Плёнки BaxSr1-xTiO3 и структуры на их основе для перестраиваемых устройств СВЧ диапазона
Диссертация
Настоящая работа посвящена исследованию электрофизических свойств тонких СЭ пленок в СВЧ диапазоне с целью реализации на их основе электрически управляемых СВЧ устройств. В работе представлены результаты исследования малосигнальных СВЧ свойств планарных конденсаторов в диапазоне частот (1+60) ГГц, для получения которых были разработан комплекс методик на основе измерений распределённых СЭ… Читать ещё >
Список литературы
- Сегнетоэлектрики в технике СВЧ / О. Г Вендик и др.- отв. ред. О. Г Вендик- М.: Советское Радио, -1979. -272 с.
- Tagantsev А.К. Ferroelectric Materials for Microwave Tunable Applications / A.K. Tagantsev, V.O.Sherman, K.F. Astafiev // Journal of Electroceramics, -2003. -Vol.ll.-P.5−66.
- Findikoglu A.T. Electrically tunable coplanar transmission line resonators using YBa2Cu307x/SrTi03 bilayers / Findikoglu A.T., Jia Q.X., Campbell I.H. // Appl. Phys. Lett. -1995. -Vol.66. -N.26. -P. 3674−3676.
- Вул Б. М. Вещества с высокой и сверхвысокой диэлектрической проницаемостью / Б. М. Вул // Успехи физических наук. -1967. -№ 11. -С.541−552.
- Cross L.E. History of Ferroelectrics / L.E. Cross, R.E. Newnham // Ceramics and Civilization, Volume III. High-Technology Ceramics-Past, Present, and Future. -1987. -P.289−305.
- Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики / Смоленский Г. А. и др.- М.: Наука, 1971.-476 с.
- BetheK. Uber das Mikrowellenverhalten der Nichtlineare Dielektrika / K. Bethe // Philips Research Reports, Supplement No.2. -1970. -P. 1−145.
- DiDomenicoM. Ferroelectric harmonic generator and the large-signal microwave characteristics of ferroelectric ceramics / M. Di Domenico, D. Jonson, R. Pantell // J. Appl. Phys. -1962. -Vol. 33. -P.1697−1705.
- KozyrevA.B. Nonlinear behavior of thin film SrTi03 capacitors at microwave frequencies / A.B. Kozyrev, T.B. Samoilova, A.A. Golovkov et al. // J. of Appl. Phys. -1998. -V.84. -N.6. -P.3326−3332.
- VendikO.G. Ferroelectric Tuning of Planar and Bulk Microwave Devices / O.G. Vendik, E.K. Hollmann, A.B. Kozyrev, A.M. Prudan / J. of Superconductivity. -1999. -Vol.12.-No. 2. -P.325−338.
- Томашпольский Ю.Я. Пленочные сегнетоэлектрики / Ю.Я. Томашпольский- М.: Радио и связь, 1984. -192 с.
- Бурсиан Э.В. Нелинейный кристалл титанат бария / Э.В. Бурсиан- М.: Наука, 1974.
- Noren В. Thin film barium strontium titanate (BST) for a new class of tunable RF components / B. Noren // Microwave Journal. -2004. -Vol.47. -N.5. -P.210−220.
- Вендик О.Г. Продвижение сегнетоэлектрических управляющих устройств в высокочастотную область диапазона СВЧ / О. Г. Вендик, И. Г. Мироненко, JI.T. Тер-Мартиросян // Известия АН СССР. -1987. -Т.51, -№.10. -С.1748−1752.
- Vendik I.B. Commutation Quality Factor of Two-State Switchable Devices / I.B. Vendik, O.G. Vendik, E. Kollberg // IEEE Trans, on MTT. -2000. -Vol.48. -No.5. -P.802−808.
- Vendik O.G. Modeling the dielectric response of incipient ferroelectrics / O.G.Vendik, S.P. Zubko // Journal of Applied Physics. -1997. -Vol.82. -Is.9. -P.4475−4483.
- Komatsu S. Measurement and thermodynamic analyses of the dielectric constant of epitaxially grown SrTi03 films / S. Komatsu, K. Abe // Jpn. J. Appl. Phys. -1993. -V.33. -8B -P.L1157-L1159.
