Планарная неоднородность и радиационные эффекты в МДП структурах
Диссертация
Практическая значимость результатов. Разработанная методика контроля планарной однородности зарядовых свойств структуры ДП методом ВДК дает возможность прогнозирования радиационной стойкости МДП приборов и отбраковки пластин на начальной стадии процесса их изготовления, то есть до формирования затворов. Учет неоднородного распределения поверхностных параметров при расчете теоретических ВФХ… Читать ещё >
Список литературы
- Литвинов P.O. Влияние поверхности на характеристики полупроводниковых приборов / P.O. Литвинов. — Киев: Наукова думка, 1972.-115 с.
- Першенков B.C. Поверхностные радиационные эффекты в ИМС / B.C. Першенков, В. Д. Попов, А. В. Шальнов. М.: Энергоатомиздат, 1988. — 252 с.
- Гуртов В.А. Радиационные процессы в структурах металл-диэлектрик-полупроводник / В. А. Гуртов. Петрозаводск, 1988. — 93с.
- Вавилов B.C. Радиационные эффекты в полупроводниках и полупроводниковых приборах / B.C. Вавилов, Н. А. Ухин. М.: Атомиздат, 1969.-310 с.
- Пекарчук Т.Н. Радиационная стойкость МДП стркутур и полупроводниковых приборов на их основе / Т. Н. Пекарчук, А. К. Хрулев // Обзор по электронной технике. Сер. 2: Полупроводниковые приборы. -1981.-Вып. 5(651).-С. 61.
- Pantelides S.T. The electronic structure of imrurities and defects in Si02 / S.T. Pantelides // Thin solid films. 1982. — Vol. 89, № 1. — P. 103−108.
- Коршунов Ф.П. Воздействие радиации на интегральные микросхемы / Ф. П. Коршунов, Ю. В. Богатырев, В. А. Вавилов. Минск: Наука и техника, 1986.-253 с.
- Радиационные методы в твердотельной электронике / B.C. Вавилов и др. М.: Радио и связь, 1990. — 183 с.
- Боев С.Г. Радиационное накопление заряда в твердых диэлектриках и методы его диагностики / С. Г. Боев, В. Я. Ушаков. М.: Энергоатомиздат, 1991.-235 с.
- Левин М.Н. Моделирование воздействия ионизирующих излучений на МДП структуру / М. Н. Левин, А. В. Татаринцев, Ю. В. Иванков //112
- Конденсированные среды и межфазные границы. 2002. — Т. 4, № 3. — С. 195−202.
- Sah С.Т. Origin in interface states and oxide charges generated by ionizing radiation / C.T. Sah // IEEE Trans, on Nucl. Sci. 1976. — Vol. NS-23, № 6. — P. 1563−1568.
- Радиационная стойкость кремниевых интегральных микросхем / М. И. Горлов и др. // Обзор по электронной технике. Сер. З: Микроэлектроника. 1981. — Вып. 3(1296). — С. 40.
- Knoll М. Generation of oxide charge and interface sates by ionization radiation and by tunnel injection experiments / M. Knoll, D. Brauulg, W.R. Fahrener // IEEE Trans. Nucl. Sci. 1982. — P. 1471−1478.
- Левин M.H. Автоматизированная установка для исследования приборов на основе структур металл-диэлектрик-полупровдник / М. Н. Левин и др. // Приборы и техника эксперимента. 1992. — № 2. — С. 119−122.
- Nakhmanson R.S. Investigation of metal-insulator-semiconductor structure inhomogeneties using a small-size mercury probe / R.S. Nakhmanson, S.B. Sevastianov // Solid State Electronics. 1984. — Vol. 27, № 10. — P.881−891.
- Митчел Дж. Поверхностные эффекты в полупроводниковых приборах, вызванные радиацией / Дж. Митчелл, Д. Уилсон. М.: Атомиздат, 1970. -92 с.
- Подольский Б.С. Численное моделирование полупроводниковых приборов / Б. С. Подольский. Рига: Зинатне, 1986. — 168 с.
- Гуртов В.А. Моделирование процесса накопления объемного заряда в диэлектриках МДП структур при облучении / В. А. Гуртов, А. И. Назаров, И. В. Травков // ФТП. 1990. — Т. 24, вып 6. — С. 969−977.
- Barnes С.Е. Gamma- induced trapping levels in Si with and withhout gold doping / C.E.Barnes // Jorn. Electronic Mat. 1979. — Vol. 8, № 4. — P. 437−457.
