нужен ли человечеству искусственный нос? / С. И. Рембеза // Природа. 2005. — № 2. — С. 5−12.
- Hahn S. Investigation of СО/СН4 mixture measured with differently doped Sn02 sensors / S. Hahn, N. Barsan, U. Weimar // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 78.-P. 64−68.
- Marquis B. A semiconductor metal oxide sensor array for the detection of NOx and NH3 / B. Marquis, J. Vetelino // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 77.-P. 100−110.
- Lim J.-W. Heating power-controlled micro-gas sensor array / J.-W. Lim, D.-W. Kang, D.-S. Lee // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 77. — P. 139−144.
- Lee D.-S. Recognition of volatile organic compounds Sn02 sensor array and pattern recognition analysis / D.-S. Lee, J.-K. Jung, J.-W. Lim // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 77. — P. 228−236.
- Martin M. Application of artificial neural networks to calculate the partial gas concentrations in a mixture / M. Martin, J. Santos, J. Agapito // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 77. — P. 468−471.
- Negri R. Identification of pollutant gases and its concentrations with a multisensor array / R. Negri, S. Reich // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 75.-P. 172−178.
- Carotta M. Array of thick film sensors for atmospheric pollutant monitoring / M. Carotta, G. Martinelli, L. Crema // Sensors and Actuators. 2000. — V. В68.-P. 1−8.
- Hong H.-K. Portable electronic nose system with gas sensor array and artificial neural network / H.-K. Hong, C. Kwon, S.-R. Kim // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 66. — P. 49−52.
- Калмыкова E.H. Разработка пьезокварцевых иммуносенсоров для проточно-инжекционного анализа высоко- и низкомолекулярных соединений / Е. Н. Калмыкова, Т. Н. Ермолаева, С. А. Еремин //Вестн. Моск. ун-та. Сер. 2. Химия. 2002. — Т. 43, № 6. — С. 398−402.
- Ермолаева Т.Н. Пьезокварцевые биосенсоры для определения органических соединений в воде и воздухе / Т. Н. Ермолаева, Е. Н. Калмыкова, T. J1. Лаврентьева // Микросистемная техника. 2001. — № 9. -С. 21−28.
- Ермолаева Т. Н. Сравнительная характеристика пьезорезонансных сенсоров паров органических соединений / Т. Н. Ермолаева, Т. Л. Лаврентьева // Микросистемная техника. 2001. — № 8. — С. 8−13.
- Ермолаева Т.Н. Чувствительный пьезокварцевый сенсор для определения фенола в воздухе / Т. Н. Ермолаева, Т. Л. Лаврентьева, А. Е. Середкин, Я. И. Коренман // Журнал прикладной химии. 2001. — Т. 74, № 2.-С. 197−202.
- Ермолаева Т.Н. Способ определения летучих фенолов в воздухе рабочей зоны методом пьезокварцевого микровзвешивания / Т. Н. Ермолаева, Т. Л. Лаврентьева // Гигиена и санитария. 2000. — № 6. — С. 6971.
- Калмыкова Е.Н. Пьезокварцевый иммуносенсор для проточного определения сульфопрепаратов в жидкостях / Е. Н. Калмыкова, М. В. Милонов, Е. В. Мелихова, С. А. Еремин, Т. Н. Ермолаева // Сенсор. 2005. -№ 2.-С. 17−24.
- Шапошник А.В. Поверхностная фотополимеризация метилметакрилата под действием импульсного лазерного ультрафиолетового излучения / А. В. Шапошник, Г. А. Григорьева, В. К. Потапов / Журнал физической химии.1987. Т. 61, № 9. — С. 2523−2524.
- Шапошник А.В. Поверхностная фотополимеризация стирола под действием лазерного УФ-излучения / А. В. Шапошник, Г. А. Григорьева,
- B.М. Матюк и др. // Химия высоких энергий. 1988. — Т. 22, № 3. — С.267−271.
