Изменение состава и структуры многокомпонентных металлических материалов при бомбардировке их поверхности заряженными высокоэнергетическими частицами в электронных приборах
Диссертация
Апробация работы прошла на Международной научно-практической конференции «Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения», INTERMATIC — 2003, 9−12 июня 2003 г., Москва- 51-й научно-технической конференции МИРЭА, 13−20 мая 2002 г.- XIII Международном совещании «Радиационная физика твердого тела», июня 2003 г., СевастопольМеждународной научно-практической конференции «Межфазная… Читать ещё >
Список литературы
- Нестеров С.Б., Васильев Ю. К. Влияние распределения частиц на проводимость // Вакуумная наука и техника: Материалы VI научно-технической конференции. Гурзуф, 1999.-С. 101−109.
- Me Cracken G. М. The behaviour of aurfaces unter ion bombardment. //Reports on Progress in Physica.-1975.-V.38, № 2.- P. 241−327
- Фридрихов С.А., Мовнин C.M. Физические основы электронной техники. М.: Высшая школа, 1982. — 340 с.
- Актон Д.Р., Свифт Д. Д. Газоразрядные приборы с холодным катодом. -М.: Энергия, 1965.-250 с.
- Реди Дж. Действие мощного лазерного излучения / Пер. с англ. под ред. С. И Анисимова. М.: Мир, 1974. — 468 с.
- Гнучев Н.М. Кинетика процессов, происходящих на поверхности катодных сплавов и пленочных систем: Дисс. .канд. физ.- мат. наук. JL: ЛПИ, 1975.- 165с.
- Есаулов Н.П., Марин В. П. Разработка сэндвич-структур для катодов мощных ЭВП СВЧ // Наукоемкие технологии. 2001. — № 4, т.2. — С.20−28.
- Влияние электронной бомбардировки на состав поверхности низкотемпературных катодных материалов / В. П. Марин, Н. П. Есаулов, М. Н. Есаулов, А. П. Коржавый // Наукоемкие технологии. 2004.- № 1. — С.35−43.
- Гродштейн А.Е., Назаров И. Д. Поглощение ионов инертных газов твердыми телами и их десорбция // Обзоры по электронной технике. Сер. Газоразрядные приборы. Вып. № 64. — 1968. — 64 с.
- Арифов У.А. Взаимодействие атомных частиц с поверхностью твердого тела.- М.: Наука, 1968.- 385 с.
- Лейман К. Взаимодействие излучения с твердым телом и образование элементарных дефектов / Пер. с англ. к.ф.- м.н. Г. И. Бабкина. М.: Атомиздат, 1979. — 293 с.
- Иванов В.И. Взаимодействие высокоинтенсивных ионизирующих излучений с твердым телом: Учебное пособие. М.: МИРЭА, 1994. — 64 с.
- Ковальский Г. А. Эмиссионные явления при взаимодействии ионов и атомов с поверхностью твердого тела: Учебное пособие. М.: МИРЭА, 1993.52 с.
- Мотт Н., Месси Г. Теория атомных столкновений / Под ред. Е. Никитиной. М.: Мир, 1969. — 755 с.
- Баширова P.M., Бондаренко A.B. Исследование энергетического спектра положительных ионов, попадающих на катод в аномальном тлеющем разряде // Изв. Высших учебн. Заведений. Сер. Радиофизика. 1965. — № 8, 4. -С.784−793.
- Акишин А.И. Ионная бомбардировка в вакууме. М.Л.: Госэнергоиздат, 1963. — 185 с.
- Каминский М. Атомные и ионные столкновения на поверхности металла. М.: Мир, 1967. — 281 с.
- Плешивцев Н.В. Катодное распыление. М.: Атомиздат, 1968. — 344 с.
- Бете Г. А., Ашкин С. Прохождение излучения через вещество / Пер. с англ. / Под ред. Э. Сегре //Экспериментальная ядерная физика-М.: ИЛ, 1955.-T.I.-291 с.
- Юрасова В.Е., Спивак Г. В., Крохина А. И. Катодное распыление как метод препарирования в электронной микроскопии. М.: Энергия, 1963. -89 с.
