Моделирование структурных элементов систем формирования интенсивных пучков заряженных частиц
Диссертация
Актуальность проблемы. В настоящее время пучки заряженных частиц широко используются во многих областях науки и техники и перед ними открываются все новые перспективы. Решение одной из важнейших задач современной микроэлектронной технологии — освоение субмикронного диапазона — возможно только на основе диагностического и технологического оборудования на основе электронных и ионных зондов. При… Читать ещё >
Список литературы
- Kubena R.L., Anderson C.L., Seliger R.L., Juliens R.A., and Stevens E.H., //J. Vac. Sei. Technol. 19, 916 (1981).
- Wang V., Ward J.W., and Seliger R.L., //J. Vac. Sei. Technol. 19, 1158 (1981).
- Seliger R.L., Kubena R.L., Olney R.D., Ward J.W., and Wang V., //J. Vac. Sei. Technol. 16, 1610 (1979).
- Rensch D.B., Seliger R.L., Csanky G., Olney R.D., and Stover H.L., //J. Vac. Sei. Technol. 16, 1897(1979).
- Bayly A.R., Wangh A.R., and Anderson C.L. //Nucl. Instrum. Methods 218, 375 (1983).
- Prewett P.D., and Jeffries D.K. //Inst. Phys. Conf. 54, 316 (1980).
- Levi Setti R., Young Y.L., and Grow G. //J. Phys. Collog (France) 45, 197 (1984).
- Габович М.Д. Жидкометаллические эмиттеры ионов. //УФН, 1983, Т.140, в. 1, с. 137−152.
- Sakurai Т., Culbertson R.J., Robertson G.H. // Appl. Phys. Lett., 1979, v.34, p.ll.
- Clampitt R., Jefferies D.K. // Nucl. Instrum. and Meth., 1978, v. l49, p.739. 1 I. Wagner A., Hall T.M. //J. Vac. Sei. and Technol., 1980, v. l6, p. l871.
- Culbertson R.J., Robertson G.N., Kuk Y., Sakurai T. // J.Vac. Sei. and Technol. 1980, v. l7,p.203.
- Culbertson R.J., Robertson G.N., Sakurai T. // Ibid., 1970, v. l6 p. l868. М. Мюллер Э., Цонь E. Автоионная микроскопия М. Металлургия, 1972, с. 72.
- Venkatesan Т., Wagner А., Barr О. // Appl. Phys. Lett, 1981, v.38, р.943. 16. Swanson L.W., Schwind G.A., Bell A. E. // J. Appl. Phys., 1980, v.51, p.3453.1.Prewett P.D., Mair G.I., Tompson S.P. In: Proc. of 28th Intern. Field
- Emission Symposium. Portland, 1981, -P. 100. IS. Taylor G. // Proc. Roy. Soc. Ser. A, 1964, v.280, p.383.
- Prewett P.D., Mair G.L.R., Tompson S.P. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1982, v. l5,p.l339.
- Габович М.Д., Старков В. Н. // ЖТФ, 1982, N6, с. 1249−1251.
- Габович М.Д., Плешивцев Н. В., Семашко H.H. Пучки ионов и атомов.-М. Энергоиздат, 1986, с. 222.
- Габович М.Д., Порицкий В. Я. // Письма ЖЭТФ, 33,320(1981).
- Tonks L. Phys. Rev., 1935, v.48, р.562.
- Френкель Я.И. // Phys. Zs. Sowjetunion, 1935, t.8, p.675.
- Gaubi H., Surdaud P., Tence M., Van der Walle // J. Proc. XXIX Int. Field Emission Symp., Goteborg, 1982, p.357−362.
- Mair G.L.R., A. von Engel // J. Appl. Phys., 1979, v.50, N12, p.5592−5595.
- Kang N.K., Swanson L.W. // Appl. Phys. A30, 95(1983).
- Kingham D.R., Swanson L.W. // Appl. Phys., 1984, V. A34, p. 123−132.
- Kingham D.R., Swanson L.W. // Vacuum, 1984, v.34, p.941−945.
- Krohn V.E., Ringo G R. // Appl.Phys. Lett. 1975, v.27, p.479. ЗЬЛивенцева И. Ф. Ионные источники с жидкометаллическимиэмиттерами и новые направления в технологии, с.60−66.
- Бадан В.Е., Гасанов И. С. Мелкодисперсная фаза и неустойчивость эмиссии ЖМИИ.//"Письма в ЖТФ", 1989, т.15, в.18, с.49−52.
- Назин С.С., Изотов А. Н., Шикин В. Б. // «Доклады АН СССР», 1985, Т.283, N1,0.121−125.
- Дудников В.Г., Шабалин А. Л. ЭГД источники ионных пучков. Новосибириск: ИЯФ СО АН СССР, 1987, Препринт 87−63, с. 66.
- Широчин Л.А., Поляков М. А., Фурсей Г. П., Лупехин СМ. // «Письма в ЖТФ», 1984, т.Ю, В.24, с.1507−1510.