- Шапошник А.В. Роль адсорбции в поверхностной фотополимеризации стирола под действием лазерного УФ-излучения / А. В. Шапошник, Г. А. Григорьева, В. А. Саксонский, В. К. Потапов // Химия высоких энергий.1988. Т. 22, № 4. — С. 373−376.
- Ulmer Н. Sensor arrays with only one or several transducer principles? The advantage of hybrid modular systems / H. Ulmer, J. Mitrovics, U. Weimar, W. Gopel // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 65. — P. 79−81.
- Ван дер Зил А. Шум / А. Ван дер Зил. М.:Сов.радио., 1973. -189 с.
- Букингем М. Шумы в электронных приборах и системах. / М. Букингем М.: Мир., 1986. — С.148−192.
- Бочков Г. Н. Новое в исследованиях l/f7 шума / Г. Н. Бочков, Ю. Е. Кузовлев //Успехи физических наук. — 1983. — Т. 141, Вып 1. — С. 151 -176.
- Коган М. Низкочастотный токовый шум со спектром типа 1/f в твердых телах / М. Коган // Успехи физических наук. 1985, — Т. 145, Вып.2. — С. 281−325.
- Денда В. Шум как источник информации / В. Денда М.:Мир, 1993,1. C. 192.
- Шустер Г. Детерминированный хаос / Г. Шустер М.:Мир, 1988, — С. 240.
- Скоков В.Н. 1/f Флуктуации при неравновесных фазовых переходах / В. Н. Скоков, В. П. Каверда // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: Материалы докл. науч.-техн. семинара
- Москва, 2−5 декабря 2001 г. М.: МНТОРЭС им. А. С. Попова, — 2002. -С. 177−182.
- Пархомов А.Г. Экспериментальные исследования инфранизкочастотных флуктуаций в полупроводниках. Закономерности. Космические ритмы / Пархомов А. Г. Препринт № 2 МНТЦ ВЕНТ. — М., -1991, — С. 24.
- Bak P. Self-organized criticality / Р. Вак, С. Tang, К. Wisenfeld // Phys. Rev. A. 1988. — V 38, # 1. — P.364−374.
- Глыбин Jl. Я. Проблема биологических часов. Новые данные о закономерностях суточного хода изменения состояния организма человека. //Биофизика. 1985, Т.30. С.717−720
- Каверда В.П. l/f-Шум при неравновесном фазовом переходе. Эксперимент и математическая модель / В. П. Каверда, В. Н. Скоков, В. П. Скрипов // ЖЭТФ. 1998. — Т. 113, Вып.5. — С.1748−1757.
- Тимашев С.Ф. «Новый диалог» с природой: о законе эволюции природных систем, «стреле времени» и копенгагенской интерпретации квантовой механики / С. Ф. Тимашов // Журнал физической химии. 2000. — Т.74, № 1. — С. 16−30.
- Тимашев С.Ф. О законе эволюции природных систем / С. Ф. Тимашов // Журнал физической химии. 1994. — Т.68, № 12. — С.2216−2223.
- Тимашев С.Ф. Физикохимия глобальных изменений в биосфере / С.Ф. Тимашов//Журнал физической химии. 1993. — Т.67, № 1. — С.160−165.
- Hooge F. Experimental studies on 1/f-noise / Hooge F., Kleinpenning T. Vandamme L. // Rep. Prog. Phys. 1981. — V.44, № 5. — P. 479−532.
- Соколик С.А. Совершенствование установки для исследования низкочастотного шума полупроводниковых приборов и структур / С. А. Соколик, A.M. Гуляев, И. Н. Мирошникова // Измерительная техника. -1996. -№ 12. -С. 57−61.
- Kish L.B. Extracting information from noise spectra of chemical sensors: single sensor electronic noses and tongues / L.B. Kish, R. Vajtai, C.G. Granqvist // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 71. — P. 55−59.