- Изменение микрорельефа поверхности холодного катода в тлеющем разряде / B.C. Ананьин, Н. Г. Кашников, Л. Н. Покосовский и др. // Электронная техника. Сер. 3. Газоразрядные приборы.- 1967, — Вып. 4.- С.57- 63.
- Вольский С., Жданюк Е. Распыление твердых материалов положительными ионами // Сб. статей. М.: ИЛ, 1963. — С. 49−57.
- Лэгрейд Н., Венер Г. Распыление металлов и полупроводников положительными ионами с энергией от 50 до 600 эВ // Сб. статей. М.: ИЛ, 1963.-С. 58−65.
- Almen О., Bruce G. High Energy Sputtering // Trans, 8-th Nat. Vacuum Sympos. and 2-nd Internat. Congr. Vacuum Sci. and Technol. Washington, B.C., 1961, v. I. — Oxford-London-New-York-Paris, Pergamon Press.- 1962.- P.245−251.
- Дине Дж., Виньярд Дж. Радиационные эффекты в твердых телах. М.: ИЛ, 1980.- 244 с.
- Дюбуа Б.Ч. Электронная эмиссия металлических сплавов и тугоплавких металлоподобных соединений: Дисс.. доктора физ.- мат. наук. -Фрязино: ИСТОК, 1969. 217 с.
- Ермолаев Л.А. Вторично-электронная эмиссия сплавов металлов: Дисс.. канд. физ.-мат. наук. Фрязино: ИСТОК, 1967. — 165 с.
- Добрецов Л.Н., Гомоюнова М. В. Эмиссионная электроника.- М: Наука, 1966.-564 с.
- Бронштейн И.М., Фрайман Б. С. Вторичная электронная эмиссия.- М.: Наука, 1969.-408 с.
- Есаулов Н.П. Физико-технологические основы разработок эффективных металлосплавных и металлооксидных катодных материалов и катодов на их основе для мощных ЭВП: Дисс.. доктора техн. наук. М.: МГИЭМ, 1996.-329 с.
- Penetration of heavyion4s of kev energies into monocrystilline tungsten / E.V. Kornelsen, F. Brown, J.A. Davies et al. // Phys. Rev.- 1964.- V. 136, N ЗА. -P. 7−11.
- Kornelsen E.V. The ionic entrapment and thermal desorption of inert gases in tungsten for kinetic energies of 40 eV to 5 keV // Can. J. Phys.- 1964.- V. 42, N 2.-P. 16−19.
- Гусева М.И., Мартыненко Ю. В. Распыление материалов ионами Н4″, D+, Т+, Не I/ Физика плазмы.- 1976.- Т.2, вып.4.- С.593−596.
- Калин Б.А., Скоров Д. М., Якушин B.JI. Проблемы выбора материалов для термоядерных реакторов.- М: Энергоатомиздат, 1985. 184 с.
- Зеленский В.Ф., Неклюдов И. М., Черняева Т. П. Радиационные дефекты и распухание материалов, — Киев: Наукова думка, 1988. 296 с.
- Залужный А.Г., Сокурский Ю. Н., Тебус В. Н. Гелий в реакторных материалах. М.: Энергоатомиздат, 1988.- 288 с.
- Исследование структуры и механических свойств стали ОХ16Н15МЗБ, облученной ионами гелия / Н. П. Агапова, И. Н. Африканов, Ф. П. Бугра и др. // Атомная энергия.- 1976.- Т.41, вып.5.- С.314−321.
- Schroeder Н., Kesternich W., Ullmaier Н. Helium effects on the creep and fatigue resistance of austenitic stainless steels at high temperatures // Nucl. Eng. and Design.-Fusion. 1985.- V.2, N ½. — P.65−95.
- Конструкционные материалы ядерных реакторов / Н. М. Бескоровайный, Б. А. Калин, П. А. Платонов, И. И. Чернов М.: Энергоатомиздат, 1995. — 956 с.
- Калин Б.А., Чернов И. И. Радиационная эрозия поверхности конструкционных материалов: Учебное пособие. М.: МИФИ, 1986. -30 с.
- Радиационные повреждения конструкционных материалов при бомбардировке ионами гелия / Б. А. Калин, И. И. Чернов, Е. Ю. Чернышев, Г. Н. Шишкин. М.: МИФИ, 1984. — 232 с.