- Wagner А. // Appl. Phys. Lett., 1982, v.40, p.440−442.
- Wagner A., Venkatesan Т., Petroff P.M., Barr.D. // J. Vac. Sei. and Tecimoi., 1981, v. l9,p.1186.
- Clampitt R., Aitken K.L., Jefferies D.K. // J. Vac. Sei. and Technol., 1975, V. 12, p.1208.
- Gomer R. // Appl. Phys., 1979, v.19, p.365.
- Дудников В.Г., Шабалин А. Л. ЭГД источник ионов. // «Приборы и техн. эксперимента», 1986, т.5, с. 149−152.41 .Mair G.L.R. // J. Phys. D: Appl. Phys., 17(1984) p.2323−2330.
- Stem Т.Е., Grossling B.S., Fowler R.H. // Proc.R. Soc. 1929, A 124, p.699.
- Tompson S.P., Prewett P.D. // J.Phys. D: Appl. Phys., 1984, v. 17, p.2305−2321.
- Дудников В.Г., Шабалин А. Л. Колебания и переходные процессы в ЖМЭИ. //ЖТФ, 1985, Т.55, в.4, с.776−778.
- Дудников В.Г., Шабалин А. Л. Получение ионных пучков из расплавов диэлектриков в режиме ЭГД эмиттера. // «Письма в ЖТФ», 1985, т. 11, в.13,с.808−812.
- Габович М.Д., Гасанов И. С., Проценко И. М. О стабильности тока ЖМЭИ. //ЖТФ, 1988, Т.58, в.12, с.2367−2370.
- Ащеулов С.В., Егоров И. В., Овсянников Д. А. Источники ионов металлов на основе термополевой и взрывной ионной эмиссии. // «Вопросы атомной науки и техники», серия: ядерно-физические исследования, 1989, в.5(5), с. 100−102.
- Егоров Н.В., Корольков А. Е. Исследования ТПИЭ систем металл — полупроводник, // ЖТФ, 1989, т.59, в. 10, 129 131
- Лысенко Д.В., Черняк Е. Я. Особенности гидродинамического режима работы ЖМИ, // ЖТФ, 1989, т.59, в.11,
- Ward А., Hall Т.М. // J. Vac. Sei. and Technol., 1979, v. 16, N6, p. 18 711 874.
- Шабалин А.Л. Возможна ли работа ЭГД эмиттера в режиме малых токов?, // «Письма в ЖТФ», 1983, т. 13, в.23,
- Дудников В.Г., Шабалин А. Л. Генерация кластеров в ЭГД эмиттерах ионов. «Физика кластеров», 1987, т.23, с.23−28.
- Дудников В.Г., Шабалин А. Л. Особенности переходных процессов при ЭГД эмиссии ионов. // ЖТФ, 1987 т.57,в.1, с. 185−187.
- Габович М.Д., Козырев Ю. Н., Феник М. Б. Принудительная модуляция тока ЖМЭИ и размеры эмиттирующего острия. // «Письма в ЖТФ», 1988, Т. 14, в. 12, С. 1136−1139.
- Swanson L.W., Schwind O.A., Bell A.E., Brady J.E. // J. Vac. Sei. and Technol., 1979, v. 16, p. 1864.
- Forbes R.G., N.N. Ljerojevic, // Vacuum. -1989, -39, № 11 12, -c.l 153.
- N.N. Ljerojevic N.N., Forbes R.G. // Surface Sei. -1992, -261, № 1 3, -C.176.
- Forbes R.G., Ljerojevic N.N., Nebogscha N. // Surface Sei. -1992, -266, № 1 -3,-c.l70.
- Chon Guand Sup, Kim Dong -Eon, Kan Seung — Oun, // J. Phys. D. -1990. -2 3,№l,-c. 85.
- Hesse E., Naehrmg F.K. // J. Phys. D. -1993. -26, № 4, -c.717.
- Hesse E., Bischoff L. and Teichert J., //Appl. Phys. 28 (1995), c.1707.
- Hesse E., Bischoff L. and Teichert J., // Appl. Phys. 27 (1994), c.427.
- Bischoff L., Teichert J., Hesse E., Panknin D., and Skorupa W., // J. Vac. Sei. Technol. В 12(6), 1994,3523.
- Drisel W., Dietzsch Ch., Bischoff L., Teichert J., and Hesse E., // J. Vac. Sei. Technol. В 14(3), 1996, 1621.
- Bischoff L., Teichert J., Hesse E., Prewett P.D. and Watson J.G. // Microelectronic Engineering. 30(1996), 245 248.
- Teichert J., Bischoff L., Hesse E., Schneider P., Pankin D. // Appl. Surfaces Sei. 91(1995), 44−49.
- Bischoff L., Heinig К H., Teichert J. and Skorupa W. // Nuci. Inst. And Metods in Phys. Rev. В 112(1996), 201 — 205.