- Прудан A.M. Диэлектрическая проницаемость плёночного титаната стронция в составе структуры SrTi03/Al203 / А. М Прудан, Е. К. Гольман, А. Б. Козырев,
- A.А. Козлов, В. Е. Логинов. //Письма в ЖТФ. -1998. -Т.24. -В.9. -С.8−12.
- KozyrevA.B. Preparation of SrTi03 films on sapphire substrate by RF magnetron sputtering / A.B. Kozyrev, E.K. Hollmann, V.E. Loginov, A.M. Prudan // Vacuum. -1998, -V.5, 2. -P.141−143.
- Леманов B.B. Фазовые переходы в твердых растворах на основе SrTi03 /
- B.В. Леманов // ФТТ -1997. -Т.39. -В.9.
- Sherman V.O. Ferroelectric-dielectric tunable composites / V.O. Sherman, A.K. Tagantsev, N. SetteK, D. Iddles, T. Price // J. Appl. Phys. -2006. -V.99. -P.74 104.
- Chang W. MgO-mixed Bao.6Sro.4Ti03 bulk ceramics and thin films for tunable microwave applications / W. Chang, L. Sengupta // J. of App. Phys. -2002. -Vol.92, Is.7. -P.3941−3946.
- Su B. Microstructure and dielectric properties of Mg-doped barium strontium titanate ceramics/В. Su, T. Button//J. of App. Phys. -2004. -Vol.95, Is.3. -P.1382−1385.
- McAneney J. Temperature and frequency characteristics of the interfacial capacitance in thin-film barium-strontium-titanate capacitors / J. McAneney, L.J. Sinnamon, R.M. Bowman, J.M. Gregg // J. of App. Phys. -2003. -Vol.94, Is.7. -P.4566−4570.
- Chen B. Thickness and dielectric constant of dead layer in Pt/(Bao.7Sro.3)Ti03/YBa2Cu3C>7x capacitor / B. Chen, H. Yang, L. Zhao et al // App. Phys. Lett. -2004. -Vol.84, Is.4. -P.583−585.
- Вендик О.Г. Размерный эффект в слоистых структурах: сегнетоэлектрик-нормальный металл и сегнетоэлектрик-ВТСП / О. Г. Вендик, JI.T. Тер-Мартиросян // ФТТ. -1994. -Т.36, вып.И. -С.3343−3351.
- Зубко С.П. Влияние размерного эффекта на диэлектрическую проницаемость танталата калия, входящего в состав пленочного конденсатора / С. П. Зубко // Письма в ЖТФ. -1998. -Т.24, вып.21. -С.23−29.
- Vendik O.G. Experimental evidence of the size effect in thin ferroelectric films / O.G. Vendik, S.P. Zubko, L.T. Ter-Martirosyan // App. Phys. Lett. -1998. -Vol.73. -Is.l. -P.37−39.
- Вендик О.Г., Медведева Н. Ю., Зубко С. П. Размерный эффект в наноструктурированных сегнетоэлектрических пленках / О. Г. Вендик, Н. Ю. Медведева, С. П. Зубко // Письма в ЖТФ. -2007. -Т.ЗЗ. -В.6. -С. 8−14.
- Sinnamon L.J. Exploring grain size as a cause for «dead-layer» effects in thin film capacitors / L.J. Sinnamon, M.M. Saad, R.M. Bowman, J.M. Gregg // App. Phys. Lett. -2002. -Vol.81. -Is.4. -P.703−705.
- Shaw T.M. The effect of stress on the dielectric properties of barium strontium titanate thin films / T.M. Shaw, M. Huang, Z. Suo, E. Liniger, R.B. Laibowitz, J.D. Baniecki // App. Phys. Lett. -1999. -Vol.75. -Is.14. -P.2129−2131.
- Keane S. P. Phase transitions in textured SrTi03 thin films on epitaxial Pt electrodes / S.P. Keane, S. Schmidt, J. Lu, A.E. Romanov, S. Stemmer // J. Appl. Phys. -2006. -V.99. -P.33 521.