- Добрецов JI.H. Атомная физика. М.: Физматгиз, 1960. — 348 с.
- Стоянов А.Ф. Приближенная модель фронта распространения взрывной волны в пылевом облаке частиц активных металлов // Чистые металлы: Сборник докладов 7-го Международного симпозиума. Харьков, 2001.-С. 358−400.
- Reed D.J. A review of recent theoretical developments in the understanding of the migration of helium in metals and its interaction with lattice deflects // Radiat. Eff. 1977. — V.31. — P. 129−147.
- Крейндель Ю.Е. Плазменные источники электронов. М.: Атомиздат, 1977.- 145 с.
- Schroeder Н., Stamm U. Effects of Radiat. on Mater. // Proc. of 14th Int. Symp. New-York, 1989. — V.l. — P.223.
- Higgins P.R.B., Roberts A.S. Reduction in ductility of austenitic stainless steel after irradiation // Nature. 1965. — V.206. — P. 1249−1250.
- Ullmaier H. The influence of helium on the bulk properties of fusion reactor structural materials // Nucl. Fusion. 1984. — V.24, N 8.- P. 1039−1083.
- Kulcinski G.L., Doran D.G., Abdou M.A. Monitoring Structural Integrity by Acoustic Emission // Proc. of 14th Int. Symp. New-York, 1975. — V.2. — P.329.
- Роль облучения в высокотемпературной хрупкости стали / С. Н. Вотинов, В. И. Прохоров, В. Д. Балашов и др. // Радиационная физика твердого тела и реакторное материаловедение. М.: Атомиздат, 1970. — С.82−94.
- Высокотемпературное радиационное охрупчивание материалов /В.Ф. Зеленский., Н. М. Кирюхин, И. М Неклюдов и др. // Обзор ХФТИ АН УССР. Харьков, 1985. — № 83−43. — 47с.
- Неустроев B.C., Голованов В. Н., Шамардин В. К. Радиационное охрупчивание материалов ТВС в температурном интервале максимума распухвния // Атомная энергия. 1990. — Т. 69, вып. 4. — С. 223−226.
- Калин Б.А., Реутов И. В., Чернов И. И. Формирование пористости в сплавах Ni-C, содержащих гелий, в процессе послерадиационного отжига. // Радиационные дефекты в металлах. Алма-Ата, 1988. — С.35−41.
- Nickel-ion bombardment of type 304 stainless steel: Comparison with fast reactor swelling data / W.G.Johnston, J.H. Rosolowski, A. M Turkalo et al. // J. Nucl. Mater. 1973. — V.47, N.2. — P. 155−167.
- Nickel-ion bombardment of annealed and cold-worked type 316 stainless steel / W.G. Johnston, J.H. Rosolowski, A.M. Turkalo, T. Lauritzen // J. Nucl. Mater. 1973. — V.48, N.3. — P.330−338.
- Williams T. M, Arkell D.R., Eyre B.L. The effect of preinjected helium on void nucleation and growth in FV548 steel irradiated with 1 MeV electrons // J. Nucl. Mater. 1980. — V.88, N.l. — P. 1 11−120.
- Fission-fusion correlations for swelling and microsrtucture in stainless steels: effect of the helium to displacement per atom ratio / G.R. Odette, P.J. Maziasz, J.A. Spitznagel //J. Nucl. Mater. 1981. — V.103, 104, N. l/3. — P.1289−1304.
- Helium effects in ion bombardment 304 stainless steel / W.J.Choyke, J.N. McGruer, J. R Townsend et al. //J. Nucl. Mater. 1979. — V.85, 86. — P.647−651.
- Mazey D.J., Nelson R.S. Observation of bubble-void transition effects in nickel alloys // J. Nucl. Mater. 1979. — V.85, 86. — P.671−676.
- Тищенко Л.П., Шабуня A.B., Перегон Т. И. Исследование захвата и термического газовыделения гелия и изотопов водорода из конструкционных материалов//Изв. РАН. Сер. Физическая. 1994. — Т.85, № 3. — С.158−161.
- Ибрагимов Ш. Ш., Кирсанов В. В., Пятилетов Ю. С. Радиационные повреждения металлов и сплавов. М.: Энергоатомиздат, 1985. — 240с.