- Pelligrini В. Flicker-noise in the physical systems / B. Pellegrini // 15th International Conf. on Noise in Physical Sustems and 1/f Fluctuations 23−26 August 1999 Hong Kong, Ed. C. Surya. P.303−309.
- Hori G.K. Transient kinetics in CP oxidation on platinum. / G.K. Hori, and L.D. Schmidt // J. of Cat. 1975. — V.38. — P.335−350.
- Pikios C.A. Isothermal concentration oscillations on catalytic surfaces / C.A. Pikios, D. Luss // Chem. Eng. Sci. -1977. V.254. — P. 1750−1755.
- Беляев В.Д. Автоколебания в гетерогенной каталитической реакции водорода с кислородом / В. Д. Беляев, М. М. Слинько, М. Г. Слинько, В. И. Тимошенко // ДАН. 1974. — Т. 214, № 5. — С. 1098−1100.
- Ertl G. Oscillation kinetics and spatio-temporal self-organizations on catalytic surfaces / G. Ertl // Science. 1991. — V.254. — P. 1750−1755.
- Yamamoto S.Y. Spatial coupling in heterogeneous catalysis / S.Y. Yamamoto, C.M. Surko, M.B. Maple // J. Chem. Phys. (Amer.). 1995. — V. 103,# 18.-P. 8209−8215.
- Nitta M. Oscillation phenomenon in Th02-dopen Sn02 exposed to CO gas / M. Nitta, S. Kanefusa, Y. Taketa and M. Naradome // Appl. Phys. Lett. 1978. -V.32, № 9. — P. 590−591.
- Nitta M. Oscillation phenomenon in thick-films CO gas sensor / M. Nitta, M. Naradome // IEEE Trans. Electron Devices, 1979. V. ED-26. — P.219−223.
- Hooge F. 1/f- noise /F. Hooge//Physica. 1976. — V.83. — P. 14−23.
- Тимашев С.Ф. Проявление макрофлуктуаций в динамике нелинейных систем / С. Ф. Тимашов // Журнал физической химии. 1995. — Т.69, № 8. -С. 1349−1354.
- Тимашев С.Ф. Что же такое фликкер-шум в электронопроводящих системах? / С. Ф. Тимашев // Материалы докл. науч.-метод. семинара (Москва 16−19 ноября 1998 г.). М.: МНТОРЭС им. А. С. Попова, МЭИ (ТУ), 1999. С.239−260.
- Малахов А.Н. К вопросу о природе фликкерных флуктуаций / А. Н. Малахов, А. В. Якимов // Радиотехника и электроника. 1974, — Т. 19, № 11. -С. 2436−2438.
- Якимов А.В. Диффузия примесей и дефектов и фликкерные флуктуации числа ностителей в проводящих средах / А. В. Якимов // Известия вузов. Сер. «Радиофизика». 1980. — Т. 23, № 2. — С.238−243.
- Якимов А.В. Адсорбционный механизм фликкерных флуктуаций сопротивления проводящих пленок / А. В. Якимов // Известия вузов. Сер. Радиофизика. 1982. — Т. 25, № 3. — С.308−313.
- Якимов А.В. Проблема обоснования спектра вида 1/f в термоактивационных моделях фликкерного шума / А. В. Якимов // Известия вузов. Сер. Радиофизика. 1985. — Т. 28, № 8. — С. 1071−1073.
- Hugon О. Gas separation with a zeolite filter, application to the selectivity enhancement of chemical sensors / O. Hugon, M. Sauvan, P. Benech // Sensors and Actuators. 2000. — V. 2000. — P. 235−243.
- Schweizer-Berberich M. Filters for tin dioxide CO gas sensors to pass the UL2034 standard / M. Schweizer-Berberich, S. Strathmann, W. Gopel // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 66. — P. 34−36.