- Кулик B.C., Медведев В. К., Попович Н. Н., Черный В. И. // Физ. хим. структур, и эмисс. свойства тонк. пленок и поверхности тверд, тела. Киев. гос. унив-т. Киев, 1992, -с.260 — 283.
- Vladimirov V.V., Gorshkov V.N., Mozyrsky D.V., Poritsky P.V. // Vide, couches minses. -1994. -50, № 271. Suppl. -c.244 247.
- Косячков A.A., Чичкачев СМ., Колесник В. П., Черепнин В. Т. // Металлофизика и нов. технол. -1995. -17, № 12, с. 62 67.
- Gomer R., Swanson L.W. // J. Chem. Phys. 1963, 38, № 7, c. 127.
- Mair G.L.R. J. Phys. D. 1997, 30, № 13, 1945 1950.
- Beckman J. C, Chang T.H.P., Wagner A., Pease P.F.W. // J. Vac. Sci. and Technol. B. -1996, -14, № 6, c.3911 3915.
- Mair G.L.R. // J. Phys. D. 1996, 29, № 8, 2186 2192.
- Knauer W. // Optik. -1981, 59, 335.
- Czarczynski Wojcied // J. Vac. Sci. and Technol. A -1995, № 1. -c. 113 -116.
- Сихуралидзе Г. Г, // Приборы и техн. экспер. 1996, -№ 6, -с. 75 — 77.
- Forbes RG, Ljepojevic NN. Electrohydrodynamics and liquid metal ion sources. International Conference on Technology and Applications of Ion Beams, Institute of Physics, Loughborough, UK, Apr 1992.
- Forbes RG, Mair GLR, Ljepojevic N, Liu W. New understandings in the theory of liquid metal ion sources. 41st International Field Emission Symposium, Rouen, France, Jul 1994.
- Forbes RG. Understanding how the liquid metal ion source works. 9th International School on Vacuum, Electron and Ion Technologies, Sozopol, Bulgaria, Sep 1995.
- Forbes RG. Electrohydrodynamics, spraying and liquid metal ion sources. lOP Meeting on Electrohydrodynamics and its Applications, Institute of Physics, London, UK, Dec 1996.
- Forbes RG. Liquid metal ion sources and electrohydrodynamics. Seminar, University of Seville, British Council, University of Seville, Spain, Oct 1996.
- Forbes RG. Progress in understanding liquid metal ion source behaviour. Seminar, University of Athens, British Council, University of Athens, Greece, Sep 1996.
- Forbes RG. Electrohydrodynamics and the liquid-metal ion source. 3rd International Workshop on Electrohydrodynamics and Applications, Udine, Italy, Jul 1996.
- Forbes RG. The liquid metal ion source as a vena contracta, and some comments on LMIS stability. 43rd International Field Emission Symposiom, International Field Emission Society, Moscow, Russia, Jul 1996.
- Forbes RG. Relationship between LMIS cusp length and emission current: a review of results. 44th International Field Emission Symposium, International Field Emission Society, Tsukuba, Japan, Jul 1997.
- Bell A. E. and Douglas F. Barofski, «Field Emission and Field Ionization,» Encyclopedia ofApplied Physics, Vol. 6 1993.
- Bell A. Е., Lantz S. L., Ford W. K. and Danielson D., «Influence of surface contaminants on W. film growth on Si (lOO) from WF6,» // J. Vac. Sci. Technol. A 11 (4), Jul/Aug 1993.
- Hornsey R.I., «Simulations of the Current and Temperature Dependence of Liquid Metal Ion Source Energy Distributions», // J. Appl. Phys. 30 (1991), pp.3 66−3 75.
- Hornsey R.I. and Ishitani T. «Droplet and Cluster Ion Emission from Gallium and Indium Liquid Metal Ion Sources», // J. Appl. Phys. 29 (1990), pp.21 162 121.
- Hornsey R.I. and Ishitani T. «A New Droplet Break-up Model for Cluster Ion Formation in Gallium Liquid Metal Ion Sources» // J. Appl. Phys. 29 (1990), PP. L1007−1010.
- Hornsey R.I. and Ishitani T. «Mass Loss and Dimer Ion Formation in Ga and In Liquid Metal Ion Sources», presented at the Autumn 1990 meeting of the Japanese Society of Applied Physics, Morioka, Japan.
- Hornsey R.I. «A Unified Description of Liquid Metal Ion Source Energy Distribufions», // J. de Phys. 50 (1989), C8: pp. 197−202.
- Hornsey R.I. «The High Temperature Behaviour of Gallium and Indium Liquid Metal Ion Sources» // Appl. Phys. A. 49 (1989), pp.697−705.
- Hornsey R.I. «The Emission Characterisfics of an Indium Needle-type Liquid Metal Ion Source» // Appl. Phys. A 49 (1989), pp.293−297.
- Hornsey R.I. and Marriott P. «The Effects of Source Temperature and Characteristics on the Optical Emission from a Gallium Liquid Metal Ion Source», // J. Phys. D: Appl. Phys. 22 (1989), pp.699−704.