- Вендик О.Г. Феноменологическое описание зависимости диэлектрической проницаемости титаната стронция от приложенного электрического поля и температуры / О. Г. Вендик, С. П. Зубко // ЖТФ. -1997. -Т.67. -В.З. -С.29−33.
- Kozyrev A. S-Band Microwave Phase Shifters Based on Ferroelectric Varactors / A. Kozyrev, V. Osadchy, A. Pavlov et al // Integrated Ferroelectrics -2003. -V.55. -Is. 1. -P.839−846.
- Физика сегнетоэлектрической керамики / Гориш А. В., Дудкевич В. П., Куприянов М. Ф. и др.- отв. ред. Гориш А.В.- М.: Советское Радио, -1979. -176 с.
- Lee J. К. Metal-Organic Chemical Vapor Deposition of Pb (ZrxTii.x)03 Thin Films for High-Density Ferroelectric Random Access Memory Application / J.K. Lee, J.-M. Ku, C.-R. Cho et al. // J. OF Semicond. Tech. and Sc. -2002. -V.2, N.3. -P.205−212.
- Haider S. Microstructural and Electrical Characterization of (Ba, Sr) Ti03 Thin Films Prepared by a New Carboxylate Free Chemical Solution Deposition (CSD) Route / S. Haider, T. Schneller, R. Waser//Mat. Res. Soc. Symp. Proc. -2003. -V.762, -C8.17.1.
- Gerlach G. Properties of sputter and sol-gel deposited PZT thin films for sensor and actuator applications: preparation, stress and space charge distribution, self poling / G. Gerlach, G. Suchanek et al. // Ferroelectrics. -1999. -Vol.230. -P.109−114.
- Вендик О.Г. Планарные сегнетоэлектрические конденсаторы для СВЧ-устройств / О. Г. Вендик, Г. Д. JIooc, Л.Т. Тер-Мартиросян // Радиотехника и электротехника. -1972. -Т. 17, вып. 10.
- Вендик О.Г. Моделирование и расчет емкости планарного конденсатора, содержащего тонкий слой сегнетоэлектрика / О. Г. Вендик, С. П. Зубко, М. А. Никольский // ЖТФ. -1999. -Т.69, вып.4. -С. 1−7.
- Вендик О.Г. Учет нелинейности сегнетоэлектрического слоя в модели планарного конденсатора / О. Г. Вендик, М. А. Никольский // Письма в ЖТФ, 2003. -Т.29, вып.5. -С.20−29.
- Kim J.-Y. Processing and on-wafer test of ferroelectric film microwave varactors / J.-Y. Kim, A.M. Grishin // Appl. Phys. Lett.-2006. -V.88. -P. 192 905.
- Прудан A.M. Влияние отжига на диэлектрическую проницаемость пленочного титаната стронция в структуре SrTi03 / А1203 / Прудан A.M., Гольман Е. К., Козырев А. Б. и др. // ФТТ. -1998. -Т.40, вып.8. -С.1473−1478.
- Kozyrev A. Nonlinear response and power handling capability of ferroelectric BaxSrj xTi03 film capacitors and tunable microwave devices / A. Kozyrev, A. Ivanov, T. Samoilova et al. // J. of App. Phys. -2000. -V.88, Is.9. -P.5334−5342.
- Cohn S.B. Slot Line on a Dielectric Substrate / S.B. Cohn // IEEE Trans, on MTT. -1969.-V.17, Is. 10. -P.768−778.
- Мироненко И.Г. Дисперсионные характеристики щелевых и копланарных линий на основе структуры «сегнетоэлектрическая пленка диэлектрическая подложка» / И. Г. Мироненко, А. А. Иванов // Письма в ЖТФ. -2001. -Т.27, вып.13. -С.16−21.
- Мироненко И.Г. Расчет затухания в щелевой и копланарной линиях, образованных в структуре «сегнетоэлектрическая пленка диэлектрическая подложка» / И. Г. Мироненко, А. А. Иванов // Письма в ЖТФ. -2002. -Т.28, вып.5. -С.33−37.