- Scoggan G.A. Effect of electron beam radiation on MAS structures as influenced by silicon dopant / G. A. Scoggan // J. Appl. Phys. — 1977. — Vol. 48. -P. 294−300.
- Lang D.V. Radiation effects in semiconductors / D.V. Lang // Inst. Phys. Conf. Ser. London — Bristol, 1977. -№ 31. — P. 1−70.
- Иванов A.M. Свойства p+ n — структур с заглубленным слоем радиационных дефектов / A.M. Иванов, Н. Б. Строкан, А. В. Сизов // ФТП. -1998. — Т. 32, вып 3. — С. 359−365.
- Болисов В.А. Кинетика накопления заряда в Si02 МОП стуктуры / В. А. Болисов, В. Д. Попов, А. В. Сизов // Кинетика накопления заряда в полупроводниках и диэлектриках: сб. науч. тр. / МИФИ. — М., 1985. — С. 29−34.
- Hallen A. Lifetime in proton irradiated selicon / A. Hallen // J. Appl. Phys. 1996. -Vol. 79. -P.3906−3910.
- Wachnik R.A., Lowney J.R. // Sol.-St. Electron. 1986. — Vol. 29. № 4. — P. 447−460.
- Tseng W.L. A new charge pumping method of measuring Si-Si02 interface states / W.L. Tseng // J. Appl. Phys. 1987. — Vol.2, № 2. — P. 591−599.
- Chang J.E. The development and application of Si-Si02 interface trap measurement system based on the staircase charge pumping technique / J.E.Chang, R.S. Muller// Sol.-St. Electron. — 1989. — Vol. 32. — P. 867−872.
- Зи С. Физика полупроводниковых приборов: в 2-х кн. / С. Зи. М.: Мир, 1984. — Кн. 1. — 456 с.- Кн. 2. — 456 с.
- Литовченко В.Г. Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник / В. Г. Литовченко, А. П. Горбань. Киев: Наукова думка, 1978. — 315 с.
- Овсюк В.Н. Электронные процессы в полупроводниках с областями пространственного заряда / В. Н. Овсюк. Новосибирск: Наука, 1984. — 253 с.
- Гуртов В.А. Электронные процессы в структурах металл-диэлектрик-полупроводник / В. А. Гуртов. Петрозаводск: Петрозавод. гос. ун-т,. 1984. — 113 с.
- Батавин В.В. Измерение параметров полупроводниковых материалов и структур / В. В. Батавин, Ю. А. Концевой, Ю. В. Федорович. М.: Радио и связь, 1985.-264 с.
- Павлов Л.П. Методы измерения параметров полупроводниковых материалов / Л. П. Павлов. М.: Высш. шк., 1987. — 239 с.
- Garrett C.G. Physical theory of semiconductor surfaces / C.G. Garrett, W.H. Brattain // Phys. Rev. 1955. — Vol. 99, № 2. — P. 376−397.
- Ждан А.Г. Определение абсолютной величины поверхностного потенциала полупроводника по квазистатическим вольт-фарадным характеристикам МДП структуры / А. Г. Ждан, Н. Ф. Кухарская, Г. В. Чучева // ФТП. 2003. -Т. 37, вып 6.-С. 686−691.
- Винецкий В.Л. Динамика встраивания заряда при облучении МДП-структуры / В. Л. Винецкий, Г. Е. Чайка, Е. С. Шевченко // ФТП. 1982. — Т. 16, № 8. -С. 1478−1482.
- Шокли В. проблемы, связанные с р-n переходами в кремнии / В. Шокли // УФН. 1962. — Т. 77, вып 1.-С. 161−196.
- Влияние ультразвука на параметры структур металл-диэлектрик-полупроводник / П. В. Парчинский и др. // Письма в ЖТФ. 2000. — Т. 26, вып. 10.-С. 40−45.
- Гирий В.А. Перенос тока через диэлектрик в облученных структурах диэлектрик-полупроводник / В. А. Гирий, А. В. Кондарчук, В. И. Шаховцев // Радиационные дефекты в полупроводниках: (расширен, тез. докл. Всесоюз. сипм.). Минск, 1972. — С. 40−42.
- Теория планарно-неоднородного МОП-транзистора в области слабой инверсии. Методика определения поверхностных параметров / Е. Н. Бормонтов и др. // ЖТФ. 2001. — Т. 71, вып. 2. — С. 61−67.