- Физика и технология источников ионов. Под ред. Я. Брауна. М. Мир. 1998, с. 339.
- Mair G.L.R., А von Engel, // J. Phys. D: Appl. Phys., 1981, v. l4, p. l721−1727.
- Fowler R. H., Nordheim L. W. Electron emission in intense electric field // Proc. Roy.Soc. (London). A 119, № 781, 1928, с 173 -181.
- Елинсон М.И., Васильев Г. Ф. Автоэлектронная эмиссия. М.: Гос. из-во физ.-мат. лит., 1953.
- Ненакаливаемые катоды. (Под ред. Елинсона М.И.) М.: Сов. Радио, 1974, С. 336.
- Modinos А. Field thermoionic and secondary electron emission spectroscopy. New. Jort: Plemim Press. 1984. 375.
- Dyke W.R., Trolan J.K. Field emission: Large current densites, space charge and the vacuum arc // Phys. Rev. 89, № 4, 1953, c. 799 807.
- Barbour J.P., Dolan W.W., Trolan J.K., Martin E.E., Dyke W.R.//Phys. Rev. 92, № 1, 1953, c. 45−5 1.
- Dyke W.R., Trolan J.K. Dolan W.W., Grundhauser E. J. // J. Appl. Phys. 25, № 1, 1954, c. 106−113.
- Dyke W.R., Barbour J.P., Marti E.E., Trolan J.K. // Phys. Rev. 99, № 4, 1955, c. 1192- 1195.
- Айзенберг Н.Б. О роли объемного заряда в сферических электронных проекторах. // ЖТФ, Т.24, в. 11,1954, с. 2079 2081.
- Компанеец А.С. Влияние объемного заряда на автоэлектронную эмиссию//Доклады АН СССР. 1959, т. 128, № 66, с. 1 160- 1162.
- Компанеец А.С. Влияние объемного заряда на автоэлектронную эмиссию. // Радиотехника и электроника, № 8, 1960, с. 1315 1317.
- ИЗ. Елинсон М. И., Горьков В. А., Яснопольская А. А., Кудинцева Г. А. Исследование импульсной автоэлектронной эмиссии при высоких плотностях токов // Радиотехника и электроника, № 8, 1960, с. 1318 -1326.
- Васильев Г. Ф. Влияние формы потенциального барьера на границе эмиттер вакуум и распределение электрического по поверхностиэмиттера на вид вольтамперной характеристики автоэлектронной эмиссии. // Радиотехника и электроника, № 1 1, 1960, с. 1857 1861.
- Елинсон М.И., Добрякова Ф. Ф., Крапивин В. Ф., Малина З. А., Яснопольская A.A., О теории автоэлектронной и термоавтоэлектронной эмиссии металлов и полупроводников. // Радиотехника и электроника, № 8, 1961, с. 1342 1353.
- Горсков В.А., Елинсон М. И., Сандомирский В. Б., О роли пространственного заряда при отборе автоэлектронных токов большой плотности // Радиотехника и электроника, № 9, 1962, с. 1495 1500.
- Шуппе Г. Н., Асадулин Р.//ЖТФ, 24, в.2, 1954, с. 202 215.
- Айзенберг Н.Б. О влиянии объемного заряда на форму характерисик автоэлектронных катодов. // Радиотехника и электроника, № 12, 1964, с. 2147−2155.
- Годяк В.А., Дубовой Л. В., Заболоцкая Г. Р. Расчет автоэмиссионного тока релятивистских электронов, ограниченных пространственным зарядом. // ЖЭТФ, Т.57, в. 11, 1969, с. 1795 1798.
- Баскин Л.М., Годяк В. А., Львов О. И., Фурсей Г. Н., Широчин Л. А., Влияние пространственного заряда релятивистских электронов на автоэлектронную эмиссию. // ЖТФ, т. ХЬП, в.6, 1972, с. 1282 1287.
- Lewis T.J.//Phys. Rev., 101, 1694,1956.
- Stem Т.Е., Gossling B.S., Fowler R.H. // Proc. Roy. Soc. A 124, 795, 1929, c. 699−723.
- DrechslerM., HenkelE., AngowZ.//Phys. Rev., 6, 341, 1954.
- Becker J. A. //Bell System. Techn. J., 30, 1951, c.907.
- Eyring C. F., Mackown S., Millikan R. A. //Phys. Rev., 31, 900, 1928.
- Akinovi Ohlshita. //J. Electron. Microsc, 22, 1973, c. l35.
- Dyke W. P., Trolan J. K., Dolan W. W., Brown G. // J. Appl. Phys., 24, 570, 1953.
- Васин В.А., НевровскийВ.А.//ЖТФ, т.49,в. 1, 1979, с. 110−116.
- Wiesner J. С, Everhart Т. E. // J. Appl. Phys., 44, 2140, 1973.
- Dyke W.R., TrolanJ.K.,//Phys. Rev 91, 1043, 1953.
- Martin E E., J. K. Trolan J. K., Dyke W. P. // J. Appl. Phys., 31, 1960, C.782.