- Мироненко И.Г. Многощелевые линии передачи сверхвысоких частот на основе структуры сегнетоэлектрическая пленка диэлектрическая подложка / И. Г. Мироненко, А. А. Иванов //ЖТФ. -2002. -Т.72, вып.2. -С.68−73.
- Вендик И.Б. Анализ фундаментальных мод многосвязной щелевой линии с сегнетоэлектрическим слоем / И. Б. Вендик, О. Г. Вендик, М. С. Гашинова, А. Н. Деленив // Письма в ЖТФ. -2005. -Т.31, вып.2. -С.49−56.
- Вендик О.Г. Моделирование волновых параметров узкой щелевой линии передачи на основе сверхпроводящей пленки / О. Г. Вендик, И. С. Данилов, С. П. Зубко // ЖТФ. -1997. -Т.67, вып.9. -С.94−97.
- ГольцманБ.М. Сегнетоэлектрические материалы для интегральных схем динамической памяти / Б. М. Гольцман, В. К. Ярмаркин // ЖТФ. -1999. -Т.69, вып.5. -С.89−92.
- IkutaK. Upper-bound Frequency for Measuring mm-Wave-Band Dielectric Characteristics of Thin Films on Semiconductor Substrates / K. Ikuta, Y. Umeda, Y. Ishii // Jpn. J. Appl. Phys. -1998. -V.37. -P.210−214.
- Dube D.C. The effect of bottom electrode on the performance of thin film based capacitors in the gigahertz region / D.C. Dube, J. Baborowski, P. Muralt, N. Setter // App. Phys. Lett. -1999. -V.74, Is.23. -P.3546−3548.
- Koutsaroff I.P. Microwave Properties of Parallel Plate Capacitors Based on (Ba, Sr) Ti03 Thin Films Grown on Si02/A1203 Substrates / I.P. Koutsaroff, T. Bernacki, M. Zelner et al. // Mat. Res. Soc. Symp. Proc. -2003. -V.762.
- Petrov P.K. Techniques for microwave measurements of ferroelectric thin films and their associated error and limitations / P.K. Petrov, N. McN. Alford, S. Gevorgyan // Meas. Sci. Technol. -2005. -V.16. -P.583−589.
- Kozyrev A.B. Procedure of microwave investigations of ferroelectric films and tunable microwave devices based on ferroelectric films / A.B. Kozyrev, V.N. Keis, G. Koepf et al // Microelectronic Engineering. -2005. -V.29, Is. 1−4. -P.257−260.
- Гайдуков M.M. Измерение ёмкости и диэлектрических потерь планарных конденсаторов на сегнетоэлектрической плёнке в диапазоне СВЧ / М. М. Гайдуков,
- A.Б.Козырев, А. С. Рубан и др. // Радиотехника и электроника. -1975. -Т.20, ып.12. -С.2588−2591.
- Kozyrev A. Procedures of Measurements of Ferroelectric Films Parameters in Frequency Range (20−60) GHz / A. Kozyrev- O. Buslov- V. Keis et al // Integrated Ferroelectrics. -2003. -V.55, Iss.l. -P.895−903.
- Dawber M. Physics of thin-film ferroelectric oxides / M. Dawber, K.M. Rabe, J.F. Scott. // Reviews of Modern Physics. -2005. -V.77. -P.1083−1130.
- ZafarS. Resistance degradation in barium strontium titanate thin films / S. Zafar,
- B. Hradsky, D. Gentile et al // J. of App. Phys. -1999. -V.86, Is.7. -P.3890−3894.
- Kotecki D.E. (Ba, Sr) Ti03 dielectrics for future stacked-capacitor DRAM / D.E. Kotecki, J.D. Baniecki, H. Shen et al. // IBM J. Res. Develop. -1999. -V.43. -N.3.
- Chan N.-H. Nonstoichiometry in SrTi03 / N.-H. Chan, R.K. Sharma, D.M. Smyth // J. Electrochem Soc. -1981. -Vol. 128, Is. 8. -P.1762−1769.
- Yoo H.-I. P-Type Partial Conductivity of Donor (La)-Doped BaTi03 / H.-I. Yoo, S.-W. Lee, C.-E. Lee. // J. of Electrocer. -2003. -Vol.10, N.3. -P.215−219.