- Райкерус П.А. Кинетика накопления объемного заряда в подзатворных слоях систем металл-диэлектрик-полупроводник / П. А. Райкерус, В. А. Гуртов // Радиотехника и электроника. 1988. — Вып. 10. — С. 2141−2146.
- Wilson C.L. Two dimensional modeling of n-channel MOSFET’s / Wilson C.L., Blue J.L.// IEEE Trans. Nucl. Sci. — 1982 — V. — NS — 29. № 6. — P. 16 761 680.
- Рентгеновская корректировка пороговых напряжений в производстве МДП интегральных схем / В. Р. Гитлин и др. // Вестн. Воронеж, гос. ун-та. Сер. Физика, математика. 2002. — № 1. — С. 5−12.
- Holmes-Siedle A. The mechanisms of smallinstabilites in irradiated MOS transistors / A. Holmes-Siedle, L. Adams // IEEE Trans. Nucl. Sci. 1983. — P. 4135−4140.
- Никифоров А.Ю. Радиационные эффекты в КМОП ИС / А. Ю. Никифоров, В. А. Телец, А. И. Чумаков. М.: Радио и связь, 1994. — 164 с.
- Wilson C.L. Modeling of ionizing radiation effects in short-channel MOSFET’s / Wilson C.L., Blue J.L.// IEEE Trans. Nucl. Sci. 1982 — V. — NS — 29. № 6. — P. 1448−1452.
- Накопление заряда в диэлектрике и состояния на границах структур кремний на — изоляторе при облучении электронами и у — квантами / Д. В. Николаев и др. // ФТП. — 2003. — Т. 37, вып 4. — С. 443−449.
- Левин М.Н. Радиационное тестирование МДП-элементов интегральных схем / М. Н. Левин, А. В. Татаринцев, В. Р. Гитлин // Вестн. Воронеж, гос. ун-та. Сер. Физика, математика. 2003. — № 2. — С. 46−52.
- Радиационные эффекты в короткоканальных МДП-приборах, М. Н. Левин и др. // Микроэлектроника. 1992. — Т. 21, № 2. — С. 34−42.
- Патрикеев Л.Н. Радиационная стойкость полупроводниковых приборов и интегральных схем / Л. Н. Патрикеев, Б. И. Подлепецкий, В. Д. Попов. М., 1975.-С. 30−45 — 83−96.
- Nicollian Е.Н. The Si-Si02 interface electrical properties as determined by metal-insulator-silicon conductance technique / E.H. Nicollian, A. Goetzberger A // Bell Syst. Tech. Jour. 1967. — Vol. 4 6, № 5. — P. 1055−1133.
- Brews J.R. A test for lateral nonuniformities in MOS device using only capacitance curves / J.R. Brews, A.D. Lopez // Sol.-St. Electron. 1973. — Vol. 16, № 11.-P. 1267−1277.)
- Brews J.R. Admittance of an MOS device with interface charge inhormogeneities / J.R. Brews // J. Appl.Phys. 1974. — Vol. 43, № 11. — P. 3451−3455.
- The development of non-uniform deposition of holes in gate oxidies / R.K. Freitag et al. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 1988. — Vol. 35, № 6. — P. 1203−1207.
- Росадо Л. Физическая электроника и микроэлектроника / Л. Росадо. М.: Высш. шк., 1991. — 352 с.
- Маллер Р. Элементы интегральных схем / Р. Малер, Т. Кейминс. М.: Мир, 1989.-632 с.
- Бормонтов Е.Н. Физика и метрология МДП-структур / Е. Н. Бормонтов. -Воронеж, 1997.- 184 с.
- Terman L.M. An investigation of surface states at a silicon silicon oxide interface employing metal — oxide — silicon diodes / L.M. Terman // Sol.-St. Electron. — 1962. — Vol. 5, № 3. — P. 155−163.
- Van Overstraeten R.J. The influence of surface potential fluctuations on operation of the MOS transistor in weak inversion / R J. Van Overstraeten, G.J. Declerck, G. Broux // IEEE Trans. Electron Dev. 1973. — Vol. ED-20, № 12. -P. 1154−1158.
- Swanson R.M. Ion-implanted complementary MOS transistors in low-voltage circuits / R.M. Swanson, J.D. Meindl // IEEE Sol.-St. Circuits. 1972. — Vol. SG-7, № 4. — P. 140−153.