- Kitsukawa S. The interference elimination for gas sensor by catalyst filters / S. Kitsukawa, H. Nakagawa, K. Fukuda // Sensors and Actuators. 2000. — V. 65.-P. 120−121.
- Weh T. Optimization of physical filtering for selective high temperature H2 sensors / T. Weh, M. Fleischer, H. Meixner // Sensors and Actuators. 2000. — V. B68.-P. 146−150.
- Wada K. Improvement of gas-sensing properties of Sn02 by surface chemical modification with diethoxydimethylsilane / K. Wada, M. Egashira // Sensors and Actuators. 1998. — V. В 53. P. 147−154.
- Wada K. Hydrogen sensing properties of Sn02 subjected to surface chemical modification with ethoxysilanes / K. Wada, M. Egashira // Sensors and Actuators. -2000. V. В 62. — P. 211−219.
- Wada K. Improvement of gas-sensing properties of a Pd/Sn02 sensor by Si02 coating films formed by dipping method / K. Wada, M. Egashira // J. Ceram. Soc. Jpn. 1998. — V. 106. — P. 84−88.
- Wada К. Gas-sensing properties of Pd/Sn02 sensors dipped in a diethoxydimethylsilane sol solution / K. Wada, M. Egashira // J. Ceram. Soc. Jpn. 1998. — V. 106. — P. 621−626.
- Frietsch M. CuO catalytic membrane as selectivity trimmer for metal oxide gas sensors / M. Frietsch, F. Zudock, J. Goschnick // Sensors and Actuators. -2000.-V. В 65.-P. 379−381.
- Schweizer M. Pulsed mode of operation and artificial neural network evaluation for improving the CO selectivity of Sn02 gas sensors / M. Schweizer-Berberich, M. Zdralek, U. Weimar // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 65. -P. 91−93.
- Romppainen P. Effect of water vapour on the CO responce behaviour of tin dioxide sensors in constant temperature and temperature-pulsed modes of operation / P. Romppainen, V. Lantto, S. Leppavuori // Sensors and Actuators. -1990.-V. В l.-P. 73−78.
- Ortega A. An intelligent detector based on temperature modulation of a gas sensor with a digital signal processor / A. Ortega, S. Marco, A. Perera // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 78. — P. 32−39.
- Lee A.P. Temperature modulation in semiconductor gas sensing / A.P. Lee, B.J. Reedy // Sensors and Actuators. 1999. — V. В 60. — P. 352.
- Ratton L. A comparative study of signal processing techniques for clustering microsensor data (a first step towards an artificial nose) / L. Ratton, T. Kunt // Sensors and Actuators. 1997. — V. В 41. — P. 105−120.
- Cavicchi R.E. Optimized temperature-pulse sequences for enhancement of chemically specific response patterns from micro-hotplate gas sensors / R.E. Cavicchi, J.S. Suehle, K.G. Kreider // Sensors and Actuators. 1996. — V. В 33. -P. 143−146.
- Huanga X. Rectangular mode of operation for detecting pesticide residue by using a single Sn02-based gas sensor / X. Huanga, J. Liu, D. Shao // Sensors and Actuators. 2003. — V. В 96. — P. 630−635.
- Ionescu R. Wavelet transform-based fast feature extraction from temperature modulated semiconductor gas sensors / R. Ionescu, E. Llobet // Sensors and Actuators. 2002. — V. В 81. — P. 289−295.
- Kunt T. Optimization of temperature programmed sensing for gas identification using micro-hotplate sensors / T. Kunt, T. McAvoy, R. Cavicchi // Sensors and Actuators. 1998. — V. В 53. — P. 24−43.
- Heilig A. Gas identification by modulation temperatures of Sn02-based thick film sensors / A. Heilig, N. Barsan, U. Weimar // Sensors and Actuators. -1997.-V.B 43.-P. 45−51.