- Залужный А.Г. Образование и удержание гелия в конструкционных реакторных материалах: Учебное пособие. М.: МИФИ, 1988. — 52 с.
- Thermal desorption of helium from polycristalline Ni irradiated to fluences ranging from IxlO17 to lxlOI8He+/cm2 / V.F. Zelenskij, I.M. Nekludov, V.V. Ruzhitskij et al. //J. Nucl. Mater. 1987. — V.151. — P .22−26.
- Карасев B.C., Ковыршин В. Г. Термодесорбция имплантированного гелия из аустенитных сталей типа 16−15 // Атомная энергия. 1983. — Т.55, вып.6. — С. 362−370.
- Schroeder Н., Fichtner P.F.P., Trinkaus Н. Inert gas bubble coarsening mechanisms // Mater. Sci. Forum. 1992.- V.97/99. — P. 1−10.
- The formation of helium bubbles near the surface and the bulk in nickel during post-implantation annealing / V.N. Chernikov, H. Trinkaus, P. Jung, H. Ullmaier// J. Nucl. Mater. 1990. — V.170. — P.31−38.
- Gaspers L.M., Van Veen A. Thermal helium desorptionspectrometry // Phys. Stat. Sol. (a). 1981. — V.68, N.2. — P.339−350.
- Thermal evolution spectrometry of low energy helium ions injected into stainless steel and nickel targets / D.J. Reed, F.T. Harris, D. G Armour et al. // Vacuum. 1974. — V.24, N 4. — P. 179.
- Marachov N., Ferryman L.J., Goodhew P.J. Growth of inert gas bubbles after implantation // J. Nucl. Mater. 1987. — V.149, N.3. — P.296−301.
- Evans J.H., Van Veen A. Gas release processes for high concentrations of helium in metals // Proc. of 7th Int. Conf. On Fusion React. Mater. Obninsk (Russia), 1995. — P.266.
- Поведение имплантированного гелия в поверхностном слое конструкционных материалов / И. И. Чернов, Б. А. Калин, М. И. Гусева и др. // Поверхность. Физика, химия, механика. 1983. — № 11. — С. 75−83.
- Исследование влияния легирования на радиационную повреждаемость кристаллических материалов при ионном облучении / Б. А. Калин, И. И. Чернов, А. Н. Калашников, В. В. Тимофеев. М.: МИФИ. — 1995. — 75 с.
- Walker G.K. The migration of helium bubbles in a 20%Cr/25%Ni/Nb stabilised steel // J. Nucl. Mater. 1970. — V. 37. — P. 171−176.
- Tyler S.K., Goodhew P.J. Direct evidence for the Brownian motion of helium bubbles // J. Nucl. Mater. 1980. — V.92, N.2/3. — P.201−206.
- Influence of carbon and titanium on helium bubble microstructure in nickel under helium ion bombardment / B.A. Kalin, I.I. Chernov, A.G. Bogachev et al. // Mater. Sci. Forum. 1992. — V.97−99. — P. 373−378.
- Порообразование и стабильность структуры в облученных ионами гелия сплавах никель-алюминий при отжиге 750 °C / И. И. Чернов, Б. А Калин, А. Н. Калашников и др. // Атомная энергия. 1992. — Т.72, вып.2. — С. 171−175.
- Калин Б.А., Реутов И. В., Чернов И. И. Влияние углерода на развитие газовой пористости в никеле, насыщенном гелием до Ю-2 ат.%, при отжиге в интервале 500−1000°С // Атомная энергия. 1992. — Т.72, вып.6. — С.559−565.
- Влияние углерода на структуру, захват и выделение дейтерия в сплавах Fe-C / Б. А. Калин, Б.А., И. И. Чернов, А. Г Богачев. и др. // Атомная энергия. 1992. — Т.72, вып.6. — С.613−615.
- Развитие гелиевой пористости в модельных сплавах Ni-C и Ni-C-Ti, облученных ионами Не+ / Б. А. Калин, А. Г. Богачев, И. И. Чернов и др. // Атомная энергия. 1992. — Т.73, вып.З. — С. 203−209.