- Van Overstraeten R.J. Theoiy of the MOS transistor in weak inversion new method to determine the number of surface states / R.J. Van Overstraeten, G.J. Declerck, P.A. Muls // IEEE Trans. Electron. Dev. — 1975. — Vol. ED-22, № 5. -P. 282−288.
- Царев Б.М. Контактная разность потенциалов / Б. М. Царев. М.: Гостехиздат, 1955. — 280 с.
- Определение параметров границы раздела диэлектрик полупроводник методом вибрационного динамического конденсатора / Е. Н. Бормонтов и др. // Конденсированные среды и межфазные границы. — 1999. — Т. 1, № 1. -С. 98−101.
- Федорович Ю.В. Участие электронно-ионных процессов в поверхностных явлениях полупроводников / Ю. В. Федорович, В. Ф. Фогель // Некоторые проблемы физики и химии поверхности полупроводников. Новосибирск, 1972.-С. 181−213.
- Измерение потенциала поверхности кремниевых пластин в процессе производства БИС/И.Ю. Бутусов и др. // Электрон, пром-сть. 1994. — № 4−5.-С. 104−105.
- Определение чистоты поверхности кремниевых пластин в производстве БИС/И.Ю. Бутусов и др. // Электрон, пром-сть. 1994. — № 4−5. — С. 111 113.
- Спектроскопия поверхностных состояний в структурах диэлектрик-полупроводник методом вибрационного конденсатора / Е. Н. Бормонтов и др. // Твердотельная электроника и микроэлектроника. Воронеж, 1997. -С. 28−34.
- Ionizing Radiation Effects in Mos Devises and Circuits / ed. T.P. Ma, P.V. Dressendorfer. New York: Wiley Interscience, 1989. — 760 p.
- Влияние радиационного воздействия на характеристики МДП-транзистора / Е. Н. Бормонтов и др. // Письма в ЖТФ. 2004. — Т. 30, вып. 9. — С. 73−81.
- Nahmsnson R.S. Investigations of metal-insulator-semiconducter structure inhormogeneities using a small-size mercury probe / R.S. Nahmsnson, S B. Sevastianov//Solid State Electronics. 1984.-Vol. 27, № 10.-P. 881−891.
- Бесконтактный метод исследования потенциального рельефа границы раздела диэлектрик-полупроводник / Т. Г. Меньшикова и др. // Вестн. ВГТУ. Сер. САПР и системы автоматизации производства. 2005. — Т.1, № 11.-С. 83−90.
- Будко В.Н. Измерение потенциала поверхности металлов и полупроводников компенсационным методом Кельвина-Зисмана / В. Н. Будко, В. В. Крячко В.В. // Конденсированные среды и межфазные границы. -2003.-Т. 5,№ 2.-С. 155−161.
- Бормонтов Е.Н. Автоматизированная установка для контроля и анализа электрофизических характеристик МДП структур / Е. Н. Бормонтов, С. В. Головин // Изв. вузов. Электроника. 1998. — № 4. — С. 95−100.
- Меньшикова Т.Г. Влияние флуктуаций встроенного заряда на электрофизические характеристики МДП структур / Т. Г. Меньшикова, А. Е. Бормонтов, В. В. Ганжа // Вестн. Воронеж, гос. ун-та. Сер. Физика, математика. 2005. — № 1. — С. 62−66.
- Nahmanson R.S. Investigations of metal- insulator-semiconducter structure inhomogeneities using a small-size mercury probe / R.S. Nahmanson, S.B. Sevastianov // Solid State Electronics. 1984. — Vol. 27, № 10. — P. 881−891.
- Terman L.M. An investigation of surface states at a silicon silicon oxide interface employing metal — oxide — silicon diode / L.M. Terman // Sol. St. Electron. — 1962. — Vol. 5, № 3. — P. 285−299.
- Berglund C.N. Surface states at stream grown Si-Si02 interfaces / C.N. Berglund // IEEE Trans, on ED. — 1966. — Vol. ED-13, № 10. — P. 701−705.
- Исследование потенциального рельефа структуры Si-Si02 методом динамического конденсатора / Т. Г. Меньшикова и др. // Радиолокация, навигация, связь: материалы XII Международ, науч.-техн. конф. -Воронеж, 2006.-Т. 1.-С. 1324−1335.
- Моделирование вольт-фарадных характеристик МДП структур при наличии флуктуации встроенного заряда / Т. Г. Меньшикова и др. // Радиолокация, навигация, связь: материалы XI Международ, науч.-техн. конф. Воронеж, 2005. — Т. 1. — С. 473−478.