- Bachinger T. Handbook of machine olfaction / T. Bachinger, H. Baltes, M. Cole, J. Cometto-Muniz, T. Dickinson, C. Di Natale, P. Evans, J. Gardner. -Weinheim (Germany): WILEY-VCH, 2003. 581 p.
- Galdikas A. Response time based output of metal oxide gas sensors applied to evaluation of meat freshness with neural signal analysis / A. Galdikas, A. Mironas, D. Senuliene // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 69. — P. 258 265.
- Brezmes J. Correlation between electronic nose signals and fruit quality indicators on shelf-life measurements with pinklady apples / J. Brezmes, E. Llobet, X. Vilanova// Sensors and Actuators. -2001. -V. В 80. P. 41−50.
- Maekawa T. Odor identification using a Sn02-based sensor array / T. Maekawa, K. Suzuki, T. Takada // Sensors and actuators. 2001. — V. В 80. — P. 51−58.
- Romain A.-C. Use of a simple tin oxide sensor array to identify five malodours collected in the field // A.-C. Romain, J. Nicolas, V. Wiertz // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 62. — P. 73−79.
- Ehrmann S. Application of a gas sensor microarray to human breath analysis / S. Ehrmann, J. Jungst, J. Goschnick // Sensors and Actuators. 2000.- V. В 65.-P. 247−249.
- Ryabtsev S.V. Application of semiconductor gas sensors for medical diagnostics / S.V. Ryabtsev, A.V. Shaposhnick, A.N. Lukin, E.P. Domashevskaya // Sensors and Actuators. 1999. — В 59. — P. 26−29.
- Capone S. Monitoring of rancidity of milk by means of an electronic nose and a dynamic PCA analysis / S. Capone, M. Epifani, F. Quarante // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 78. — P. 174−179.
- Малышев B.B. Быстродействие полупроводниковых металлоксидных толстопленочных сенсоров и их чувствительность к различным газам в воздушной газовой среде / В. В. Малышев, А. В. Писляков // Сенсор. 2001.- № 1. С. 2−15.
- Якимов А.В. Подвижные дефекты: источник 1/f шума / Якимов А. В. // Известия вузов. Сер. «Радиофизика». 1993. — Т. 36. — № 8. — С.843−847.
- Кулаичев А.П. Компьютерный контроль процессов и анализ сигналов / А.П. Кулаичев-М.: «Информатика и компьютеры», 1999. С. 328−330.
- Марпл C.JI. Цифровой спектральный анализ и его приложения / C.JI. Марпл. Пер. с англ. М.: Мир, 1990. — С. 260−266.
- Рабинович М.А. Цифровая обработка информации для задач оперативного управления в электроэнергетике / М. А. Рабинович М.: «НЦ ЭНАС», 2002. — С. 342−345.
- Угрюмов Р.Б. Методика измерения низкочастотных токовых шумов в полупроводниковых сенсорах газа / Р. Б. Угрюмов, А. В. Шапошник, B.C. Воищев // Приборы и техника эксперимента. 2004. — № 3. — С. 85−91.
- Угрюмов Р.Б. Установка для измерения инфранизкочастотного шума в полупроводниковых газочувствительных структурах / Р. Б. Угрюмов, А. В. Шапошник, B.C. Воищев // Измерительная техника. 2004. — № 7. — С.41−45.
- Мейзда Ф. Электронные измерительные приборы и методы измерений / Ф. Мейзда М.: Мир, 1990. — С. 507.
- Филиппов А.Г. Микропроцессорные системы и микроэвм в измерительной технике / А. Г. Филиппов М.: Энергоатомизда, 1995. — 365 с.
- Якимов А.Б. Анализ флуктуаций интенсивности фильтрованного 1/f шума для выявления подвижных дефектов в полупроводниках / Якимов А. Б. // Известия вузов. Радиофизика. 1997. — Т.40, № 9. — С. 1155−1163.