- Chan N.-H. Defect Chemistry of Donor-Doped BaTi03 / N.-H. Chan, D.M. Smyth // J. Am. Cer. Soc.-1984. -Vol.67, Is.4. -P.285.
- Scott J.F. Quantitative measurement of space-charge effects in lead zirconate-titanate memories / J.F. Scott, C.A. Araujo, B.M. Melnick et al // J. of App. Phys. -1991. -Vol.70, Iss.l. -P.382−388.
- DawberM. Models of Electrode-Dielectric Interfaces in Ferroelectric Thin-Film Devices / M. Dawber, J.F. Scott. // Jpn. J. Appl. Phys. -2002. -Vol. 41. -P.6848−6851.
- Robertson J. Schottky barrier heights of tantalum oxide, barium strontium titanate, lead titanate, and strontium bismuth tantalate / J. Robertson, C.W. Chen // App. Phys. Lett. -1999. -Vol.74, Is.8.-P.l 168−1170.
- Zheng L. Current-voltage characteristic of asymmetric ferroelectric capacitors / L. Zheng, C. Lin, T.-P. Ma// J. Phys. D: Appl. Phys. -1996. -Vol.29. -P.457−461.
- Seon Yong Cha. Effects of Ir Electrodes on the Dielectric Constants of Ba0.5Sr0.5TiO3 Films / Seon Yong Cha, Byung-Tak Jang, Нее Chul Lee // Jpn. J. Appl. Phys. -1999. -Vol.38. -P.49−51.
- LeeK.H. Variation of Electrical Conduction Phenomena of Pt/ (Ba, Sr) Ti03/Pt Capacitors by Different Top Electrode Formation Processes / K.H. Lee, C.S. Hwang, B.T. Lee et al // Jpn. J. Appl. Phys. -1997. -Vol.36. -P.5860−5865.
- Browning N.D. The influence of atomic structure on the formation of electrical barriers at grain boundaries in SrTi03 / N.D. Browning, J.P. Buban, H.O. Moltaj et al // App. Phys. Lett. -1999. -Vol.74, Is.18. -P.2638−2640.
- TsaiM.S. Effect of bottom electrode materials on the electrical and reliability characteristics of (Ba, Sr) Ti03 capacitors / M.S. Tsai, S.C. Sun, T.-Y. Tseng // IEEE Trans, on Electron Devices. -1999. -Vol.46, Is.9. -P.1829−1838.
- LuJ. Contributions to the dielectric losses of textured SrTi03 thin films with Pt electrodes / J. Lu, S. Schmidt, Y.-W. Ok, S. Keane, S. Stemmer // J. Appl. Phys. -2005. -V.98. -P.54 101.
- Chen H.-M. Leakage Current Characteristics of Lead-Zirconate-Titanate Thin Film Capacitors for Memory Device Applications / H.-M. Chen, S.-W. Tsaur, J.Y. Lee // Jpn. J. Appl. Phys. -1998. -Vol.37. -P.4056−4060.
- Scott J.F. Raman spectroscopy of submicron KNO3 films. II. Fatigue and space-charge effects/ J.F. Scott, B. Pouligny // J. of App. Phys. -1998. -Vol.64, Is.3. -P.1547−1551.
- GruvermanA. Nanoscale investigation of fatigue effects in Pb (Zr, Ti)03 films /
- A. Gruverman, 0. Auciello, H. Tokumoto // App. Phys. Lett. -1996. -Vol.69, Is.21. -P.3191−3193.
- LeeB.T. Influences of interfacial intrinsic low-dielectric layers on the dielectric properties of sputtered (Ba, Sr) Ti03 thin films / B.T. Lee, C.S. Hwang // App. Phys. Lett. -2000. -Vol.77, Is.l. -P.124−126.
- Jin H.Z. Size effect and fatigue mechanism in ferroelectric thin films / H.Z. Jin, J. Zhu //J. of App. Phys. -2002. -Vol.92, Is.8. -P.4594−4598.
- Косцов Э.Г. Реверсивная нелинейность в диэлектрических слоях / Э. Г. Косцов,
- B.К. Малиновский // Изв. АН СССР. Сер. Физ. -1997. -Т.41, № 4. -С.830−835.