- Горьков В.A., Елинсон М. И., Яковлева Г. Д. // Радиотехника и электроника, 7, 1962, с. 1501.
- Гофман И.И., Протопопов О.Д., KJynne Г. Н. // Изв. АН УзССР, сер. Физика, математика, № 6, 1959, с. 72.
- Фурсей Г. Н. //Радиотехника и электроника, 4, 1961, с. 298.
- Зубенко Ю.В., Сокольская И. А., Фурсей Г. Н. // ЖТФ. Т.34. № 5. 1964, С.911−912.
- Сокольская И.Л., Фурсей Г. Н. // Радиотехника и электроника, 7, 1962,0.1484.
- Фурсей Г. Н., Толкачева И. Д. // Радиотехника и электроника, 8, 1963, с. 1210.
- NottingamW.B .//Phys. Rev., 59, 907, 1941.
- Карцев Г. К., Месяц Г. А. и др. // Доклады АН СССР, 192, 1970, с.309.
- Фурсей Г. Н., Антонов А. А., Гулин Б. Ф. 24 Всесоюз. Конф. По эмиссионной электронике. Ташкент, 1970. Тезисы. С. 18. Вестник ЛГУ, № 10, 71, 1971.
- Фурсей Г. Н., Карцев Г. К. // ЖТФ, 40, 1970, с. 310.
- Swanson L. W., Crouser L.S., Charbonier P.M. // Phys. Rev., 151, 327, 1966.
- Stratton R. // Phys. Rev., 125, 67, 1962.
- MillerS.C, GoodR.H.//Phys. Rev., 91, 174, 1953.
- BurgersR.E., KroemerH., Houston J.M.//Phys. Rev., 9, 515, 1953.
- Drechsler M.Z. //Naturforsch., 18a, 1376, 1963.
- Fujtta H. // Journal of electron microscopy, 1986. V.3, p.243−3 04.
- Trump J. G., Van de Graaff R. J, J. // Appl. Phys. 18, № 3, 327−332, 1947.
- Goodman D. H., Sloan D. H. // Phys. Rev. 82, № 4, 575, 1951.
- Granberg L., J. // Appl. Phys. 23. № 5, 518−522, 1952.
- Розанова H. Б", Грановский В. Л. // Журн. технич. физ. 26, вып. 3, 489—496, 1956.
- Boyle W. S., Kislink P., Germer L. H. // J. Appl. Phys. 26, № 6, 720−726, 1955.
- Bennett W. H. // Phys. Rev. 45, № 6, 890−897, 1934.
- Webster В., Van de Graaff R. J., Trump J.G. // J. Appl. Phys. 23, № 2, 264−266, 1952.
- Germer L. H., Smith J. L. // J. Appl. Phys. 23, № 5, 553— 562, 1952.
- Богдан Л.Ю., Воскресенский C.B., Сошинский Г. Г. Исследование характеристик релятивистского электронного пучка. // Проблемы физ. электроники. 91 Ленингр. гос. техн. ун-т. 1991, с. 102 -119.
- Girdinio Р., Repetto М., Simkin J. // J. Phys. D., 1994, 27, № 9, с. 1914 -1921.
- Lee Chan Gyoo, Ahn Но, Park Buing Gook, Lee Jong Duk // J. Vac. Schi, and Technol. B. 1996, 14, № 3, c.1966−1969.
- Itoh Shigeo, Niijama Takahiro, Taniguchi Masateru, Watanabe Teruo // J. Vac. Schi, and Technol. B. 1996, 14, № 3, c. 1977−1981.
- Takai M., Kishimoto Т., Yamashita M., Morimoto H., Yura S., Hogono A., Okuda S., Lipp S., Kres L., Ryssel H. // J. Vac. Schi, and Technol. B. 1996, 14, № 3,0.1973−1976.
- Lo W.K., Skvarla M., Lo C.W., Craighead H.G., Isaacson M.S. // J. Vac. Schi, and Technol. B. 1995, 13, № 6, c.2441−2444.
- Jensen K.L., Kodis M. А., Миф11у R.A., Zaidman E.G. // J. Appl. Phys., 1996, 82, № 2, c.845−854.
- Батраков A.B., Пегель И. В., Проскуровский Д. И. Ред. Ж. Изв. вузов, физ. Томск, 1997, с. Ю: ил. ДЕП. В ВИНИТИ 15.10.97, № 3022-В97.
- Panlini J., Klein Т., Simon G. // J. Phys. D., 1993, 26, № 8, с. 1310−1315.
- Panlini J., Klein Т., Simon G. // J. Phys. D., 1994, 27, № 9, c. 1914 -1921.
- Батраков A.B., Попов CA., Проскуровский Д. И. Ред. Ж. Изв. вузов, физ. Томск, 1997, С.13: ил. ДЕП. В ВИНИТИ 15.10.97, № 3023-В97.
- Sofola J., Drachsel W., Block J.H., // Surface Sei., 1992, 266, № 1−3, с. 70 -75.