- Effect of carbon on microstructure in Ti-modifled type 316 stainless steels irradiated with helium ions./ K. Suzuki, Y. Katano, T. Aruga et al. // J. Nucl. Mater. -1985.-V. 133/134.-P.585−589.
- Влияние малых концентраций углерода на структуру никеля / А. Н. Калашников, Б. А. Калин, И. В. Реутов и др. // Физ. мет. и метало-вед. -1990.-№ 7.-С. 203−206.
- A.c. 725 115 СССР. Материал для вторичноэлектронных эмиттеров /С.И. Файфер, В. Н. Ильин, С. М. Жданов, В. Е. Мясников, А. П. Казаков, Н. П. Есаулов // Б.И. 1978. — № 43.
- Одолевская O.A. Катоды для приборов М-типа. М.: Электроника, 1978.-48 с.
- A.c. 1 314 854 СССР. Катод электронного прибора и способ его изготовления / Н. П. Есаулов, В. Н. Ильин, В. А. Пономарев и др. // БИ. 1985. -№ 15.
- A.c. 1 582 899 СССР. Способ изготовления вторичноэмиссионного катода / К. П. Редега, Н. П. Есаулов, В. А. Пономарев, JT.A. Шмелев // Б.И. 1988.- № 55.
- Разработка и освоение производства полос из сплава МЛБ, плакированного медью для эмиттеров с вторичной электронной эмиссией / В. А. Пономарев, В. Г. Миронов и др. // Электронная техника. Сер. Материалы.- 1984.-Вып. 14.-С.6−9.
- Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. / М.: Мир, 1984.
- Исследование метода цветной катодолюминесценции для исследования материалов изделий электронной техники / H.A. Томилин, Ю. В. Меныненин, В. П. Марин и др. // Наукоемкие технологии. 2004. — Т.5, № 1. — С.25−28.
- Применение Оже- электронной спектроскопии в исследовании состояния поверхности металлокерамических катодов./ В. Н. Барышев, С. С. Еловиков, В. П. Марин, Ю. В. Меныненин // Электронная промышленность.- 1979. № 6. — С.55−58.
- Дюбуа Б.Ч., Ермолаев JI.A. Вторичная электронная эмиссия рения с вольфрамом, танталом и титаном // Изв. АН СССР. Сер. физ. 1964. — Т. 28, № 9.-С. 1508.
- Ильин В.Н., Есаулов Н. П., Казаков А. П. Электронная эмиссия сплавов платины и палладия с металлами II группы // Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ. 1971. — Вып. 4. — С.138 -142.
- Автоматизированная система измерения вторично-эмиссионных характеристик электропроводящих материалов / В. П. Гамарский, Г. Г. Гонтарев,
- B.А. Григорович и др. // Материалы IV Всесоюзной конференции по проблемам метрологического обеспечения систем обработки измерительной информатики. -М., 1982.-С. 153.
- Шматко O.A., Усов Ю. В. Структура и свойства металлов и сплавов: Справочник. Киев: Наукова думка, 1987. — 584с.
- Лифшиц Б.Г. Металлография. М.: Металлургия, 1990. — 336 с.
- Залужный А.Г., Сокурский Ю. Н., Тебус В. Н. Гелий в реакторных материалах. М.: Энергоатомиздат, 1988. — 224 с.
- A.c. 701 386 СССР. Катод электронного прибора / А. П. Казаков, Б. Ч. Дюбуа, Н. П. Есаулов, В. Н. Ильин // Б.И. 1978. — № 8.
- Пономарев В.А., Редега К. П., Миронов В. Г. Свойства катодного материала на основе меди, полученного методом прокатки порошка // Электронная техника. Сер. Материалы. 1984. — Вып. 14. — С. 21−24.
- Эмиссионные и теплофизические свойства катодного материала на основе меди с добавками оксидов / К. А. Амеличева, М. Н. Есаулов,
- B.И. Звонецкий, К. П. Редега //Межфазная релаксация в полиматериалах: Материалы Международной научно-практической конференции, ПОЛИМАТЕРИАЛЫ-2003. М., 2003. — С. 193−198.
- Ильин В.Н., Есаулов Н. П. Электронная эмиссия сплавов Cu-Li, Ag-Li со структурой твердого раствора // Тезисы докладов на XX Всесоюзной конференции по эмиссионной электронике. Киев, 1987. — Т.2. — С. 139.