- ДедыкА.И. Перераспределение избыточного объемного заряда в структурах на основе монокристаллического титаната стронция / А. И. Дедык, JI.T. Тер-Мартиросян // ФТТ. -1997. -Т.39, вып.2. -С.349−352.
- Дедык А.И. Избыточный объемный заряд в титанате стронция / А. И. Дедык, Л.Т. Тер-Мартиросян // ФТТ. -1998. -Т.40, вып.2. -С.245−247.
- ДедыкА.И. Исследование гистерезиса в многослойных структурах на основе титаната стронция / А. И. Дедык, С. Ф. Карманенко, М. Н. Малышев, Л.Т. Тер-Мартиросян// ФТТ. -1995. -Т.37, вып. 11. -С.3470−3477.
- Boikov Yu.A. Slow capacitance relaxation in (BaSr)Ti03 thin films due to the oxygen vacancy redistribution / Yu.A. Boikov, B.M. Goltsman, V.K. Yarmarkin, V.V. Lemanov // App. Phys. Lett. -2001. -Vol.78, Is.24. -P.3866−3868.
- Yang G.Y. Oxygen nonstoichiometry and dielectric evolution of ВаТЮЗ. Part II— insulation resistance degradation under applied dc bias / G.Y. Yang, G.D. Lian, E.C. Dickey et al // J. of App. Phys. -2004. -Vol.96, Is. 12. -P.7500−7508.
- Waser R. dc Electrical Degradation of Perovskite-Type Titanates: III, A Model of the Mechanism / R. Waser, T. Baiatu, K.-H. Hardtl // J. of the Am. Ceram. Soc. -1990. -Vol.73, Is.6. -P.1663−1673.
- Kozyrev A. Application of ferroelectrics in phase shifter design / A. Kozyrev, V. Osadchy, A. Pavlov, L. Sengupta // Microwave Symposium Digest., 2000 IEEE MTT-S International. -2000. -Vol.3. -P.1355−1358.
- Buslov O.Y. Slot-line Ferroelectric Phase-shifters and Phase-array Antenna on their Base / O.Y. Buslov, V.N. Keis, I.V. Kotelnikov et al // Integrated Ferroelectrics. -2006. -Vol.86. -P.125−130.
- Kozyrev A. S-Band Microwave Phase Shifters Based on Ferroelectric Varactors /
- A. Kozyrev, V. Osadchy, A. Pavlov et al // Integrated Ferroelectrics. -2003. -Vol.55, Is.l. -P.839−846.
- Козырев А.Б. 60 GHz фазовращатель на основе (Ва, Sr) Ti03 сегнетоэлектрической пленки / А. Б. Козырев, А. В. Иванов, О. И. Солдатенков и др. // Письма в ЖТФ. -2001. -Т. 27, вып. 24. -С. 16−21.
- Acikel В. A New High Performance Phase Shifter using BaxSrj. xTi03 Thin Films /
- B. Acikel, T.R. Taylor, P.J. Hansen et al // IEEE Microwave and Wireless Components Lett. -2002. -V. 12, Is. 7.
- Егоров Ю.В. Частично заполненные прямоугольные волноводы / Ю. В. Егоров. -М.: Сов. Радио, 1967.-216 с.
- Гагарин А.Г. Измерения параметров сегнетоэлектрических плёнок с применением частично заполненных волноводных резонаторов / А. Г. Гагарин, М. М. Гайдуков // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Серия «Физика твёрдого тела и электроника». -2003. -В.1. -С.25−28.
- Козырев А. Волноводно-щелевой 60 GHz фазовращатель на основе (Ba, Sr) Ti03 сегнетоэлектрической пленки / А. Козырев, М. Гайдуков, А. Гагарин и др. // Письма в ЖТФ. -2002. -Т.28, вып.6. -С.51−56.
- Малорацкий Л.Г. Микроминиатюризация элементов и устройств СВЧ / Л. Г. Малорацкий. М.: Сов. Радио, 1976. -216 с.
- Гупта К. Машинное проектирование СВЧ устройств / К. Гупта, Р. Гардж, Р. Чадха. М.: Радио и связь, 1987. 428 с.