- Fursey G.N., Shirichin L.A., Baskin L.M. // J.Vac. Sei. And Technol. В., 1997. 15, № 2, C.410−421.
- Литвинов E.A., Месяц Г. А., Парфенов А. Т. // Док. АН СССР, 1991, -320, № 2,-с. 319−321.
- Брауде СЯ. Движение электрона в электрическом и магнитном поле с учетом пространственного заряда. // ЖЭТФ, в.7, т.5, 1935, с. 621.
- Брауде СЯ. К вопросу о действии магнитного поля на пространственный заряд в плоском и цилиндрическом диодах.//ЖЭТФ, в.3,т. 10, 1940, С. 217.
- Астрелин В.Т. и др. Отрицательное дифференциальное сопротивление электронного диода в магнитном поле. // Институт ядерной физики СО АН СССР. Препр. Т.25, 1988, с. 3.
- Птицын В.Э., Фурсей Г. Н., Егоров Н. В. Температурная зависимость магнитных эффектов при автоэлектронной эмиссии. // Письма в ЖТФ, Т.6, в. Ю, 1980, С. 619.
- Незлин М.В. Динамика пучков в плазме. М.: Энергоиздат, 1982, С. 264.
- Нуделайнен В.П., Пахромчук В. В., Пестриков Д. В. Экспериментальное изучение устойчивости компенсированного электронного пучка. // ЖТФ, т.53, № 5, 1983.
- Малафаев В.А., Никульшина A.A., Новичков Д. Н. Неустойчивость электронного пучка в магнитном поле // Ж. прикл. мех. и техн. физ., т.2, 1990, с.Ю.
- Карбушев Н.И., Рухадзе А. А. Низкочастотные неустойчивости релятивистских электронных пучков, удерживаемых внешним магнитным полем. // Материалы докл. Всесоюзн. семинара «Генераторы и усилителина релятивистских электронных потоках», 1987, с. 154.
- Леонов Ю.Г., Макаров Н. М., Лмпольский В. А. Знакопеременное распределение плотности тока и невзаимная вольт-амперная характеристика металла в сильном магнитном поле. // ЖЭТФ, т.96, в. 5(11), 1989, С. 1764.
- Михайловский А.Б. Теория плазменных неустойчивостей. М.: Атомиздат, 1977.
- Березин Ю.А., Брейзман Б. Н., Вшивков В. А. Численное моделирование инжекции мощного электронного пучка в вакуумную камеру с сильным магнитным полем. // ПМТФ, № 1, 1981, с. 3.
- Мануйлов В.Н., Цимпринг Ш. Е. К теории формирования релятивистских винтовых электронных пучков. // ЖТФ, т.51, в. 12, 1981, с. 2483.
- Барминова Е.Е., Чихачев А. С. Движение сгустков заряженных частиц в поперечном магнитном поле. // Изв. вузов. Радиофизика, т. ЗЗ, № 3, 1990, с. 366.
- Ambross К. // Int. Symp. Electron Beam Ion Sources, Upton, 19/6, 1988, c. 233.
- Shih Hai Li // BEAMS' 88: Proc. Int. Conf. High — Power Particle Beams, Karlstuhe, July 4 — 8, 1988, c.977.
- Немчинский В.А. Расчет влияния аксиального магнитного поля на образование анодного пятна вакуумной дуги. // ЖТФ, т.59, в. 9, 1989, С. 98.
- Мануйлов В.Н. К вопросу об учете собственного магнитного поля в теории формирования релятивистских винтовых электронных пучков. // ЖТФ, 1982, с. 1506.
- Яловец А.П. Влияние собственного электромагнитного поля интенсивного релятивистского электронного пучка на его взаимодействие с веществом. // Изв. вузов. Физика, т. ЗО, в. 10, 1987, С. 19.
- Гордеев A.B. О токе релятивистского ножевого диода в сильном продольном магнитном поле. // Письма в ЖТФ, т. 13, в.7, 1987, с. 410.
- Лебедев В.А., LQapana А. П. Формирование электронного пучка с малыми поперечными скоростями в системах с продольным магнитным полем. // ЖТФ, Т.57, в.5, 1987, с. 975.
- Эйдукас Д.Ю., Кашета С.С, Карсокас A.A. Моделирование параметров магнитных фокусирующе отклоняющих устройств на ЭВМ. // Науч. труды вузов Лит. ССР, Радиоэлектроника, т.22, 1986, С. 141.
- BlatF.J.//Phys. Rev., 131, 166, 1963.
- Cood.R.H., Miller E.W. Field Emission. In Handbuch der Physik. Ed. By Flugge. Bd. 21, 176, 1956.
- KunzlerJ.E., HsuF.S.L., BoyleW.S.//Phys. Rev., 128, 1084, 1962.
- Dingle R.B. // Proc. Roy. Soc. (London), A 211, 500, 1952.
- Гогадзе Г. А., Ицкович Ф. И., Кулик И. О. // ЖЭТФ, 46, 913, 1964.