- Технология СБ. / Пер. с англ. под ред. С. Зи. М.: Мир, 1986. — Кн. 1. -405с.
- Влияние планарной неоднородности и ионизирующего излучения на свойства МДП-структур / Т. Г. Меньшикова и др. // Вестн. Воронеж, гос. техн. ун-та. 2005. — Т. 1,№ 11.-С. 130−134.120
- Влияние ионизирующего излучения на планарно-неоднородные МДП-структуры / Т. Г. Меньшикова и др. // Электроника и информатика: материалы V Международ, науч.-техн. конф. М., 2005. — Ч. 1. — С. 139 140.
- Влияние флуктуаций и радиационного воздействия на свойства кремниевых МДП структур / Т. Г. Меньшикова и др. // Радиолокация, навигация, связь: материалы XII Международ, науч.-техн. конф. Воронеж, 2006.-Т. 1.-С. 1336−1344.
- Гегель В.А. Влияние флуктуаций встроенного заряда на характеристики МДП структур. «Отрицательная» плотность поверхностных состояний / В. А. Гегель //ФТП. 1979. — Т.13, вып 12. — С. 654−655
- Гуртов В.А. Влияние крупномасштабных неоднородностей на релаксацию неравновесной емкости МДП-структур / В. А. Гуртов, М. В. Золотов //ФТП. 1995.-Т. 19, вып 12.-С. 2127−2130.
- М.Н. Левин, B.JI. Израилит // Приборы и техника эксперимента. 1992. — № 2.-С. 119−122.
- Van Overstraeten R.J. Theory of the MOS transistor in weak inversion new method to determine the number of surface states / R.J. Van Overstraeten, G.J. Declerck, P.A. Muls // IEEE Trans. Electron. Dev. — 1975. — Vol. ED-22, № 5. -P. 282−288.
- Dressendorfer P.V. Electron and hole transport and tunneling in Si02 / P.V. Dressendorfer // Structure and Bonding in Non-Crystalline Solids. New York, 1986.-P. 485−507.
- Schwank J.R. Irradiated silicon gate MOS device bias annealing / J.R. Schwank, W.R. Dawes // IEEE Trans. Nuclear Physics 1983. — Vol. 30, № 6. — P. 41 004 104.
- Physical mechanisms contributing to device «rebound» / J.R. Schwank et al. // IEEE Trans. Nuclear Physics. 1984. — Vol. 31, № 6. — P. 1434−1438.121
- Oldham T.R. Spatial dependence of trapped holes determined from tunneling analysis and measured annealing / T.R. Oldham, A.J. Lelis, F.B. McLean // IEEE Trans. Nuclear Physics. 1986. — Vol. 33, № 6. — P. 1203−1209.
- The nature of the trapped hole annealing process / A.J. Lelis et al. // IEEE Trans. Nucl. Sci. 1989. — Vol. 36, № 6. — P. 1808−1815.
- Me Whorter P.J. Modeling the anneal of radiation-induced trapped holes in a varying thermal environment / P.J. Me Whorter, S.L. Miller, W.M. Miller // IEEE Trans. Nuclear Physics. 1990. — Vol. 37, № 6. — P. 1682−1689.
- Reversibility of trapped hole annealing / A.J. Lelis et al. // IEEE Trans. Nuclear Physics. 1988. — Vol. 35, № 6. — P. 1186−1191.
- Pfeffer R.L. Molecular diffusion in a-Si02: its role in annealing radiation-induced defect centers / R.L. Pfeffer // Structure and Bonding in Non-Crystalline Solids.-New York, 1986.-P. 169−176.
- Shanfield Z. Characteristics of hole traps in dry and pyrogenic gate oxides / Z. Shanfield, M.M. Moriwaki // IEEE Trans. Nucl. Sci. 1984. — Vol. 31, № 6. — P. 1242−1247.
- Кинетика релаксации радиационного заряда в структуре металл-диэлектрик-полупроводник / М. Н. Левин и др. // Шумовые и деградационные процессы в полупроводниковых приборах: материалы Международ, науч.-техн. семинара. М., 2004. — С. 98−103.
- Моделирование процессов релаксации радиационного заряда в МОП структурах / М. Н. Левин, и др. // Вестн. Воронеж, гос. ун-та. Сер. Физика, Математика. -2003. -№ 1. С. 71−77.