- Некоторые свойства композиционного катодного материала на основе меди с добавками окислов лития и бария / В. Ф. Арцихович, А. И. Бажин,
- C.М. Жданов, К. П. Редега // Электронная техника. Сер. Материалы. 1982. -Вып.1. — С.13−15.
- Редега К.П., Шишкин A.B. Исследование воспроизводимости параметров вторично-эмиссионных катодов // Электронная техника. Сер. Материалы. 1980. — Вып. 9. — С.20−23.
- Редега К.П. Изменение вторично-эмиссионных характеристик композиционных катодов под влиянием электронной бомбардировки // Электронная техника. Сер. Материалы. 1981. — Вып.7 — С. 15−18.
- Вавилов B.C., Кив А.Е., Ниязова О. Р. Механизмы образования и миграции дефектов в полупроводниках. М.: Наука, 1981. — 368 с.
- Diffusion and y'-precipitation in Ni (Al) alloys under proton irradiation / P. Jung, M.I. Ansari, H. Klein, D. Meertens // J. Nucl. Mater. 1987. — V.148, N 2. -P.148−156.
- Effect of carbon on microstructure in Ti-modifled type 316 stainless steels irradiated with helium ions / K. Suzuki, Y. Katano, T. Aruga et al. // J. Nucl. Mater. -1985. V.133/134. — P.585−589.
- Паршин A.M. Структура и радиационное распухание сталей и сплавов. М.: Энергоиздат, 1983. — 56 с.
- Trinkaus Н. Energetics and formation kinetics of helium bubbles in metals // Radiat. Eff. 1983. — V.78, N ¼. — P. 189−211.
- Формирование газовой пористости в сплавах никеля и конструкционной стали при облучении ионами гелия / С. Ю. Бинюкова, И. И. Чернов, Б. А. Калин и др. // Атомная энергия. 2002. — Т. 93, вып. 1. -С. 32−40.
- Donnelly S.E. The density and pressure of helium in bubbles in implanted metals: a critical review // Radiat. Eff. 1985. — V.90. — P. 1−47.
- Van Veen A. Thermal helium desorption spectrometry (THDS) as a tool for the study of vacancies and self- interstitials // Mater. Sci. Forum. 1987. -V.15/18. — P.3−24.
- Redistribution of implanted noble gas by self-interstitials in molibdenum and nickel / A. Van Veen, W.Th.M. Buters, T.R. Armstron et al. // Nucl. Instrum and Methods. 1983. — V.209/210. — P.1055−1063.
- Лариков Л.Н., Исаев В. И. Структура и свойства металлов и сплавов. Диффузия в металлах и сплавах: Справочник. Киев: Наукова думка, 1987. -512с.
- Чкаусели В.Ф. Развитие гелиевой пористости при отжиге аустенитной нержавеющей стали // Физ. мет. и металловед. 1988, — Т.66, вып.4. — С.722−726.
- Черников В.Н., Захаров А. П., Казанский П. Р. Газовая пористость в объеме и у границ раздела при отжиге никеля, насыщенного гелием до концентраций <0,5 ат.% // Докл. АН СССР. 1989. — Т.34, № 4. — С.870−874.
- Carter G. Thermal resolution of desorption energy spectra // Vacuum. -1962.-V.12.-P. 245−250.
- ОТКРЫТОЕ -АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО1. ОАО «БИМЕТАЛЛ „
- Изменение состава и структуры многокомпонентных металлических материалов при бомбардировке их поверхности заряженными высокоэнергетическими частицами в электронных приборах“
- Р с -КГ28 105 2224t)l ¡-.U1Й2 к Кляужаям OCR .Y» 3ft" г. KXn rV ~ Г, НК и42>>1″<>1 2 К о J<)I'JlS10h)tWjOiti4.4H2 ПНИ -iiC'O.^.VoV КПП «-Л^-'П'Х'I О KOH. Y 1 4""1 О К3'10 3 2584-iy»
- ОТКРЫТОЕ АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО1. ПЛУТОН
- Внедрение полученных результатов позволило оптимизировать режим работы катодов указанных приборов и совершенствовать технологические процессы их изготовления.
- Заместитель генерального директораначальник СКК