- Лифшиц И.М., Косевич A.M. // ЖЭТФ. 29, 730, 1955.
- Коган</span> Ш. М., Сандомирский В. Б. // Радиотехника и электроника, 9, 724,1964
- FloodD.J.Z/J.Phys. and Chem. of Solids, 31. 1649, 1970.
- Бурибаев И., Шишкин Б. Б. // ФТТ, 12, 3309. 1970.
- Waites R.F., Schwettman H.A. // Phys. Rev. В8, 2420, 1973.
- Бондаренко Б.В., Кириченко Л. А. и др. Сб. трудов МФТИ, сер. Радиотехника и электроника, 214, 1976.
- Kennedy P.J., Mar A.Y. // Solid State Commun., 27, 279.1978.
- Овсянников Д.А. Моделирование и оптимизация динамики пучков заряженных частиц. Ленинград, ЛГУ, 1990.
- Овсянников ДА., Егоров Н. В. Математическое моделирование систем формирования электронных и ионных пучков. С-Петербург, СПбГУ, 1998.
- Кошаев Б.Г., Рогова Е. А., Федоров A.C. // Изв. С-Петербург. электротехн. инст-та, -1994, № 470, -с.37 41.
- Добрецов Л.Н., Гомоюнова М. В. Эмиссионная электроника, М: Наука, 1966, с.452−474.
- Жуков В.М., Егоров Н.В.//ЖТФ. 1991. Т.61. № 9, с. 170.
- Egorov N.V. Abstracts of Thrid International Workshop: Beam Dynamics and Optimazation, July 1 -5. 1996. St-Pb. Russia, p. 12.
- Егоров H.B. Моделирование структурных элементов проблемно -ориентированной ИЭС. Диссертация доктора ф.-м. Наук. С- Петербург, 1992.
- Степанов В.Е., Яковлев Б. В. Интегрирование уравнений движения электрона в линейно-неоднородных скрещенных электрическом и магнитном полях // В сб.: «Физика высокоширотной ионосферы и распространения э/м волн». Якутск, 1988. С. 46.
- Яковлев Б.В. Исследования характеристик ТПИИ методами физического и математического моделирования. СПб., 1993. Деп. в ВИНИТИ. 30.11.93, № 2966−393.
- Еремеев CH., Ромащенко Ю. А., Яковлев Б. В. Расчет дрейфовой скорости электронов в скрещенных электромагнитных полях // Тезисы докладов Всесоюзного совещания по проблемам электризации. Иркутск, 1988.
- Еремеев CH., Наумов В. В., Яковлев Б. В. Способ снятия заряда металлического шара с помощью микроострия. Отчет НИР № 68/89 ИКФиЛ по теме «Проблема 2», НПО им. Лавочкина, Москва, 1989.
- Яковлев Б.В. Жидкометаллические ионные источники // Тезисы докладов Научно- практической конференции творческой молодежи. Якутск, 1992.
- Яковлев Б.В. Исследование характеристик ТПИИ методами моделирования. Автореферат кандидатской диссертации. С-Петербург, СПбГУ факультет ПМ-ПУ, 1993.
- Egorov N.V., Yakovlev.B.V. Theory and characteristics of liguid-metal ion sources // 7 th International Vacuum Microelectronics Coferense, ATRIA World Trade Center Grenoble, July 4−7, 1994, p.44.
- Яковлев Б.В. Математическая модель ТПИИ // Тезисы 1 Международной конференции по математическому моделированию, Якутск, (15.09−19.09.94), с. 158.
- Егоров Н.В., Яковлев Б. В. Эволюция поверхности металла в сильном электрическом поле // Ж. «Поверхность» 1994, № 8−9, с.36−41.
- Егоров Н.В., Яковлев Б. В. Модель термополевого ионного источника // В кн: «Краткие содержания докладов XXII конференции по эмиссионной электронике, т.2 Москва, 1994, с.7−8
- Егоров Н.В., Яковлев Б. В. Кинетические характеристики ТПИИ в приближении «кратерной модели» эволюции эмиттирующей поверхности. IIЖ. «Поверхность» 1995, № 3, с.41−47.
- Яковлев Б.В. Моделирование термополевого ионного источника // Материалы второй международной конференции «Динамика пучка и оптимизация» С-Петербург 4−8 июля, 1995. с. 23.
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Liquid Metal Surface Evolution in a Strong Electric Field // Surface Investigation, 1995, Vol. 11, P. 119−124.
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Kinetic Characteristics of Thermo-Field Ion Source in a «Crater» Approximation for the Evolution of Emitting Surface // Surface Investigation, 1995, Vol. 11, P. 283−291
- Yakovlev B.V. Flat field emission diode characteristics calculation with space charge in control magnetic field. // Third International Workshop: BDO-96 Mi 1−5, 1996, p.37 .St.Petersburg, Russia
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Theoretical and experimental sttudy of the stationary and kinetic characteristics of the thermo-field ion sources. // International Symposium on Ion Beam Analysis, Seeheim, Germany, September 9−12, 1996.