- Bae J. Improved selectivity of oxide semiconductor type gas sensor using compensation element / J. Bae, D. Yun, C. Park // Sensors and Actuators. -2001. -V. В 75. P. 160−165.
- Fleischer M. Selective gas detection with high-temperature operated metal oxides using catalytic filters / M. Fleischer, S. Kornely, T. Weh // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 69. — P. 205−210.
- Лазарев В.Б. Электропроводность окисных систем и пленочных структур / В. Б. Лазарев, В. Г. Красов, И. С. Шаплыгин М.: Наука, 1979. -167 с.
- Лазарев В.Б. Химические и физические свойства простых оксидов металлов / В. Б. Лазарев, В. В. Соболев, И. С. Шаплыгин М.: Наука, 1983. -239 с.
- Ryabtsev S.V. Application of semiconductor gas sensors in medical diagnostics / S.V. Ryabtsev, A.V. Shaposhnik, A.N. Lukin, E.P. Domashevskaya // Proc. of «Eurosensors-XI», Warsaw, 1997. -V. 2. P.81−82.
- Steffes H. Enhancement of N02 sensing properties of I^C^-based thin film using an Au or Ti surface modification / H. Steffes, C. Imawan, F. Solzbacher // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 78. — P. 106−112.
- Yamaura H. Mechanism of sensitivity promotion in CO sensor using indium oxide and cobalt oxide / H. Yamaura, K. Moriya, N. Miura // Sensors and Actuators. 2000. — V. В 65. — P. 39−41.
- Кельнер Р. Аналитическая химия / Р. Кельнер, Ж.-М. Мерме, М. Отто М.: Мир, 2004. — Т. 2. — С. 517−567.
- Шараф М.А. Хемометрика / М. А. Шараф, Д. Л. Иллмэн, Б. Р. Ковальски Ленинград: Химия, 1989. — 269 с.
- Харман Г. Современный факторный анализ / Г. Харман М.: Статистика, 1972.-С. 122.
- Айвазян С.А. Прикладная статистика: классификация и снижение размерности / С. А. Айвазян, В. М. Бухштабер, И. С. Енюков, Л.Д. Мешалкин- Под ред. С. А. Айвазяна М.: Финансы и статистика, 1989. -607 с.
- Ллойд Э. Справочник по прикладной статистике / Э. Ллойд, У. Ледерман, С. А. Айвазян, М.: Финансы и статистика, 1990. — 526 с.
- Дубров A.M. Компонентный анализ и эффективность в экономике / A.M. Дубров, М.: Финансы и статистика, 2002. — 350 с.
- Боровиков В.П. STATISTICA® / В. П. Боровиков, И. П. Боровиков, М.: Филин, 1997.-С. 493−494.
- Суровцев И.С. Нейронные сети / И. С. Суровцев, В. И. Клюкин, Р. П. Пивоварова Воронеж: ВГУ, 1994. — 224 с.
- Уоссермен Ф. Нейрокомпьютерная техника: теория и практика / Ф. Уоссермен М: Мир, 1992. — 322 с.
- Мкртчян С.О. Нейроны и нейронные сети (введение в теорию формальных нейронов) / С. О Мкртчян М: Энергия, 1971. — 232 с.
- Qin S. J. A new approach to analyzing gas mixtures / S. J. Qin, Z. J. Wu // Sensors and Actuators. 2001. — V. В 80. — P. 85−88.
- Угрюмов Р.Б. Спектральные и статистические характеристики шума полупроводниковых газовых сенсоров в эквирезистивных условиях / Р. Б. Угрюмов, А. В. Шапошник, B.C. Воищев // Журнал технической физики. -2004. Т.74, № 7. — С. 134−136.
- Угрюмов Р.Б. Релаксация шума в полупроводниковых газовых сенсорах / Р. Б. Угрюмов, А. В. Шапошник, B.C. Воищев //
- Конденсированные среды и межфазные границы. 2003. — Т. 5, № 4. -С.435−438.