- Razumov S. Electrical Properties of Magnetron Sputtered Thin BaSrTi03 Films Depending On Deposition Conditions / S. Razumov, A. Tumarkin, O. Buslov,
- M. Gaidukov, A. Gagarin, A. Ivanov, A. Kozyrev, Y.-W. Song, C.-S. Park // Integrated Ferroelectrics. -2001. -Vol.39. -P.367−373.
- Vendik O.G. Experimental evidence of correctness of improved model of ferroelectric planar capacitor / O.G. Vendik, S.V. Razumov, A.V. Tumarkin, M.A. Nikol’skii, M.M. Gaidukov, A.G. Gagarin // Appl. Phys. Lett. -2005. -V.86. -P.22 902.
- Razumov S.V. Characterisation of quality of BaxSr!.xTi03 thin film by the commutation quality factor measured at microwaves / S.V. Razumov, A.V. Tumarkin, M.M. Gaidukov, A.G. Gagarin et al //Appl. Phys. Lett. -2002. -V.81, N9. -P. 1675−1677.
- Razumov S.V. Microwave Properties of Thin BSTO Films Based Varactors for High Frequency Applications / S.V. Razumov, A.V. Tumarkin, A.G. Gagarin et al // Integrated Ferroelectrics. -2003. -Vol.55. -P.871−876.
- Al-Shareef H.N. Electrodes for ferroelectric thin films / H.N. Al-Shareef, K.D. Gifford, S.H. Rou // Integrated Ferroelectrics. -1993. Vol.3. -P.321−332.
- Иоссель Ю.А. Расчёт электрической ёмкости / Ю. А. Иоссель, Э. С. Кочанов, М. Г. Струнский. -JL: Энергоиздат, 1981. 288 с.
- Вендик О.Г. Феноменологическое описание зависимости диэлектрической проницаемости титаната стронция от приложенного электрического поля и температуры / О. Г. Вендик, С. П. Зубко // ЖТФ. -1997. -Т.67, вып.З. -С.29−33.
- Вендик О.Г. Моделирование характеристик многослойного планарного конденсатора/ О. Г. Вендик, М. А. Никольский //ЖТФ. -2001. -Т.71, вып.1. -С. 117−121.
- Nowotny J. Defect Structure, Electrical Properties and Transport in Barium Titanate / J. Nowotny, M. Rekas // Ceramics International. -1994. -Vol.20. -P.213−270.
- Kozyrev A.B. Nonlinear behavior of thin film SrTi03 capacitors at microwave frequencies / A.B. Kozyrev, T.B. Samoilova, A.A. Golovkov et al // J. of App. Phys. -1998. -V.84, Is.6. -P.3326−3332.
- AlfordN.McN. Enhanced electrical properties of ferroelectric thin films by ultraviolet radiation / N.McN. Alford, P.K. Petrov, A.G. Gagarin et al // Appl. Phys. Lett. -2005. -V.87. -P.222 904.
- Гольцман Б.М. Диэлектрические свойства планарных структур на основе сегнетоэлектрических плёнок Bao.sSro.fTiOj / Б. М. Гольцман, В. В. Леманов, А. И. Дедык и др. // Письма в ЖТФ. -1997. -Т.23, вып. 15. -С.46−52.
- Гагарин А.Г. Параметр качества перестраиваемого элемента на основе сегнетоэлектрической плёнки при разработке СВЧ-устройств / А. Г. Гагарин, М. М. Гайдуков // Известия СПбГЭТУ «ЛЭТИ». Серия «Физика твёрдого тела и электроника». -2003. -Вып.2. -С.38−41.
- Филатов К.В. Введение в инженерную теорию параметрического усиления / К. В. Филатов. -М.: Сов. Радио, 1971.
- Брандт А.А. Исследование диэлектриков на сверхвысоких частотах / А. А. Брандт. -М.: Физматгиз, 1963.
- ПЗ.Маттей Д. Л. Фильтры СВЧ, согласующие цепи и цепи связи / Д. Л. Маттей, Л. Янг, Е. М. Т. Джонс. -М.: Связь, 1972.