- Егоров H.B., Яковлев Б. В. Исследование влияния эволюции эмиттирующей поверхности на стационарные характеристики термополевого ионного источника. // Ж. «Поверхность» 1996, № 8, с.85−90
- Егоров Н.В., Яковлев Б. В. Исследование влияния пространственного заряда и управляющего магнитного поля на характеристики полевого эмиссионного диода. IIЖ. «Поверхность» 1996, Хо12, с.80−87.
- Егоров Н.В., Яковлев Б. В. Исследование кинетических характеристик термополевого ионного источника // Ж. «Поверхность» 1996, № 12, с.87−91.
- Яковлев Б.В. Защитный зонд для космических аппаратов // В кн. Тезисы докладов 2 Международной конференции по мат. моделированию (28.06−02.07.1997), 199 с, г. Якутск, 1997.
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Investigation of the Influence of the Emitting Surface on the Stationary Characteristics of the Thermo-Field Ion Source // Surface Investigation, 1997, Vol. 12, P. 967−971
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Investigation of the Effect of the Volume Charge and the Control Magnetic Field on Characteristics of the Field-Effect Emission Diode. // Surface Investigation, 1997, Vol. 12, P. 1419−1427
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Investigations of the Kinetic Characteristics of Thermo-Field Ion Sources. // Surface Investigation, 1997, Vol. 12, P. 1429−1433
- Яковлев Б.В. Моделирование полевой электронной эмиссии в фокусирующем электронный пучок магнитном поле. // Труды 29 научной конференции «Процессы управления и устойчивость» 4−11 апреля 1998, С-Петербург. С. 187.
- Yakovlev B. V Investigation of the Flat Diode Characteristics with the Field Emission Cathode under the Influence of the Controlling Magnetic Field // Fifth International Workshop: BDO-98 June 29 July 03, 1998, p.37. St. Petersburg, Russia
- Yakovlev B.V. Investigation of the Spherical Diode Characteristics with the Field Emission Cathode in the Focusing iVlagnetic Field // Fifth International Workshop: BDO-98 June 29 July 03, 1998, p. 37. St. Petersburg, Russia
- Егоров H.B., Яковлев Б. В. Эволюция эмиттирующей поверхности полевого электронного катода в предвзрывном режиме // Ж. «Поверхность» 1998, № 10, с. 135−142.
- Григорьев Ю.М., Еремеев CH., Шарин Е. П., Яковлев Б. В. Теория конденсированных сред. Заключительный отчет НИР, выполненный по ЕЗН. Ин. № ПТИЦ 02.9.90 000 224, 18.02.1999 г.
- Егоров Н.В., Яковлев Б. В. Переходные процессы при термополевой ионной эмиссии в приближении кратерной модели эволюции эмиттирующей поверхности//Ж. «Поверхность» 1999, № 5−6, с. 170−175.
- Yakovlev B.V. More accurate model of the thermo-field ion source // International Workshop Hypothesis III, Saint-Petesburg, Russia. 5−8 Julie 1999. http: //www. apmath. spbu. ru/hup othe si s/pab s. htm
- Егоров H.B., Яковлев Б. В. Расчет характеристик плоского полевого диода с учетом влияния управляющего магнитного поля на пространственный заряд эмиттирующих электронов в релятивистском приближении//Ж. «Поверхность» 1999, № 11, с.69−71.
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Pre-explosive Evolution of the Emitting Surface of a Field Electron Cathode // Surface Investigation, 1999, Vol. 14, P. 1377−1383
- Егоров H.B., Яковлев Б. В. Расчет характеристик сферического полевого диода с магнитной фокусировкой электронного пучка // Ж. «Поверхность» 2000, № 4, с. 193−196.
- Яковлев Б.В. Кратерная модель термополевого ионного источника // Тезисы докладов. 2 международная конференция «Радиационно249термические эффекты и процессы в неорганических материалах» 14−19 августа 2000 г. С. 201−203. Томск, 2000 г.
- Яковлев Б.В. Характеристики ТПИИ в различных условиях работы // Сб. «Фундаментальные и прикладные проблемы физики», Вып.1, С. 4048. Якутск 2000 г.
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Transition Processes during Thermal-Field ionic Emission in the Approximation of the Crater Model of the Emitting Surface Evolution // Surface Investigation, 2000, Vol. 15, P. 955−965.
- Egorov N.V., Yakovlev B.V. Calculation of the Characteristics of the Field Emission Spherical Diode with Magnetic Focusing of the Electron Beam // Surface Investigation, 2001, Vol. 16, P. 709−715.
- Мамаева C.H., Скрябин Ю. Т., Яковлев Б. В. Моделирование пучка лезвийного полевого электронного катода // 3 Международная конференция по математическому моделированию, Якутск, (01.0706.07.01), С. 137.
- Яковлев Б.В., Егоров Н. В. Моделирование ионных источников на основе термополевой ионной эмиссии. Изд. «Айыына». Москва, 2001 г.