- Угрюмов Р.Б. Шумовые характеристики газовых сенсоров при хемосорбции / Р. Б. Угрюмов, А. В. Шапошник, В. С. Воищев // Конденсированные среды и межфазные границы. 2004. — Т.6, № 3. — С.289−292.
- Пригожин И. Современная термодинамика. От тепловых двигателей до диссипативных структур / И. Пригожин, Д. Кондепуди. М.: Мир, 2002. -461 с.
- Шапошник А.В. Определение газов при совместном исследовании резистивных и шумовых характеристик полупроводниковых сенсоров / А. В. Шапошник, Р. Б. Угрюмов, B.C. Воищев, С. В. Рябцев // Журнал аналитической химии. 2005. — Т.60, № 4. — С. 420−424.
- Угрюмов Р.Б. Исследование гауссовости и стационарности шума газочувствительных пленок Sn02 / Р. Б. Угрюмов, А. В. Шапошник, B.C. Воищев // Известия вузов. Радиофизика. 2004. — Т. XLVII, № 9. — С. 784 788.
- Способ изготовления полупроводникового чувствительного элемента. Патент РФ № 2 096 775, 6G01N27/12 / С. В. Рябцев, А. В. Шапошник. Заявл. 04.05.95, опубл. 20.11.97.
- Тимашев С.Ф. Физикохимия мембранных процессов / С. Ф. Тимашев -М.: Химия, 1988.-240 с.
- Дьяконова О.В. Ионообменные свойства полиамдкислотных пленок с различной степенью имидизации / О. В. Дьяконова, В. В. Котов, В.Ф.
- Селеменев, B.C. Воищев // Журнал физической химии. 1998. — Т. 72, № 7. -С. 1275−1277.
- Котов В.В. Структура и электрохимические свойства катионообменных мембран на основе частично имидизированной полиамидкислоты / В. В. Котов, О. В. Дьяконова, С. А. Соколова, В. И. Волков // Электрохимия. 2002. — Т. 38, № 8. — С. 994−997.
- Данилин Б.С. Вакуумное нанесение тонких пленок / Б. С. Данилин -М.: Энергия, 1967. 312 с.
- Шапошник А.В. Селективность полупроводниковых сенсоров с мембранными покрытиями / А. В. Шапошник, Н. С. Демочко, А. Г. Буховец, В. В. Котов, С. В. Рябцев // Сорбционные и хроматографические процессы. 2005. — Т. 5, № 5. — С. 712−718.
- Яковлев П.В. Определение газов полупроводниковыми сенсорами с полимерными покрытиями / П. В. Яковлев, А. В. Шапошник, B.C.Воищев, В. В. Котов, С. В. Рябцев // Журнал аналитической химии. 2002. — Т. 57, № 3. — С. 326−329.
- Shaposhnik A. SnOi/Pd sensors with polymer coatings for the selective measurement of gas concentrations / A. Shaposhnik, A. Vasiliev, N. Demochko, S. Ryabtsev // Proc. of «Eurosensors-XIX», Barcelona, 2005. V. 2. — P. 91−93.
- Демочко Н.С. Селективное детектирование паров этанола и ацетона системой полупроводниковых сенсоров / Н. С. Демочко, А. В. Шапошник, Р. Б. Угрюмов, А. А. Васильев, С. В. Рябцев // Сенсор. 2005. — № 2. — С. 3438.
- Кирнов Д.А. Термосканирование полупроводниковых сенсоров: выбор режима / Д. А. Кирнов, А. В. Шапошник, С. В. Рябцев, А. В. Юкиш, А. А. Васильев // Сенсор. 2004. № 4. — С. 16−20.
- Шапошник А.В. Контроль качества продуктов с помощью искусственного обоняния / Шапошник А. В., Полянский К. К., Демочко Н. С., Пономарев А. Н. // Молочная промышленность. 2005. — № 8. — С. 5354.